TW200532829A - Wire- bonding apparatus - Google Patents

Description

200532829 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 特別係關於在引線前端形 本發明，係關於打線裝置 成球體之裝置。 l无前技術】

打線裝置，如圖2所+，按M 夕一# 〃 斤不捲繞於線軸（未圖示）之引線1 之一编’係經過夾具2而插

M . , 棚通於毛細官3。引線1之另一端， 糟由接地線5連接於高電壓雷 . 、 L冤/原4之接地側之端子。用以 、之刖端形成球體之放電裝置6，藉由電壓供應線7 於後述之定電流電路！^電流電路Μ則連接於高電 £電源4之高電壓側。 定電流電路10,具有高電壓控制電路η與電流檢測電 路12。在高電壓控制電路u之正極側輸人端子⑴連接$ 電_ 4之高電壓側，在高電壓控制電路η之負極側輪 入端子㈠連接電流檢測電路12之輸出端。高電廢控制Μ 之輸出知係透過電阻丨3連接於電壓供應線7。流通於電 阻13之電流則藉由電流檢測電路來檢測。又，此種才' 線裝置，可列舉如專利文獻1及2。 1 專利文獻1 :曰本特開平2·298874號（發明專利第 2617351號）公報 專利文獻2 :日本特開2000-208550號公報 其次說明作用。球體形成時高電壓電源4所輸出之高 電壓，通過高電壓控制電路丨丨施加於放電裝置6與弓丨線^ 5 200532829 w端之間，使其放電而產生電流。此電流，當作電阻13之 兩端間之檢測電壓E1被檢測，將此檢測電壓E1與來自電 流檢測電路12之控制電壓E2的差值以高電壓控制電路η 放大，藉此控制流過引線！之電流。在高電壓控制電路^ ^， 將正極側輸入端子（+)與負極側輸入端子㈠之電麼控制成大 致相等。即，引線1與放電裝置6之間所流通之輸出電流， 係藉由控制電壓Ε2控制成一定值。 ® 【發明内容】 在接地線5斷線5a之情形，從高電壓電源4之高電壓 側通過電壓供應線7、放電袭置6、引線i、接地線5流= 南電壓電源4之接地側之電流，因被遮斷，故不會對引線j 產生放電，不應該會形成球體。但是，高電壓電源4，其放 電電壓係高至例如-3000V，有時候會經過導引引線丨之未 圖不之引線導件之絕緣使電流流至接地。放電結束後，因 φ接地線5已斷線5a，故此電流則無流通之途徑，而在引線i 及引線途徑部會殘留放電時之電荷。此帶電之電荷，在下 一步驟之對第1接合點之接合會向半導體元件放電，有使 半導體元件損傷之虞。 為了解決如上述之問題，可考慮設置用以檢測接地線5 之斷線5a之斷線檢測機構。又，若電壓供應線7斷線之情 形，不會從放電裝置6對引線丨放電，而不會產生如前述 之問題。 本發明之課題，在於提供一種打線裝置，其不需設置 6 200532829 用以檢測接地線斷線之斷線檢測機構，能不增加裝置成本 而檢測接地線之斷線。 用以解決上述課題之本發明之請求工頁卜其特徵在於： 係將高電壓電源之高電塵側透過電摩供應線連接於放電装 置，並將引線透過接地線連接於高電慶電源之接地側，而、 以該高電壓電源於引線之前端與放電裝置之間施加高電壓 使其放電，藉此使引線之前端形成球體，為將此時之 電流控制為一定值，係具備定電流電路，該定電流電路， 電：㈣流檢測電路、及根據該放電電流控 制同電昼之尚電麼控制電路，該定電流電路之電流檢測電 二係檢測流過該接地線之電流、並將該檢測 :電流電路之高電隸制電路4在放電時從該電流_ 电路無輸出，則判定為接地線斷線。 用以解決上述課題之本發明之請求項2，係如請 I ’其特徵在於：該高電壓控制 、 放電裝置，於正極側輪入”二V將輸出端連接於該 側，而於負極：:=連接該高電壓電源之高電壓 員㈣1輸人端子則連接該電流檢測電 端，該電流檢測電路待 1 月'j出 流，若在放電時從二:^檢測流過該接地線之電 線斷線。技測電路無輸出，則判定為接地 用以解決上述課題之本發明之請求項 項1及2，其特微力认. 係如睛求 :從該電流檢測電路無輸出而判定為接地線斷線時::電 來檢測該接地線之導 M , L ^ 動作， 之導通，错由此接地線導通檢測機構所實 7 200532829 把之v通檢測來判定是接地線斷線或是誤放電。 _依W求項1及2，藉由以定電流電路之電流檢測電路， 檢測從接地線流過高電壓電源之電流，在從電流檢測電路 無輸出時能檢測接地線之斷線。即，因不需設置用以檢測 接地線斷線的特別之斷線檢測機構，故不會增加裝置成 本。依申請專利範圍第3及4項，因設置能自動判定是接 地線斷線或是誤放電之接地線導通檢測機構，故從電流檢 測私路無輸出呀能藉由接地線導通檢測機構判斷是接地線 馨斷線或是誤放電，作業者能立即採取因應之對策。 【實施方式】 依圖1說明本發明之一實施形態。又，圖2與其相同 或相當構件係使用相同符號，並省略其詳細說明。本實施 形悲，定電流電路10之高電壓控制電路丨丨之連接雖與習 知者相同’但定電流電路10之電流檢測電路12之連接則 與習知者不相同。即，電流檢測電路12係構成為檢測通過 接地線5流至高電壓電源4之接地側之電流。在接地線$ 之高電壓電源4側之端子係連接電阻13而接地，將流至此 電阻1 3之電流藉由電流檢測電路1 2而檢測。 其次說明作用。在接地線5未斷線5a之情形，藉由與 習知大致同樣之作用在引線丨之前端形成球體。即，球體 形成時高電壓電源4所輸出之高電壓，係通過高電壓控制 電路11而施加於放電裝置6與引線丨前端之間使其放電而 產生電流。此電流，係作為電阻13兩端間之檢測電壓ei 8 200532829 而，檢測，將此檢測電a E1與來自t流檢測電路12之控 制電« E2之差值以高電壓控制電路u放大，藉此控制流 過引線1之電流。在高電壓控制電路U，將正極側輸入端 子（+)契負極側輸入端子㈠之電壓控制成大致相等。即，引 線1與放電裝置6之間所流通之輸出電流，藉由控制電壓 Ε2控制成一定值。 在接地線5斷線5a之情形，從高電壓電源4之高電壓 •側通過電壓供應線7、放電裝置6、引線i、接地線5流至 ’高電壓電源4之接地側之電流由於被遮斷，故不會對引線丨 產生放電。即，因在接地線5未流通電流，故電流檢測電 路12則不會輸出。因此，當無由電流檢測電路12之輸出 柒12a之輸出時，未圖示之電腦則判斷為接地線$之斷線 5a。並且，為表示接地線5已斷線&，輸出使裝置停止之 ^號。藉此，防止引線丨所帶電之電荷對半導體元件放電， 不會損傷半導體元件。 , 如上述，藉由以定電流電路10之電流檢測電路12，檢 測^接地線5流過高電壓電源4之電流，能檢測接地線$ 之斷線5 a即，因不需設置用以檢測接地線5之斷線5 a的 特別之斷線檢測機構，故裝置成本不會增加。 然而，產生機率雖少，但有時候在球體形成時會引起 k放私炱置6向半導體元件放電之誤放電。在此種情形， 因在引線1沒有電流流通，故在本實施形態之情形，如前 述，則判斷為接地線5之斷線5a，而使裝置停止。藉此， 作業人員，檢查接地線5之斷線5a，若接地線5未斷線h 9 200532829 時則判斷誤放電。 因此，本實施形態，將接地線導通檢測機構20(能自動 判定接地線5之斷線5a或誤放電）連接於接地線5之兩端 部。接地線導通檢測機構20，由直流電源2 1與開關22所 構成’如如述右無由電流檢測電路12之輸出端12 a之輸出 時’藉由電腦之指令使開關22關閉，來檢測接地線5之導 通。若接地線5導通時判斷為誤放電，並顯示此訊息。藉 此’能判斷接地線5之斷線5a或誤放電，作業人員能立即 鲁採取其對策。 【圖式簡單說明】 圖1 ’係表示本發明之打線裝置之一實施形態的要部構 成圖。 圖2 ’係習知之打線裝置的要部構成圖。 _ 【主要元件符號說明】 1 引線 2 夾具 3 毛細管 4 高電壓電源 5 接地線 5a 斷線 6 放電裝置 7 電壓供應線 10 .200532829 10 定電流電路 11 高電壓控制電路 12 電流檢測電路 12a 輸出端 13 電阻 20 接地線導通檢測機構 21 直流電源 22 開關 El 檢測電壓 E2 控制電壓 11

Claims (1)

1. 200532829 十、申請專利範圍： 1.一種打線裝置，係將高電壓電源之高電壓側 处避電壓 供應線連接於放電裝置，並將引線透過接地線連接於言“ 壓電源之接地側’而以該高電壓電源於引線前端與放1 ^ 置之間施加高電壓使其放電，藉此使引線之前端形2球 體，為將此時之放電電流控制成一定值，其具備定#节i 路，該定電流電路，具有檢測放電電流之電流檢測電路γ 及根據該放電電流控制高電壓之高電壓控制 • 丄 ，、将徵 在於： 該定電流電路之電流檢測電路，係檢測流過該接地線 之電流、並將該檢測電流輸入該定電流電路之高電壓控制 電路，若在放電時從該電流檢測電路無輸出，則判定=接 地線斷線。 2.如申請專利範圍帛i項之打線裝置，纟中，該高電壓 ㈣電路’係將輸出端連接於該放電裝置，於正極側輸二 端子連接該高電昼電源之高電麼側，而於負極侧輸入端子 零則連接該電流檢測電路之輸出端；該電流檢測電路以其輪 〇端檢測流至該接地線之電流，若在放電時從該電流檢測 电路無輪出時則判定為接地線斷線。 丘 種打線1置，係將向電壓電源之高電壓側透過電壓 =2線連接於放電裝置，並將引線透過接地線連接於高電 壓电，之接地側，而以該高電壓電源高電壓於引線前端與 放電裝置之間施加高電壓使其放電，藉此使引線之前端形 成球體，為將此時之放電電流控制為一定值，其具備定電 12 200532829 流電路，該定電流電路，具有檢測放電電流之電流檢測電 路、及以該放電電流控制高電壓之高電壓控制電路，其特 徵在於： 該定電流電路之電流檢測電路，係檢測流過該接地、線 之電流、並將該檢測電流輸入該定電流電路之高電壓控制 電路；並設置接地線導通檢測機構，當在放電時從該電流 檢測電路無輸出而判定為接地線斷線時使其動作，以檢測 該接地線之導通，藉由此接地線導通檢測機構所實施之導 • 通檢測，來判定是接地線斷線或是誤放電。 4·如申請專利範圍第3項之打線裝置，其中，該高電壓 控制電路，係將輸出端連接於該放電裝置，於正極側輸入 端子連接該高電壓電源之高電壓側，並於在負極側輸入端 子連接該電流檢測電路之輸出端；該電流檢測電路係以其 輸入端檢測流過該接地線之電流；並設置接地線導通檢測 機構，若在放電時從該電流檢測電路無輸出而判定為接地 線斷線時使其動作，以檢測該接地線之導通，藉由此接地 線導通檢測機構所實施之導通檢測，來判定是接地線斷線 Η^一、圖式： 如次頁 13