TW200303827A - Liquid discharging device and drive method, film making device and film making method, method for making color filter, method and electronic equipment for making organic electro-luminescence device - Google Patents

Description

200303827 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關在配置於作業台上的基板上塗佈液滴之 液滴噴出裝置’更詳而言之，是有關具備控制其沖洗動作 的機構之液滴噴出裝置及其驅動方法，製膜裝置及製膜方 法，彩色濾光片的製造方法，有機電激發光裝置的製造方 法，以及電子機器。 【先前技術】 就噴出油墨等的液滴來進行薄膜形成或圖案形成等之 液滴噴出裝置而言，一般有應用噴墨技術的裝置。此裝置 具備：接受來自液狀材料供給部的液狀材料的供給之液滴 噴出頭，及使基板對液滴噴出頭相對移動之基台，並且根 據噴出資料來一邊使液滴噴出頭移動，一邊使液滴噴出於 基板上，而來進行薄膜形成或圖案形成等。 液滴噴出頭是搭載於配置在基台上的搬運器，而使能 夠對基台而言例如移動於X方向。並且，在上述基台上設 有使基板例如移動於Y方向的移送機構，藉此，液滴噴出 頭對基板而言可移動於XY方向。 又，液滴噴出頭是形成平面矩陣狀者，其中具有縱橫 整列的多數個噴嘴，供以將液滴噴出至基板上，且支持該 液滴噴出頭的軸可藉由轉動機構來使能夠轉動，而使能夠 在噴嘴列形成傾斜的姿勢下（對X方向及γ方向而言）進 行液滴噴出。在此，之所以要在噴嘴列形成傾斜的狀態下 -6 - (2) (2)200303827 進行液滴噴出，乃爲了使形成一定之相鄰接的噴嘴間的間 距能夠比實際更爲狹窄，藉此來進行精密且具連續性的薄 膜形成或圖案形成。 亦即，如第1 5 ( a )圖所示，在以正規的姿勢，亦 即使液滴噴出頭Η的噴嘴N的列L垂直於其移動方向（X 方向）來進行液滴噴出時，所被噴出之液滴Τ間的間距 Ρ 2會與噴嘴Ν，Ν間的間距Ρ 1形成相同。 相對的，如第1 5 ( b )圖所示，在以傾斜的姿勢， 亦即使液滴噴出頭Η的噴嘴N的列L傾斜於其移動方向（ X方向）來進行液滴噴出時，所被噴出之液滴Τ間的間距 Ρ 3會形成比噴嘴Ν，Ν間的間距Ρ 1還要狹窄，因此可 使噴嘴間的間距比實際上來得狹窄。 但，就如此的裝置而言，特別是當所噴出之液狀材料 中的溶媒的揮發性高時，在液狀材料的噴出爲非連續的噴 嘴中，滯留於其開口的液狀材料會因溶媒揮發而造成黏度 上升，而使得液狀材料會固化，或者在此附著塵埃，甚至 會因氣泡混入等而導致噴嘴開口阻塞，引發噴出不良。 爲了防止如此的噴出不良，以往是在基台的一方側或 雙方側設置沖洗區。此沖洗區是供以強制性地對液滴噴出 頭的各噴嘴進行噴出，尤其是對於長時間未進行噴出的噴 嘴而言，可防止噴出不良。 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] -7- (3) (3)200303827 但，在如此的沖洗區的沖洗中會有以下應改善的課題 發生。 亦即，一般在沖洗區中，是在一旦使對作業台（基板 )之液滴噴出頭的移動停止的狀態下進行沖洗。如此一來 ，會導致薄膜形成或圖案形成的全體過程時間變長，而有 損生產性。 爲了解決如此的課題，雖可邊使液滴噴出頭移動，邊 於沖洗區內進行沖洗，但尤其是在傾斜配置液滴噴出頭時 ’一部份的噴嘴會容易超出沖洗區，若此刻也從該超出的 噴嘴來進行沖洗的話，則其周邊會因液滴飛散而造成污染 ，對製膜或圖案形成造成不良的影響，甚至裝置本身也會 遭到污染，導致維修趨於繁雜。 本發明是有鑑於上述情事而硏發者，其目的是在於提 供一種不會有損生產性，甚至可防止對製膜或圖案形成造 成不良的影響或污染裝置之液滴噴出裝置及其驅動方法， 製膜裝置及製膜方法，彩色濾光片的製造方法，有機電激 發光裝置的製造方法，以及電子機器。 [用以解決課題之手段] 爲了達成上述目的，本發明之液滴噴出裝置係具有： 液滴噴出頭；該液滴噴出頭是設置於基台的上方，可 對基板於一方向來回移動，且具備縱橫整列噴出液滴於上 述基板的複數個噴嘴；及 沖洗區；該沖洗區對上述基台上的基板而言，是設置 -8- (4) (4)200303827 於上述一方向的至少一方的側方；及 控制手段；該控制手段是在於控制上述液滴噴出頭的 動作； 上述液滴噴出頭對上述一方向而言，是使其噴嘴列傾 斜配置； 其特徵爲： 上述控制手段是邊使上述液滴噴出頭移動，邊於沖洗 區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭，且在至少一個噴嘴 到達自預設的沖洗區內離開的位置時，使能夠控制成停止 所有噴嘴的沖洗動作。 若利用此液滴噴出裝置，則因爲可邊使液滴噴出頭移 動，邊於沖洗區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭，所以 不會因進行該沖洗而有損生產性。又，因爲是在至少一個 噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時，使能夠控制成 停止所有噴嘴的沖洗動作，所以可防止因超出沖洗區來進 行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良影響，或者導致裝置 污染。 又，本發明之另一液滴噴出裝置係具有： 液滴噴出頭；該液滴噴出頭是設置於基台的上方，可 對基板於一方向來回移動，且具備縱橫整列噴出液滴於上 述基板的複數個噴嘴；及 沖洗區；該沖洗區對上述基台上的基板而言，是設置 於上述一方向的至少一方的側方；及 控制手段；該控制手段是在於控制上述液滴噴出頭的 -9 - (5) (5)200303827 動作； 上述液滴噴出頭對上述一方向而言，是使其噴嘴列傾 斜配置； 其特徵爲： 上述控制手段是邊使上述液滴噴出頭移動，邊於沖洗 區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭，且在噴嘴到達自預 設的沖洗區內離開的位置時，使能夠控制成停止該噴嘴的 沖洗動作。 若利用此液滴噴出裝置，則因爲可邊使液滴噴出頭移 動，邊於沖洗區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭，所以 不會因進行該沖洗而有損生產性。又，因爲是在噴嘴到達 自預設的沖洗區內離開的位置時，使能夠控制成停止該噴 嘴的沖洗動作，所以可防止因超出沖洗區來進行沖洗時對 製膜或圖案形成造成不良影響，或者導致裝置污染。 又，在上述液滴噴出裝置中，上述控制手段最好是在 對噴嘴進行使沖洗動作停止的控制之後，控制成可對該噴 嘴進行微振動動作。 如此一來，更可確實地防止因液滴噴出頭內的液體的 溶媒揮發而造成粘度上升。 又，在上述液滴噴出裝置中，最好上述沖洗區對基台 上的基板而言，是設置於上述一方向的兩側。 如此一來，在來回移動於上述一方向時，在任何一側 皆可進行沖洗，因此更可確實地防止因液滴噴出頭內的液 體的溶媒揮發而造成粘度上升。 -10 - (6) (6)200303827 又，在上述液滴噴出裝置中，最好上述控制手段是在 液滴噴出頭朝外側移動於沖洗區上時，不進行沖洗動作， 而只在液滴噴出頭朝內側移動於沖洗區上時，進行沖洗動 作。 如此一來，由於只在朝內側（亦即朝基板側）移動時 進行沖洗動作，因此可在液滴噴出至基板上之前進行沖洗 ，而使能夠更爲有效地防止噴嘴的噴出不良。並且，在朝 外側移動時不進行沖洗動作，所以可降低液體的浪費。 又，在上述液滴噴出裝置中，最好上述液滴噴出頭是 被設置成能夠轉動於其周方向，且該轉動動作是藉由上述 控制手段來控制； 上述控制手段是在上述液滴噴出頭移動於沖洗區內進 行沖洗時，事先使該液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠對上 述一方向垂直，且在所有噴嘴停止沖洗動作之後，再度控 制成能夠傾斜轉動。 如此一來，因爲可使液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠 對上述一方向垂直，而於此狀態下進行沖洗，所以可防止 因液滴噴出頭傾斜而造成其一部份的噴嘴超出沖洗區的狀 態下進行沖洗。 又，此情況最好是使對上述液滴噴出頭的動作，亦即 使其噴嘴列能夠對上述一方向垂直而轉動的動作進行於沖 洗區上。 如此一來，可在不影響基板上的液滴噴出下進行沖洗 -11 - (7) (7)200303827 又’本發明之製膜裝置的特徵是具備上述液滴噴出裝 置。 若利用此製膜裝置，則因爲具備上述液滴噴出裝置， 所以不會因進行該沖洗而有損生產性，且可防止因超出沖 洗區來進行沖洗時對製膜造成不良影響，或者導致裝置污 染。 X ’本發明之液滴噴出裝置的驅動方法，其係在配置 於基台上之基板上塗佈液滴者，其特徵爲： 上述液滴噴出裝置具有： 液滴噴出頭；該液滴噴出頭是設置於上述基台的上方 ’可對基板於一方向來回移動，且具備縱橫整列噴出液滴 於上述基板的複數個噴嘴；及 沖洗區；該沖洗區對上述基台上的基板而言，是設置 於上述一方向的至少一方的側方； 上述液滴噴出頭對上述一方向而言，是使其噴嘴列傾 斜配置； 在邊使上述液滴噴出頭移動，邊於沖洗區內使沖洗動 作進行於該液滴噴出頭之下進行沖洗，然後在至少一個噴 嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時，使所有噴嘴的沖 洗動作停止。 若利用此液滴噴出裝置的驅動方法，則因爲可邊使液 滴噴出頭移動，邊於沖洗區內使沖洗動作進行於該液滴噴 出頭，所以不會因進行該沖洗而有損生產性。又，因爲是 在至少一個噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時，使 -12- (8) (8)200303827 所有噴嘴的沖洗動作停止，所以可防止因超出沖洗區來進 行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良影響，或者導致裝置 污染。 又，本發明之液滴噴出裝置的驅動方法，其係在配置 於基台上之基板上塗佈液滴者，其特徵爲： 上述液滴噴出裝置具有： 液滴噴出頭；該液滴噴出頭是設置於上述基台的上方 ，可對基板於一方向來回移動，且具備縱橫整列噴出液滴 於上述基板的複數個噴嘴；及 沖洗區；該沖洗區對上述基台上的基板而言，是設置 於上述一方向的至少一方的側方； 上述液滴噴出頭對上述一方向而言，是使其噴嘴列傾 斜配置； 在邊使上述液滴噴出頭移動，邊於沖洗區內使沖洗動 作進行於該液滴噴出頭之下進行沖洗，然後在噴嘴到達自 預設的沖洗區內離開的位置時，使該噴嘴的沖洗動作停止 〇 若利用此液滴噴出裝置的驅動方法，則因爲可邊使液 滴噴出頭移動，邊於沖洗區內使沖洗動作進行於該液滴噴 出頭，所以不會因進行該沖洗而有損生產性。又，因爲是 在噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時，使該噴嘴的 沖洗動作停止，所以可防止因超出沖洗區來進行沖洗時對 製膜或圖案形成造成不良影響，或者導致裝置污染。 又，上述液滴噴出裝置的驅動方法中，最好是在使噴 -13- (9) (9)200303827 嘴的沖洗動作停止之後，對該噴嘴進行微振動動作。 如此一來，更可確實地防止因液滴噴出頭內的液體的 溶媒揮發而造成粘度上升。 又，上述液滴噴出裝置的驅動方法中，最好上述沖洗 區對基台上的基板而言，是設置於上述一方向的兩側。 如此一來，在來回移動於上述一方向時，在任何一側 皆可進行沖洗，因此更可確實地防止因液滴噴出頭內的液 體的溶媒揮發而造成粘度上升。 又，上述液滴噴出裝置的驅動方法中，最好在液滴噴 出頭朝外側移動於沖洗區上時，不進行沖洗動作，而只在 液滴噴出頭朝內側移動於沖洗區上時，進行沖洗動作。 如此一來，由於只在朝內側（亦即朝基板側）移動時 進行沖洗動作，因此可在液滴噴出至基板上之前進行沖洗 ，而使能夠更爲有效地防止噴嘴的噴出不良。並且，在朝 外側移動時不進行沖洗動作，所以可降低液體的浪費。 又，上述液滴噴出裝置的驅動方法中，最好上述液滴 噴出頭是被設置成能夠轉動於其周方向，且該轉動動作是 藉由上述控制手段來控制； 當上述液滴噴出頭移動於沖洗區內進行沖洗時，事先 使該液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠對上述一方向垂直， 且在所有噴嘴停止沖洗動作之後，再度使傾斜轉動。 如此一來，因爲可使液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠 對上述一方向垂直，而於此狀態下進行沖洗，所以可防止 因液滴噴出頭傾斜而造成其一部份的噴嘴超出沖洗區的狀 -14- (10) (10)200303827 態下進行沖洗。 又’此情況最好使對上述液滴噴出頭的動作，亦即使 其噴嘴列能夠對上述一方向垂直而轉動的動作進行於沖洗 區上° 如此一來，可在不影響基板上的液滴噴出下進行沖洗 〇 又’本發明之製膜方法的特徵是具備上述液滴噴出裝 置的驅動方法。 若利用此製膜方法，則因爲具備上述液滴噴出裝置的 驅動方法，所以不會因進行該沖洗而有損生產性，且可防 止因超出沖洗區來進行沖洗時對製膜造成不良影響，或者 導致裝置污染。 又’本發明之彩色濾光片的製造方法的特徵是藉由上 述製膜方法來形成彩色濾光片。 若利用此彩色濾光片的製造方法，則不會有損生產性 ，且可防止對製膜造成不良影響，或者導致裝置污染，因 此可生產性佳且良好地形成彩色濾光片。 又’本發明之有機電激發光裝置的製造方法的特徵是 藉由上述製膜方法來形成有機電激發光裝置的構成要件的 薄膜。 若利用此有機電激發光裝置的製造方法，則不會有損 生產性，且可防止對製膜造成不良影響，或者導致裝置污 染，因此可生產性佳且良好地形成有機電激發光裝置的構 成要件之薄膜。 -15- (11) (11)200303827 又’本發明之電子機器的特徵是具備利用上述製膜方 法而形成的裝置。 若利用此電子機器，則可藉由利用上述製膜方法而形 成的裝置來生產性佳且良好地予以形成。 【實施方式】 以下，詳細說明本發明。 第1圖是表示將具備本發明之液滴噴出裝置的製膜裝 置作爲彩色濾光片製造裝置使用時之一實施形態例。在第 1圖中’元件符號3 0爲形成製膜裝置的液滴噴出裝置。 此液滴噴出裝置3 0具有：基座3 1 ，基板移動手段3 2 ，噴頭移動手段3 3，液滴噴出頭3 4，液體供給手段 3 5 ’控制裝置（控制手段）40等。基座3 1是在其上 面設置上述基板移動手段3 2及噴頭移動手段3 3。 基板移動手段3 2是設置於基座3 1上，具有沿著Y 軸方向而配置的導軌3 6。此基板移動手段3 2是藉由線 性馬達（未圖示）來沿著導軌3 6使滑件3 7移動。 在滑件3 7上固定有基台3 9。此基台3 9是供以定 位保持基板S者。亦即，此基台3 9具有習知的吸著保持 手段（未圖示），藉由作動此吸著保持手段來將基板S吸 著保持於基台3 9上。基板S是例如藉由基台3 9的定位 銷（未圖示）來正確地定位於基台3 9上的預定位置，而 使能夠予以保持。 在基台3 9上的基板S兩側’亦即在液滴噴出頭3 4 -16- (12) (12)200303827 的移動方向（Y軸方向）的兩側設有供以對液滴噴出頭 3 4進行沖洗的沖洗區4 1。該等沖洗區4 1 ，4 1是沿 著Υ軸方向而形成的平面視矩形狀者，藉由設置於基台 3 9側方的基座3 1上的容器開口部等所形成。又，如此 的沖洗區4 1 ，4 1在基座3 1上的位置會事先被決定， 且該位置會被記憶於後述的控制裝置中。 噴頭移動手段3 3具備：架設於基座3 1的後部側的 一對架台3 3 a ，及設置於該等架台3 3 a上的行走路徑 3 3 b，而使該行走路徑3 3 b沿著X軸方向，亦即與上 述基板移動手段3 2的Y軸方向垂直的方向而配置。並且 ，行走路徑3 3 b具有：橫跨架台3 3 a ，3 3 a之間的 保持板3 3 c ，及設置於該保持板3 3 c上的一對導軌 33d，33d，而使搭載液滴噴出頭34的搬運器42 能夠移動保持於導軌3 3d，33d的長度方向。又，搬 運器4 2是藉由線性馬達（未圖示）等的作動來行走於導 軌3 3 d，3 3 d上，藉此來使液滴噴出頭3 4能夠移動 於X軸方向。 在此，該搬運器4 2可例如以1 // m單位來移動於導 軌3 3 d ，3 3 d的長度方向，亦即X軸方向，如此的移 動是藉由控制裝置4 0來控制。因此，如上述，沖洗區 4 1 ，4 1的位置會被記憶於控制裝置4 0中，所以可使 用此控制裝置4 0來控制液滴噴出頭3 4的各動作與沖洗 區4 1 ，4 1的位置關係。 液滴噴出頭3 4是經由安裝部4 3來可轉動地安裝於 -17- (13) (13)200303827 上述搬運器42。在安裝部43設有馬達44，且液滴噴 出頭3 4的支持軸（未圖示）會連結於馬達4 4。液滴_ 出頭3 4可根據如此的構成來轉動於其周方向。又，馬_ 4 4亦連接於上述控制裝置4 0，藉此，液滴噴出頭3 4 往其周方向的轉動會被控制於控制裝置4 0。 在此，液滴噴出頭3 4，如第2 ( a )圖所示，例女口 具備：不鏽鋼製的噴嘴板1 2及振動板1 3，且隔著間_ 板1 4來接合兩者。在噴嘴板1 2與振動板1 3之間會_ 由間隔板1 4來形成複數個的空間1 5及液體滯留部i 6 。各空間1 5與液體滯留部1 6的內部充滿液狀材料，$ 各空間1 5與液體滯留部1 6會經由供給口 1 7來連通。 並且，在噴嘴板1 2中，供以自空間1 5噴射液狀材料白勺 噴嘴孔1 8會在縱橫整列的狀態下複數形成。另一方面， 在液體滯留部1 6中形成有用以供給液狀材料的孔1 9。 此外，在與對向於振動板1 3的空間1 5的一面呈;[:目 反的面上，如第2 (b)圖所示，接合有壓電元件20。 此壓電元件2 0是位於一對的電極2 1間，若通電，則會 突出於外側而彎曲。又，根據如此構成來接合壓電元件 2 0的振動板1 3會與壓電元件2 0形成一體而同時往外 側彎曲，藉此，空間1 5的容積會增大。因此，相當於空 間1 5內增大後的容積部份的液狀材料會從液體滯留部 1 6經由供給口 1 7而流入。又，若從如此的狀態來解除 往壓電元件2 0的通電’則壓電元件2 0與振動板1 3會 恢復到原來的形狀。因此’空間1 5也會恢復到原來的容 -18- (14) (14)200303827 積，所以空間1 5內部的液狀材料的壓力會上升’液狀材 料的液滴2 2會從噴嘴孔1 8朝向基板噴出。 另外，如此構成的液滴噴出頭3 4的底面形狀大致呈 矩形狀，如第1 5 ( a ) ’ （ b )圖所不’會在縱橫整列 的狀態下配置成矩形狀。在本例中’是以配置於縱方向， 亦即長邊方向的噴嘴群作爲噴嘴列。並且，各噴嘴N (噴 嘴孔1 8 )會分別獨立設有壓電元件2 0，藉此來分別獨 立進行其噴出動作及後述的微振動動作。 液體供給手段3 5是由：供應液狀材料給液滴噴出頭 3 4的液體供給源4 5，及供以從該液體供給源4 5來將 液體傳送至液滴噴出頭3 4的液體供給管4 6所構成。 控制裝置4 0是由電腦等所構成，如後述，記憶沖洗 區4 1的位置，具體而言，平行於Y軸的兩側邊的X座標 ，且檢測記憶液滴噴出頭3 4的位置資訊，亦即液滴噴出 頭34之導軌33d，33d上的位置（X座標）及此刻 各噴嘴的位置（X座標）。而使能夠根據這些記憶來對噴 嘴進行通常的噴出動作及沖洗動作，以及後述的微振動動 作之控制。 在此’說明控制裝置4 0之沖洗動作的具體控制◊在 本發明中’可以幾種的形式來進行控制，大致可分成以下 兩種的控制。並且’以下所示的控制’皆是以液滴噴出頭 3 4的噴嘴列能夠形成傾斜的方式來轉動配置於所期望的 角度’而使其噴嘴間的間距形成所期望的軸向間距。 第一種控制’是邊使液滴噴出頭3 4移動，邊於沖洗 -19- (15) (15)200303827 區4 1內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭3 4，且當至少 一個的噴嘴到達自沖洗區4 1內離開的位置時，會予以檢 測出，而使全體噴嘴的沖洗動作停止。 第二種控制，是邊使液滴噴出頭3 4移動，邊於沖洗 區4 1內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭3 4，且當噴嘴 到達自沖洗區4 1內離開的位置時，會針對該噴嘴，亦即 針對離開沖洗區4 1內的各個噴嘴，停止其沖洗動作。 亦即，在這些方式中，首先會如上述，事先將沖洗區 4 1的兩邊位置作爲液滴噴出頭3 4的移動方向之X軸的 座標來記憶。此刻，如第3圖所示，當沖洗區4 1位於基 台3 9 (基板S )的兩側時，記憶基台3 9 (基板S )側 ，亦即形成內側的X座標的X 2，X 3 ，且形成外側的 X 1 ，X 4也會記憶。 又，在上述第一種方式中，會記憶位於液滴噴出頭 3 4的最外部的噴嘴，亦即如第4 ( a )圖中所示，對液 滴噴出頭3 4的移動方向（X軸方向）而言，爲傾斜配置 之液滴噴出頭3 4的X軸方向的最外位置的角落部的噴嘴 N1 ，N2的位置。然後，在藉由液滴噴出頭34的移動 來使該等噴嘴N 1 ，N 2到達自預設的沖洗區4 1內離開 的位置時，例如第4 ( a )圖所示，在液滴噴出頭3 4自 沖洗區4 1側移動至基台3 9側時，當該噴嘴N 2到達沖 洗區4 1的內側的座標（X 2 )時，會使所有噴嘴N的沖 洗動作停止。 又，如此沖洗動作，雖亦可在液滴噴出頭3 4通過位 -20- (16) (16)200303827 於沖洗區4 1上的所有期間進行，但當噴出的液體爲高價 時’最好是液滴噴出頭3 4在沖洗區4 1上朝外側移動時 不進行沖洗，而如第4 ( a )圖所示，只在沖洗區4 1上 朝內側移動時進行沖洗動作。 如此一來’在往基板S上噴出液滴之前進行沖洗之下 ’更可有效地防止噴嘴N的噴出不良，且可減少沖洗液無 謂的浪費。 又’如此地只在朝內側移動時進行沖洗動作時，該沖 洗動作的開始時期雖無特別加以限定，但例如液滴噴出頭 3 4在沖洗區4 1上朝外側移動，一旦自沖洗區4 1離開 後’再度回來，如第4 ( b )圖所示，其噴嘴N 1到達沖 洗區4 1的外側的座標（X 1 )時，使能夠對所有的噴嘴 N進行沖洗動作。又，當液滴噴出頭3 4不會自沖洗區 4 1上離開’在上面，亦即在所有噴嘴n位於沖洗區4 1 上的狀態下改變移動方向而折返時，會在該折返點對所有 的噴嘴N進行沖洗動作。 另一方面’在上述第二種方式中，會記憶傾斜配置的 液滴噴出頭3 4的所有噴嘴N的位置。然後，在藉由液滴 噴出頭3 4的移動來使該等噴嘴n到達自預設的沖洗區 4 1內離開的位置時，停止對該噴嘴n進行沖洗動作，亦 即停止對自沖洗區4 1內離開的各個噴嘴N進行沖洗動作 。例如，第4 ( a )圖所示，在液滴噴出頭3 4自沖洗區 4 1側移動至基台3 9側時，當噴嘴N 2到達沖洗區4 1 的內側的座標（X 2 )時，會控制成只停止對該噴嘴N 2 -21 - (17) (17)200303827 進行沖洗動作，而之後到達X 2的其他噴嘴N也是同樣的 依次停止其沖洗動作。 此外，在如此沖洗動作中，雖亦可在各噴嘴N分別通 過位於沖洗區4 1上的所有期間進行，但如上述，當噴出 的液體爲高價時，最好是液滴噴出頭3 4在沖洗區4 1上 朝外側移動時不進行沖洗，而只在沖洗區4 1上朝內側移 動時進行沖洗動作。 另外，在該等方式中，在液滴噴出頭3 4進行沖洗時 ，亦可事先使該液滴噴出頭3 4的噴嘴列能夠轉動成垂直 於X軸方向，在此狀態下進行沖洗。亦即，如第5 ( a ) 圖所示，在基台3 9 (基板S )上進行液滴噴出動作後， 保持原狀移動至沖洗區4 1時，藉由控制裝置4 0來使馬 達4 4作動，如第5 ( a )圖中的兩點虛線所示，使液滴 噴出頭3 4移行成正規的姿勢（不傾斜的姿勢），藉此， 在沖洗區4 1上，噴嘴列會形成與Y軸方向一致的姿勢。 並且，在轉動液滴噴出頭3 4時，亦可如第5 ( b )圖所 示，在到達沖洗區4 1的上面之後，進行轉動動作。 再者，即使是在如此進行沖洗時使液滴噴出頭3 4轉 動時，照樣可以使用上述兩種的控制方式來進行有關該沖 洗的控制。 若如此地進行沖洗動作，則液滴噴出頭3 4會形成傾 斜，藉此可防止其一部份的噴嘴逾越沖洗區4 1上，而於 此狀態下進行沖洗。 又，在到達沖洗區上之後進行轉動動作時，可在不影 •22- (18) (18)200303827 響基板S上的液滴噴出下進行沖洗。 又，就控制方式而言，特別是在採用上述第二種方式 時，因爲在沖洗區4 1上，液滴噴出頭3 4的噴嘴列方向 與Y軸方向一致，所以構成噴嘴列的各噴嘴會同時到達自 預設的沖洗區4 1內離開的位置。因此，無論是針對各個 噴嘴來控制其沖洗的方式，實質上還是可以藉由對各噴嘴 列所進行的控制來使能夠不在沖洗區4 1以外噴出液滴的 情況下進行沖洗動作，近而能夠謀求控制的簡略化。 又，在如此進行沖洗時使液滴噴出頭3 4轉動時，最 好液滴噴出頭3 4在沖洗區4 1上朝外側移動時不進行沖 洗動作，而僅於沖洗區4 1上朝內側移動時進行沖洗動作 〇 又，上述兩種的控制方式，最好皆是針對進行沖洗動 作後停止該沖洗動作的噴嘴執行印字前微振動動作。 在此，所謂的微振動動作，是針對對應於液滴噴出頭 3 4的各噴嘴的壓電元件2 0來施加非常小的電壓，藉此 來使振動板1 3微小振動，對第2 ( a ) ，（ b )圖所示 空間1 5內的液狀材料賦予微振動，壓制液狀材料的黏度 增加。 亦即’在基板S上進行液滴噴出及沖洗時，是對壓電 元件2 0施加第6圖中的波形T所示之較大的電壓，相對 的在微振動動作中，是施加第6圖中的波形B所示之較小 的電壓’在不進行液滴噴出下只賦予液狀材料微振動。並 且，在微振動動作中具有：在基板S上噴出液滴的動作之 -23- (19) (19)200303827 前進行的第1微振動，在噴嘴間，對不進行噴動作的噴嘴 而言’其他的噴嘴會進行噴出動作時進行的第2微振動， 在液滴噴出頭3 4開始動作前進行的第3微振動，以及與 該等微振動無關’經常會進行的微振動等。在本發明中， 特別是針對進行沖洗動作後停止該沖洗動作的噴嘴執行上 述第1微振動。 如此一來，更可確實地防止因液滴噴出頭3 4內之液 體的溶媒揮發而造成的黏度增加。 其次，針對適用於彩色濾光片的製造時的一例來說明 使用由如此構成所形成的液滴噴出裝置3 0的驅動方法之 製膜方法。 在此例中’首先將基板S設置於基台3 9上的預定位 置’且將該設定位置輸入控制裝置4 0。並且，藉由控制 裝置4 0來使馬達4 4作動，以噴嘴間的間距能夠取得所 期望的間距’亦即以能夠形成第1 5 ( b )圖所示之液滴 T間的間距P 3所能取得的角度之方式來轉動液滴噴出頭 3 4，使其噴嘴列傾斜。 上述基板S具有適度的機械強度，且爲光透過性高的 透明基板。具體而言，可使用透明玻璃基板，鹼玻璃，塑 膠玻璃，塑膠薄膜及該等的表面處理品等。 又’本例中，例如第7圖所示，爲了提升生產性，在 長方形形狀的基板S上，將複數個彩色濾光片領域5 1形 成矩陣狀。該等彩色濾光片領域5 1可藉由之後基板S的 切斷來作爲適合於液晶顯示裝置的彩色濾光片用。並且， -24- (20) (20)200303827 就彩色濾光片領域5 1而言，如第7圖所示，會分別將r 的液狀材料，G的液狀材料，及b的液狀材料形成預定的 圖案’在本例中是形成習知的條紋形。而且，此形成圖案 ’除了條紋形以外，亦可爲馬賽克形，三角形，或四方形 等。 在形成如此的彩色濾光片領域5 1時，首先如第8 ( a )圖所示，對透明的基板s的一方的面形成黑色矩陣 5 2。就此黑色矩陣5 2的形成方法而言，是以旋轉塗佈 等的方法來將無光透過性的樹脂（最好爲黑色）塗佈成預 定的厚度（例如2 // m )。有關以此黑色矩陣5 2的格子 所圍繞的最小顯示要素，亦即濾光片元件5 3是例如將X 軸方向的寬度形成3 // m，以及將Y軸方向的長度形成 1 0 0 // m。 其次’如第8 (b)圖所示，由上述液滴噴出頭34 來噴出液滴5 4，且予以供應給濾光片單元5 3。有關噴 出的液滴5 4量，是在考量加熱過程時液狀材料的體積會 減少之下的充分量。 在此，液滴5 4的噴出，是沿著噴頭移動手段3 3的 導軌3 3 d，3 3 d來使液滴噴出頭3 4往返移動於X軸 方向，但此刻會在每個通路或每數個通路使液滴噴出頭 3 4移動至沖洗區4 1 ，在此進行上述沖洗。此情況，亦 可進行前述兩種方式的其中之一。並且，亦可選擇是否進 行印字前微振動，以及是否一旦使液滴噴出頭3 4轉動後 來進行沖洗，或者選擇進行沖洗的時序（只在沖洗區4 1 -25- (21) (21)200303827 上朝向內側移動時進行沖洗）。 如此一來，一旦在基板S上的所有濾光片單元5 3中 充塡液滴5 4，則會進行加熱處理，亦即利用加熱器來使 基板S形成預定的溫度（例如7 〇它左右）。藉此加熱處 理’液狀材料的溶媒會蒸發，而使得液狀材料的體積會減 少。當此體積減少的非常明顯時，會重複進行噴出過程及 加熱過程’直到彩色濾光片取得充分的膜厚爲止。藉此處 理’液狀材料的溶媒會蒸發，最後只留下液狀材料的固體 部份而膜化，如第8 ( c )圖所示，形成顏色材料層5 5 〇 其次’使基板S形成平坦化，且爲了保護顏色材料層 5 5 ’而如第8 ( d )圖所示，在基板s上形成保護膜 5 6來覆蓋顏色材料層5 5或黑色矩陣5 2。此保護膜 5 6的形成，可採用旋轉塗佈法，滾筒塗佈法等，但亦可 與顏色材料層5 5的形成同樣，利用第1圖所示的液滴噴 出裝置3 0來進行。 其次，如第8 ( e )圖所示，在該保護膜5 6的全面 上，藉由濺鍍法或真空蒸鍍法等來形成透明導電膜5 7。 然後，對透明導電膜5 7進行圖案形成，使畫素電極5 8 對應於上述濾光片單元5 3 ，而進行圖案形成。並且，當 液晶顯不面板的驅動爲使用T F T ( Thin Film Transistor )時，則不用進行此圖案形成。 在利用如此的液滴噴出裝置3 0來製造彩色濾光片時 ，由於是邊移動液滴噴出頭3 4邊進行該沖洗動作，因此 -26- (22) (22)200303827 不會因爲進行沖洗而有損生產性。 又，因爲是在噴嘴到達自預設的沖洗區4 1內離開的 位置時，以能夠使所有的噴嘴或離開的各個噴嘴的沖洗動 作停止之方式來構成控制裝置4 0，所以可確實地防止因 超出沖洗區4 1來進行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良 影響，或者導致裝置污染。如此一來，因爲可防止對製膜 或圖案形成造成不良影響，所以能夠生產性佳且良好地來 形成彩色濾光片5 5。 又，利用本發明的液滴噴出裝置3 0的驅動方法之製 膜方法，亦可適用於形成有機電激發光元件的構成要件之 薄膜的形成。第9圖及第1 0圖是供以說明具備有機電激 發光元件的電激發光顯示器之一例的槪略構成。圖中，元 件符號7 0是表示電激發光顯示器。 此電激發光顯示器7 0，如電路圖的第9圖所示，在 透明的顯示基板上分別配置有：複數條的掃描線1 3 1 ， 及延伸於與該等掃描線1 3 1交叉的方向之複數條的訊號 線1 3 2，以及與該等訊號線1 3 2並列延伸之複數條的 共通給電線1 3 3，並且在掃描線1 3 1與訊號線1 3 2 的各交點設有畫素（畫素領域）7 1 。 又，對訊號線1 3 2設有具備位移暫存器，位準位移 器，視頻線，及類比開關之資料側驅動電路7 2。 另一方面，對掃描線1 3 1設有具備位移暫存器及位 準位移器之掃描側驅動電路7 3。並且，在各畫素領域 7 1中設有：經由掃描線1 3 1來將掃描訊號供應給閘極 -27- (23) (23)200303827 電極之開關薄膜電晶體1 4 2，及經由此開關薄膜電晶體 1 4 2來保持自訊號線1 3 2所供給的畫像訊號之保持電 容c a p，及藉由保持電容c a p來予以保持的晝像訊號 會被供應給閘極電極之電流薄膜電晶體1 4 3 ，及經由此 電流薄膜電晶體1 4 3來電性連接於共通給電線1 3 3時 會自共通給電線1 3 3流入驅動電流之畫素電極1 4 1， 及夾持於該畫素電極1 4 1與反射電極1 5 4之間的發光 部 1 4 0。 在如此的構成下，若掃描線1 3 1被驅動’而使開關 薄膜電晶體1 4 2形成〇N狀態的話’則此刻的訊號線 1 3 2的電位會被保持於保持電容c a p，按照該保持電 容c a p的狀態來決定電流薄膜電晶體1 4 3的Ο N · 〇F F狀態。然後，電流會經由電流薄膜電晶體1 4 3的 通道來從共通給電線1 3 3流入畫素電極1 4 1，且電流 會通過發光部1 4 0來流入反射電極1 5 4 ’藉此發光部 1 4 0會按照該電流量來發光。 在此，各畫素7 1的平面構造’如第1 0圖所示（去 掉反射電極或有機電激發光元件的狀態下的擴大平面圖） ，平面形狀爲長方形的晝素電極141的四邊會藉由訊號 線1 3 2 ，共通給電線1 3 3 ’掃描線1 3 1及未圖示的 其他畫素電極用的掃描線來予以圍繞配置。 其次，利用第1 1〜1 3圖來說明此類的電激發光顯 示器7 0中所具備之有機電激發光元件的製造方法。並且 ，在第1 1〜1 3圖中，爲了使說明簡略化，而僅圖示單 -28- (24) (24)200303827 一的晝素7 1 。 首先’準備一基板。在此，就有機電激發光元件而言 ’ Μ由基板側來取出後述之發光層的發光光，或者由與基 Μ〖目反的一側來取出發光光。在由基板側來取出發光光 時’基板材料可使用玻璃，石英，或樹脂等透明或半透明 者’尤其是以玻璃最適合。 又’亦可於基板上配置含顏色濾光片膜或螢光性物質 的顏色變換膜，或者介電質反射膜，而使能夠控制發光顏 色。 又’由與基板呈相反的一側來取出發光光時，基板可 爲不透明’此情況，可使用在氧化鋁等的陶瓷或不鏽鋼等 的金屬片上施以表面氧化等的絕緣處理之熱硬化性樹脂及 熱可塑性樹脂等。 就本例的基板而言，如第1 1 ( a )圖所示，是使用 由鈉玻璃等所構成的透明基板1 2 1。又，可因應所需， 以TEOS (四氯乙氧基矽烷）或氧氣等作爲原料，藉由 電漿CVD法來形成由厚度約2 0 0〜5 0 0 nm的氧化 矽膜所構成的底層保護膜（未圖示）。 其次，將透明基板1 2 1的溫度設定成約3 5 0 °C， 而於底層保護膜的表面，藉由電漿CVD法來形成由厚度 約3 0〜7 0 n m的非晶質矽膜所構成的半導體膜2 〇 〇 。其次，對該半導體膜2 0 0進行雷射退火或固相成長法 等的結晶化過程，使半導體膜2 0 0結晶化成多晶矽膜。 就雷射退火法而言，例如可使用準分子雷射，光束長爲 -29- (25) (25)200303827 4 0 0 n m的線光束，其輸出強度，例如爲2 0 0 m J / c m 2。有關線光束方面，是以相當於其短方向的 雷射強度的峰値的9 0 %的部份能夠重疊於每個領域之方 式來掃描線光束。 其次，如第1 1 ( b )圖所示，對半導體膜（多晶矽 膜）2 〇 〇進行圖案的形成，而形成島狀的半導體膜 2 1 0 ，且於其表面，以T E〇S或氧氣等作爲原料，藉 由電漿CVD法來形成由厚度約6 0〜1 5 0 nm的氧化 矽膜或氮化膜所構成的閘極絕緣膜2 2 0。並且，雖然半 導體膜2 1 0會形成如第1 0圖所示之電流薄膜電晶體 1 4 3的通道領域及源極•汲極領域，但在不同的剖面位 置也會形成開關薄膜電晶體1 4 2的通道領域及源極•汲 極領域。亦即，在第1 1〜1 3圖所示的製造過程中，雖 然兩種類的電晶體1 4 2，1 4 3會同時被製作，但由於 是以同樣的程序來製作，因此在以下的說明中有關電晶體 方面，會只針對電流薄膜電晶體1 4 3來進行說明，而省 略開關薄膜電晶體1 4 2的說明。 其次，如第1 1 ( c )圖所示，藉由濺鍍法來形成由 鋁，鉅，鉬，鈦，鎢等的金屬膜所構成的導電膜，然後予 以形成圖案，而形成閘極電極1 4 3 A。 其次，在此狀態下植入高濃度的磷離子，在半導體膜 2 1 0中形成對閘極電極1 4 3 A自我整合的源極•汲極 領域143a ，143b。並且，未被導入雜質的部份會 形成通道領域1 4 3 c。 -30- (26) 200303827 其次，如第1 1 ( d )圖所示，在形成層間絕緣膜 230之後，形成接觸孔232 ，234，且於該等接觸 孔232 ，234中埋入中繼電極236 ，238。 其次’如弟1 1 ( e )圖所不，在層間絕緣膜2 3〇 上形成訊號線1 3 2 ’共通給電線1 3 3及掃描線（第 1 1圖中未圖示）。在此，中繼電極2 3 8與各配線亦可 於同一過程中形成。此刻，中繼電極2 3 6是藉由後述的 I T ◦膜來形成。 又’以能夠覆盍各配線的上面之方式來形成層間絕緣 膜2 4 0，在對應於中繼電極2 3 6的位置形成接觸孔（ 未圖示），且以能夠埋入該接觸孔內之方式來形成I 丁〇 膜，然後再對該I T 0膜進行圖案的形成，而在被圍繞於 訊號線1 3 2，共通給電線1 3 3及掃描線（未圖示）的 預定位置形成電性連接於源極•汲極領域1 4 3 a的畫素 電極1 4 1。在此，被夾在訊號線1 3 2及共通給電線 1 3 3以及掃描線（未圖示）的部份會形成後述之正孔注 入層或發光層的形成場所。 其次，如第1 2 ( a )圖所示，以能夠圍繞上述形成 埸所之方式來形成隔壁1 5 0。此隔壁1 5 0具有作爲間 隔構件的機能，最好是以聚醯亞胺等的絕緣性有機材料來 形成。有關隔壁1 5 0的膜厚，例如形成1〜2 // m的高 町。妆且，隔壁1 5 0最好是對液體（由液滴噴出頭3 4 叫吣M1,的液體）具有撥液性。爲了使隔壁1 5 0具有撥液 N ，例如可採用藉由氟系化合物等來對隔壁1 5 0的表面 -31 - (27) (27)200303827 進行表面處理之方法。在此，就氟系化合物而言，例如有 CF4’ SF6，CHF3等。就表面處理而言，例如有電 漿處理，U V照射處理等。 又，根據如此的構成，在正孔注入層或發光層的形成 場所，亦即在該等形成材料的塗佈位置及其周圍的隔壁 1 5 0之間形成有充分高度的段差1 1 1 。 其次，如第1 2 ( b )圖所示，在使顯示基板1 2 1 的上面向上的狀態下，藉由液滴噴出頭3 4來選擇性地將 正孔注入層的形成材料塗佈於被上述隔壁1 5 〇所圍繞的 位置，亦即隔壁1 5 0內。 在此’如此之正孔注入層的形成材料的噴出，是沿著 噴頭移動手段3 3的導軌3 3 d，3 3 d來使液滴噴出頭 3 4往返移動於X軸方向，但此刻會在每個通路或每數個 通路使液滴噴出頭3 4移動至沖洗區4 1，在此進行上述 沖洗。此情況’與先前彩色濾光片的製造時同樣的，可進 行則述兩種方式的其中之一。並且，亦可選擇是否進行印 子即微振動，以及是否一旦使液滴噴出頭3 4轉動後來進 行沖洗，或者選擇進行沖洗的時序（只在沖洗區4丨上朝 向內側移動時進行沖洗）。 就上述正孔注入層的形成材料而言，例如有：聚合物 先驅物爲聚四氫硫苯基苯之聚苯乙烯、丨，丨一雙一（4 一 N，N —二甲苯基胺基苯基）環乙烷、三（8 一羥基口奎 啉酚）鋁等。 此刻，液狀的形成材料工工4 A雖會因爲流動性高而 -32- (28) (28)200303827 擴散於水平方向，但由於形成有隔壁丨5 〇 (圍繞所被塗 佈的位置），因此可防止形成材料1 1 4 a越過隔壁 1 5 0而擴散至外側。 其次，如第1 2 ( c )圖所示，藉由加熱或光照射來 使液狀的先驅物1 1 4 A的溶媒蒸發，而於畫素電極 1 4 1上形成固形的正孔注入層；L 4 〇A。 其次’如第1 3 ( a )圖所示’在使顯示基板1 2 1 的上面向上的狀態下，藉由液滴噴出頭3 4來將液狀材料 ，亦即發光層的形成材料（發光材料）1 1 4 B予以選擇 性地塗佈於上述隔壁1 5 0內的正孔注入層1 4 0 A上。 在此發光層的形成材料噴出時，也會在每個通路或數個通 路，使液滴噴出頭3 4移動至沖洗區4 1，在此進行前述 的沖洗。 就發光層的形成材料而言，最好是例如使用含：共軛 系高分子有機化合物的先驅物，及供以使所取得之發光層 的發光特性變化的螢光色素者。 共軛系高分子有機化合物的先驅物是在與螢光色素等 一起從液滴噴出頭3 4噴出形成於薄膜之後，例如下式（ I )所示，藉由加熱硬化來產生成爲共軛系高分子有機電 激發光層的發光層，例如爲先驅物的毓鹽時，藉由加熱處 理來使毓基脫離，形成共軛系高分子有機化合物。 -33- 200303827 ^^ch-ch2-^ 15CTCX4h「加熱 ---^ S 士 Cl

N2雰囲気

如此的共軛系高分子有機化合物爲固體且具有強螢光 ，可形成均質的固體超薄膜。並且，與I TO電極的密著 性亦高。而且，如此之化合物的先驅物硬化後會形成強固 的共軛系高分子膜，所以在加熱硬化前可將先驅物溶液調 整成適用於後述之利用液滴噴出頭的製膜法的所期望黏度 ，而能夠以簡便且短時間來進行最適條件的膜形成。 就如此的先驅物而言，例如最好爲P P V (聚（對苯 乙烯））或其衍生物的先驅物。P P V或其衍生物的先驅 物可溶於水或有機溶媒，且因爲可聚合物化，所以光學性 地取得高品質的薄膜。又，P P V具有強螢光，且因爲雙 重結合的；r電子在聚合物鏈上亦爲非極在化的導電性高分 子，所以可取得高性能的有機電激發光元件。 就如此之P P V或P P V衍生物的先驅物而言，例如 有化學式（I I )所示之P P V (聚（對苯乙烯））先驅 物、Μ ◦ — PPV (聚（2 ，5 —二甲氧基一 1 ，4 —苯 乙烯））先驅物、CN — PPV (聚（2，5 -雙己氧基 一 1 ，4 一伸苯基一（1 一胺基乙烯）））先驅物、 MEH — PPV (聚[2 —甲氧基一 5 — (2’一乙基己氧 基）]一對苯乙烯）先驅物等。 -34- (30)200303827 【化2

酬 一 PPV p p v或p p v衍生物的先驅物，如前述 可藉由製膜後的加熱來高分子化而形成P P V P P V先驅物的含量，最好對組成物全體而言 〇 . 〇1〜10 . 〇wt%，更理想爲〇 · 1 %。若先驅體的添加量過少，則形成共軛 Ψ 1 A方夠充分，若過多，則組成物的黏度會變 時會4 (Π) 溶於水， 。上述 ，爲 5 . 0 高分子膜 ，有可能 -35- (31) (31)200303827 會無法適用於利用液滴噴出頭的製膜法來進行高精度的圖 案形成。 又，就發光層的形成材料而言，最好是含至少一種的 螢光色素。藉此，可使發光層的發光特性變化，例如可有 效提高發光層的發光效率，或者用以改變光吸收極大波長 (發光色）。螢光色素並非單單是作爲發光層材料用，亦 可具有作爲發光機的色素材料用。例如，可將共轭系高 分子有機化合物上的載流子再結合下所產生的激發子 (excition)的能量予以幾乎移至螢光色素分子上。此情況 ，因爲發光會只由螢光量子效率高的螢光色素分子來引起 ，所以發光層的電流量子效率也會增加。因此，在發光層 的形成材料中添加螢光色素的同時，發光層的發光光譜亦 爲螢光分子，所以亦可有效作爲改變發光色的手段。 在此，所謂的電流量子效率是供以根據發光機能來考 察發光性能的尺度，亦即根據以下所示的式子來加以定義 〇 D E =所被放出之光子的能量/輸入電氣能量 又，可藉由光吸收極大波長的變換（利用螢光色素的 摻雜）來使紅，藍，綠等3原色發光，其結果可取得全彩 顯示體。 又，藉由螢光色素的摻雜來大幅度地提高電激發光元 件的發光效率。 就螢光色素而言，在形成紅色的發色光的發光層時， 最好是使用具有紅色發光色的若丹明或若丹明衍生物。由 -36- (32) (32)200303827 於該等的螢光色素爲低分子，因此可溶於水溶液，且與 P P V相容性佳，容易形成均一且安定的發光層。如此的 螢光色素，具體而言，例如有若丹明B，若丹明B基底， 若丹明6 G，若丹明1 〇 1高氯酸鹽等，或者予以混合兩 種以上者。 又，在形成綠色的發色光的發光層時，最好是使用具 有綠色發光色的喹吖啶酮及其衍生物。該等的螢光色素與 上述紅色螢光色素同樣的，由於爲低分子，因此可溶於水 溶液，且與P P V相容性佳，容易形成發光層。 又，在形成藍色的發色光的發光層時，最好是使用具 有藍色發光色的二苯乙烯基聯苯基及其衍生物。該等的螢 光色素與上述紅色螢光色素同樣的，由於爲低分子，因此 可溶於水•醇混合溶液，且與P P V相容性佳，容易形成 發光層。 又，就具有藍色發光色的其他螢光色素而言，例如可 爲香豆素及其衍生物•該等的螢光色素與上述紅色螢光色 素同樣的，由於爲低分子，因此可溶於水溶液，且與 P P V相容性佳，容易形成發光層。如此的螢光色素，具 體而言，例如有香豆素，香豆素-1 ，香豆素- 6，香豆 素一 7，香豆素120，香豆素138，香豆素152， 香豆素1 5 3 ，香豆素3 1 1 ，香豆素3 1 4，香豆素 334，香豆素337，香豆素343等。 又，就具有其他的藍色發光色的螢光色素而言，例如 有四苯基丁二烯（TP B )或TP B衍生物。該等的螢光 -37- (33) (33)200303827 色素與上述紅色螢光色素同樣的，由於爲低分子，因此可 溶於水溶液，且與p p V相容性佳，容易形成發光層。 就以上的螢光色素而言，各顏色可只使用一種，或者 混合兩種以上。 又’有關該等的螢光色素，最好是針對上述共軛系高 分子有機化合物的先驅物固型部份添加1 · 〇〜5 · 0 w t % °若螢光色素的添加量過多，則發光層的耐候性及 耐久性的維持不易’另一方面，若螢光色素的添加量過少 ’則會無法充分取得像上述那樣加諸螢光色素所產生的效 果。 又’有關上述先驅物及螢光色素，最好是以溶解或分 散於極性溶媒者來作爲液狀材料，而從液滴噴出頭3 4來 噴出此液狀材料。由於極性溶媒可使上述先驅物及螢光色 素等容易地溶解或均一地分散，因此可防止發光層形成材 料中的固型部份附著或阻塞於液滴噴出頭3 4的噴嘴孔 18° 就如此的極性溶媒而言，具體而言，例如有：水、甲 醇、乙醇等具有與水相容性的醇、N，n -二甲基甲醯胺 (DMF) 、N —甲基吡咯烷酮（NMP)、二甲基咪唑 琳（DMI)、二甲基亞碾（DMSO)等有機溶媒或無 機溶媒’或者亦可適當地將該等的溶媒混合兩種以上。 此外’在上述形成材料中最好添加溼潤劑。藉此，可 有效防止形成材料乾燥•凝固於液滴噴出頭3 4的噴嘴孔 1 8。就溼潤劑而言，例如有甘油，二甘醇等的多元醇， -38- (34) (34)200303827 或者予以混合兩種以上者。並且，此溼潤劑的添加量，最 好是對形成材料的全體量而言，添加5〜2 〇w t %左右 〇 另外，亦可添加其他的添加劑，被膜安定化材料，例 如可使用安定劑，黏度調整劑，老化防止劑，P Η調整劑 ，防腐劑，樹脂乳膠，平坦劑等。 若從液滴噴出頭3 4的噴嘴孔1 8噴出如此發光層的 形成材料1 1 4 Β，則形成材料1 1 4 Α會被塗佈於隔壁 1 5 0內的正孔注入層1 4 0A上。 在此，利用形成材料1 1 4 A的噴出之發光層的形成 ’是藉由使紅色的發光色發光之發光層的形成材料，使綠 色的發光色發光之發光層的形成材料，及使藍色的發光色 發光之發光層的形成材料，分別噴出塗佈於所對應的畫素 7 1來進行。並且，對應於各色的畫素7 1是以能夠形成 規則性的配置之方式來事先決定。 如此一來，若噴出塗佈各色的發光層形成材料，則會 藉由使發光層形成材料1 1 4 B中的溶媒蒸發，在正孔注 入層140A上形成固形的發光層140B (如第13 ( b)圖所示），藉此來取得由正孔注入層140A與發光 層140B所構成的發光部140。在此，有關發光層形 成材料1 1 4 B中的溶媒蒸發，雖可因應所需，進行加熱 或減壓等的處理，但因爲發光層的形成材料通常乾燥性良 好且具速乾性，所以不必特別進行如此的處理，因此可藉 由依次噴出塗佈各色的發光層形成材料來依此塗佈順序形 -39- (35) (35)200303827 成各色的發光層1 4 0 B。 然後’如第5 ( c )圖所示，在透明基板1 2 1的表 面全體形成條紋狀的反射電極1 5 4，取得有機電激發光 元件。 在利用如此的液滴噴出裝置3 0來製造有機電激發光 元件的構成要件之正孔注入層1 4 0 A或發光層1 4 0 B 時’因爲是特別使液滴噴出頭3 4邊移動邊進行沖洗動作 ，所以不會因進行該沖洗而有損生產性。 又’因爲是在噴嘴到達自預設的沖洗區4 1內離開的 位置時’以能夠使所有的噴嘴或離開的各個噴嘴的沖洗動 作停止之方式來構成控制裝置4 0，所以可確實地防止因 超出沖洗區4 1來進行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良 影響’或者導致裝置污染。如此一來，因爲可防止對製膜 或圖案形成造成不良影響，所以能夠生產性佳且良好地來 形成正孔注入層1 4 0A或發光層1 4 0 B。 又’本發明之液滴噴出裝置及其驅動方法，以及具備 彼之製膜裝置及製膜方法，並非是只利用於形成彩色濾光 片或有機電激發光元件的構成要件之薄膜的製造，亦可適 用於其他種種的薄膜或圖案的形成。例如，利用於投影用 銀幕等之微透鏡的形成等。 其次，說明有關本發明的電子機器。本發明的電子機 器是藉由使用上述液滴噴出裝置3 0的驅動方法的製膜方 法來形成其中所具備之裝置的構成要件或製造上形成的薄 膜。亦即，本發明的電子機器爲具備上述彩色濾片的液晶 -40- (36) (36)200303827 顯示裝置，或者具備有機電激發光元件的電激發光顯示器 〇 第1 4 ( a )圖是表示行動電話之一例的立體圖。在 第14 (a)圖中，500是表示行動電話本體，501 是表示由上述液晶顯示裝置或電激發光顯示器等所構成的 顯示裝置。第1 4 ( b )圖是表示打字機，個人電腦等攜 帶型資訊處理裝置之一例的立體圖。在第14 (b)圖中 ’ 6 0 0是表示資訊處理裝置，6 0 1是表示鍵盤等的輸 入部’ 603是表示資訊處理本體，602是表示由上述 液晶顯示裝置或電激發光顯示器等所構成的顯示裝置。 第1 4 ( c )圖是表示手錶型電子機器之一例的立體 圖。在第14 (c)圖中，700是表示手錶本體， 7 0 1是表示由上述液晶顯示裝置或電激發光顯示器等所 構成的顯示裝置。 由於第1 4 (a)〜（c)圖所示的電子機器是具備 由上述液晶顯示裝置或電激發光顯示器等所構成的顯示裝 置，因此可生產性佳且良好地來形成。 [發明之效果] 如以上所述，若利用本發明的液滴噴出裝置，則因爲 可邊使液滴噴出頭移動，邊於沖洗區內使沖洗動作進行於 該液滴噴出頭，所以不會因進行該沖洗而有損生產性。又 ，因爲是在至少一個噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位 置時，使能夠控制成停止所有噴嘴的沖洗動作，所以可防 -41 - (37) (37)200303827 止因超出沖洗區來進行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良 影響，或者導致裝置污染。 若利用本發明之另一液滴噴出裝置，則因爲可邊使液 滴噴出頭移動，邊於沖洗區內使沖洗動作進行於該液滴噴 出頭，所以不會因進行該沖洗而有損生產性。又，因爲是 在噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時，使能夠控制 成停止該噴嘴的沖洗動作，所以可防止因超出沖洗區來進 行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良影響，或者導致裝置 污染。 又，若利用本發明的製膜裝置，則因爲具備上述液滴 噴出裝置，所以不會因進行該沖洗而有損生產性，且可防 止因超出沖洗區來進行沖洗時對製膜造成不良影響，或者 導致裝置污染。 又，若利用本發明之液滴噴出裝置的驅動方法，則因 爲可邊使液滴噴出頭移動，邊於沖洗區內使沖洗動作進行 於該液滴噴出頭，所以不會因進行該沖洗而有損生產性。 又，因爲是在至少一個噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的 位置時，使所有噴嘴的沖洗動作停止，所以可防止因超出 沖洗區來進行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良影響，或 者導致裝置污染。 又，若利用本發明之另一液滴噴出裝置的驅動方法， 則因爲可邊使液滴噴出頭移動，邊於沖洗區內使沖洗動作 進行於該液滴噴出頭，所以不會因進行該沖洗而有損生產 性。又，因爲是在噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置 -42- (38) (38)200303827 時，使該噴嘴的沖洗動作停止，所以可防止因超出沖洗區 來進行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良影響，或者導致 裝置污染。 又，若利用本發明的製膜方法，則因爲具備上述液滴 噴出裝置的驅動方法，所以不會因進行該沖洗而有損生產 性，且可防止因超出沖洗區來進行沖洗時對製膜造成不良 影響，或者導致裝置污染。 又，若利用本發明之彩色濾光片的製造方法，則不會 有損生產性，且可防止對製膜造成不良影響，或者導致裝 置污染，因此可生產性佳且良好地形成彩色濾光片。 又，若利用本發明之有機電激發光裝置的製造方法， 則不會有損生產性，且可防止對製膜造成不良影響，或者 導致裝置污染，因此可生產性佳且良好地形成有機電激發 光裝置的構成要件之薄膜。 又，若利用本發明之電子機器，則可藉由利用上述製 膜方法而形成的裝置來生產性佳且良好地予以形成。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明之液滴噴出裝置的一實施形態例 的槪略構成立體圖。 第2圖是用以說明液滴噴出頭的槪略構成圖，其中圖 (a )爲要部立體圖，圖（b )爲要部側剖面圖。 第3圖是用以說明作業台與沖洗區的位置關係平面圖 -43- (39) (39)200303827 第4 ( a ) ，（ b )圖是用以說明沖洗區與液滴噴出 頭的位置關係平面圖。 第5 ( a ) ， （ b )圖是用以說明液滴噴出頭的轉動 平面圖。 第6圖是表示對壓電元件之施加電壓的波形圖。 第7圖是表示基板上的彩色濾光片領域。 第8 ( a )〜（ί )圖是用以依過程順序來說明彩色 濾光片領域的形成方法之要部側剖面圖。 第9圖是表示具備有機電激發光元件的電激發光顯示 器的一例電路圖。 第1 0圖是表示第9圖的電激發光顯示器的晝素部的 平面構造之擴大平面圖。 第1 1 ( a )〜（e )圖是用以依過程順序來說明有 機電激發光元件的製造方法之要部側剖面圖。 第1 2 ( a )〜（c )圖是用以依次說明接續於第3 圖的過程之要部側剖面圖。 第1 3 ( a )〜（c )圖是用以依次說明接續於第4 圖的過程之要部側剖面圖。 第1 4圖是表示本發明之電子機器的具體例，其中圖 (a )是表示適用於行動電話時的一例立體圖，圖（b ) 疋表不適用^資g只處理裝置時的_*例立體圖，圖（c )是 表示適用於手錶型電子機器時的一例立體圖。 第1 5 ( a ) ， （ b )圖是用以說明液滴噴出頭的姿 勢（安裝角度）與被噴出之液滴的關係圖。 -44- (40) 200303827 【符號之說明】 3 0 :液滴噴出裝置 3 4 :液滴噴出頭 3 9 :基台 4 0 :控制裝置（控制手段） 4 1 :沖洗區 5 :基板 -45-

Claims (1)

1. (1) (1)200303827 拾、申請專利範圍 1、 一種液滴噴出裝置，其係具有： 液滴噴出頭；該液滴噴出頭是設置於基台的上方，可 對基板於一方向來回移動，且具備縱橫整列噴出液滴於上 述基板的複數個噴嘴；及 沖洗區；該沖洗區對上述基台上的基板而言，是設置 於上述一方向的至少一方的側方；及 控制手段；該控制手段是在於控制上述液滴噴出頭的 動作； 上述液滴噴出頭對上述一方向而言，是使其噴嘴列傾 斜配置； 其特徵爲： 上述控制手段是邊使上述液滴噴出頭移動，邊於沖洗 區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭，且在至少一個噴嘴 到達自預設的沖洗區內離開的位置時，使能夠控制成停止 所有噴嘴的沖洗動作。 2、 一種液滴噴出裝置，其係具有： 液滴噴出頭；該液滴噴出頭是設置於基台的上方，可 對基板於一方向來回移動，且具備縱橫整列噴出液滴於上 述基板的複數個噴嘴；及 沖洗區；該沖洗區對上述基台上的基板而言，是設置 於上述一方向的至少一方的側方；及 控制手段；該控制手段是在於控制上述液滴噴出頭的 動作； -46- (2) (2)200303827 上述液滴噴出頭對上述一方向而言，是使其噴嘴列傾 斜配置； 其特徵爲： 上述控制手段是邊使上述液滴噴出頭移動，邊於沖洗 區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭，且在噴嘴到達自預 設的沖洗區內離開的位置時，使能夠控制成停止該噴嘴的 沖洗動作。 3、如申請專利範圍第1或2項之液滴噴出裝置，其 中上述控制手段是在對噴嘴進行使沖洗動作停止的控制之 後，控制成可對該噴嘴進行微振動動作。 4 '如申請專利範圍第1或2項之液滴噴出裝置，其 中上述沖洗區對基台上的基板而言，是設置於上述一方向 的兩側。 5 '如申請專利範圍第1或2項之液滴噴出裝置，其 中上述控制手段是在液滴噴出頭朝外側移動於沖洗區上時 ’不進行沖洗動作，而只在液滴噴出頭朝內側移動於沖洗 區上時，進行沖洗動作。 6、如申請專利範圍第1或2項之液滴噴出裝置，其 中上述液滴噴出頭會被設置成能夠轉動於其周方向，且該 轉動動作是藉由上述控制手段來控制； 上述控制手段是在上述液滴噴出頭移動於沖洗區內進 行沖洗時’事先使該液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠對上 述一方向垂直，且在所有噴嘴停止沖洗動作之後，再度控 制成能夠傾斜轉動。 -47- (3) (3)200303827 7、 如申請專利範圍第6項之液滴噴出裝置，其中使 對上述液滴噴出頭的動作，亦即使其噴嘴列能夠對上述一 方向垂直而轉動的動作進行於沖洗區上。 8、 一種製膜裝置，其特徵是具備申請專利範圍第1 〜7項的其中任一項所記載之液滴噴出裝置。 9、 一種液滴噴出裝置的驅動方法，其係在配置於基 台上之基板上塗佈液滴者，其特徵爲： 上述液滴噴出裝置具有： 液滴噴出頭；該液滴噴出頭是設置於上述基台的上方 ，可對基板於一方向來回移動，且具備縱橫整列噴出液滴 於上述基板的複數個噴嘴；及 沖洗區；該沖洗區對上述基台上的基板而言，是設置 於上述一方向的至少一方的側方； 上述液滴噴出頭對上述一方向而言，是使其噴嘴列傾 斜配置； 在邊使上述液滴噴出頭移動，邊於沖洗區內使沖洗動 作進行於該液滴噴出頭之下進行沖洗，然後在至少一個噴 嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時，使所有噴嘴的沖 洗動作停止。 1 0、一種液滴噴出裝置的驅動方法，其係在配置於 基台上之基板上塗佈液滴者，其特徵爲： 上述液滴噴出裝置具有： 液滴噴出頭；該液滴噴出頭是設置於上述基台的上方 ，可對基板於一方向來回移動，且具備縱橫整列噴出液滴 -48- (4) (4)200303827 於上述基板的複數個噴嘴；及 沖洗區；該沖洗區對上述基台上的基板而言，是設置 於上述一方向的至少一方的側方； 上述液滴噴出頭對上述一方向而言，是使其噴嘴列傾 斜配置； 在邊使上述液滴噴出頭移動，邊於沖洗區內使沖洗動 作進行於該液滴噴出頭之下進行沖洗，然後在噴嘴到達自 預設的沖洗區內離開的位置時，使該噴嘴的沖洗動作停止 〇 1 1 '如申請專利範圍第9或1 〇項之液滴噴出裝置 的驅動方法’其中在使噴嘴的沖洗動作停止之後，對該噴 嘴進行微振動動作。 1 2 '如申請專利範圍第9或1 〇項之液滴噴出裝置 的驅動方法，其中上述沖洗區對基台上的基板而言，是設 置於上述一方向的兩側。 1 3、如申請專利範圍第9或1 〇項之液滴噴出裝置 的動方法’其中在液滴噴出頭朝外側移動於沖洗區上時 ’不進行沖洗動作，而只在液滴噴出頭朝內側移動於沖洗 區上時’進行沖洗動作。 1 4、如申請專利範圍第9或1 0項之液滴噴出裝置 的驅動方法，其中上述液滴噴出頭會被設置成能夠轉動於 其周方向’且該轉動動作是藉由上述控制手段來控制； 虽上述液滴噴出頭移動於沖洗區內進行沖洗時，事先 使故液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠對上述一方向垂直， -49- (5) (5)200303827 且在所有噴嘴停止沖洗動作之後，再度使傾斜轉動。 1 5 '如申請專利範圍第1 4項之液滴噴出裝置的驅 動方法，其中使對上述液滴噴出頭的動作，亦即使其噴嘴 列能夠對上述一方向垂直而轉動的動作進行於沖洗區上。 1 6、一種製膜方法，其特徵是具備申請專利範圍第 9〜1 5項的其中任一項所記載之液滴噴出裝置的驅動方 法。 1 7、一種彩色濾光片的製造方法，其特徵是藉由申 請專利範圍第1 6項所記載的製膜方法來形成彩色濾光片 〇 1 8、一種有機電激發光裝置的製造方法，其特徵是 藉由申請專利範圍第1 6項所記載的製膜方法來形成有機 電激發光裝置的構成要件的薄膜。 1 9、一種電子機器’其特徵是具備利用申請專利箪β 圍第1 6項所記載的製膜方法而形成的裝置。 -50-