TW200539238A - Lithographic apparatus and device manufacturing method - Google Patents

Description

200539238 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種微影裝置及元件製造方法。 【先前技術】 微影裝置係-種將所要圖案施加至一基板之目標部分上 之機器。微影裝置可用於製造(例如)積體電路⑽、平板顯 示器及包含精細結構之其它元件。在一習知微影裝置中， 圖案化構件(或者稱作光罩或主光罩)可用於產生一對應於 1C(或其它元件）之個別層的電路圖案，且此圖案可成像至一 具有-層輻射敏感材料(例如，抗蝕劑)之基板(例如，矽晶 圓或玻璃板）之一目標部分（例如，包括一或幾個晶粒之部 分）上。該圖案化構件可包含-用於產生電路圖案之個別可 控組件之陣列，而不是光罩。 般。之，單個基板將含有被相繼曝光之相鄰目標部分 之-網絡。已知之微影裝置包括步進器與掃描儀。在步進 2中，藉ώ —次性地將整個®㈣光至目標部分上來照射 每一目標部分。在掃描儀中，藉由在一給定方向（“掃描” 方向）上經由投影光束掃描該圖案同時平行或反平行於此 方向同步掃描該基板來照射每一目標部分。 種使用包括個別可控組件陣列（例如，栅狀光閥） 之圖案化7C件之微影裝置。詳言之，已知一種微影裝置， 其中每一該等個別可控組件均為繞射光學MEMS元件。每一 繞射光學MEMS元件可包括複數個反射條帶。交替的條帶可 相對於其餘條帶變形，以使未變形之條帶形成-格栅（例 99430.doc 200539238 如，罐柵)。因此’在未變形狀態下，繞射光學_ 元件充當-反射入射光的平板反射器。在變形狀態下，繞 射光學MEMS元件充當一格柵，且入射光受到繞射。％ 使用適當的空間過濾器，可將未繞射之光（即，自充當平 坦反射器之繞射光學MEMS元件反射的光）由自該陣列返回 的輻射光束濾除，僅留有繞射光到達基板。以此方式，根 據繞射光學MEMS兀件之陣列的定址圖案將光束圖案化。^ 吊，該陣列係可使用適合的電子構件加以矩陣定址。

然而，因為每一元件僅能夠控制導向至基板之一部分上 的輻射之強度且不能相對於相鄰元件之輻射調整該輻射之 相位’所以繞射光學MEMS元件之用途有限。 【發明内容】 本發明之實施例提供個別可控組件之一陣列，其可圖案 化一具有對比度及相位資訊之輻射光束。 本發明之一實施例提供一用於圖案化一輻射光束之圖案 化陣列’其包括複數個個別可控組件。該個別可控組件各 自包括一列大體上平行之平坦反射器及一致動器系統，該 致動器系統用於在一大體上垂直於該等反射器之致動方向 内設定該等反射器之位置。該致動器系統可設定第一組一 或多個反射器在致動方向内距該圖案化陣列之基底第一複 數個距離，且該致動器系統可設定第二組一或多個反射器 (獨立於該第一組）在致動方向内距該基底第二複數個距離。 因此，藉由獨立地致動兩組反射器，不僅可能在垂直於 反射器的距離上控制反射器之間的間距，從而控制輻射被 99430.doc -6 - 200539238 反射還是繞射(且從而控制已自其過濾了反射或繞射輻射 的圖案化輕射光束之對比度）’而且可能相對於圖案化陣列 之基底控制所有該等反射器之位置。此使得能夠相對於相 鄰個別可控組件控制自每一個別可控組件反射/繞射之輻 射的相位。因此，可使用此種圖案化陣列來圖案化一具有 對比度及相位資訊之輻射光束。 杈佳地，該列中交替的反射器在第一組反射器中，其餘 的反射器在第二組中。因此，藉由設定第一組反射器距圖 案化陣列之基底的距離不同於第二組反射器，形成了一繞 射入射輕射的格栅。在一較佳配置中，每一個別可控組件 包括一列六個平坦反射器，三個在第一組中且三個在第二 組中。在另一較佳配置中，該列中相鄰反射器之間的間距 大體上為待圖案化之光束中輻射波長的四分之一。本發明 者考慮到許多其它組合。 致動器糸統可經配置以使第一及第二複數個距離中至少 一者為至少三個不同距離。因此，可將反射器組之間的距 離及/或反射器距基底之距離（換言之，對比度控制及相位控 制中至少一者）設定為至少三個設定值之一。因此，除提供 對比度及相位控制外，個別可控組件還可提供相位及對比 度控制中至少一者的中間級。較佳地，個別可控組件可提 供相位及對比度二者的多個中間級。此能力可用於提供對 產生於基板上之圖案的更好控制。 對第一及第二複數個距離中至少一者的控制可包括提供 一連續範圍的值。此又可提供對由個別可控組件產生之相 99430.doc 200539238 位及/或對比度的連續控制。 致動恭系統可經組態以獨立地調整第一及第二組中至少 者内的母"亥專反射器之位置。此可係為增加可用對比 度、提供進一步的成像效果及/或對每一個別可控組件之相 位及對比度之增強的校正控制所要的。然而，應理解，對 每一反射器之獨立控制可增加致動器系統及/或控制該致 動器系統之控制系統的複雜度。 本發明之另一實施例提供一微影裝置，其包括一用於供 給一投影輻射光束之照明系統、一如上所述之用於圖案化 該投影光束之圖案化陣列、一用於支撐一基板的基板台及 一用於將該圖案化光束投影至該基板之一目標部分上的投 影系統。 較佳地，該微影裝置亦包括一聚焦組件陣列，每一該等 聚焦組件將來自照明系統之輻射光束之一部分聚焦於圖案 化陣列中之該等個別可控組件之一的平坦反射器上。因 此’輪射僅被導向至個別可控組件之作用中部分上，即可 經調整以控制輻射之相位及對比度的部分。因此，對所得 圖案化光束之相位及對比度之控制得到改良。 聚焦組件陣列中之每一該等聚焦組件亦可收集自其相關 個別可控組件反射及/或繞射之輻射且將其導向至投影系 統中。因此，在投影至基板上之所得圖案化光束中，來自 相鄰個別可控組件之輻射彼此相鄰地投影至基板上。若個 別可控組件之鬆散包裝陣列被直接成像至基板上，則不是 此種情況。在後一情況中，來自相鄰個別可控組件之輻射 99430.doc 200539238 將於非郇接位置處投影至基板上。因此，使用聚焦組件陣 列使肖b夠有效地使用相鄰個別可控組件之相位控制。舉例 而言’其可用於在空間影像中提供改良之對比度，從而增 加可被印刷之解析度。 本發明之又一實施例提供一元件製造方法，其包括以下 步驟··提供-基板、使用—照㈣統提供—投影輻射光束、 使用一圖案化陣列在該投影光束之橫截面上賦予該投影光 束一圖案，及將經圖案化之輻射光束投影至該基板之一目 標部分上。圖案化陣列包括複數個個別可控組件，其各自 包括一列大體上平行之平坦反射器及一用於在一大體上垂 直於該等反射器之致動方向内設定該等反射器之位置的致 動器系統。對於每一個別可控組件而言，致動器系統係用 於將第一組一或多個反射器設定於在致動方向内距圖案化 陣列之基底的第一複數個距離中之一所要距離；且將第二 組一或多個反射器（獨立於該第一組）設定於在致動方向内 距基底的第二複數個距離中之一所要距離。 【實施方式】 如此處所用之術語，，個別可控組件之陣列”應被廣泛地解 釋為任何可用於給予一入射輻射光束一圖案化橫截面之構 件，以使可在基板之目標部分内創造一所要圖案。術語，，光 閥”柵狀光閥"及"空間光調變器”（SLM)亦可用於本文 中。此等圖案化構件之實例可包括以下構件。 應理解，在使用例如性質預偏置、光學接近修正性質、 相位變換技術及多次曝光技術處，”顯示”於個別可控組件 99430.doc 200539238 陣列上之圖案可貫質上不同於最終轉移至基板之一層或基 板上之圖案。類似地，最終產生於基板上之圖案可不對應 於在任何瞬間形成於個別可控組件陣列上之圖案。此可為 一其中在給定時間週期或給定曝光次數内建置形成於基板 之每一部分上之最終圖案的配置之情況，在該給定之時間 週期或給定之曝光次數期間，個別可控組件陣列上之圖案 及/或基板之相對位置會變化。 儘管在本文中可特定參考微影裝置在1(：製造中之使用， 但是應理解，本文中所述之微影裝置可具有其它應用，諸 如製造積體光學系統、用於磁域記憶體之導引及倩測圖 案、平板顯示器、薄膜磁頭等。熟習此項技術者應理解， 在該等替代應用之情形中，本文中術語”晶圓，，或"晶粒”之任 何使用均可被認為分別與更一般性術語”基板”或”目標部 为同義。本文中所指之基板可在曝光前或曝光後，在（例 如）一執道（一通常將一抗蝕劑層塗覆至一基板上且顯影經 曝光之抗#劑的工具）或一度量或檢測工具中受處理。在適 用處’可將本文中之揭示内容應用於該等及其它基板處理 工具。另外，可不止一次處理該基板（例如為了創造一多層 1C)，以使本文中所用之術語基板亦可指已含有多個經處理 層之基板。 本文中所用之術語”輻射”及”光束”涵蓋所有類型之電磁 輻射，包括紫外（UV)輻射（例如，波長為365 nm、248 nm、 193nm、157nm或126nm)及遠紫外（EUV)輻射（例如，波長 在5-20 nm範圍内），以及諸如離子束或電子束之粒子束。 99430.doc -10 - 200539238 本文中所用之術語，，投影系統”應被廣泛地解釋為涵蓋各 種類型之投影系統，包括折射光學系統、反射光學系統及 反射折射混合光學系統，舉例來說譬如適於所用曝光輻射 者’或是合乎其他因子譬如一浸沒流體之使用或一真空之 使用者。本文中術語”透鏡，，的任何使用可被認為與更一般 性術語”投影系統，，同義。 照明系統亦可涵蓋各種類型之光學器件，包括用於導 _ 向γ成型或控制投影輻射光束之折射、反射及折射反射混 合光學器件，且下文中亦可將該等組件統稱為或單獨稱為，， 透鏡π。 該微影裝置可為具有兩個（雙平臺）或兩個以上基板台（及 /或兩個或兩個以上之光罩台）的類型。在該等”多平臺"機器 中 了並行地使用額外台，或可在一或多個臺上進行預備 步驟，同時使用一或多個其它台來進行曝光。 微影裝置亦可為-其中基板浸沒於—具有相對較高折射 • 率之液體（例如，水）以填充投影系統之最後組件與基板之間 的空間之類型。浸沒液體亦可應用於微影裝置中之其它空 間，例如，光罩與投影系統之第一組件之間的空間。浸沒 技術由於增加投影系統之數值孔徑而為此項技術中所熟 知。 …、 微影投影裝置 圖1圖解描繪根據本發明之一實施例的微影投影裝置 100。裝置100包括至少-輻射系統102(例如，EX、IL(例如， IN CO等）等）、個別可控組件之—陣列p讀1〇4、— 99430.doc 200539238

載物台WT 106(例如，基板台彳;^ L

、 敉σ )及一投影系統（，，透鏡，，）PL 108 ° 輕射系統1〇2可用於供給輻射（例如，uv輕射）之投影光束 PB m，其在此特殊情況下亦包含—輻射源以112。 個別可控組件陣列104(例如，可程式化鏡面陣列）可用於 施加-圖案至投影光束11〇。-般言之，個別可控組件陣列 104之位置可相對於投影系統1〇8固定。然而，在一替代配 置中，個別可控組件陣列104可連接至一用於將其相對於投 影系統108精確定位之定位元件（未圖示）。如此處所述，個 別可控組件陣列104係反射類型（例如，具有個別可控組件 之反射陣列）。 載物台106可具有一基板固持器（未具體顯示），其用於固 持基板W 114(例如，塗有抗蝕劑之矽晶圓或玻璃基板），且 載物台106可連接至用於相對於投影系統1〇8精確定位基板 114之定位元件PW 116。 • 投影系統（例如，透鏡）108(例如，石英及/或Cap2透鏡系 統或包含由此等材料製成之透鏡組件的反射折射混合系 統，或一鏡面系統）可用於將自光束分裂器1丨8接收到之圖 案化光束投影至基板114之目標部分C 120(例如，一或多個 晶粒）上。投影系統1 08可將個別可控組件陣列1 〇4之影像投 影至基板114上。或者，投影系統1〇8可投影次級源之影像， 個別可控組件陣列104之該等組件充當其擋板。投影系統 108亦可包含一微透鏡陣列（MLA)以形成次級源並將微光 斑（microspot)投影至基板114上。 99430.doc -12- 200539238 該源112(例如，準分子雷射器）可產生一輻射光束122。此 光束122直接或在其穿過調節元件126(諸如光束放大器Εχ) 後被饋入一照明系統（照明器）IL 124中。照明器124可包含 用於又疋光束122中之強度分佈之外部及/或内部徑向範圍 (通常分別稱作σ外及σ内）的調整元件AM 128。另外，照明 器124—般將包含多種其它器件，諸如積光器mi3〇及聚光 器CO 132。以此方式，照射在個別可控組件陣列1〇4上之光 束110在其橫截面上具有所要的均勻性及強度分佈。 參看圖1，應注意源112可在微影投影裝置1〇〇之外殼内 (例如，當源112為汞燈時經常為此種情況）。在一替代實施 例中，源112亦可遠離微影投影裝置1〇〇。在此情況下，輻 射光束122將被導入裝置100中（例如，借助於適合的導向 鏡）。當該源112為準分子雷射器時，經常為後一假定的情 況。應理解，此等假定二者均涵蓋於本發明之範疇内。 光束110在使用光束分裂器118導向後隨後與個別可控組 件陣列1 04相交。經個別可控組件陣列丨〇4反射，光束丨丨〇穿 過投影系統108 ’其將光束11 〇聚焦至基板1丨4之目標部分 120 上。 借助於定位元件116(及底板BP 136上之可選干涉量測元 件IF 134，其接收經過光束分裂器ι4〇之干涉光束138)，可 精確地移動基板台106以在光束110之路徑中定位不同的目 標部分120。在被使用的情況下，個別可控組件陣列1〇4之 疋位元件可用於（例如）在掃描期間相對於光束丨丨〇之路徑精 確修正個別可控組件陣列104之位置。一般言之，借助於一 99430.doc -13· 200539238 長衝程模組（粗定位）及一短衝程模組（精定位）來實現載物 台106之移動，該等模塊未於圖1中明確描繪。亦可使用一 類似系統來定位個別可控組件陣列1 〇4。應理解，投影光束 110係其它/另外可移動的而載物台106及/或個別可控組件 陣列104可具有固定位置，以提供所需之相對移動。 在本發明之一替代組態中，可固定基板台1〇6，而基板114 可在基板台106之上移動。在完成此的情況下，基板台1〇6 在一平坦的最上部表面上具有多個開孔，氣體饋通該等開 孔以提供一能夠支撐基板114之氣墊。此通常稱為空氣承載 配置。使用一或多個致動器（未圖示）在基板台1〇6上移動基 板114，该等致動器能夠相對於光束丨丨〇之路徑精確定位基 板114。或者，可藉由選擇性地開始及停止氣體通過該等開 孔來在基板台106上移動基板114。 儘管根據本發明之微影裝置100在本文中被描述為用於 曝光基板上之抗蝕劑，但是應理解，本發明不限於此用途 • 且該裝置100可用於投影一圖案化的投影光束110以供無抗 餘劑微影術中使用。 所述之裝置100可以四種較佳模式來使用： L步進模式：將個別可控組件陣列104上的整個圖案一次 (即’早一’’快閃”）投影至一目標部分120上。接著在X及/ 或y方向内將基板台1G6移動至_不同位置，以使不同目標 部分120由光束110所曝光。 2.掃描模式：除並非在單-快閃中曝光給定的目標部分 之外4模式基本與步進模式相同。相反，個別可控組 99430.doc -14- 200539238 件陣列104可在-給定方向（所謂的，，掃描方向"，例如^方向） 上以速度v移動，以使得投影光束]1〇掃描過整個個別可控 組件陣列1〇4。同時，基板台1〇6同時以速度v=Mv在相^ 或相反方向内移動，其中M為投影系統1〇8之放大倍率。以 此方式’可曝光相對大之目標部分12〇而不必犧牲解析度。 3·脈衝模式··個別可控組件陣列1〇4基本保持固定且使用 一脈衝輻射系統102將整個圖案投影至基板114之一目標部 分120上。基板台106以一基本恆定之速度移動，以使得投 影光束11〇掃描過基板106上之一行。個別可控組件陣列 上之圖案可在輻射系統1〇2之脈衝之間按需要更新，且該等 脈衝經定時以使得連續的目標部分12〇曝光於基板114之所 需位置處。因此，投影光束110可掃描過基板114，從而為 基板114之一區帶曝光整個圖案。重複該製程直至整個基板 114已被逐行曝光。 4·連續掃描模式··除使用一大體上恆定之輻射系統1〇2 外’该模式基本與脈衝模式相同，且個別可控組件陣列i 〇4 上之圖案在投影光束11〇掃描過基板114並將其曝光時更 新。 亦可採用上述使用模式之組合及/或變體或完全不同的 使用模式。 例示性個別可控組件 圖2描繪根據本發明之一實施例之個別可控組件10。舉例 而言’在一實施例中，一柵狀光閥可用作個別可控組件1〇。 可在以全文引用的方式併入本文中之美國專利第 99430.doc -15- 200539238 5,661，592，號中找到對柵狀光閥之—般性概述。柵狀光閥具 有複數個反射表面u、12、13、14、15及16，其反射照明 系統102所提供之輻射。纟射表面1M6可為長條且可相互 相鄰排列以形成-列。‘然而應理解，除長條之外亦可使用 其它形狀。反射表面可排列成大體上彼此平行。在第一位 置中，所有該等反射表面U_16位於同—平面内。因此，個 別可控組件10充當入射於其上之輻射的平坦反射器。

每-個別可控組件i 0具有一用於調整該等條帶之位置的 相關致動器系統（未圖示）。圖3展示根據本發明之一實施例 之處於第二狀態之個別可控組件1〇。在此實施例中，相對 於其餘反射器12、14、16移置交替的反射器u、13、15。 因此，第一組反射表面U、13、15位於一第一平面内且第 二組反射表面12、14、16位於一第二平面内，該第二平面 平行於該第一平面但是在垂直於該等反射表面之方向内自 該第一平面移開。因此，在第二狀態中，個別可控組件⑺ 充當一格柵（例如，繞射光柵），且入射於其上之輻射作為繞 射輻射而返回。 舉例而言，若第一平面與第二平面（第一組反射器及第二 組反射器位於其中）之間在垂直於反射表面之方向内的間 距被設定為照明系統1〇2所產生之輻射波長的四分之一，則 入射於個別可控組件上之所有輻射均可被繞射。應理解， 其它組態亦涵蓋於本發明之範疇内。 微影投影裝置具有一過濾器（未圖示），例如投影系統中之 孔位〃、了防止反射輛射（即，零級輕射）或繞射輻射（即， 99430.doc -16- 200539238 第一級或更高級輻射）被投影系統108投影至基板114上。因 此’藉由設定圖案化陣列中内所選定組的個別可控組件^ 〇 被反射且其它個別可控組件被繞射，可賦予投影至基板^ ^ 4 上之輻射光束110—圖案。舉例而言，在2〇〇3年5月3〇曰申 請之名為丨’Maskless Lithography Systems and Methods Utilizing Spatial Light Modulator Arrays”的美國申請案第 l〇/449,908號中教示了各種圖案化陣列，該案以全文引用的 方式併入本文中。 如圖2及圖3中所示，該等反射表面之一的位移可藉由使 該等條帶之-的形狀變形來達成。在一實施例中，當施加 至該條帶之致動力被移除時，該條帶可自然地回復至其未 變形狀態，且因此其不需要一回復致動力。應理解，在此 配置中，當移置反射表面時，每一條帶之至少一部分不會 移動。因此，該個別可控元件10之僅一部分將在作用中 (即，可文到控制）。此外，在每一該等組條帶周圍需要空間 • 來提供控制電路（未圖示）及/或每一該等個別可控組件10之 其它表面。因此，個別可控組件陣列1〇可僅包括一相對較 小的作用中區域。此通常稱作"鬆散包裝"組態。 微影裝置可因此配置成如圖4中所示。根據圖4中所示之 本發明之實施例，對應於圖2及圖3之可控組件1〇的個別可 控組件陣列20(以下均稱作組件1〇)包括作用中區仙(例 如’反射器11-16之可移動部分諸如透鏡陣列以之聚焦組 件陣列22與個別可控組件陣列1〇相鄰。每一聚焦組件挪 來自照明系統1〇2之光束的-部分24聚焦至相應個別可控 99430.doc -17- 200539238 組件ίο之作用中區域21上。較佳地，每一聚焦組件23亦收 集自每一個別可控組件10之作用中區域21反射或繞射之輻 射且將所收集的輻射導向至投影系統1 〇8。因此，圖案化 輻射光束很大程度上係由入射於個別可控組件陣列1〇之作 用中區域21、而非位於該等作用中區域21之間的非作用中 區域上的輻射形成。 反射器11-16可由為普通熟悉此項技術者已知之任何元 件來致動。該致動可由反射器與個別可控組件陣列1〇之一 靜態部分之間的靜電力來提供。然而，本發明不限於此。 或者，舉例而言，每一反射表面（例如，丨丨-丨幻可安裝在一 壓電致動器上（未圖示）。 圖5a、5b、5c及5d以橫截面展示一根據本發明之一實施 例處於四個不同狀態之個別可控組件1〇。 圖5a展示處於第一狀態之個別可控組件1〇，其中所有該 等反射表面3 1、32、33、34、35、36位於同一平面内（例如， φ 反射表面31_36係大體上平行之平坦反射器）且在垂直於該 平面之方向内距该個別可控組件1 〇之陣列之基底3 〇 一給 定距離。因此，該個別可控組件1〇充當用來入射輻射之平 坦反射器。 在圖5b所示之第二狀態中，交替之反射表面32、34、％ 相對於其餘反射表面31、33、35而移置。因此，該個別可 控組件10充當格柵（例如，繞射光栅）且入射輻射被繞射。 圖5 c展不處於第三狀態之個別可控組件丨〇。如圖外中所 不之處於第二狀態之組件，交替的反射表面32、34、％係 99430.doc -18- 200539238 在一垂直於該等反射表面的方向内相對於其餘反射表面 3 1 33 35而移置。因此，如上文，該組件丨〇充當格柵且 入射輻射被繞射。然而，與處於第二狀態之組件丨〇相比， 所有該等反射表φ (3 1 -36)均在垂直於該等反射表面之一方 向内被進步移置。因此，若將第一個別可控組件1 〇設定 成第一狀態且將相鄰個別可控組件丨〇設定成第三狀態，則 入射於該等個別可控組件10上之輻射將均被繞射，但是一 個別可控組件相對於另一個別可控組件在繞射輻射中存在 相位差。 圖5d展示處於第四狀態之個別可控組件。在此情況下， 所有该等反射表面31、32、33、34、35、36均位於單一平 面内，以使如圖5a中所示之第一狀態中一樣，該個別可控 組件10充當一反射入射輻射的平坦反射器。然而，所有該 等反射表面（3 1-36)均相對於其在圖5a中所示之第一狀態中 的位置而移置。因此，若將第一個別可控組件丨〇設定成第 一狀態且將第二個別可控組件1〇設定成第四狀態，則兩個 個別可控組件1 〇將充當反射輻射之平坦反射器，但是在自 第一個別可控組件10反射之輻射中相對於自第二個別可控 組件10反射之輻射存在相位偏移。 因此，藉由單獨控制兩組反射表面之位置，該等兩組反 射表面即具有交替之反射表面32、34、36的第一組及具有 其餘反射表面3 1、3 3、3 5的第二組，可能為一個別可控組 件1 〇提供對比度及相位控制二者。藉由將所選定之個別可 控組件1 〇組設定成四個狀態之一，又可用比度及相位資訊 99430.doc -19- 200539238 來圖案化投影至基板114上之光束。 如圖5a、5b、5c及5d中所示，距離dl代表兩組反射表面 間之距離且距離d2代表由該等反射表面形成之格柵/反射 器相對於一參考位置之距離。因此，設定個別可控組件1〇 之距離d2可有效地設定該格柵/反射器相對於基板114之距 離。因此’藉由將相鄰個別可控組件之距離d2設定成不同 值’可提供一自各組件反射/繞射至基板114之輻射中的相 位差。 舉例而言’若相鄰個別可控組件之d2值中之差係設定成 由照明系統102所提供之輻射波長的四分之一，則基板U4 上來自一個別可控組件之輻射將與來自另一個別可控組件 之輻射完全異相。然而，若d2值係設定成相同，則來自各 個別可控組件之輻射將彼此同相。應理解，藉由將d2設定 為最小值與最大值之間的中間值，可獲得中間相移。 如上所論述，將dl設定為零會使個別可控組件1〇充當一 φ 平坦反射器。將d 1設定為（例如）由照明系統102所提供之輻 射波長的四分之一導致個別可控組件10充當純格柵，即不 會反射零級輻射。因此，若（例如）將投影系統1 〇8之光瞳設 疋成;慮除所有繞射輕射（例如，第一級及更高級輻射），則告 d 1為零（或設定為最小值）時，自一給定個別可控組件丨〇導向 至技影糸統10 8中之輕射強度將為最大值。相反，若投景^系 統孔徑係經配置成不將零級輻射導向至投影系統1〇8中而 將第一級輻射導向至投影系統1〇8中，則當dl設定為零時投 影系統108中來自該個別可控組件1 〇之輻射將為最小值，且 99430.doc -20- 200539238 當dl設定為波長值的四分之一時’投影系統ι〇8中來自該個 別可控組件10之輻射將為最大值。 應理解，當將dl設定為中間值時，該等個別可控組件1〇 上的一些入射輻射將被反射而一些將被繞射。因此，來自 個別可控組件10之穿過投影系統1〇8並投影至基板114上之 輻射的強度將同樣為中間值。因此，調整dl可用於設定個 別可控組件10之對比度。應進一步理解，對比度控制亦可 藉由改變dl之值來達成，該等值不同於零至照明系統1〇2所 提供至輻射波長的四分之一。舉例而言，類似效果可藉由 控制dl在波長的四分之三與一個波長之間改變來提供。 致動器系統可經配置以使其可將該等反射表面設定至有 限數目之預定位置。舉例而言，致動器系統可名義上將dl 及d2中每一者設定為兩個值之一。在此情況下，個別可控 組件10可僅設定為圖5a、5b、5c及5d中所示之四個狀態。 此等狀態可對應於被設定成在投影系統1〇8中提供最大及 最小級的輻射（即，開或關）且用於提供與相鄰個別可控組件 10同相或異相之輻射的該個別可控組件1〇。或者，致動器 系統係經配置以使其可提供dl及/或们之複數個中間值，從 而在相鄰個別可控組件1〇之間提供複數個對比度級及/或 相位差。此外，致動器系統可經進一步配置以使dl與们可 設定為最小值與最大值之間值的一連續範圍。 結論 雖然上文已描述了本發明之各種實施例，但是應瞭解， 該等實施例僅以實例而非限制的方式提出。對熟習相關技 99430.doc -21 - 200539238 術者此係顯而易j :名γ # 見在不㈣本發明之精神及範4之情況 下，可在形式及細節上對其作出各種變化。因此’本發明 ^廣度及料不受上述例示性實施例之任—者的限制，而 疋僅根據以下巾請專利範圍及其均等物加以 【圖式簡單說明】 圖1描繪根據本發明之一實施例的微影裝置。 圖2描繪根據本發明之一實 彳〈蜒於第一狀態之個別 可控組件。 圖3為繪根據本發明之一膏方条々丨十疮 _ Κ冑施例之處於第二狀態之個別 可控組件。 圖4描繪根據本發明之—實施例之個別可控組件陣列。 圖5a、5b及5e及5似橫截面騎根據本發明之—實施例 處於四個狀態之個別可控組件。 現將參考附圖來說明本發明。在 〜 攻寻圖式中，相同的參 亏數子可指示相同或功能類似的組件。 【主要元件符號說明】 10 個別可控組件 11 反射表面 12 反射表面 13 反射表面 14 反射表面 15 反射表面 16 反射表面 20 個別可控組件 99430.doc .22. 200539238

21 作用中區域 22 聚焦組件陣列 23 聚焦組件 24 光束之一部分 30 基底 31 反射表面 32 反射表面 33 反射表面 34 反射表面 35 反射表面 36 反射表面 100 微影投影裝置 102 輻射系統 104 個別可控組件陣列 106 基板台 108 投影系統 110 投影光束 112 輻射源LA 114 基板W 116 定位元件PW 118 光束分裂器 120 目標部分 122 輻射光束 124 照明系統（照明器）IL 99430.doc -23- 200539238 126 128 130 132 134 136 138 140 調節元件 調整元件AM 積光器IN 聚光器CO 量測元件IF 底板BP 干涉光束 光束分裂器

99430.doc -24

Claims (1)

1. 200539238 十、申請專利範圍： 1 · -種用於圖案化-輕射光束之系統，該系統包含複數個 個別可控組件，該等個別可控組件各自包含： 一列大體上平行之平坦反射器；及 一致動态系統，其在一大體上垂直於該等反射器之致 動方向内移動該等反射器之一位置， 其中S亥致動|§系統將第一組一或多個反射器在該致動 #向内移動至距㈣統之—基底第—組複數個距離之一 •各自距離，且 其中該致動器系統將第二組一或多個反射器獨立於該 第一組在該致動方向内移動至距該基底第二組複數個距 離之一各自距離。 2·如請求項1之系統，其中·· 該第一組反射器包含該列中被交替隔開的反射器；且 該第二組反射器包括該列中其餘的反射器。 _ 3.如印求項！之系统，其中該第一組複數個距離及該第二組 複數個距離中至少一組包含至少三個距離。 4·如印求項1之系統，其中該第一組複數個距離及該第二組 複數個距離中至少一者包含在第一距離與第二距離之間 的值之一連續範圍。 5.如請求項1之系統，其中該致動器系統將該第一組及該第 4中至卜者中之每-該等反射器獨立於該組中的該 等其它反射器在該致動方向内移動至距該基底複數個距 離中之一所要距離。 99430.doc 200539238 6· 一種微影裝置，其包含： 一供給一輻射光束之照明系統； 圖案化該輕射光束之圖案化陣列，該圖案化陣列包 括複數個個別可控組件，該等個別可控組件各自包括， 一列大體上平行之平坦反射器，及 -致動器系、统，其在一 Α體上垂直於該等反射器之致 動方向内移動該等反射器之一位置， 其中该致動器系統將第一組一或多個反射器在該致動 方向内移動至距該®案化陣列之一基底第一組複數個距 離之一各自距離， 其中該致動器系統將第二組一或多個反射器獨立於該 第一組在該致動方向内移動至距該基底第二組複數個距 離之一各自距離； 一支撐一基板的基板台；及 一投影系統，其將該圖案化光束投影至該基板之目標 部分上。 7·如請求項6之微影裝置，其進一步包含： 聚焦組件陣列，每一該等聚焦組件將該光束之一部 分聚焦至該圖案化陣列中該等個別可控組件中之一相關 組件的該等平坦反射器上。 8·如請求項7之微影裝置，其中每一聚焦組件收集具有自該 關個別可控組件反射或繞射之輻射之一的該輻射並將 其導向至該投影系統中。 9· 一種元件製造方法，其包含： 99430.doc 200539238 使用一圖案化陣列夾 圖案化一來自一照明源之光走 以使用複數個個別可柝細彼七丄 ^ 尤束， 二、、、件來在該光束之橫截面内 該光束一圖案，該等個別可且右 ^ ^〜』控組件具有一列大體上平 之平坦反射器及一玆翻毋么^ 致動裔糸統，該致動器系統在一大體 上垂直於該等反射器之致動方向内設定該等反射器之位 置；

   將該圖案化輻射光束投影至一基板之一目標部分上， 使用该致動器系統來將第一組一或多個反射器在該致 動方向内移動至距該圖案化陣列之一基底第一組複數個 距離之一所要距離；且 使用該致動器系統來將第二組一或多個反射器獨立於 該第一組在該致動方向内移動至距該基底第二組複數個 距離之一所要距離。

   99430.doc