TW200301854A - Agent-based control architecture - Google Patents

Description

200301854 半導體裝 軟體媒介 (recipe) 有一般驅 電路裝置 地工作的 驅策力。 造以及設 改良。此 缺陷，則 晶體的積 其中包括 快速熱處 一批晶圓 製程工具 製程工具 是目前在 點。更具 用的格式 視能力， 參數之即 )監視。 策力來 之品質 較高品 這些需 有此種 外，若 亦可降 體電路 微影步 理工具 執行一 的基礎 的精進 市場上 體而言 提供歷 也缺乏 時圖形 這些缺 提高諸如 、可靠性 質之電腦 求已使得 電晶體的 能減少典 低每一電 裝置之成 進機、钱 、離子植 組製程步 之技術已 。然而， 可購得的 ，此種工 史性參數 事件記錄 顯示、以 點可能對 五、發明說明（1) [發明所屬之技術領域] 本發明係大致有關 一種利用自主性主動式 制處理晶圓的技術方法 [先前技術] 半導體工業中一直 器、記憶裝置等的積體 率。客戶對於可更可靠 置的需求更強化了此種 體等的半導體裝置之製 裝置之製造有了持續的 的各組成部分製造時之 體成本、及設有此種電 一般而言，係利用 沈積工具、研磨工具、 的各種製程工具，而對 去數年中，構成半導體 的注意，而造成了此種 域中已有這些進展，但 製程工具仍然有某些缺 乏諸如以使用者易於使 力等的先進製程資料監 程參數及整批次的製程 (亦即本地及世界各地 置製造之領域，尤係有關 (software agent )來控 之自動化製造環境。 微處理 、及產出 及電子裝 諸如電晶 積體電路 型電晶體 晶體的整 本0 刻工具、 入工具等 驟。在過 獲致更多 儘管該領 許多該等 具經常缺 貢料的能 、目前製 及遠端 諸如產出

92226.ptd 第7頁 200301854 五、發明說明 率、正確 具參數等 次内的差 可能造成 變化性； 提供一種 的控制之 一種 廄的控制 g工具與 一製造工 用來協助 該機器介 Control 造模型而 控制描述 料之軟體 具，以便 置的品質 B在製 各種事件 4匕。諸如 .稱 CD)、 因素皆有 ⑵ 性、穩定性及可重複性、製程 的關鍵性製程參數造成了非最 異性、各批次間之差異性、及 產品品質及效能的偏差，所以 反之，用於此類工具的理想之 監視該變化性之裝置，並提供 最佳化裝置。 改善半導體製程線作業的技術 系統來自動地控制各種製程工 由若干製程模組構成的叙造架 具通常係連接到設備介面。該 該製造工具與該製造架構間之 面通常可能是先進製程控制（ :簡稱 APC )系統中的一部分< 啟動控制描述語言程式（cont 語言程式可以是用來自動擷取 程式。半導體裝置經常是逐步 進行多個製程，而產生了與經 有關之資料。 程期間，可能發生會影響到所 。亦即，製程步驟中的變化將 細微結構關鍵尺寸（c r i t i c a 1 摻雜層級（1 e v e 1 s )、接觸電阻 可能影響到該裝置的最終性能 溫度、以及機械工 佳的控制。由於批 各工具間之差異性 顯露了前文所述的 監視及診斷系統將 一種對關鍵性參數 包括使用遍及全工 具的作業。該等製 構或網路通訊。每 設備介面係連接到 通訊的機器介面。 Advanced Process I該APC系統根據製 rο 1 script) ，該 製程執行所需的資 經過多個製造工 過處理的半導體裝 製造裝置的性能之 造成裝置性能的變 dimensions，簡 、及微粒污染等的 。根據各性能模型

92226.ptd 第8頁 200301854 五、發明說明（3) 來控制製程線中的各種工具，以便減少製程的變化。一般 受控制的工具包括微影步進機' 研磨工具、#刻工具、及 沈積工具。將處理前及（或）處理後的度量資料供應到該 等工具的製程控制器。該等製程控制器根據該性能模型及 該度量資訊來計算諸如製程時間等的操作技術資料參數， 以便嘗試使所產生的處理後結果儘量接近目標值。以此種 方式減少變化時，將可獲致更高的產出率、更低的成本、 及更高的裝置性能等成效，所有這些成效都等同於更高的 獲利率。 諸如遍佈全工廠的APC系統之分散式運/算環境中經常 會出現組態控制及效率的問題。通常有許多軟體開發者撰 寫控制程式碼，以便建構該等製程控制器。某一特定的開 發者可能廣泛地開發某一類型的控制器。每一開發者通常 有一特有的程式撰寫風格，且通常依賴其自身撰寫的一些 常式。例如，每一開發者可能有一組常式，作為與資料庫 或該APC架構内的其他實體溝通之介面，並用來執行各種 數學函數及基本公用函數。 與此種配置相關聯的一個問題在於各製程控制描述語 言程式之間只有很少的一致性。大量的客戶訂製式描述語 言程式也造成了組態控制問題及效率問題。各開發者可能 針對一不同的開發者所製作的一不同類型的製程控制器， 而將相當長的時間耗用在複製先前已開發出的程式碼。對 非標準化的程式碼進行除錯是更耗時的工作，且進一步降 低了效率。

92226.ptd 第9頁 200301854 .五、發明說明（4) 本發明之目標在於克服或至少減輕前文所述之一個或 多個問題的效應。 [發明内容] 本發明的一個概念是一種製造系統，該製造系統包含 製程工具、控制器媒介、及第一處理媒介。該製程工具之 組態設定成根據操作技術方法而處理工件。該控制器媒介 之組態設定成決定與該製程工具中之該工件的處理相關聯 的控制動作。該第一製程媒介係與該製程工具及該工件中 之至少一個相關聯，且該第一處理媒介之組態設定成與該 ·£制器媒介連繫，接收該控制動〗乍，並根據該控制動作而 設定該操作技術方法之組態。 本發明的另一個概念是一種根據操作技術方法而控制 組態設定成處理工件的製程工具之方法。將與該製程工具 及該；件中之至少一個相關聯的第一處理媒介實體化。將 組態設定成決定與該製程工具中之該工件的處理相關聯的 控制動作之控制器媒介實體化。該第一處理媒介連繫該控 制器媒介，以便接收該控制動作。該第一處理媒介連繫該 製程工具，以便根據該控制動作而設定該操作技術方法之 組態。 辦實施方式] 下文中將說明本發明之實施例。為了顧及說明的清 晰，本說明書中將不說明真實實的施例之所有特徵。然 .而，我們當了解，於開發任何此類真實的實施例時，必須 作出許多與實施例相關的決定，以便達到開發者的特定目

92226.ptd 第10頁 200301854 五、發明說明（5) 標，例如符合與系統相關的及與業務相關的限制條件，而 這些限制條件將隨著不同的實施例而改變。此外，我們當 了解，此種開發工作可能是複雜且耗時的，但對已從本發 明的揭示事項獲益的擁有此項技藝的一般知識者而言，仍 然將是一種例行的工作。 首先請參閱第1圖，圖中示出根據本發明的一特定實 施例而建構及操作的生產流程（1 0 0 )的一部分之概念 圖。該生產流程（1 0 0 )的所示部分包含兩個製程站（1 0 5 )，每一製程站（105)包含與製程工具（丨15)通訊之電 腦裝置（1 1 0 )。該等製程站（1 ί) 5 )係經由7通訊鏈路 (120)而相互通訊。在所示實施例中，該等電腦裝置 (110)及該等通訊鏈路（120)包含諸如網路（125)等 的較大電腦系統之一部分。第1圖所示之該等製程工具 (1 1 5 J正在處理於製造積體電路裝置時的若干批次（1 3 0 )之晶圓（1 3 5 )。雖然將本發明解說為可將本發明用於 製造半導體裝置，但是本發明的應用並不受此限制，這是 因為可將本發明應用於其他類型的製程。因此，在前文所 述的生產流程（1 0 0 )中，可將該等批次（1 3 0 )的晶圓 (135)更一般性地稱為"工件〃。在所有的實施例中，該 等製程工具（115)及在該等製程工具上執行的任何製程 作業並不必然與半導體裝置的製造相關。然而，為了顧及 說明的清晰，且為了有助於了解本發明，在所示實施例的 内容中揭示本發明時，將保留與半導體製造有關的術語。 第2圖示出根據本發明而設定程式及操作的電腦裝置

92226.ptd 第11頁 200301854 .五、發明說明（6) (1 1 0 )的硬體及軟體架構之各別所選擇部分。圖中並未 '示出該硬體及軟體架構的某些樣態（例如，個別的介面 卡、基本輸入/輸出系統（Basic Input/Output System; 簡稱 B I OS )、及輸入/輸出驅動程式等）。為了顧及說明 的清晰，而省略這些樣態，以便不會模糊了本發明。然 而，對此項技術具有一般知識者在參閱本發明的揭示事項 之後將可了解，電腦裝置（110 )的該軟體及硬體架構將 包含許多此種例行的功能。 在所示實施例中，電腦裝置（1 1 0 )是採用UNIX型作 g系統的工作站，但本發明並不蔓此限制。/事實上可以用 譬如膝上型電腦、桌上型電腦、迷你電腦、大型電腦、或 超級電腦等的任何類型的電子運算裝置來實施該電腦裝置 (110)。在某些替代實施例中，電腦裝置（1 1 0 )甚至可 以是嵌入製程工具（1 1 5 )的處理器或控制器。本發明亦 不限於U N I X型作業系統。亦可採用替代的作業系統（例如 W i n d〇w sTM型作業系統或磁碟作業系統（D i s k〇p e r a t i n g System ；簡稱DOS )型作業系統）。本發明不受限於電腦 裝置（1 1 0 )的特定實施例。 電腦裝置（1 1 0 )亦包含處理器（2 0 5 )，該處理器 ·( 2 0 5 )係經由匯流排系統（2 1 5 )而連接到某儲存單元 (210)。該儲存單元（2 1 0 )通常將包含至少一個硬碟 (圖中未示出）及隨機存取記憶體（Random Access .Memory;簡稱RAM)(圖中未示出）。在某些實施例中， 電腦裝置（110)亦可包含諸如光碟（圖中未示出）、或

92226.ptd 第12頁 200301854 五、發明說明（7) 軟碟（圖中未示出）、或諸如磁帶（圖中未示出）或高容 量軟碟（圖中未示出）等某一其他形式的儲存單元等的抽 換式儲存單元。處理器（2 0 5 )可以是此項技術中習知的 任何適用的處理器。例如，該處理器可以是一個一般用途 微處理器或數位信號處理器（Digital Signal Processor ；簡稱 DSP )。在所示實施例中，處理器（2 〇 5 )是由 Advanced Micro Devices，Inc.nAMD”）在市場上供 應的A t h 1 ο η TM6 4位元處理器，但本發明並不受此限制。亦 可替代性地採用S u η M i c r 〇 s y s t e m s公司供應的6 4位元 1111:厂&3?八1^(^或3 2位元11^(：1'〇3?八1^(^、11^6 1/股份有限公司 供應的任何一種11 a n i u inT M或P e η 1: i u mT M等級的處理器、和 Compaq電腦股份有限公司供應的AlphaTM處理器。電腦裝置 (110)包含監視器（24 0 )、鍵盤（245 )、及滑鼠（250 )，而该寺裝置連同其相關聯的使用者介面軟體（255) 而包含了使用者介面（2 6 0 )。在所示實施例中，該使用 者介面（ 260)是圖形使用者介面（Graphical User Interface;簡稱G U I )，但這不是實施本發明所必要的。 第2圖亦示出電腦裝置（π〇)的軟體架構之一些所 選擇部分。在所示實施例中，每一電腦裝置（1丨〇 )包含 存放在儲存早元（210)的軟體媒介（265)。請注意，可 將軟體媒介（2 6 5 )存放在生產流程（1 〇 〇 )中該等電腦裝 置（1 1 〇 )以外的其他位置。軟體媒介（2 6 5 )的位置對本 發明的實施不是很重要的。亦請注意，因為軟體媒介 ( 2 6 5 )的位置不是很重要，所以某些電腦裝置（u 〇 )可

92226.ptd 第13頁 200301854 五、發明說明（8) 能有多個軟體媒介（265)存放在其中，而其他的電腦裝 置（1 1 0 )可能並無任何軟體媒介（2 6 5 )存放在其中。諸 如由 Consilium， Inc. ( Mountain View, C A )提供的 WORKSITEAMTM等的自動化製造執行系統（Manufacturing Execution System;簡稱 MES) ( 270)係存放在至少一 個電腦裝置（1 1 0 )中。 請再參閱第1圖，如前文所述，該等電腦裝置 也可能是經由該等通訊鏈路（1 2 0 )而連接的較大電腦系 統（1 2 5 )之一部分。在此種實施例中的例示電腦系統將 #括區域網路（L〇Cal Area

Network ;簡稱 LAN)、廣域 網路（Wide Area Network;簡稱WAN)、系統區域網路 (System Area Network;簡稱 SAN)、企業内網路、甚 或網際網路。電腦系統（1 2 5 )採用連網主從式架構，^ 是替代實施例亦可採用同層間架構（peer-to-pee：r — a r c h i t e c t u r e )。因此，在某些替代實施例中，談耸 似 MJ. X ^ ^ 腦 裝置（110)可直接相互通訊。該等通訊鏈路（12〇)可^ 是無線、同軸纜線、光纖、或雙絞線電纜對鏈路。電腦^ 統（1 2 5 )(在各實施例中採用一個電腦系統）、 成等通 ^鏈路（1 2 0 )都是與實施例相關的，且可以此項技術 '白知的任何適當方式提供該電腦系統（1 2 5 )及兮癸 人々荨通訊 鏈路（1 2 0 )。電腦系統（1 2 5 )可採用此項技術+ τ §知的 任何適當之通訊協定，例如傳輸控制協定/網際網路$ & ，協定（Transfer Control Protoco1/ Internet )r〇tocol ;簡稱 TCP/IP)。

200301854 五、發明說明（9) 現在請參閱第1圖及第2圖，該等軟體媒介（2 6 5 )共 同地負責有效率地指導該等批次（1 3 0 )的晶圓（1 3 5 )經 過該製程。每一製程工具（11 5 )代表在該目標下可採用 的某一資源。例如，製程工具（Π 5 )可以是用來製造該 等晶圓（1 3 5 )的某一部分（亦即，晶圓（1 3 5 )的層、圖 樣、掺雜、或熱處理）之製造工具。或者，製程工具 (115)可以是用來評估生產流程（1 0 0 )的各部分的性能 之度量工具。因此，該等軟體媒介（2 6 5 )可將複數個資 源用於該等批次（1 3 0 )的晶圓（1 3 5 )之後續處理、分配 'f / 由該等製程工具（1 1 5 )所代表的資源、以及在該等製程 工具（Π 5 )之間協商，以便將這些資源分配給該等批次 (130)的晶圓（1 3 5 )之後續處理之評估工作。 在所示實施例中，該等軟體媒介（2 6 5 )是在啟動時 自行設定組態的、具有智慧的、知道狀態的、且灌輸有其 自主地開始行動而要達成之特定目標。該等軟體媒介 ( 2 6 5 )也是可隨著其所在環境的改變而自行調整。在一 物件導向程式設計（Object Oriented Programming;簡 稱OOP )環境中，係將該等軟體媒介（2 6 5 )實施為物件， 但是亦可利用非物件導向的技術來實施本發明。該等軟體 媒介的行為是相當簡單的，且是描述語言程式或基於規則 的。將該行為設計成達到所選擇的目標，例如：達到所指 定的批次到期日，達到預先規定的品質水準，使機器的利 用率最大化，以及安排隨機的預防性維護。於推動這些目 標時，該等軟體媒介（2 6 5 )係作為MES( 2 7 0 )的介面，並

92226.ptd 第15頁 200301854 .五、發明說明（ίο) 與現有的工廠控制系統（圖中未示出）整合。熟習此項技 術者在參閱本發明的揭示事項之後將可了解，此種介面及 整合進行的方式將根據Μ E S ( 2 7 0 )及該工廠控制系統的特 性而是與實施例相關的。 如將於下文中進一步說明的，可針對數個不同的層級 而將該等軟體媒介（2 6 5 )專門化。一個層級是〃類型ff， 亦即，該等軟體媒介（2 6 5 )在生產流程（1 0 0 )中是代表 π消費者H或ff供應者〃。更具體而言，係由軟體媒介在整 體生產流程（1 0 0 )中所代表的實體之類型來決定該等軟 •ί媒介（2 6 5 )代表消費者或供應者。例如，軟體媒介 ( 2 6 5 )可代表批次（1 3 0 )的晶圓（1 3 5 )(亦即〃批次 媒介π、製程工具（1 1 5 )(亦即”機器媒介π )、或製程 材料（亦即”資源媒介〃）。亦可以藉由功能（亦即，以 軟體媒介（2 6 5 )在生產流程中執行的功能）將該等軟體 媒介（2 6 5 )專門化。例如，可將軟體媒介（2 6 5 )之組態 設定成執行特定的功能，而不必然代表特定的實體。例 如，可將軟體媒介（2 6 5 )之組態設定成決定在製程工具 (115)中處理的特定批次（1 3 0 )的晶圓（1 3 5 )之控制 動作（亦即”控制器媒介”）。該控制器媒介所採取的動作 %取決於該批次（1 3 0 )的特性、及製程工具（1 1 5 )的特 性。視特定的實施例而定，可由一批次媒介或機器媒介可 而呼叫控制器媒介。在所示實施例中，控制器媒介在其整 .個生命週期中都保持與特定的製程工具（1 1 5 )相關聯， 然而，亦可使用其他的配置。軟體媒介（2 6 5 )可執行其

92226.ptd 第16頁 200301854 五、發明說明（11) 中包括排程的其他功能。 在將於下文中更完整說明的一實施例中，例如，可以 有排程媒介、處理媒介、及控制器媒介。請注意，該等軟 體媒介（2 6 5 )不必然存在與諸如各批次（1 3 0 )或製程工 具（11 5 )等的各製造領域實體間之一對一的對映關係。 相反地，係由一組軟體媒介（2 6 5 )代表大部分的各領域 實體。例如，一批次（1 3 0 )或製程工具（11 5 )可以有排 程媒介及處理媒介。控制器媒介可與特定的製程工具 (115)相關聯，且可由其中一個處理媒介（亦即與該批 (130)或該製程工具（1 1 5 )相關聯的處理媒介）呼叫。 此種配置有助於設計專門化的物件，用以展現專門化的行 為，以便支援領域實體功能的單一樣態。 在此特定的實施例中，係利用物件導向程式設計數來 實施該等軟體媒介（2 6 5 )。在物件導向運算的術語中， 軟體π媒介π是具有自主性的主動式物件。在將一組運算 提供給軟體媒介（2 6 5 )之後，該軟體媒介可回應當地的狀 況而採取獨立的動作，因而產生了具有適應性的系統行 為。本發明提供了 一種媒介增強型系統，該系統可對具有 自主性及行動性的"軟體媒介Η進行定義、組態設定、及 部署，而該等軟體媒介係模擬且提昇半導體製造工廠中的 諸如工廠工作者、材料、設備、及製程等"真實世界”媒 介的功能。熟習此項技術者當可了解，一媒介或其他的軟 體物件可包含一個或多個軟體物件。在本文的用法中，術 語π物件”意指軟體物件，且該軟體物件又可由其他若干

92226.ptd 第17頁 200301854 五、發明說明（12) 的軟體物件所構成。相反地，熟習此項技術者當亦了解， 可將一個物件的功能與其他的功能結合。我們當了解，可 將描述為與各別物件相關聯的功能結合成與單一物件相關 聯的功能。 此外，在此特定實施例中，該等軟體媒介（2 6 5 )是 π可設定組態的M。 在該特定實施例中，可修改用來管制 軟體媒介行為的描述語程式，或修改π控制旋鈕π (n control knobn )，而設定該等軟體媒介的組態。控制 旋鈕是可在外部設定的軟體媒介之參數或$性，用以提供 #用彈性及（或）系統調整。例如，某些特性指定用來指 引系統決策的曲線。更具體而言，係以描述語言程式來描 述該等軟體媒介（265)的處理及排程動作，使某些預定 的事件造成描述語言程式區段的執行。在一個特定的實施 例中：係以J P y t h ο η實施該等描述語言程式，其中 JPython是一種可提供一個雙向Java介面的開放原始碼 Java程式設計語言。可經由網際網路而自網站 <http://www. j python. org/> 取得其中包括 JPython 下載 的額外資訊。 因此，在本說明書中係以軟體實施的程序之方式來呈 k詳細說明的某些部分，而該軟體實施的程序涉及對電腦 系統或運算裝置中的記憶體内的資料位元進行的運算之符 號表示法。這些描述及表示法是熟習此項技術者用來在有 •效的方式下將其工作之内涵傳遞給對其他熟習此項技術者 之工具。該等程序及運算需要對物理量進行物理操作。雖

92226.ptd 第18頁 200301854 五、發明說明（13) 非必然，但這些物理量之形式通常為可予儲存、傳送、結 t、比較、及以他種方式操作之電氣信i、磁性信號、‘ 光信號。將這些信號稱為位元、數值、元素、符號、4 π、項、或數字等時，已證明經常是較便利的，主要 為了普遍使用之故。 疋· 然而，我們當謹記於心，所有這些術語及其他類似 術语都與適當的物理量有關，而且只是適用於這些物理旦 Γΐ:性ϊ記而已。除非有其他特別的陳述’或在說“ ! t ί: 否則在整個本發明的揭示事，中，這些描 一電子裝置的動作及程序’而該電子裝置可操作表 一電子裝置的儲存單元内的物理（電子、磁性 内或傳輸裝置或顯示裝置中的物： ^述的術;^例子包括（但不限於）|,處理”Λ,此 彳贫、決疋、或f，顯示π等的術語。 發明通常係ΐ某一形式的程式儲存媒體上將本 χ 、 人Λ知之樣態編碼，或者經由某一采員都的值私 媒體而實施該等軟體實施沒X、、專輪 磁性的（例如軟禅M f ：：、1 Ϊ式儲存媒體可以是 (Co.pact Dl 且可以是唯$二左0a;簡稱CD —R0M))， 且了 ^疋唯碩或隨機存取。同樣地，該 絞線電缵、同軸電、光纖、或此項技術；：體=疋雙 這些樣態。 饤特疋實知例的 第19頁 200301854 五、發明說明（14) — 可在先進製程控制（APC )架構下實施生產流程（工QQ )。APC系統包含由可進行生產流程（3 〇 〇 )中的批次至批 次控制及錯誤偵測/分類的若干可交換之標準化軟體元件 構成的分散式軟體系統。在該APC系統的上層部分將本發 明的各軟體媒介（265)及其作業分層，以便獲致近乎^ 主性操作的半導體製造流程。 A PC系統的該等軟體元件根據半導體設備及材料國際 協會（S e m i c ο n d u c t 〇 r E q u i p m e n t a n d M a t e r i a 1 s International;簡稱SEMI)的電腦整合式製造 鲁（Computer Integrated Manufacturing;簡稱CIM)架構 依從的系統技術及先進製程控制（APC )架構而實施架構 性標準。可公開地自SEMI取得CIM(SEMI E 8 1 - 0 6 9 9 -對於 CIM架構領域或架構之臨時規格（provisi〇nai Speciiication for CIM Framework Domain Architecture))及 APC(SEMI E93-0999-對於 CIM 架構先進 製程控制組件之臨時規格（Provisional Specification for CIM Framework Advanced Process Control Component))規格。SEMI的連絡資訊為：8310 Capital of Texas Highway North, Suite 290 Austin, TX 胃8731;電話為 512-349-2422;傳真為 512-349-2442;網 址為 <http://www.semi.org> 〇 此種特定的架構極度有賴於採用物件導向程式設計的 -軟體，且採用分散式物件系統的物件管理群組（〇b ject Management Group;簡稱 0MG)的共同物件要求中介人架

92226.ptd 第20頁 200301854 五、發明說明（15) 構(Common Object Request Broker Architecture;簡 稱CORBA)及CORBA — Service規格。也易於公開地取得〇MG C 0 R B A架構的貧訊及規格。 可適於執行本發明所述的A P C系統的功能之一例示軟 體系統是由KLA-Tencor，Inc·在市場上提供的Catalyst系 統。KLA-Tencor 的連絡資訊為：16〇 Ri〇 R〇bles，San Jose，CA 95134;電話為 408-875-6000;傳真為 408-875-3030，網址為 <http://www. kla-tencor. com〉。 亦可自KLA-Tencor的網站 <http://www.kla-tencor.com/controlsolutions/cataly stapc.html〉取得與Catalyst系統有關的額外資訊。 現在請參閱第3圖，圖中示出使用根據本發明另一實 施例的軟體媒介（2 6 5 )而實施生產流程（3 〇 〇 )的實施範 例之方塊簡圖。由一批次排程媒介（3丨〇 )及一批次處理 媒介（3 2 0 )代表例示批次（1 3 〇 )。由機器排程媒介 (330)及機器處理媒介（340)代表例示製程工具（ns )。該批次排程媒介（3 1 0 )與生產流程（3 〇 〇 )中諸如機 器排程媒介（330)等的各種實體協商，以便確保完成該 批次所需的資源。例如，批次排程媒介（3丨〇 )及機器排 程媒介（ 3 3 0 )可使用”合約淨協商協定”（”c〇ntract net negotiation protocol”方法來安排將該製程工具 (1 1 5 )指定給該批次（1 3 0 )的時程。 當於製程工具（1 1 5 )接收到該批次（1 3 〇 )而要處理 時，可呼叫該批次處理媒介（32〇)及（或）機器處理媒

92226.ptd 第21頁 200301854 .五、發明說明（16) 介（3 4 0 )。該批次處理媒介（3 2 Q )及機器處理媒介 (3 4 0 )連繫控制器媒介（3 5 0 )，以便決定將該製程工具 (115)的操作技術方法之組態設定成處理該批次（1 3 0 ) 的必要之控制動作。批次處理媒介（3 2 0 )或機器處理媒 介（3 4 0 )其任何一個可呼叫該控制器媒介（3 5 0 )。在一 個實施例中，批次處理媒介（3 2 0 )可將決定必要的控制 動作所需的與該批（1 3 0 )的特性有關之資料（例如尺寸 度量資料及電氣度量資料等資料）傳送給該控制器媒介 (350)。同樣地，機器處理媒介（340)可將與該製程工 !►( 1 1 5 )有關的資料（例如閒置時間、自上次清潔到現 在的時間、工具狀況等的資訊）傳送給該控制器媒介 ( 3 5 0 )。在一替代實施例中，可將與該批次（1 3 0 )及 (或）製程工具（1 1 5 )的特性有關之資料儲存在集中式 資料儲存單元（3 6 0 )中，而該控制器媒介（3 5 0 )可存取 該資料儲存單元（3 6 0 )。可將該資料儲存單元（3 6 0 )之 組態設定成儲存諸如包含處理前的及處理後的度量資料、 工具狀態、及批次優先順序等的資料。 現在將更詳細地說明控制器媒介（3 5 0 )之作業。該 控制器媒介（3 5 0 )所採取的特定控制動作是與實施例相 的。例如，如果該製程工具（1 1 5 )是CMP工具，則該 控制器媒介（3 5 0 )可接收研磨前的厚度量測值（例如， 較高細微結構的厚度、較低細微結構的厚度），並預測完 .成研磨後的目標厚度所需之研磨時間。在該製程工具 (1 1 5 )是蝕刻工具的情形中，該控制器媒介（3 5 0 )可根

92226.ptd 第22頁 200301854 五、發明說明（17) -- 據蝕刻前及（或）蝕刻後的厚度量測值而建立該穿程工具 (1 1 5 )的蝕刻性能模型。控制器媒介（35〇 ) ϋ用該製 程工具（1 1 5 )的控制模型來產生其預測。可利用一般/人 習知的線性或非線性技術，而憑經驗發展出該控制模&型。 該控制模型可以是較簡單的方程式型模型（例如，線性、 指數、或加權平均等的方程式）、或諸如類神經網路模 型、主成分分析（Principal Component Analysis;簡稱 PCA)模型、或潛在結構預測（pr〇jecti〇ri La^ent

Structure ’·簡稱PLS)模型等的較複雜的声型。該模型 的特定實施方式可能隨著所選擇的模型建立技術而有所不 同。利用該控制模型時，控制器媒介（3 5 〇 )可決定諸如 #刻時間、電漿功率、溫度、氣壓、及反應物氣體濃度等 的操作技術方法參數，以便減少蝕刻後的厚度變化\ ^他 類型的製程工具（115)可能有其他的控制動作。 在控制器媒介（3 5 0 )的組態設定期間（亦即，首次 將該控制器媒介（3 5 0 )實體化時），由該控制器媒介人 (3 5 0 )界定所用的整體性組態變數。在所示實^例^，

這些整體性變數包括來自技術方法管理系統（R ^ ^ C 1 p Θ

Management System;簡稱 RMS)(亦即，用來儲存該製 程工具（1 1 5 )所執行的該現行製程的系統預設技術方法 的技術方法設定值之整體性資料庫）之變數值、以及環境 變數（context variable)值。環境變數值界定一控制執 行緒（control thread)，且通常包含諸如工具識別碼、 批次編號、及作業編號等的各變數之值。此外，係將數值

92226.ptd 第23頁 200301854 -五、發明說明（18) 提供給任何必須的基本變數（b a s e 1 i n e v a r i a b 1 e )。此 種變數值的例子包括錯誤通知的電子郵件發送清單、停止 時間值、視為π子π 批次（n ch i 1 d” 1 〇t )的一批次申容 許的最大晶圓數目、及控制器媒介（3 5 0 )可使用的前一 製程層資訊（前饋資訊）等的變數值。 控制器媒介（3 5 0 )可使用在該等整體性組態變數中 設定的批次編號及晶圓數量值，並決定批次編號、系列名 稱（family name)、母批次名稱（parent name)、設 備、晶圓數目、及狀態（亦即，該批次是母批次或子批次 ▲ _之值。可利用先前界定的環境資訊及RMS資訊來設定控 制器媒介（3 5 0 )用來計算控制動作的值。例如，控制器 媒介（3 5 0 )可根RMS中界定的值，而利用環境資訊（或” 執行緒”名稱）來設定控制模型參數之值。一特定的例子 將是：.根據特定蝕刻製程室的環境及RMS中界定的該蝕刻 製程室的蝕刻速率值，而設定控制模型中所用的蝕刻速率 值。 此外，控制器媒介（3 5 0 )可利用批次編號及製程層 名稱，使用查詢而自資料儲存單元（360)擷取前饋度量 ^訊。控制器媒介（3 5 0 )可檢查與特定批次相關聯的資 胃斗陣列中之各元素，並為缺少的值填入系統預設值。例 如，可將前一製程的目標用來設定一個缺少的必須量測 值，作為由控制器媒介（3 5 0 )所用的前饋資訊的一部 -分。亦可執行用來設定缺少的前饋資訊值以取代使用系統 預設值之其他方法。

92226.ptd 第24頁 200301854

控制器媒介（ 350)可施行風險檢查（je〇parjy check.)，其方式為在資料儲存單元（3 6 0 )中執行查詢， 並操取風險堆疊（jeopardy stack)(亦即自上次量度作 業後在該特定執行緒上處理過的各批次構成之堆疊）中之 批次數目值。可將該值與該風險類別中的批次數目之門限 值（這是通常在RMS中指定的一值）相比較。如果並未超 過該風險門限值，則控制器媒介（3 5 0 )可繼續作業。如 果超過了該門限值，則控制器媒介（3 5 0 )在決定現行批 次的控制動作之前，可異常中斷（abort)，並傳送彈出 式顯示幕，用以指示操作員對自該風險堆疊中之批次清單 中選出的一個批次執行度量事件。 如前文所述，控制器媒介（350)利用先前決定的狀

200301854 五、發明說明（20) 態及目標資訊來計算控制器輸入（製程技術方法更新）。 控制器媒介（3 5 0 )然後將該控制動作的結果傳送到機器 處理媒介（3 4 0 )，而機器處理媒介（3 4 0 )又在處理該批 次（1 3 0 )之前，先更新製程工具（1 1 5 )的操作技術方 法。 在某些實施例中，可針對該批次（1 3 0 )的處理而將 一個以上的控制器媒介（3 5 0 )實體化。例如，如果該製 程工具（1 1 5 )是微影步進機，則可呼叫控制器媒介（3 5 0 )來控制疊對（〇 v e r 1 a y )，並可呼叫另一 /控制器媒介 3 5 0 )來控制關鍵尺寸。該等多個控制器媒介（3 5 0 )可 利用來自已處理晶圓的回授資訊來調整各種步進機參數， 例如曝光劑量、曝光時間、及焦距等參數。在另一例子 中，諸如用來形成多晶矽層的工具等的沈積工具亦可具有 多個控制器媒介（3 5 0 )，用以控制諸如多晶矽的粒徑 (grain size)及多晶石夕層的厚度等的參數。 當呼叫該等控制器媒介（3 5 0 )時，即檢查各環境變 數，以便決定哪些個別的控制器媒介（3 5 0 )需要決定控 制動作。作業識別碼指示將要執行的製程（例如，多晶矽 極掩蔽層對第二中間層電介質掩蔽層（I LD ))。只有 I某些環境狀況下才需要每一控制器媒介（3 5 0 )，且只 有在這些環境狀況都符合時才執行每一控制器媒介（350 )。例如，CD控制器媒介（3 5 0 )可能只在多晶矽掩蔽層 製程中執行，但是可能不在第二ILD掩蔽層製程中執行。 另一方面，疊對控制器媒介（350)可在上述兩種掩蔽層

92226.ptd 第26頁 200301854 五、發明說明（21) 製程事件中執行。 如本文所述，使用媒介型控制架構時，可提昇整體的 工廢效率，並提供更廣泛的自動化。更具體而言，具有自 主性的主動式軟體媒介（2 6 5 )進行排程，並將開始執行 批次排程及製程。一般而言，較佳的製程控制可降低產品 的變化性，因而又提高了產品的性能和獲利率。 前文所揭示的該等特定實施例只是供說明用，這是因 為熟習此項技藝者在參閱本發明的揭示事項之後，可易於 以不同但等效之方式修改並實施本發明。此外，除了下文 , / 的申請專利範圍所述者之外，不得將本發明限制在本文所 示的結構或設計之細節。因此，顯然可改變或修改前文所 揭示的該等特定實施例，且把所有此類的變化視為在本發 明的範圍及精神内。因此，本發明所尋求的保護係述於下 列的申請專利範圍中。

92226.ptd 第27頁 200301854 圖式簡單說明 [圖式簡單說明] 若 參照 上 文 中 之 說 明 y 並 配合 各 附 圖 J 將 可 了解 本 發 明， 在 這些 附 圖 中 1 相 同 的 代 號識 別 類 似 的 元 件 ，這 些 附 圖有 ·· 第 1圖在概念上示出根據本發明而建構並操作的第- 生產 流 程的 特 定 實 施 例 之 一 部 分； 第 2圖是第1圖 所 示 電 腦 裝 置的 硬 體 及 軟 體 架 構的 各 別 所選 擇 部分 之 — 概 念 性 部 分 方 塊圖 ， 以 及 第 3圖是在根據本發明而建構並操作的#二生產流程 •將 媒 介專 門 化 為 排 程 媒 介 處理 媒 介 及 控 制 器媒 介 之 概念 性 說明 部 分 方 塊 圖 0 雖 然本 發 明 易 於 作 出 各 種 修改 及 替 代 形 式 y 但是 該 等 圖式 中 係以 舉 例 方 式 示 出 本 發 明的 — 些 特 定 實 施 例， 且 已 在本 文 中詳 細 說 明 了 這 特 定 實施 例 〇 缺 而 ， 我 們當 了 解， 本 文對 些 特 定 實 施 例 的 說明 之 用 意 並 非 將 本發 明 限 制在 所 揭不 的 該 等 特 定 形 式 j 相反 地 J 本 發 明 將 涵蓋 最 後 的申 請 專利 範 圍 所 界 定 的 本 發 明的 精 神 及 範 圍 内 之所 有 修 改、 等 效物 Λ 及 替 代 〇 —00、 300 生 產 流 程 105 製 程 站 110 電 腦 裝 置 115 製 程 工 具 120 通 訊 鏈 路 125 網 路 .130 批 次 135 晶 圓 205 處 理 器 210 儲 存 單 元

92226.ptd 第28頁 200301854 圖式簡單說明 215 匯 流 排 系 統 240 監 視 器 245 鍵 盤 250 滑 鼠 255 使 用 者 介 面 軟體 260 使 用 者 介 面 265 軟 體 媒 介 270 製 造 執 行 系 統 310 批 次 排 程 媒 介 320 批 次 處 理 媒 介 330 機 器 排 程 媒 介 340 機 器 處 理 媒 介 350 控 制 器 媒 介 360 資 料 儲 存 單 元

92226.ptd 第29頁

Claims (1)

1. 2UUJU18^4 4. 5 申請專利範圍 一種製造系統 製程工具 術方法而處理 控制器媒 該製程工具中 及 第一製程 及該工件中之 組態設定成： 並根據該控制 •如申請專利範 介，該第二製 該第一製程媒 如，申請專利範 該第二製程媒 制器媒介。 如申請專利範 與該工件相關 繫該控制器媒 動作傳送到與 該第二製程媒 該操作技術方 如申請專利範 態設定成：接 ’包含： ’該製程工具之組態設定成根據操作技 I件； 介’該控制器媒介之組態設定成決定與 之該工件的處理相關聯的控制動作；以 媒介，該第一製程媒介係與該製程工具 至少一個相關聯，且該第一製程媒介之 連繫該控制器媒介，接收/該控制動作， 動作而設定該操作技術方法之組態。 圍第1項之系統，進一步包含第二製程媒 程媒介係與該製程工且及該工件中不與 介相關聯的一個相關聯。 ，第2項之系統，其中該第一製程媒介及 "中之至少一個之組態設定成連繫該控 圍第2項之李姑 ^ 聯，且該第—統製栽其中該，'製程媒介係 介，以便接收ip介之組態設定成連 該製程工i相3控制動作’並將該控制 介之组態設定f聯的該第二製程媒介’ ..,^ 疋成根據該控制動作而設定 組態。 圍第1項之系纪 ^ Φ ^ /、統’其中該控制器媒介之組 收與該工侔如Μ " 關聯的資料，並根據控制

   92226.ptd 第30頁 200301854 六、申請專利範圍 模型及與該工件相關聯的資料而決定該控制動作。 6. 如申請專利範圍第5項之系統，其中該第一製程媒介之 組態設定成將與該工件相關聯的資料提供給該控制器 媒介。 7. 如申請專利範圍第5項之系統，進一步包含資料儲存單 元，該資料儲存單元之組態設定成儲存與該工件相關 聯的資料，其中該控制器媒介適於存取該資料儲存單 元，以便擷取與該工件相關聯的資料。 8. 如申請專利範圍第1項之系統，其中該控制器媒介之組 ，. / 態設定成：接收與該製程工具相關聯的資料，並根據 控制模型及與該製程工具相關聯的資料而決定該控制 動作。 9. 如申請專利範圍第8項之系統，其中該第一製程媒介之 組.態設定成將與該製程工具相關聯的資料提供給該控 制器媒介。 1 0.如申請專利範圍第8項之系統，進一步包含資料儲存單 元，該資料儲存單元之組態設定成儲存與該製程工具 相關聯的資料，其中該控制器媒介適於存取該資料儲 存單元，以便擷取與該製程工具相關聯的資料。 1 1 ·如申請專利範圍第1項之系統，其中該控制器媒介之組 態設定成：接收與該工件相關聯的資料、及與該製程 工具相關聯的資料’並根據控制模型、與該工件相關 聯的資料、及與該製程工具相關聯的資料而決定該控 制動作。

   92226.ptd 第31頁 200301854 .六、申請專利範圍 .1 2.如申請專利範圍第1 1項之系統，進一步包含資料儲存 單元，該資料儲存單元之組態設定成儲存與該工件相 關聯的資料、及與該製程工具相關聯的資料，其中該 控制器媒介適於存取該資料儲存單元，以便擷取與該 工件相關聯的資料、及與該製程工具相關聯的資料。 1 3.如申請專利範圍第2項之系統，其中該第一製程媒介之 組態設定成將與該工件相關聯的資料提供給該控制器 媒介，該第二製程媒介之組態設定成將與該製程工具 相關聯的資料提供給該控制器媒介，且/該控制器媒介 ^ / _ 之組態設定成根據控制模型、與該工件相關聯的資料 、及與該製程工具相關聯的資料而決定該控制動作。 1 4.如申請專利範圍第1項之系統，其中係利用物件導向技 術實施該第一製程媒介及該控制器媒介。 15. —.種製造系統，包含： 製程工具，該製程工具之組態設定成根據操作技 術方法而處理工件； 控制器媒介，該控制器媒介之組態設定成決定與 該製程工具中之該工件的處理相關聯的控制動作； 與該工件相關聯的第一製程媒介；以及 ® 與該製程工具相關聯的第二製程媒介，其中該第 一及第二製程媒介中之一個之組態設定成連繫該控制 器媒介，且該第二製程媒介之組態設定成··接收該控 . 制動作，並根據該控制動作而設定該操作技術方法之 組態。

   92226.ptd 第32頁 200301854 六、申請專利範圍 1 6.如申請專利範圍第1 5項之系統，其中該第一製程媒介 之組態設定成：接收該控制動作，並將該控制動作傳 送到該第二製程媒介。 1 7.如申請專利範圍第1 5項之系統，其中該控制器媒介之 組態設定成將該控制動作傳送到該第二製程媒介。 1 8.如申請專利範圍第1 5項之系統，其中該控制器媒介之 組態設定成：接收與該工件相關聯的資料，並根據控 制模型及與該工件相關聯的資料而決定該控制動作。 1 9.如申請專利範圍第1 8項之系統，其中該/第一製程媒介 之組態設定成將與該工件相關聯的資料提供給該控制 器媒介。 2 0.如申請專利範圍第1 8項之系統，進一步包含資料儲存 早元’該貢料儲存早元之組遙設定成儲存與該工件相 亂聯的資料，其中該控制器媒介適於存取該資料儲存 單元，以便擷取與該工件相關聯的資料。 2 1.如申請專利範圍第1 5項之系統，其中該控制器媒介之 組態設定成：接收與該製程工具相關聯的資料，並根 據控制模型及與該製程工具相關聯的資料而決定該控 制動作。 22.如申請專利範圍第21項之系統，其中該第二製程媒介 之組態設定成將與該製程工具相關聯的資料提供給該 控制器媒介。 2 3.如申請專利範圍第2 1項之系統，進一步包含資料儲存 單元，該資料儲存單元之組態設定成儲存與該製程工

   92226.ptd 第33頁 200301854 六、申請專利範圍 具相關聯的 儲存單元， 2 4.如申請專利 組態設定成 程工具相關 關聯的資料 控制動作。 2 5 .如申請專利 單元，該資 •關聯的資料 控制器媒介 工件相關聯 2 6 .如申請專利 之組態設定 器媒介，該 具相關聯的 介之組態設 料、及與該 | 作。 2 7 .如申請專利 技術實施該 制器媒介。 2 8 . —種根據操 製程工具之 資料，其中該控制器媒介適於存取該資料 以便擷取與該製程工具相關聯的資料。 範圍第1 5項之系統，其中該控制器媒介之 :接收與該工件相關聯的資料、及與該製 聯的資料，並根據控制模型、與該工件相 、及與該製程工具相關聯的資料而決定該 範圍第2 4項 料儲存單元 '及與該製 適於存取該 的資料、及 範圍第1 5項 成將與該工 第二製程媒 資料提供給 定成根據控 製程工具相 之系統 之組態 程工具 資料儲 與該製 之系統 件相關 介之組 該控制 制模型 關聯的 5 進一 設定成 相關聯 存單元 程工具 ，其中 聯的資 態設定 器媒介 、與該 貢料而 步包含資 儲/存與該 的貧料’ ，以便擷 相關聯的 該第一製 料提供給 成將與該 ，且該控 工件相關 決定該控 料儲存 工件相 其中該 取與該 資料。 程媒介 該控制 製程工 制器媒 聯的資 制動 範圍第1 5項之系統，其中係利用物件導向 第一製程媒介、該第二製程媒介、及該控 作技術方法而控制組態設定成處理工件的 方法，包含下列步驟：

   92226.ptd 第34頁 200301854 六、申請專利範圍 將與該製程工具及該工件中之至少一個相關聯的 第一製程媒介實體化； 將組態設定成決定與該製程工具中之該工件的處 理相關聯的控制動作之控制器媒介實體化； 使該第一製程媒介連繫該控制器媒介，以便接收 該控制動作；以及 使該第一製程媒介及該製程工具連繫，以便根據 該控制動作而設定該操作技術方法之組態。 2 9.如申請專利範圍第2 8項之方法，進一步包含下列步驟 ， / :將與該製程工具及該工件中不與該第一製程媒介相 關聯的一個相關聯之第二製程媒介實體化。 3 〇.如申請專利範圍第2 9項之方法，進一步包含下列步驟 :使該第一製程媒介及該第二製程媒介中之至少一個 連-繫該控制器媒介。 3 1.如申請專利範圍第2 9項之方法，進一步包含下列步 驟： 將該控制動作自該第一製程媒介傳送到該第二製 程媒介；以及 使該第二製程媒介及該製程工具連繫，以便根據 該控制動作而設定該操作技術方法之組態。 32.如申請專利範圍第28項之方法，進一步包含下列步 驟： 將與該工件相關聯的資料提供給該控制器媒介； 以及

   92226.ptd 第35頁 200301854 六、申請專利範圍 根據控 控制動作。 3 3 .如申請專利 驟：使該第 與該工件相 3 4.如申請專利 聯的資料提 列步驟：使 工件相關聯 5 .如申請專利 驟： 將與該 介；以及 * 根據控 定該控制動 3 6 .如申請專利 驟：使該第 與該製程工 3 7.如申請專利 > 相關聯的資 含下列步驟 與該製程工 .3 8 .如申請專利 制模型及與該工件相關聯的資料而決定該 範圍第32項之方法，進一步包含下列步 一製程媒介連繫該控制器媒介，以便提供 關聯的資料。 範圍第3 2項之方法，其中將與該工件相關 供給該控制器媒介之該步驟進一步包含下 該控制器媒介連繫一組態設定成儲存與該 的資料之資料儲存單元。/ 範圍第28項之方法，進一步包含下列步 製程工具相關聯的資料提供給該控制器媒 制模型及與該製程工具相關聯的資料而決 作。 範圍第35項之方法，進一步包含下列步 一製程媒介連繫該控制器媒介，以便提供 具相關聯的資料。 範圍第35項之方法，其中將與該製程工具 料提供給該控制器媒介之該步驟進一步包 :使該控制器媒介連繫一組態設定成儲存 具相關聯的資料之資料儲存單元。 範圍第28項之方法，進一步包含下列步

   92226.ptd 第36頁 200301854 六、申請專利範圍 將與該製程工具及該工件相關聯的資料提供給該 控制器媒介；以及 根據控制模型以及與該製程工具及該工件相關聯 的資料而決定該控制動作。 3 9.如申請專利範圍第3 8項之方法，其中將與該製程工具 及該工件相關聯的資料提供給該控制器媒介之該步驟 進一步包含下列步驟：使該控制器媒介連繫一組態設 定成儲存與該製程工具及該工件相關聯的資料之資料 儲存單元。 / 4 0.如申請專利範圍第2 9項之方法，進一步包含下列步 驟： 使該第一製程媒介連繫該控制器媒介，以便提供 與該工件相關聯的資料； • 使該第二製程媒介連繫該控制器媒介，以便提供 與該製程工具相關聯的資料；以及 根據控制模型以及與該製程工具及該工件相關聯 的資料而決定該控制動作。 4 1. 一種根據操作技術方法而控制組態設定成處理工件的 製程工具之方法，包含下列步驟： 將與該工件相關聯的第一製程媒介實體化； 將與該製程工具相關聯的第二製程媒介實體化； 將組態設定成決定與該製程工具中之該工件的處 理相關聯的控制動作之控制器媒介實體化； 使該第一及第二製程媒介中之一個連繫該控制器

   92226.ptd 第37頁 200301854 .六、申請專利範圍 . 媒介，以便接收該控制動作；以及 使該第二製程媒介及該製程工具連繫，以便根據 該控制動作而設定該操作技術方法之組態。 4 2.如申請專利範圍第4 1項之方法，進一步包含下列步 驟：將該控制動作由該第一製程媒介傳送到該第二製 程媒介。 4 3 ·如申請專利範圍第4 1項之方法，進一步包含下列步 驟： 將與該工件相關聯的資料提供給該控制器媒介； 一 9 以及 根據控制模型及與該工件相關聯的資料而決定該 控制動作。 4 4.如申請專利範圍第4 3項之方法，進一步包含下列步 驟：使該第一製程媒介連繫該控制器媒介，以便提供 與該工件相關聯的資料。 4 5.如申請專利範圍第43項之方法，其中將與該工件相關 聯的資料提供給該控制器媒介之該步驟進一步包含下 列步驟：使該控制器媒介連繫一組態設定成儲存與該 工件相關聯的資料之資料儲存單元。 1 6.如申請專利範圍第4 1項之方法，進一步包含下列步 驟： 將與該製程工具相關聯的資料提供給該控制器媒 、 介；以及 根據控制模型以及與該製程工具相關聯的資料而

   92226.ptd 第38頁 200301854 六、申請專利範圍 決定該控制動作。 4 7.如申請專利範圍第4 6項之方法，進一步包含下列步 驟：使該第二製程媒介連繫該控制器媒介，以便提供 與該製程工具相關聯的資料。 4 8.如申請專利範圍第46項之方法，其中將與該製程工具 相關聯的資料提供給該控制器媒介之該步驟進一步包 含下列步驟：使該控制器媒介連繫一組態設定成儲存 與該製程工具相關聯的資料之資料儲存單元。 4 9.如申請專利範圍第4 1項之方法，進一步包含下列步 / / 驟： 將與該製程工具及該工件相關聯的資料提供給該 控制器媒介；以及 根據控制模型以及與該製程工具及該工件相關聯 的·資料而決定該控制動作。 50.如申請專利範圍第49項之方法，其中將與該製程工具 及該工件相關聯的資料提供給該控制器媒介之該步驟 進一步包含下列步驟：使該控制器媒介連繫一組態設 定成儲存與該製程工具及該工件相關聯的資料之資料 儲存單元。 5 1 ·如申請專利範圍第4 1項之方法，進一步包含下列步 驟： 使該第一製程媒介連繫該控制器媒介，以便提供 與該工件相關聯的貧料， 使該第二製程媒介連繫該控制器媒介，以便提供

   92226.ptd 第39頁 200301854 六、申請專利範圍 與該製程 根據 的貢料而 5 2 . —種根據 製程工具 將與 第一製程 將組 理相關聯 嫌 使該 控制動作 使該 控制動作 5 3. —·種根據 製程工具 將與 置； 將與 裝置； ^ 將組 理相關聯 使該 媒介以便 使該 工具相關聯 控制模型以 決定該控制 操作技術方 之製造系統 該製程工具 媒介實體化 悲設定成決 的控制動作 第一製程媒 之裝置；以 第一製程媒 的資料， 及與該製 動作。 法而控制 ，包含： 及該工件 之裝置； 定與該製 之控制器 介連繫該 及 介及該製 作技術方 法而控制 以及 程工具及該工件相關聯 組邊設定成處理工件的 中之至少一個相關聯的 程工具中之該工件的處 媒介實體化之裝置； 控制器媒介以便接收該 程工具連繫以便根據該 法之組態之裝置。 組態設定成處理工件的 而設定該操 操作技術方 之製造系統，包含： 該工件相關聯的第一製程媒介實體化之裝 該製程工具相關聯的第二製程媒介實體化之 態設定成決 的控制動作 第一及第二 接收該控制 第二製程媒 定與該製程工具中之該工件的處 之控制器媒介實體化之裝置； 製程媒介中之一個連繫該控制器 動作之裝置；以及 介及該製程工具連繫以便根據該

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