KR20070105893A - 연마 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는 연마 테이프를 교환하는 수고를 없애고, 단시간에 또한 저렴한 비용으로 요구되는 마무리면에 패널을 연마할 수 있는 연마 장치를 제공하는 것이다.

연마 장치(10)는 천장판(12)과 바닥판(13) 사이에 형성되는 개구(14)를 갖는 하우징(11), 하우징의 개구(14) 전방측에서 Z 방향으로 왕복 이동하는 헤드 부재(H)를 갖는 연마 헤드(20), 및 2개의 연마 테이프(33A, B)를 구비하고, 이들 연마 테이프 중 어느 한쪽의 연마 테이프를 주행시키는 테이프 공급 유닛(30)을 포함한다. 연마 헤드(20)는 하우징의 천장판(12)의 상면에 설치된다. 유닛(30)은 Y 방향으로 왕복 이동 가능하게 하우징의 바닥판(13)의 상면에 리니어 슬라이드 기구(60)를 통해 설치되고, 이 리니어 슬라이드 기구에 의해 유닛(30)이 Y 방향으로 왕복 이동하고, 유닛(30)의 연마 테이프 중 어느 한쪽의 연마 테이프가 헤드 부재(H)의 바로 아래로 위치 결정된다.

연마 헤드, 연마 테이프, 리니어 슬라이드 기구, 공급 릴, 센서 프로브

Description

연마 장치 {POLISHING APPARATUS}

도1의 (A)는 본 발명의 연마 장치의 부분 파단 측면도이고, 도1의 (B)는 도1의 (A)의 연마 장치의 정면도.

도2의 (A) 및 도2의 (B)는 본 발명의 연마 장치의 부분 평면도로, 각각 본 발명에 따라서 패널 표면의 돌기 상으로 위치 결정한 헤드 부재의 바로 아래에 제1 또는 제2 연마 테이프를 위치 결정하는 것을 나타내는 도면.

도3의 (A) 내지 도3의 (C)는 각각 본 발명의 연마 장치의 부분 측면도로, 본 발명에 따라서 패널 표면의 돌기를 연마하는 것을 나타내는 도면.

도4의 (A)는 본 발명의 연마 장치의 연마 헤드의 측면도이고, 도4의 (B)는 본 발명의 연마 장치의 연마 헤드의 변형예의 측면도.

도5의 (A) 및 도5의 (B)는 각각 본 발명의 연마 장치에 이용되는 헤드 부재의 선단부 부분의 사시도.

도6의 (A)는 본 발명의 연마 장치에 이용되는 리니어 슬라이드 기구의 측면도이고, 도6의 (B)는 도6의 (A)의 평면도이며, 도6의 (C)는 도6의 (B)의 6-6선 단면도.

도7은 병렬 배치형의 테이프 공급 유닛을 구비한 본 발명의 연마 장치의 정면도.

도8은 도7의 본 발명의 연마 장치의 부분 파단 평면도.

도9는 가이드 롤러의 측면도.

도10은 도7의 본 발명의 연마층의 부분 파단 측면도.

도11은 직렬 배치형의 테이프 공급 유닛을 구비한 본 발명의 연마 장치의 정면도.

도12는 도11의 본 발명의 연마 장치의 부분 파단 평면도.

도13은 도11의 본 발명의 연마 장치의 부분 파단 측면도.

도14는 도11의 본 발명의 연마 장치에 이용되는 전자기 클러치의 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 연마 장치

11 : 하우징

12 : 천장판

13 : 바닥판

14 : 개구

20 : 연마 헤드

21 : 지지 부재

22 : 전방측 판

23 : 바닥판

24 : 이동대

H : 헤드 부재

H' : 선단부 부분

H1, H2 : 헤드 위치

30 : 테이프 공급 유닛

30' : 전방측 부분

31A : 제1 공급 릴

31B : 제2 공급 릴

32A : 제1 권취 릴

32B : 제2 권취 릴

33A : 제1 연마 테이프

33B : 제2 연마 테이프

40 : 병렬 배치형 테이프 공급 유닛

41 : 전방측 판

42 : 바닥판

43 : 이동대

M1 내지 M4 : 모터

G1 내지 G6 : 가이드 롤러

G' : 홈

50 : 직렬 배치형 테이프 공급 유닛

51 : 전방측 판

52 : 바닥판

53 : 이동대

54, 55, 56, 54', 55', 56' : 보조판

M5, M6 : 모터

G7 내지 G10 : 가이드 롤러

60, 60' : 리니어 슬라이드 기구

61 : 평판

62 : 모터

63 : 나사

64, 65 : 레일

66, 66' : 슬라이드

67 : 설치면

70 : 클러치 기구

71 : 필드 코어

72 : 코일

73 : 로터

74 : 아마츄어

74' : 내치

75 : 외치 기어

75' : 외치

76 : 스프링

77, 78 : 맞물림 치

79 : 지지통

P : 패널

Q : 돌기

S : 센서 프로브

X, X1, X2 : 테이프의 주행(이송, 권취) 방향

Y : 이동 방향

Z, Z1, Z2 : 수직 이동 방향

[문헌 1] 일본 특허 공개 제2003-266292호 공보

본 발명은 액정 패널과 같이 표면에 고도의 평탄성이 요구되는 패널의 표면에 있는 불필요한 돌기를 연마하는 연마 장치에 관한 것이다.

표면에 고도의 평탄성이 요구되고 있는 액정 패널과 같은 패널은, 일반적으로 복수의 CCD 카메라를 구비한 검사 섹션에서 표면의 돌기의 위치를 검출하고, 다음에 돌기의 높이를 측정하는 센서 프로브를 구비한 연마 섹션으로 이송되고, 여기서 검사 섹션에서 검출된 돌기의 위치에 센서 프로브를 이동하여 이 돌기의 높이를 측정하고, 이 돌기가 소정의 높이를 초과하고 있으면, 연마 섹션에 구비되어 있는 연마 장치를 이 돌기의 위치로 이동하여 이 돌기를 연마한다.

돌기 측정 후의 연마 시간을 단축하기 위해, 연마 장치에 센서 프로브가 설치되어 있고, 연마 장치와 센서 프로브는 일체적으로 이동한다.

연마 장치는 연마 테이프를 패널의 표면에 압박하기 위한 헤드 부재를 갖는다. 그리고, 센서 프로브에 의한 측정 후, 돌기의 바로 위로 헤드 부재를 이동하는 동시에, 헤드 부재를 하강하고, 이 헤드 부재를 통해 돌기에 연마 테이프를 압박하여 주행시킴으로써 돌기를 연마한다. 이 돌기의 연마 후, 헤드 부재를 상승시키는 동시에, 센서 프로브를 이 돌기의 위치로 이동하여 돌기의 높이를 다시 측정하고, 이 돌기의 높이가 소정의 높이보다도 낮게 되어 있으면, 다음의 돌기로 센서 프로브를 이동하여 상기한 바와 같이 돌기가 연마되고 다시 그 높이가 측정된다(예를 들어 문헌 1을 참조).

일반적으로, 패널의 표면에는 크기가 다른 돌기가 몇 개 형성되어 있고, 패널의 표면에 요구되는 품질(즉, 마무리면의 정밀도)에 따라서, 1대의 연마 장치로 이들 돌기를 하나하나 연마하여 요구되는 품질의 패널의 표면으로 마무리해 간다. 그리고, 최근, 패널이 대형화되어 패널의 표면에 형성되는 돌기의 수가 증대하고, 이를 위해 패널의 표면을 단시간에 고정밀도로 마무리할 수 있는 기술이 요구되고 있다.

그러나, 상기한 바와 같은 종래 기술에서는, 연마 장치는 한 종류의 연마 테이프를 구비하고 있는 것뿐이므로, 고품질의 마무리면이 요구되고 있는 경우, 패널 의 표면의 돌기가 클 때, 초벌 연마를 행한 후에 마무리 연마를 행할 필요가 생기지만, 연마 테이프를 하나하나의 돌기를 연마할 때마다로 교환하는 것은 하나의 돌기에 대한 연마에 수고와 시간이 걸리기 때문에 실용적이지 않고, 이로 인해 한 종류의 연마 테이프만으로 이 돌기를 연마하고 있는 것이 현재 상태이며, 상기한 바와 같은 종래의 기술에서는 패널의 표면을 정밀도 좋게 마무리하는 것이 어렵게 되어 있다.

상기의 종래기술에 있어서, 연마 장치에 초벌 연마용의 연마 테이프만이 장착되어 있는 경우, 패널 표면의 돌기가 작을 때, 및 고품질의 마무리면이 요구되고 있을 때에, 이 초벌 연마용 연마 테이프만으로는 패널의 표면을 정밀도 좋게 연마하는 것이 어렵고, 이로 인해, 마무리 연마할 필요가 생기지만, 상기한 바와 같이 연마 테이프를 하나하나의 돌기를 연마할 때마다 변환하는 것은, 하나의 돌기에 대한 연마에 수고와 시간이 걸리기 때문에 실용적이지는 않다. 또한, 연마 장치에 마무리 연마용의 연마 테이프만이 장착되어 있는 경우, 패널 표면의 돌기가 클 때에 이 하나의 큰 돌기의 연마에 시간이 걸리고, 연마 테이프의 소비량이 많아져 연마 테이프를 단시간에 교환해야만 해, 돌기의 연마에 시간이 걸릴 뿐만 아니라, 비용도 든다.

이와 같이, 한 종류의 연마 테이프밖에 장착할 수 없는 종래기술의 연마 장치로는, 패널 표면의 돌기의 크기에 따라서 하나의 돌기에 대한 연마 시간을 단축하고 또한 비용을 저감하여 요구되는 품질의 마무리면을 달성하는 것이 곤란한 것이 현재 상태이다.

따라서, 본 발명의 목적은, 연마 테이프를 교환하는 수고를 없애고, 단시간에 또한 저렴한 비용으로, 요구되는 마무리면에 패널을 연마할 수 있는 연마 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하는 본 발명의 연마 장치는, 천장판과 바닥판 사이에 형성되는 개구를 갖는 하우징과, 리니어 슬라이드 기구에 의해 패널의 표면과 수직인 방향으로 왕복 이동하는 헤드 부재를 갖는 연마 헤드와, 제1 및 제2 연마 테이프를 구비하고, 이들 제1 및 제2 연마 테이프 중 어느 한쪽의 연마 테이프를 주행시키는 테이프 공급 유닛을 포함한다.

연마 헤드는 헤드 부재가 하우징의 개구의 전방측에서 패널의 표면과 수직인 방향으로 왕복 이동 가능하게 하우징 천장판의 상면에 설치된다.

테이프 공급 유닛은 패널의 표면과 평행한 방향으로 왕복 이동 가능하게 하우징의 바닥판의 상면에 리니어 슬라이드 기구를 통해 설치되고, 이 리니어 슬라이드 기구에 의해 테이프 공급 유닛이 패널의 표면과 평행한 방향으로 왕복 이동하여 테이프 공급 유닛의 제1 및 제2 연마 테이프 중 어느 한쪽의 연마 테이프가 헤드 부재의 바로 아래로 위치 결정된다.

연마 헤드는 하우징의 천장판의 상면에 설치되는 전방측 판을 갖는다. 이 전방측 판은 패널의 표면과 수직인 수직면을 갖고, 이 전방측 판의 수직면에 리니어 슬라이드 기구를 통해 헤드 부재가 설치되고, 이 리니어 슬라이드 기구에 의해 헤드 부재가 패널의 표면과 수직인 방향으로 왕복 이동한다. 변형적으로, 연마 헤 드는 패널의 표면과 수직인 수직면을 갖는 전방측 판과, 제1 리니어 슬라이드 기구를 통해 상기 하우징의 상면에 설치되는 바닥판으로 이루어지는 측면 L자형의 이동대를 갖고, 이 이동대 전방측 판의 수직면에 제2 리니어 슬라이드 기구를 통해 헤드 부재가 설치되고, 이 제2 리니어 슬라이드 기구에 의해 헤드 부재가 패널의 표면과 수직인 방향으로 왕복 이동하고, 제1 리니어 슬라이드 기구에 의해 상기 헤드 부재가 패널의 표면과 평행한 방향으로 왕복 이동한다.

테이프 공급 유닛은, 병렬 배치형의 것이라도 좋고, 직렬 배치형의 것이라도 좋다.

병렬 배치형 테이프 공급 유닛은 패널의 표면과 수직인 수직면을 갖는 평면 凹자형의 전방측 판과, 하우징의 바닥판의 상면에 상기한 리니어 슬라이드 기구를 통해 설치되는 바닥판으로 이루어지는 측면 대략 L자형의 이동대를 갖는다.

그리고, 이 전방측 판의 양측 부분의 수직면에, 제1 연마 테이프로 이루어지는 제1 테이프 롤을 설치하는 제1 공급 릴과, 이 제1 테이프 롤의 제1 연마 테이프를 권취하는 제1 권취 릴이 설치된다. 또한, 이동대의 전방측 판의 중앙 부분의 수직면에 제2 연마 테이프로 이루어지는 제2 테이프 롤을 설치하는 제2 공급 릴과, 이 제2 테이프 롤의 제2 연마 테이프를 권취하는 제2 권취 릴이 설치되고, 제1 공급 릴, 제2 공급 릴, 제2 권취 릴 및 제1 권취 릴이 이동대의 전방측 판의 수직면에 병렬 배치된다.

이 병렬 배치형 테이프 공급 유닛은, 제1 연마 테이프를 제1 권취 릴로 권취하기 위해 제1 권취 릴을 회전시키기 위한 수단과, 제2 연마 테이프를 제2 권취 릴 로 권취하기 위해 제2 권취 릴을 회전시키기 위한 수단을 더 갖는다.

직렬 배치형 테이프 공급 유닛은, 패널의 표면과 수직인 수직면을 갖는 전방측 판과, 하우징의 바닥판의 상면에 상기한 리니어 슬라이드 기구를 통해 설치되는 바닥판으로 이루어지는 측면 대략 L자형의 이동대를 갖는다.

이 전방측 판의 수직면에 제1 연마 테이프로 이루어지는 제1 테이프 롤을 설치하는 제1 공급 릴과, 제1 테이프 롤의 제1 연마 테이프를 권취하는 제1 권취 릴이 이 전방측 판의 배면에 설치한 제1 모터의 축과 동축으로 직렬로 설치된다. 또한, 이동대의 전방측 판의 수직면에 제2 연마 테이프로 이루어지는 제2 테이프 롤을 설치하는 제2 공급 릴과, 제2 테이프 롤의 제2 연마 테이프를 권취하는 제2 권취 릴이 이 전방측 판의 배면에 설치한 제2 모터의 축과 동축으로 직렬로 설치되고, 제1 공급 릴과 제2 공급 릴, 및 제1 권취 릴과 제2 권취 릴이 각각 이동대 전방측 판의 수직면에 직렬 배치된다.

제1 모터의 축에 제1 공급 릴과 제2 공급 릴이 각각 클러치 기구를 통해 개별로 연결되고, 제2 모터의 축에 제1 권취 릴과 제2 권취 릴이 각각 클러치 기구를 통해 개별로 연결된다.

<연마 방법>

표면에 고도의 평탄성이 요구되고 있는 액정 패널과 같은 패널은, 복수의 CCD 카메라를 구비한 검사 섹션에서 표면의 돌기의 위치를 검출하고, 다음에 돌기의 높이를 측정하는 센서 프로브를 구비한 연마 섹션으로 이송된다. 그리고, 검사 섹션에서 검출한 돌기의 위치에 센서 프로브를 이동하여 이 돌기의 높이를 측정한 다. 이 돌기가 소정의 높이를 초과하고 있으면, 연마 섹션에 구비되어 있는 연마 장치를 이 돌기의 위치로 이동하여 이 돌기를 연마한다. 돌기 측정 후의 연마 시간을 단축하기 위해, 적합하게 연마 장치에 센서 프로브가 설치되어, 연마 장치와 센서 프로브는 일체적으로 이동한다.

도1에 본 발명의 연마 장치를 나타내고, 도2 및 도3에, 본 발명에 따라서 연마 섹션에 있어서 본 발명의 연마 장치로 패널(P)의 표면의 돌기(Q)를 연마하는 것을 나타낸다.

도1의 (A) 및 도1의 (B)에 도시한 바와 같이, 본 발명의 연마 장치(10)는 천장판(12)과 바닥판(13) 사이에 형성되는 개구(14)를 갖는 하우징(11), 리니어 슬라이드 기구(도4 및 도6)에 의해 패널(P)의 표면과 수직인 방향(화살표 Z의 방향)으로 왕복 이동하는 헤드 부재(H)를 갖는 연마 헤드(20), 및 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B)를 구비하고, 이들 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B) 중 어느 한쪽의 연마 테이프를 주행시키는 테이프 공급 유닛(30)을 포함한다.

연마 헤드(20)는 헤드 부재(H)가 도1의 (A), 도1의 (B) 및 도3의 (A) 내지 도3의 (C)에 도시한 바와 같이 하우징(11)의 개구(14) 전방측에서 패널(P)의 표면과 수직인 방향(화살표 Z의 방향)으로 왕복 이동 가능하게 하우징(11)의 천장판(12)의 상면에 설치된다.

테이프 공급 유닛(30)은 패널(P)의 표면과 평행한 방향(화살표 Y의 방향)으로 왕복 이동 가능하게 하우징(11)의 바닥판(13)의 상면에 리니어 슬라이드 기구(60)를 통해 설치되고, 이 리니어 슬라이드 기구(60)에 의해 테이프 공급 유 닛(30)이 패널(P)의 표면과 평행한 화살표 Y의 방향으로 왕복 이동하고, 테이프 공급 유닛(30)의 전방측 부분(30')[도1의 (A)에 있어서, 도면을 향해 좌측 부분]에 배치되어 있는 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B) 중 어느 한쪽의 연마 테이프가 헤드 부재(H)의 바로 아래로 위치 결정된다.

변형적으로, 연마 헤드(20)는, 화살표 Y의 방향으로 왕복 이동 가능하게 천장판의 상면에 설치한 리니어 슬라이드 기구[도4의 (B)에 부호 60'로 나타냄]의 슬라이드[도4의 (B)에 부호 66'로 나타냄]에 고정되고, 이에 의해 제1 또는 제2 연마 테이프(33A, 33B)를 패널(P)의 표면의 돌기(Q)의 바로 위로 위치 결정한 후에, 연마 헤드(20)를 화살표 Y로 나타내는 어느 한쪽 방향으로 이동하고, 헤드 부재(H)를 돌기(Q)의 바로 위로 위치 결정되어 있는 연마 테이프의 바로 위로 위치 결정할 수도 있다.

패널(P) 표면의 돌기(Q)의 연마는, 우선 연마 장치(10)의 하우징(11)의 바닥판(13) 전방측 단부에 고정되어 있는 센서 프로브(S)에서 패널(P) 표면의 돌기(Q)의 위치와 높이를 검출하고, 이 돌기(Q)의 높이가 소정의 높이를 초과하고 있는지 여부를 판정한다. 이 돌기(Q)의 높이가 소정의 높이를 초과하고 있다고 판정되면, 연마 장치(10)를 이동하여, 연마 헤드(20)의 헤드 부재(H)를 이 돌기(Q)의 바로 위로 위치 결정[도2의 (A)에 부호 H1로 나타내는 위치 또는 도2의 (B)에 부호 H2로 나타내는 위치]한다. 다음에, 리니어 슬라이드 기구(60)를 작동시켜 테이프 공급 유닛(30)을 화살표 Y의 방향으로 이동시키고, 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B) 중 어느 한쪽의 연마 테이프를 헤드 부재(H)의 바로 아래[즉, 돌기(Q)의 바로 위] 로 위치 결정한다.

도2의 (A) 및 도2의 (B)에 도시한 바와 같이, 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B)는 서로 평행해지도록 테이프 공급 유닛(30)의 전방측 부분(30')에 배치되어 있다. 적합하게, 제1 연마 테이프(33A)는 초벌 연마용의 것이고, 제2 연마 테이프(33B)는 마무리 연마용의 것이다. 이들 연마 테이프로서, 직포 테이프, 부직포 테이프, 발포체 테이프, 또는 지립을 바인더로 고정한 연마층을 플라스틱 테이프 표면에 형성한 것 등, 기지의 연마 테이프를 사용할 수 있다. 예를 들어, 초벌 연마용의 제1 연마 테이프(33A)로서, 플라스틱, 직포, 부직포 또는 발포체 등으로 이루어지는 테이프의 표면에 연마층을 형성한 것을 사용할 수 있고, 또한 마무리 연마용의 제2 연마 테이프(33B)로서 부직포 테이프, 발포체 테이프 등과 같이 지립을 고정한 연마층을 갖고 있지 않은 테이프를 사용할 수 있다.

제1 또는 제2 연마 테이프(33A, 33B)가 헤드 부재(H)의 바로 아래[즉, 패널(P)의 돌기(Q)의 바로 위]로 위치 결정되지만, 이들 연마 테이프(33A, 33B) 중 어느 것의 연마 테이프를 돌기(Q) 상으로 위치 결정할지는, 센서 프로브(S)에 의해 검출된 돌기(Q)의 높이에 따라서 결정된다. 적합하게, 초벌 연마용의 제1 연마 테이프(33A)가 헤드 부재(H)[이 헤드 부재는 도2의 (A)에 부호 H1로 나타내는 위치로 위치 결정되어 있음]의 바로 아래[돌기(Q)의 바로 위]로 위치 결정되고[도2의 (A)], 제1 연마 테이프(33A)로 이 돌기(Q)를 연마한 후에, 제2 연마 테이프(33B)가 헤드 부재(H)[이 헤드 부재는 도2의 (B)에 부호 H2로 나타내는 위치로 위치 결정되어 있지만, 이 위치 H2는 위치 H1에 일치함]의 바로 아래[돌기(Q)의 바로 위]로 위 치 결정되고[도2의 (B)], 제2 연마 테이프(33B)로 마무리 연마된다.

변형적으로, 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B) 중 어느 한쪽의 연마 테이프를 돌기(Q) 상으로 위치 결정한 후에, 헤드 부재(H)를 이 연마 테이프의 바로 위로 위치 결정해도 좋다. 이 경우, 상기한 바와 같이 센서 프로브(S)에 의해 검출된 돌기(Q)의 높이에 따라서 결정된 어느 한쪽의 연마 테이프를 패널(P)의 표면과 평행하게 연마 장치(10)의 하우징(11)에 관하여 상대적으로 이동하고, 이 연마 테이프의 폭의 중앙 부분(부호 H1 및 H2로 나타내는 위치)의 바로 아래에 돌기(Q)가 위치하도록 연마 테이프를 위치 결정하고, 그 후에 연마 장치(10)의 하우징(11)에 관하여 헤드 부재(H)를 패널(P)의 표면과 평행한 방향으로 상대적으로 이동해야만 한다. 한편, 상술한 바와 같이 헤드 부재(H)를 돌기(Q)의 바로 위로 위치 결정한 후에 연마 테이프를 위치 결정하는 경우, 헤드 부재(H)는 연마 장치(10)와 함께 이동시키면 되고, 상기한 바와 같은 연마 장치(10)의 하우징(11)에 관한 상대적인 이동을 1회만(연마 테이프의 이동만) 행하면 되므로, 보다 고정밀도로 소정의 연마 테이프를 헤드 부재(H)로 돌기(Q)에 압박할 수 있다. 이로 인해, 연마 테이프를 위치 결정하기 전에 헤드 부재(H)를 위치 결정해 두는 것이 실용적으로는 바람직하다.

이하, 대표적으로, 제1 연마 테이프(33A)에 의한 돌기 연마에 대해 설명한다[제2 연마 테이프(33B)에 의한 돌기 연마도 이 제1 연마 테이프(33A)에 의한 돌기 연마와 마찬가지로 하여 행해지므로, 그 설명을 생략함].

도2의 (A) 및 도3의 (A)에, 상기한 바와 같이 하여 패널(P)의 표면의 돌 기(Q)의 바로 위로 위치 결정(부호 H1로 나타내는 위치)되어 있는 헤드 부재(H)의 바로 아래에 제1 연마 테이프(33A)가 위치 결정되어 있는 부분을 나타낸다. 여기서, 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B)는 도면을 향해 좌측에 있는 테이프 롤[도7, 도8, 도11 및 도12에 도시하는 제1 및 제2 공급 릴(31A, 31B)에 각각 장착한 테이프 롤]로부터 송출되어, 도면을 향해 우측에 있는 릴[도7, 도8, 도11 및 도12에 도시하는 제1 및 제2 권취 릴(32A, 32B)]에 권취된다.

헤드 부재(H)는 연마 헤드(20)의 리니어 슬라이드 기구[도4의 (A), 도4의 (B)에 부호 60, 60으로 나타냄]를 작동시킴으로써 화살표 Z1의 방향으로 하강하고, 도3의 (B)에 도시한 바와 같이 제1 연마 테이프(33A)를 하방으로 밀어 내린다. 이 때, 제1 연마 테이프(33A)는, 적합하게, 하강 중인 헤드 부재(H)에 의해, 도면을 향해 우측에 있는 제1 권취 릴로부터 화살표 X2의 방향으로 복귀된다.

도3의 (C)에 도시한 바와 같이 제1 연마 테이프(33A)가 헤드 부재(H)를 통해 패널(P) 표면의 돌기(Q)에 압박되면, 제1 연마 테이프(33A)는 도면을 향해 우측에 있는 제1 권취 릴에 권취되어 화살표 X1의 방향으로 주행하고, 이 때에 패널(P)의 표면 돌기(Q)가 연마된다.

연마 후, 헤드 부재(H)는 상기한 리니어 슬라이드 기구의 작동에 의해 화살표 Z2의 방향으로 상승한다. 이 때, 제1 연마 테이프(33A)는 헤드 부재(H)에 접촉하면서 화살표 X1의 방향으로 권취된다. 이 제1 연마 테이프(33A)의 권취는, 헤드 부재(H)가 화살표 X1의 방향으로 상승하여 헤드 부재(H)가 제1 연마 테이프(33A)로부터 이격된 시점에서 종료된다. 이와 같이 제1 연마 테이프(33A)를 권취함으로 써, 다음회의 연마시, 헤드 부재(H)에 의해 상기한 바와 같이 제1 연마 테이프(33A)가 밀려 내려가고, 제1 연마 테이프가 화살표 X2의 방향으로 복귀되었을 때, 제1 연마 테이프의 사용된 직후의 미사용 부분이 패널(P)의 표면에 압박되어, 제1 연마 테이프(33A)[제2 연마 테이프(33B)에 있어서도 동일]를 낭비없이 사용할 수 있다.

다음에, 도2의 (B)에 도시한 바와 같이 테이프 공급 유닛(30)(병렬 배치형의 것을 도7, 도8 및 도10에 부호 40으로 나타내고, 직렬 배치형의 것을 도11, 도12 및 도13에 부호 50으로 나타냄)을 화살표 Y의 방향으로 이동하여 마무리 연마용 제2 연마 테이프(33B)를 헤드 부재(H)의 바로 아래[즉, 돌기(Q)의 바로 위]로 위치 결정하고, 상기한 제1 연마 테이프(33A)와 마찬가지로 헤드 부재(H)에 의해 화살표 Z1의 방향으로 밀어 내려 패널(P) 표면의 돌기(Q)를 마무리 연마한다. 그 후, 제2 연마 테이프(33B)는 화살표 Z2의 방향으로 상승하는 헤드 부재(H)에 접촉하면서 화살표 X1의 방향으로 권취된다.

<연마 장치>

본 발명의 연마 장치(10)는, 도1에 관련하여 상술한 바와 같이, 천장판(12)과 바닥판(13) 사이에 형성되는 개구(14)를 갖는 하우징(11), 리니어 슬라이드 기구(60)에 의해 패널(P)의 표면과 수직인 방향(화살표 Z의 방향)으로 왕복 이동하는 헤드 부재(H)를 갖는 연마 헤드(20), 및 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B)를 구비하고, 이들 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B) 중 어느 한쪽의 연마 테이프를 주행시키는 테이프 공급 유닛(30)을 포함하고, 연마 헤드(20)는 헤드 부재(H)가 하우 징(11)의 개구(14) 전방측에서 패널(P)의 표면과 수직인 방향(화살표 Z의 방향)으로 왕복 이동 가능하게 하우징(11)의 천장판(12)의 상면에 설치되고, 테이프 공급 유닛(30)은 패널(P)의 표면과 평행한 방향(화살표 Y의 방향)으로 왕복 이동 가능하게 하우징(11)의 바닥판(13)의 상면에 리니어 슬라이드 기구(60)를 통해 설치되고, 이 리니어 슬라이드 기구(60)에 의해 테이프 공급 유닛(30)이 패널(P)의 표면과 평행한 방향(화살표 Y의 방향)으로 왕복 이동하여, 테이프 공급 유닛(30)의 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B) 중 어느 한쪽의 연마 테이프가 헤드 부재(H)의 바로 아래로 위치 결정된다.

<리니어 슬라이드 기구>

도6의 (A) 내지 도6의 (C)에 리니어 슬라이드 기구(60)를 도시한다. 도시한 슬라이드 기구(60)는 평판(61)의 표면에 평행하게 배열한 한 쌍의 곧은 레일(64, 65), 및 이들 레일(64, 65)에 슬라이드 가능하게 결합하는 슬라이드(또는 이송대)(66), 이 슬라이드(66)의 대략 중앙 부분을 똑바로 관통하는 나사 절삭 구멍에 나사 결합하고, 또한 레일(64, 65)과 평행하게 배열되는 곧은 나사(63), 및 이 나사(63)를 회전시키는 모터(62)로 구성된다. 이와 같은 리니어 슬라이드 기구(60)로서, 기지의 미끄럼 나사, 볼 나사[슬라이드(66)의 나사 절삭부 내에 작은 구(球)가 배열되어 있음] 등의 방식을 이용할 수 있지만, 적합하게 모터로서 서보모터를 사용한 볼 나사 방식이 이용된다.

도시한 슬라이드 기구(60)에서는, 모터(62)를 구동하면, 나사(63)에 나사 결합하고 있는 슬라이드(66)가 레일(64, 65)을 따라 똑바로 이동한다. 슬라이드(66) 의 이동 방향은 모터(62)의 회전 방향을 역으로 함으로써 바꿀 수 있다. 왕복 이동시킬 물체는 슬라이드(66)의 설치면(67)에 고정된다. 또한, 설치면(67)[즉, 슬라이드(66)]의 치수, 레일(64, 65)의 간격, 및 레일(64, 65)의 개수(도시한 예에서는 2개)는 설치면(67)에 설치되는 물체의 사이즈에 따라서 적절하게 변경할 수 있다.

여기서, 도6은 단순히 리니어 슬라이드 기구(60)[또는, 도4의 (B)에 부호 24로 나타내는 이동대를 고정한 슬라이드(66')를 화살표 Y의 방향으로 왕복 이동시키는 부호 60'로 나타내는 리니어 슬라이드 기구도 같음]의 일례를 나타낸 것에 지나지 않고, 도시한 모터(62)와 나사(63) 대신에, 예를 들어 피스톤 실린더를 사용하여 슬라이드(66)[또는, 도4의 (B)의 슬라이드(66')]를 이동시켜도 좋다.

<연마 헤드>

도4의 (A) 및 도4의 (B)에, 제1 또는 제2 연마 테이프(33A, 33B)를 패널(P)의 표면에 압박하는 헤드 부재(H)를 갖는 연마 헤드(20)를 도시한다.

도시한 연마 헤드(20)는 하우징(11)의 천장판(12)의 상면에 설치되는 전방측 판(22)을 갖고, 이 전방측 판(22)은 패널(P)의 표면과 수직인 수직면을 갖는다. 이 전방측 판(22)의 수직면 상에 설치된 리니어 슬라이드 기구(60)(도6)의 슬라이드(66)에 역L자형의 지지 부재(21)가 고정되고, 이 지지 부재(21)의 하단부에 헤드 부재(H)가 고정된다. 이 리니어 슬라이드 기구(60)에 의해 헤드 부재(H)가 패널(P)의 표면과 수직인 방향(화살표 Z의 방향)으로 왕복 이동한다.

전방측 판(22)은 도4의 (A)에 도시한 바와 같이 하우징(11)의 천장판(12)의 상면에 고정된다. 변형적으로, 연마 헤드(20)는 도4의 (B)에 도시한 바와 같이 패널(P)의 표면과 수직인 수직면을 갖는 전방측 판(22)과, 하우징(11)의 천장판(12)의 상면에 설치한 제1 리니어 슬라이드 기구(60')의 슬라이드(66')의 설치면에 고정되는 바닥판(23)으로 이루어지는 측면 L자형의 이동대(24)를 갖고, 이 이동대(24)의 전방측 판(22)의 수직면에 설치한 제2 리니어 슬라이드 기구(60)의 슬라이드(66)의 설치면에, 하단부에 헤드 부재(H)를 고정하고 있는 역L자형의 지지 부재(21)가 고정되고, 이 제2 리니어 슬라이드 기구(60)에 의해 헤드 부재(H)가 패널(P)의 표면과 수직인 방향(화살표 Z의 방향)으로 왕복 이동하고, 제1 리니어 슬라이드 기구(60')에 의해 헤드 부재(H)가 패널(P)의 표면과 평행한 방향(화살표 Y의 방향)으로 왕복 이동한다.

도3의 (A) 및 도3의 (B)에, 헤드 부재(H)의 선단부 부분(H')의 형상을 도시한다. 헤드 부재(H)의 선단부 부분(H')은 연마 테이프(33A, 33B)를 패널(P)의 표면에 점 접촉시키는 반구 형상의 외주면을 갖는 것[도3의 (A)]이라도 좋고, 선 접촉시키는 측면 포물선형의 외면을 갖는 것[도3의 (B)]이라도 좋다.

<센서 프로브>

도1에 도시한 바와 같이, 센서 프로브(S)는 적합하게 하우징(11)의 바닥판(13)의 전방측 단부에 고정되어, 하우징(11)과 일체가 되어 이동한다.

<테이프 공급 유닛>

테이프 공급 유닛(30)은 화살표 Y의 방향으로 왕복 이동 가능하게 리니어 슬라이드 기구(60)를 통해 하우징(11)의 바닥판(13)의 상면에 설치된다. 테이프 공 급 유닛(30)의 전방측 부분(30')에는, 도2에 도시한 바와 같이 2개의 연마 테이프(33A, 33B)를 화살표 X1, X2의 방향으로 주행할 수 있도록, 연마 테이프의 테이프 롤을 장착하는 두 개의 릴과, 연마 테이프를 권취하는 두 개의 릴이 각각 병렬(도7, 도8, 도10) 또는 직렬(도11, 도12, 도13)로 설치되어 있다.

<병렬 배치형 테이프 공급 유닛>

도7, 도8 및 도10에 병렬 배치형 테이프 공급 유닛(40)을 도시한다[이 유닛(40)은 상기한 부호 30으로 나타내는 테이프 공급 유닛으로서 사용되는 것임].

병렬 배치형 테이프 공급 유닛(40)은 리니어 슬라이드 기구(60)의 슬라이드의 설치면에 고정되는 바닥판(42)과, 이 바닥판(42) 전방측 단부에 패널(P)의 표면과 수직으로 고정된 평면 凹자형 전방측 판(41)으로 이루어지는 측면 대략 L자형의 이동대(43)를 갖는다. 이 전방측 판(41)은 패널(P)과 수직인 수직면을 갖고, 전방측 판(41)의 양측 부분(도면을 향해 우측과 좌측의 볼록 부분)의 수직면에 제1 연마 테이프(33A)로 이루어지는 제1 테이프 롤을 설치하는 제1 공급 릴(31A)과, 이 제1 테이프 롤의 제1 연마 테이프(33A)를 권취하는 제1 권취 릴(32A)이 설치된다. 또한, 전방측 판(41)의 중앙 부분의 수직면에, 제2 연마 테이프(33B)로 이루어지는 제2 테이프 롤을 설치하는 제2 공급 릴(31B)과, 제2 테이프 롤의 제2 연마 테이프(33B)를 권취하는 제2 권취 릴(32B)이 설치되고, 도시한 바와 같이 제1 공급 릴(31A), 제2 공급 릴(31B), 제2 권취 릴(32B) 및 제1 권취 릴(32A)이 전방측 판(41)의 수직면에 병렬 배치된다. 제1과 제2 연마 테이프(33A, 33B)는 도8에 도시한 바와 같이 평행하게 배열되고, 이들 릴(31A, 31B, 32A, 32B)은 전방측 판(41) 의 배면에 배치한 모터(M1, M2, M3, M4)에 각각 연결되어 이들 릴(31A, 31B, 32A, 32B)을 개별로 회전시킬 수 있고, 제1과 제2 연마 테이프(33A, 33B)를 화살표 X1 또는 X2로 나타내는 방향으로 적당하게 주행시킬 수 있다.

<가이드 롤러>

제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B)는 각각 도7, 도8, 도10에 도시한 바와 같이 가이드 롤러(G1, G2, G3, G4, G5, G6)의 외면 상에 접촉하면서 주행하지만, 헤드 부재(H)에 대한 제1 또는 제2 연마 테이프(33A, 33B)의 위치 어긋남을 방지하기 위해 각 가이드 롤러(G1 내지 G6)에는 도9에 도시한 바와 같이 가이드 홈(G')이 형성되어 있다. 이들 가이드 홈(G')의 폭은 각각 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B)와 실질적으로 동일한 폭으로 되어 있다[또, 도9에는 대표적으로 가이드 롤러(G1)의 측면도가 도시되어 있지만, 다른 가이드 롤러(G2 내지 G6)도 도시한 가이드 롤러(G1)와 같은 형상임].

도시한 예에서는, 제1 및 제2 공급 릴(31A, 31B)을 동일측(도면을 향해 좌측)에 배치하고 있지만, 이들 공급 릴(31A, 31B)을 서로 다른 측에 배치해도 좋다. 예를 들어 제1 공급 릴(31A)을 도면을 향해 좌측에 배치하고, 제2 공급 릴(31B)을 도면을 향해 우측에 배치하고, 제1과 제2 연마 테이프(33A, 33B)를 권취하는 방향을 정반대로 해도 좋다. 이 경우, 이들 연마 테이프(33A, 33B)로서, 각각 동일한 테이프(초벌 연마용 또는 마무리 연마용)의 것을 이용하여, 제1 연마 테이프(33A)를 제1 방향(도3에 화살표 X1로 나타내는 방향)으로 권취하여(즉, 주행시켜) 패널(P)의 표면의 돌기(Q)를 연마한 후에, 제2 연마 테이프(33B)를 제1 방향과 반대 의 제2 방향(도3에 화살표 X2로 나타내는 방향)으로 권취하여(즉, 주행시켜) 상기의 돌기(Q)를 재연마할 수 있다.

또한, 도시한 예에서는, 제1 및 제2 공급 릴(31A, 31B)은 각각 테이프 공급 유닛(40)의 전방측 판(41)의 배면측에 배치한 모터(M1, M2)에 연결되어 있지만, 이들 공급 릴(31A, 31B)은 모터(M1, M2)에 연결시키지 않고, 회전 가능한 상태가 되도록 테이프 공급 유닛(40) 전방측 판(41)에 설치해도 좋다. 이 경우, 연마 장치(10)의 연마 동작 중, 헤드 부재(H)로 제1 또는 제2 연마 테이프(33A, 33B)를 밀어 내리고 있을 때, 제1 또는 제2 연마 테이프(33A, 33B)는 제1 또는 제2 공급 릴(31A, 31B)로부터 인출된다. 그리고, 패널(P)의 표면의 돌기(Q)를 연마한 후, 제1 또는 제2 연마 테이프(33A, 33B)는 상승하는 헤드 부재(H)에 접촉하면서 제1 또는 제2 권취 릴(32A, 32B)에 권취된다[즉, 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B)는 화살표 X1의 방향으로만 송출되어 권취됨].

<직렬 배치형 테이프 공급 유닛>

도11, 도12 및 도13에 직렬 배치형 테이프 공급 유닛(50)을 도시한다[이 유닛(50)은 상기한 부호 30으로 나타내는 테이프 공급 유닛으로서 사용되는 것임].

직렬 배치형의 유닛(50)은 패널(P)의 표면과 수직인 수직면을 갖는 전방측 판(51)과, 하우징(11)의 바닥판(13)의 상면에 설치한 리니어 슬라이드 기구(60)의 슬라이드(66)의 설치면에 고정되는 바닥판(52)으로 이루어지는 측면 대략 L자형의 이동대(53)를 갖는다.

전방측 판(51)의 수직면에 제1 연마 테이프(33A)로 이루어지는 제1 테이프 롤을 설치하는 제1 공급 릴(31A)과, 제2 연마 테이프(33B)로 이루어지는 제2 테이프 롤을 설치하는 제2 공급 릴(31B)이, 전방측 판(51)과 보조판(54', 55', 56') 사이에 전방측 판(51)의 배면에 설치한 제1 모터(M5)의 축과 동축으로 직렬로 설치된다.

또한, 전방측 판(51)의 수직면에 제1 테이프 롤의 제1 연마 테이프(33A)를 권취하는 제1 권취 릴(32A)과, 제2 테이프 롤의 제2 연마 테이프(33B)를 권취하는 제2 권취 릴(32B)이, 전방측 판(51)과 보조판(54, 55, 56) 사이에 전방측 판(51)의 배면에 설치한 제2 모터(M6)의 축(58)과 동축으로 직렬로 설치되고, 제1 공급 릴(31A)과 제2 공급 릴(31B), 및 제1 권취 릴(32A)과 제2 권취 릴(32B)이 각각 전방측 판(51)의 수직면에 직렬 배치된다.

제1 공급 릴(31A)과 제2 공급 릴(31B)은 각각 클러치 기구를 통해 제1 모터(M5)의 축에 연결되고, 제1 권취 릴(32A)과 제2 권취 릴(32B)은 각각 클러치 기구(70, 70')를 통해 제2 모터(M6)의 축(58)에 연결된다[제1 공급 릴(31A)과 제2 공급 릴(31B)을 직렬로 연결하는 클러치 기구는, 부호 70, 70'로 나타내는 것과 동일한 것임].

각 릴(31A, 31B, 32A, 32B)에의 모터(M5, M6)의 동력의 전달은 각 클러치 기구에 의해 개별로 제어할 수 있다. 즉, 이들 클러치 기구에 의해 각 릴을 개별로 회전시킬 수 있고, 제1과 제2 연마 테이프(33A, 33B)를 화살표 X1 또는 X2로 나타내는 방향으로 적절하게 주행시킬 수 있다.

<클러치 기구>

이와 같은 클러치 기구로서, 전자기 클러치, 유체 클러치 등의 기지의 클러치 기구를 이용할 수 있고, 전기적으로 클러치의 작동을 제어할 수 있는 전자기 클러치가 적합하다.

도14에 상기한 클러치 기구로서 이용되는 전자기 클러치를 예시하고, 전자기 클러치에 의한 모터의 동력의 전달의 제어에 대해 간단히 설명한다[여기서, 대표적으로, 도14에 부호 70으로 나타내는 클러치 기구에 전자기 클러치를 이용한 경우에 대해 설명하지만, 각 릴의 회전을 제어하기 위한 전자기 클러치(부호 70'로 나타내는 클러치 기구 등)도 여기서 간단히 설명하는 전자기 클러치(70)와 동일한 구성임].

전자기 클러치(70)는 도시한 바와 같이 내부에 코일(72)을 형성한 중공 원통형의 필드 코어(71)를 갖는다. 이 필드 코어(71)는 테이프 공급 유닛(50)의 전방측 판(51)에 고정되고, 코일(72)은 외부 전원에 접속되어 있고, 외부 전원의 스위치의 온ㆍ오프에 의해 코일(72)에의 전류가 인가되어 컷트된다.

중공 원통형의 필드 코어(71)의 중공 부분에는 모터(M6)의 축(58)이 관통하고 있다. 이 모터(M6)의 축(58)에는, 도시한 바와 같이 단면 대략 역ㄷ자형의 로터(73)가 고정되어 있고, 이 로터(73)는 모터의 축(58)과 일체적으로 회전한다.

릴(32B)은 보조판(55)에 고정한 중공 원통형의 지지통(79)의 외주면에 회전 가능하게 지지되어 있다. 모터의 축(58)은 이 지지통(79)의 중공 부분을 관통하고 있다.

릴(32B)의 모터(M6)의 측에는, 도시한 바와 같이 외치(75')를 갖는 중공 원 통형의 기어(75)가 고정되어 있고, 이 외치 기어(75)도 지지통(79)의 외주면에 릴(32B)과 일체적으로 회전 가능하게 지지되어 있다.

이 외치 기어(75)의 외치(75')에 결합하는 내치(74')를 갖는 단면 대략 역ㄷ자형의 중공 원통형의 아마츄어(74)가 도시한 바와 같이 스프링(76)을 통해 외치 기어(75)에 연결되어 있다. 이 아마츄어(74)의 내치(74')는 릴(32B)에 고정한 외치 기어(75)의 외치(75')에 모터의 축(58) 방향으로 슬라이드 가능하게 결합한다. 그리고, 아마츄어(74)는 스프링(76)의 스프링력에 의해 항상 릴(32B)에 고정된 외치 기어(75)의 측에 근접해 있다.

아마츄어(74)와 로터(73) 사이에는 약간의 간극이 형성되어 있고, 코일(72)에 통전하면, 아마츄어(74)가 스프링력에 대항하여 로터(73)의 측에 흡인되어, 아마츄어(74)의 모터(M6)의 측의 외주면에 형성되어 있는 맞물림 치(78)가 로터(73)의 릴(32B) 측의 외주면에 형성되어 있는 맞물림 치(77)에 맞물리고, 로터(73)와 함께 아마츄어(74)가 회전하여 아마츄어(74)의 내치(74')에 결합하고 있는 외치 기어(75)를 고정하고 있는 릴(32B)이 회전한다. 코일(72)에의 통전을 컷트하면, 스프링력에 의해 아마츄어(74)와 로터(73)의 맞물림이 해제되어 릴(32B)의 회전이 정지한다.

<가이드 롤러>

직렬 배치형 테이프 공급 유닛(50)에 있어서, 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B)는 각각 도11, 도12에 도시한 바와 같이 가이드 롤러(G7, G8, G9, G10)의 외면 상에 접촉하면서 주행하지만, 헤드 부재(H)에 대한 제1 또는 제2 연마 테이프(33A, 33B)의 위치 어긋남을 방지하기 위해 상기한 병렬 배치형의 유닛(40)과 마찬가지로, 각 가이드 롤러(G7 내지 G10)에는 도9에 도시하는 가이드 롤러(G1)와 마찬가지로 가이드 홈(G')이 형성되어 있다. 이들 가이드 홈(G')의 폭은 각각 제1 및 제2 연마 테이프(33A, 33B)와 실질적으로 같은 폭으로 되어 있다.

도시한 예에서는, 제1 및 제2 공급 릴(31A, 31B)을 동일한 측(도면을 향해 좌측)에 직렬 배치하고 있지만, 이들 공급 릴(31A, 31B)을 서로 다른 측에 배치해도 좋다. 예를 들어 제1 공급 릴(31A)을 도면을 향해 좌측에 배치하고, 제2 공급 릴(31B)을 도면을 향해 우측에 배치하고, 제1과 제2 연마 테이프(33A, 33B)를 권취하는 방향을 정반대로 해도 좋다. 이 경우, 이들 연마 테이프(33A, 33B)로서, 각각 동일한 타입(초벌 연마용 또는 마무리 연마용)의 것을 이용하여, 제1 연마 테이프(33A)를 제1 방향(도3에 화살표 X1로 나타내는 방향)으로 권취하여(즉, 주행시켜) 패널(P)의 표면의 돌기(Q)를 연마한 후에, 제2 연마 테이프(33B)를 제1 방향과 반대의 제2 방향(도3에 화살표 X2로 나타내는 방향)으로 권취하여(즉, 주행시켜), 상기한 돌기(Q)를 재연마할 수 있다.

또한, 도시한 예에서는, 제1 및 제2 공급 릴(31A, 31B)과 제1 및 제2 권취 릴(32A, 32B)이 각각 클러치 기구(70, 70')에 연결되어 있지만, 공급 릴(31A, 31B) 또는 권취 릴(32A, 32B) 중 어느 한쪽의 릴에 클러치 기구를 형성해도 좋다. 예를 들어, 제1 및 제2 권취 릴(32A, 32B)을 클러치 기구(70, 70')로 직렬로 연결하고, 제1 및 제2 공급 릴(31A, 31B)을 테이프 공급 유닛(50)의 전방측 판(51)에 회전 가능하게 직렬 또는 상기한 병렬 배치형 테이프 공급 유닛(40)과 같이 요철면을 갖는 전방측 판을 사용하여 병렬적으로 설치해도 좋다. 또한, 이 경우, 제1 및 제2 공급 릴(3lA, 31B)은 상기한 병렬 배치형 테이프 공급 유닛(40)과 같이 테이프 공급 유닛(50) 전방측 판(51)에 상기한 바와 같이 병렬적으로 설치하고, 요철면을 갖는 전방측 판의 배면측에 배치한 모터에 연결해도 좋다.

본 발명이 이상과 같이 구성되므로, 한 대의 연마 장치에 2 종류의 연마 테이프를 구비할 수 있고, 이에 의해 연마 테이프를 교환하는 수고를 없애고, 단시간에 또한 저렴한 비용으로 요구되는 마무리면으로 패널을 연마할 수 있는 효과를 발휘한다.

Claims (5)

1. 패널의 표면을 연마하기 위한 연마 장치이며,

   천장판과 바닥판 사이에 형성되는 개구를 갖는 하우징과,

   리니어 슬라이드 기구에 의해 패널의 표면과 수직인 방향으로 왕복 이동하는 헤드 부재를 갖는 연마 헤드와,

   제1 및 제2 연마 테이프를 구비하고, 이들 제1 및 제2 연마 테이프 중 어느 한쪽의 연마 테이프를 주행시키는 테이프 공급 유닛을 포함하고,

   상기 헤드 부재가 상기 하우징의 개구의 전방측에서 패널의 표면과 수직인 방향으로 왕복 이동 가능하게, 상기 연마 헤드가 상기 하우징의 천장판의 상면에 설치되고,

   상기 테이프 공급 유닛이 패널의 표면과 평행한 방향으로 왕복 이동 가능하게, 상기 하우징의 바닥판의 상면에 리니어 슬라이드 기구를 통해 설치되고,

   이 리니어 슬라이드 기구에 의해 상기 테이프 공급 유닛이 패널의 표면과 평행한 방향으로 왕복 이동하여 상기 테이프 공급 유닛의 상기 제1 및 제2 연마 테이프 중 어느 한쪽의 연마 테이프가 상기 헤드 부재의 바로 아래로 위치 결정되는 연마 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 연마 헤드가 상기 하우징의 천장판의 상면에 설치되는 전방측 판을 갖고,

   상기 전방측 판이 패널의 표면과 수직인 수직면을 갖고, 이 전방측 판의 수직면에 리니어 슬라이드 기구를 통해 상기 헤드 부재가 설치되고, 이 리니어 슬라이드 기구에 의해 상기 헤드 부재가 패널의 표면과 수직인 방향으로 왕복 이동하는 연마 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 연마 헤드가 패널의 표면과 수직인 수직면을 갖는 전방측 판과, 제1 리니어 슬라이드 기구를 통해 상기 하우징의 상면에 설치되는 바닥판으로 이루어지는 측면 L자형의 이동대를 갖고,

   상기 이동대의 전방측 판의 수직면에 제2 리니어 슬라이드 기구를 통해 상기 헤드 부재가 설치되고, 이 제2 리니어 슬라이드 기구에 의해 상기 헤드 부재가 패널의 표면과 수직인 방향으로 왕복 이동하고,

   상기 제1 리니어 슬라이드 기구에 의해 상기 헤드 부재가 패널의 표면과 평행한 방향으로 왕복 이동하는 연마 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 테이프 공급 유닛이 병렬 배치형 테이프 공급 유닛이며,

   이 병렬 배치형 테이프 공급 유닛이,

   패널의 표면과 수직인 수직면을 갖는 평면 凹자형의 전방측 판과, 상기 하우징의 바닥판의 상면에 상기 리니어 슬라이드 기구를 통해 설치되는 바닥판으로 이루어지는 측면 대략 L자형의 이동대를 갖고,

   상기 전방측 판의 양측 부분의 수직면에 제1 연마 테이프로 이루어지는 제1 테이프 롤을 설치하는 제1 공급 릴과, 상기 제1 테이프 롤의 상기 제1 연마 테이프를 권취하는 제1 권취 릴이 설치되고, 상기 전방측 판의 중앙 부분의 수직면에 제2 연마 테이프로 이루어지는 제2 테이프 롤을 설치하는 제2 공급 릴과, 상기 제2 테이프 롤의 상기 제2 연마 테이프를 권취하는 제2 권취 릴이 설치되어, 상기 제1 공급 릴, 제2 공급 릴, 제2 권취 릴 및 제1 권취 릴이 상기 전방측 판의 수직면에 병렬 배치되고,

   상기 병렬 배치형 테이프 공급 유닛이,

   상기 제1 연마 테이프를 상기 제1 권취 릴로 권취하기 위해 상기 제1 권취 릴을 회전시키기 위한 수단과, 상기 제2 연마 테이프를 상기 제2 권취 릴로 권취하기 위해 상기 제2 권취 릴을 회전시키기 위한 수단을 더 갖는 연마 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 테이프 공급 유닛이 직렬 배치형 테이프 공급 유닛이며,

   이 직렬 배치형 테이프 공급 유닛이,

   패널의 표면과 수직인 수직면을 갖는 전방측 판과, 상기 하우징의 바닥판의 상면에 상기 리니어 슬라이드 기구를 통해 설치되는 바닥판으로 이루어지는 측면 대략 L자형의 이동대를 갖고,

   상기 전방측 판의 수직면에 제1 연마 테이프로 이루어지는 제1 테이프 롤을 설치하는 제1 공급 릴과, 상기 제1 테이프 롤의 상기 제1 연마 테이프를 권취하는 제1 권취 릴이 상기 전방측 판의 배면에 설치한 제1 모터의 축과 동축으로 직렬로 설치되고, 상기 전방측 판의 수직면에 제2 연마 테이프로 이루어지는 제2 테이프 롤을 설치하는 제2 공급 릴과, 상기 제2 테이프 롤의 상기 제2 연마 테이프를 권취하는 제2 권취 릴이 상기 전방측 판의 배면에 설치한 제2 모터의 축과 동축으로 직렬로 설치되고, 상기 제1 공급 릴과 상기 제2 공급 릴, 및 상기 제1 권취 릴과 상기 제2 권취 릴이 각각 상기 전방측 판의 수직면에 직렬 배치되고,

   상기 제1 공급 릴이 제1 클러치 기구를 통해 상기 제1 모터의 축에 연결되고,

   상기 제2 공급 릴이 제2 클러치 기구를 통해 상기 제1 모터의 축에 연결되고,

   상기 제1 권취 릴이 제3 클러치 기구를 통해 상기 제1 모터의 축에 연결되고,

   상기 제2 권취 릴이 제4 클러치 기구를 통해 상기 제2 모터의 축에 연결되는 연마 장치.

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