-
TECHNISCHES
GEBIET
-
Diese
Erfindung betrifft im Allgemeinen das Gebiet der Halbleiterbauteilherstellung
und betrifft insbesondere eine automatisierte Produktionsumgebung,
in der autonome aktive Softwaremittel zur Steuerung von Rezepten
für die
Scheibenbearbeitung verwendet werden.
-
HINTERGRUND
-
Es
gibt ein stetes Bemühen
innerhalb der Halbleiterindustrie, um die Qualität, Zuverlässigkeit und den Durchsatz
für integrierte
Schaltungsbauelemente, beispielsweise Mikroprozessoren, Speicherbauteile
und dergleichen zu verbessern. Dieses Bemühen wird durch Forderungen
der Verbraucher nach Computern und elektronischen Bauteilen mit höherer Qualität, die noch
zuverlässiger
funktionieren, noch bestärkt.
Diese Anforderungen haben zu einer ständigen Verbesserung bei der
Herstellung von Halbleiterbauelementen, beispielsweise Transistoren,
sowie bei der Herstellung integrierter Schaltungsbauelemente, in
denen derartige Transistoren enthalten sind, geführt. Ferner führt das
Verringern der Defekte bei der Herstellung der Komponenten eines
typischen Transistors auch zu einer Absenkung der Gesamtkosten pro
Transistor sowie der Kosten für
integrierte Schaltungsbauelemente, in denen derartige Transistoren
verwendet sind.
-
Im
Allgemeinen wird eine Reihe von Prozessschritten an einem Los mit
Scheiben unter Einsatz einer Vielzahl von Prozessanlagen durchgeführt, zu
denen Photolithographieeinzelbelichter, Ätzanlagen, Abscheideanlagen,
Polieranlagen, Anlagen für eine
schnelle thermische Bearbeitung, Implantationsanlagen, etc. gehören. Die
den Halbleiterbearbeitungsanlagen zu Grunde liegenden Technologien
haben in den vergangenen Jahren viel Aufmerksamkeit genossen, wodurch
sich wesentliche Verbesserungen ergaben. Trotz der auf diesem Gebiet
erreichten Fortschritte, unterliegen viele dieser Prozessanlagen,
die gegenwärtig
kommerziell verfügbar
sind, gewissen Einschränkungen.
Insbesondere fehlt es derartigen Anlagen häufig an Eigenschaften für eine verbesserte
Prozessdatenüberwachung,
etwa der Möglichkeit,
historische parametrische Daten in einem anwenderfreundlichen Format
bereitzustellen, sowie der Ereignisprotokollierung, einer Echtzeitgraphikanzeige
sowohl aktueller Prozessparameter als auch der Prozessparameter
des gesamten Durchlaufs, und der entfernten, d. h. der lokalen und
weltweiten Überwachung.
Diese Ein schränkungen
können
zu einer nicht optimalen Steuerung kritischer Prozessparameter,
etwa dem Durchsatz, der Genauigkeit, der Stabilität und der
Wiederholbarkeit, von Prozesstemperaturen, mechanischen Anlagenparametern
und dergleichen führen.
Diese Variabilität
drückt
sich als Abweichungen innerhalb eines Arbeitsablaufs, als Abweichungen
von Durchlauf zu Durchlauf und als Abweichungen von Anlage zu Anlage
aus, die sich zu Abweichungen in der Produktqualität und dem
Leistungsverhalten fortpflanzen können, wohingegen ein ideales Überwachungs-
und Diagnosesystem für
derartige Anlagen ein Mittel bereitstünde für das Überwachen dieser Variabilität, sowie
ein Mittel für
die Optimierung der Steuerung kritischer Parameter liefern könnte.
-
Eine
Technik zum Verbessern des Betriebs einer Halbleiterprozesslinie
umfasst die Anwendung eines fabrikumspannenden Steuerungssystems,
um den Betrieb der diversen Prozessanlagen automatisch zu steuern.
Die Produktions- bzw. Herstellungsanlagen kommunizieren mit einer
Produktionsumgebung oder einem Netzwerk aus Prozessmodulen. Jede
Herstellungsanlage ist im Allgemeinen mit einer Anlagenschnittstelle
verbunden. Die Anlagenschnittstelle ist mit einer Maschinenschnittstelle
verbunden, die die Kommunikation zwischen der Herstellungsanlage
und der Produktionsumgebung ermöglicht.
Die Maschinenschnittstelle kann im Allgemeinen ein Teil eines fortschrittlichen
Prozesssteuerungs(APC) Systems sein. Das APC-System initiiert ein
Steueruungsskript auf der Grundlage eines Herstellungsmodells, das
ein Softwareprogramm sein kann, das automatisch für das Ausführen eines
Herstellungsprozesses erforderliche Daten abruft. Häufig werden Halbleiterbauelemente
durch eine Vielzahl von Herstellungsanlagen für eine Vielzahl von Prozessen hindurchgeführt, wodurch
Daten in Hinblick auf Qualität
der bearbeiteten Halbleiterbauelemente erzeugt werden.
-
Während des
Herstellungsprozesses können
diverse Ereignisse stattfinden, die das Leistungsverhalten der hergestellten
Bauelemente beeinflussen. D. h., Abweichungen in den Herstellungsprozessschritten
führen
zu Schwankungen im Bauteilverhalten. Faktoren, etwa kritische Abmessungen von
Strukturelementen, Dotierpegel, Kontaktwiderstände, Teilchenkontamination,
etc. können
jeweils potentiell das Endverhalten des Bauteils beeinflussen. Diverse
Anlagen in der Prozesslinie werden in Übereinstimmung mit Verhaltensmodellen
gesteuert, um Prozessvariationen zu verringern. Zu üblicherweise
gesteuerten Anlagen gehören
Photolithographieeinzelbildbelichter, Polieranlagen, Ätzanlagen und
Abscheideanlagen. Prozessvorgeschaltete und/oder prozessnachgeschaltete
Messdaten werden Pro zesssteuerungen für die Anlagen zugeführt. Prozessrezeptparameter,
etwa die Prozesszeit, werden von den Prozesssteuerungen auf der
Grundlage des Verhaltensmodell und der Messdateninformation berechnet,
um zu versuchen, Bearbeitungsergebnisse nach dem Prozess zu erreichen,
die möglichst nahe
an einem Sollwert liegen. Das Verringern einer Schwankung auf diese
Weise führt
zu einem erhöhten
Durchsatz, geringeren Kosten, einer höheren Bauteilleistung, etc.,
was sich insgesamt zu einem erhöhten
Profit aufaddiert.
-
Probleme
bei der Konfigurationssteuerung und Effizienz sind in einer verteilten
Rechnerumgebung, etwa einem fabrikumspannenden APC-System häufig anzutreffen.
Typischerweise gibt es zahlreiche Softwareentwickler, die einen
Steuerungscode schreiben, um die Prozesssteuerungen aufzubauen. Ein
spezieller Entwickler kann intensiv an der Entwicklung von Steuerungen
für einen
gewissen Typ arbeiten. Üblicherweise
besitzt jeder Entwickler einen gewissen einzigartigen Programmierstil,
der auf Routinen beruht, die selbst entwickelt sind. Beispielsweise
kann jeder Entwickler einen Satz aus Routinen zur Kommunikation
mit Datenbanken oder anderen Einheiten innerhalb der APC-Uumgebung
und zum Ausführen
diverser mathematischer Funktionen und grundlegender Anwenderfunktionen
besitzen.
-
Ein
Problem, das mit einer derartigen Situation verknüpft ist,
besteht darin, dass nur eine geringe Konsistenz zwischen Prozesskontrollskripten
vorliegt. Die große
Anzahl von zurechtgeschnittenen Skripten präsentiert ebenso ein Konfigurationssteuerungsproblem
und ein Effizienzproblem. Entwickler können unter Umständen relativ
viel Zeit auf das erneute Erstellen eines Codes verwenden, der bereits entwickelt
wurde, unter Umständen
für eine
andere Art der Prozesssteuerung, die ein anderer Entwickler geschaffen
hat. Die Fehlersuche in nicht standardisierter Codierung ist ebenso
zeitaufwendiger und verringert die Effizienz.
-
Die
vorliegende Erfindung zielt darauf ab, eines oder mehrere der zuvor
dargestellten Probleme zu überwinden
oder deren Auswirkungen zu verringern.
-
ÜBERBLICK ÜBER DIE
ERFINDUNG
-
Ein
Aspekt der vorliegenden Erfindung wird in einem Herstellungssystem
mit einer Prozessanlage, einem Steuerungsmittel und einem ersten
Prozessmittel gesehen. Die Pro zessanlage ist ausgebildet, ein Werkstück in Übereinstimmung
mit einem Prozessrezept zu bearbeiten. Das Steuerungsmittel ist
ausgebildet, eine Steuerungsaktion, die mit dem Bearbeiten des Werkstücks in der
Prozessanlage verknüpft
ist, zu bestimmen. Das erste Prozessmittel ist der Prozessanlage
und/oder dem Werkstück
zugeordnet und so ausgebildet, mit dem Steuerungsmittel zu kommunizieren,
die Steuerungsaktion zu empfangen und das Prozessrezept auf der
Grundlage der Steuerungsaktion zu konfigurieren.
-
Ein
weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung wird in einem Verfahren
zum Steuern einer Prozessanlage, die zur Bearbeitung eines Werkstücks gemäß einem
Prozessrezept ausgebildet ist, gesehen. Ein erstes Prozessmittel,
das mit der Prozessanlage und/oder dem Werkstück verknüpft ist, wird instanziiert.
Ein Steuerungsmittel, das ausgebildet ist, eine Steuerungsaktion
zu bestimmen, die mit dem Bearbeiten des Werkstücks in der Prozessanlage verknüpft ist,
wird instanziiert. Das erste Prozessmittel ist mit dem Steuerungsmittel
durch Schnittstelle so verbunden, um die Steuerungsaktion zu empfangen. Das
erste Prozessmittel ist mit der Prozessanlage verbunden, um das
Prozessrezept auf der Grundlage der Steuerungsaktion zu konfigurieren.
-
KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
-
Die
Erfindung kann durch Bezugnahme auf die folgende Beschreibung in
Zusammenwirken mit den begleitenden Zeichnungen verstanden werden, wobei
gleiche Bezugszeichen gleiche Elemente bezeichnen, und wobei:
-
1 konzeptionell einen Teil
einer speziellen Ausführungsform
eines ersten Prozessablaufs darstellt, der gemäß der vorliegenden Erfindung
aufgebaut und abgearbeitet wird;
-
2 konzeptionell in einer
Teilblockansicht ausgewählte
Bereiche der Hardware- und Softwarearchitektur der Rechnereinrichtung
in 1 darstellt; und
-
3 konzeptionell in einer
Teilblockansicht die Spezialisierung von Mittel zu Terminierungsmittel, Prozessmittel
und Steuerungsmittel in einem zweiten Prozessablauf darstellt, der
in Übereinstimmung
mit der vorliegenden Erfindung aufgebaut und abgearbeitet wird.
-
Obwohl
die Erfindung diversen Modifizierungen und alternativen Formen unterliegen
kann, werden spezielle Ausführungsformen
davon in beispielhafter Weise in den Zeichnungen dargestellt und
werden hierin detailliert beschrieben. Es sollte jedoch selbstverständlich sein,
dass die Beschreibung spezieller Ausführungsformen nicht beabsichtigt,
die Erfindung auf die speziellen offenbarten Formen einzuschränken, sondern
die Erfindung soll im Gegenteil alle Modifizierungen, Äquivalente
und Alternativen abdecken, die innerhalb des Grundgedankens und Schutzbereichs
der Erfindung liegen, wie sie durch die angefügten Patentansprüche definiert
ist.
-
ART UND WEISE
ZUM AUSFÜHREN
DER ERFINDUNG
-
Es
werden nun anschauliche Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung beschrieben. Im Interesse der Einfachheit
werden nicht alle Merkmale einer tatsächlichen Implementierung in
dieser Beschreibung dargelegt. Es sollte jedoch beachtet werden,
dass bei der Entwicklung einer derartigen tatsächlichen Ausführungsform
diverse implementationsspezifische Entscheidungen getroffen werden müssen, um
die speziellen Ziele der Entwickler zu erreichen, etwa die Übereinstimmung
mit systembezogenen und geschäftsbezogenen
Rahmenbedingungen, die sich von Implementierung zu Implementierung
unterscheiden können.
Ferner soll beachtet werden, dass ein derartiger Entwicklungsaufwand komplex- und zeitaufwendig
sein kann, aber nichtsdestotrotz eine Routinearbeit für den Fachmann
auf diesem Gebiet ist, wenn er im Besitz der vorliegenden Offenbarung
ist.
-
Es
sei zunächst
auf 1 verwiesen; hierin ist
eine konzeptionelle Darstellung eines Teils eines Prozessablaufs 100 dargestellt,
der in Übereinstimmung
mit einer speziellen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung aufgebaut ist und entsprechend abgearbeitet
wird. Der dargestellte Bereich des Prozessablaufs 100 umfasst
zwei Stationen 105, wobei jede Station 105 eine
Rechnereinrichtung 110 aufweist, die mit einer Prozessanlage 115 kommuniziert. Die
Stationen 105 kommunizieren miteinander über Kommunikationsverbindungen 120.
In der dargestellten Ausführungsform
sind die Rechnereinrichtungen 110 und die Kommunikationsverbindungen 120 ein Teil
eines größeren Rechnersystems,
beispielsweise eines Netzwerks 125. Die Prozessanlagen 115 sind in 1 so dargestellt, dass diese
Lose 130 mit Scheiben 135 bei der Herstellung
integrierter Schaltungsbauelemente bearbeiten. Obwohl die Erfindung so
dargestellt ist, dass diese bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen
verwendet wird, so ist deren Anwendung nicht darauf beschränkt, da
diese auf andere Arten von Herstellungsprozessen ebenso anwendbar
ist. Somit können
in dem zuvor erläuterten Prozessablauf 100 die
Lose 130 mit Scheiben 135 im allgemeineren Sinne
als "Werkstücke" bezeichnet werden.
Die Prozessanlagen 115 und jeder Bearbeitungsprozess, der
darin durchgeführt
wird, muss nicht notwendigerweise mit der Herstellung von Halbleiterbauelementen
in allen Ausführungsformen
in Beziehung stehen. Der Einfachheit halber und für das weitere
Verständnis
der Erfindung wird jedoch die Fachsprache, die sich auf die Halbleiterherstellung bezieht,
zur Offenbarung der Erfindung in Zusammenhang mit den dargestellten
Ausführungsformen beibehalten.
-
2 zeigt ausgewählte Bereiche
der Hardware- bzw. Softwarearchitektur der Rechnereinrichtungen 110,
die gemäß der vorliegenden
Erfindung programmiert sind und betrieben werden. Einige Aspekte
der Hardware- und Softwarearchitektur (beispielsweise die einzelnen
Karten, das Basis-Eingabe/Ausgabe-System ("BIOS"),
Eingabe/Ausgabe-Treiber, etc.) sind nicht gezeigt. Dieser Aspekte sind
aus Gründen
der Einfachheit weggelassen, um die vorliegenden Erfindung nicht
zu verdunkeln. Wie der Fachmann auf diesem Gebiet, der die Lehre
der vorliegenden Offenbarung kennt, zu würdigen weiß, können derartige Software- und Hardwarearchitekturen
der Rechnereinrichtungen 110 viele derartige Routinemerkmale
aufweisen.
-
In
der dargestellten Ausführungsform
ist die Rechnereinrichtung 110 ein Arbeitsplatzrechner,
in welchem ein Betriebssystem auf UNIX-Basis eingesetzt ist, wobei
die Erfindung jedoch nicht darauf eingeschränkt ist. Die Rechnereinrichtung 110 kann
nahezu in jeder beliebigen Art an elektronischer Recheneinheit,
etwa einem tragbaren Rechner, einem Tischrechner, einem Minirechner,
einem Großrechner
oder einem Supercomputer eingerichtet werden. Die Rechnereinrichtung 110 kann
in einigen alternativen Ausführungsformen
sogar ein Prozessor oder eine Steuerung sein, die in die Prozessanlage 115 eingebettet
ist. Die Erfindung ist ferner nicht auf Betriebssysteme auf UNIX-Basis
eingeschränkt.
Es können
alternative Betriebssysteme (beispielsweise auf Grundlage von Windows
oder auf Grundlage eines Laufwerkbetriebssystems ("DOS")) eingesetzt werden.
Die Erfindung ist nicht auf die spezielle Implementierung der Rechnereinrichtung 110 beschränkt.
-
Die
Rechnereinrichtung 110 umfasst ferner einen Prozessor 205,
der über
ein Bussystem 215 mit einem Speicher 210 kommuniziert.
Der Speicher 210 kann typischerweise zumindest eine Festplatte
(nicht gezeigt) und einen Speicher mit wahlfreiem Zugriff ("RAM") (nicht gezeigt)
umfassen. Die Rechnereinrichtung 110 kann ferner in einigen
Ausführungsformen
ein Wechselspeichermedium, etwa eine optische Diskette (nicht gezeigt),
eine elektromagnetische Diskette (nicht gezeigt) oder eine andere
Form eines magnetischen Bandes (nicht gezeigt) oder einer ZIP-Diskette
(nicht gezeigt) aufweisen. Der Prozessor 205 kann ein beliebiger
Prozessor, der im Stand der Technik bekannt ist, sein. Beispielsweise kann
der Prozessor ein Prozessor für
allgemeine Zwecke oder ein digitaler Signalprozessor ("DSP") sein. In der dargestellten
Ausführungsform
ist der Prozessor 205 ein Athlon 64-Bit-Prozessor, der von Advanced Micro Devices,
Inc. ("AMD") kommerziell erhältlich ist,
wobei die Erfindung nicht darauf beschränkt ist. Alternativ können der
64-Bit-UItraSPARC oder der 32-Bit-MicroSPARC von Sun Microsystems
oder ein beliebiger Prozessor der Klasse Itanium oder Pentium von
Intel Corporation und der Alpha-Prozessor von Compaq Computer Corporation verwendet
werden. Die Rechnereinrichtung 110 umfasst einen Monitor 240,
eine Tastatur 245 und eine Maus 250, die zusammen
mit der zugeordneten Anwenderschnittstellensoftware 255 eine
Anwenderschnittstelle 260 bilden. Die Anwenderschnittstelle 260 ist
in der dargestellten Ausführungsform
eine graphische Anwenderschnittstelle ("GUI"),
obwohl dies zum Ausführungen
der vorliegenden Erfindung nicht notwendig ist.
-
2 zeigt ferner ausgewählte Bereiche
der Softwarearchitektur der Rechnereinrichtungen 110. Jede
Rechnereinrichtung 110 umfasst in der dargestellten Ausführungsform
ein Softwaremittel 265, das darin in dem Speicher 210 enthalten
ist. Zu beachten ist, dass die Softwaremittel 265 in dem
Prozessablauf 100 an anderen Stellen als den Rechnereinrichtungen 110 vorgesehen
sein können.
Die Lage des Softwaremittels 265 ist für die Ausführung der Erfindung nicht entscheidend.
Zu beachten ist ferner, dass gewisse Rechnereinrichtungen 110 mehrere
Softwaremittel 265 aufweisen können, die darin enthalten sind,
während
andere Rechnereinrichtungen 110 keine derartigen Mittel
aufweisen, da die Lage der Softwaremittel 265 nicht wesentlich
ist. Ein automatisiertes Herstellungsausführungssystem (MES) 270, etwa
das von Consilium, Inc., Mountain View, CA, angebotene WORKSTREAM
ist zumindest in einer Rechnereinrichtung 110 eingerichtet.
-
Es
sei nun wieder kurz auf 1 verwiesen; wie
zuvor erwähnt
ist, können
die Rechnereinrichtungen 110 auch ein Teil eines größeren Rechensystems 125 mittels
einer Verbindung über
die Kommunikationsverbindungen 120 sein. Zu beispielhaften Rechensystemen
bei einer derartigen Implementierung gehören Nahbereichsnetzwerke ("LAN"), Fernbereichsnetzwerke
("WAN"), Systembereichsnetzwerke
("SAN"), Internetzwerke
oder sogar das In ternet. Das Rechensystem 125 benutzt eine
vernetzte Klienten/Dienstleister- (Klienten/Server) Architektur, wobei
in alternativen Ausführungsformen
auch eine Architektur für
gleichberechtigte Partner verwendet werden kann. Somit können in
einigen alternativen Ausführungsformen
die Rechnereinrichtungen 110 direkt miteinander kommunizieren.
Die Kommunikationsverbindungen 120 können Verbindungen ohne Kabel,
mit Koaxialkabeln, Glasfasern oder verdrillten Leitungspaaren sein.
Die Kommunikationsverbindungen 120 und das Rechensystem 125 können, in
Ausführungsformen
in denen dieses verwendet ist, implementationsspezifisch vorgesehen
sein und können in
einer beliebigen bekannten geeigneten Weise vorgesehen werden. Das
Rechensystem 125 kann ein beliebiges geeignetes Kommunikationsprotokoll,
das im Stand der Technik bekannt ist, anwenden, beispielsweise das Übertragungssteuerungsprotokoll/Internetprotokoll
("TCP/IP").
-
Es
sei nun auf 1 und 2 verwiesen; die Softwaremittel 265 sind
gemeinsam für
eine effiziente Überwachung
der Lose 130 mit Scheiben 135 durch den Herstellungsprozess
hindurch verantwortlich. Jede Prozessanlage 115 repräsentiert
eine Quelle, die für
diesen Zweck verwendet werden kann. Beispielsweise kann die Prozessanlage 115 eine
Herstellungsanlage sein, die zur Herstellung eines gewissen Bereichs
der Scheiben 135, d. h. zum Beschichten, Strukturieren,
Dotieren oder Wärmebehandeln
der Scheiben 135, verwendet wird. Oder die Prozessanlage 115 kann
eine messtechnische Anlage sein, die zur Bewertung des Leistungsverhaltens diverser
Teile des Prozessablaufs 100 verwendet wird. Somit sind
die Softwaremittel 265 in der Lage, mehrere Ressourcen
für die
nachfolgende Bearbeitung der Lose 130 von Scheiben 135 zu
bewerten, die durch die Prozessanlagen 115 repräsentierten Ressourcen
zuzuordnen und untereinander die Zuordnung jener Ressourcen für die nachfolgende
Bearbeitung des Loses 130 mit Scheiben 135 zu
verhandeln.
-
In
der dargestellten Ausführungsform
sind die Softwaremittel 265 beim Hochfahren selbstkonfigurierend,
intelligent, mit Kenntnis des Zustandes und mit spezifischen Zielen
versehen, für
die sie in autonomer Weise Verhaltensweisen initiieren, um diese
zu erreichen. Die Softwaremittel 265 sind ferner selbstjustierend,
wenn sich die Umgebung ändert.
Die Softwaremittel 265 sind als Objekte in einer objektorientierten
Programmier- ("OOP") Umgebung implementiert,
wobei die Erfindung unter Anwendung von Techniken eingerichtet werden
kann, die nicht objektorientiert sind. Ihr Verhalten ist relativ
einfach und beruht auf einem Skript oder auf Regeln. Das Verhalten
ist so gestaltet, um die ausgewählten
Ziele zu erreichen, etwa das Erreichen eines zugeordneten Losfälligkeitsdatums,
das Erreichen ei nes vordefinierten Qualitätspegels, das Maximieren der
Maschinenausnutzung und das Terminieren günstiger vorbeugender Wartungsarbeiten.
Zusätzlich
zu diesen Aufgaben stehen die Softwaremittel 265 mit dem MES 270 in
Verbindung und sind in die bestehenden Fabriksteuerungssysteme (nicht
gezeigt) eingebunden. Wie für
den Fachmann, der im Besitz der vorliegenden Offenbarung ist, deutlich
wird, ist die Art und Weise, in der diese Verbindung und Einbindung
stattfindet, implementationsspezifisch und hängt von der Art des MES 270 und
der Fabriksteuerungssysteme ab.
-
Wie
im Folgenden erläutert
ist, können
die Softwaremittel 265 auf unterschiedlichen Ebenen spezialisiert
sein. Eine Ebene ist durch den "Typ" definiert, d. h.,
ob die Softwaremittel 265 einen "Verbraucher" oder einen "Dienstleister" in dem Prozessablauf 100 repräsentieren.
Genauer gesagt, ob die Softwaremittel 265 einen Verbraucher
oder einen Dienstleister repräsentieren,
ist durch den Typ der Einheit bestimmt, den diese in dem Gesamtprozessablauf 100 repräsentieren.
Beispielsweise kann ein Softwaremittel 265 ein Los 130 mit
Scheiben 135 (d. h. ein "Losmittel"), eine Prozessanlage 115 (d.
h. ein "Maschinenmittel"), oder ein Prozessmaterial
(d. h. ein "Ressourcenmittel") repräsentieren.
Die Softwaremittel 265 können ferner durch ihre Funktion spezialisiert
sein – d.
h. durch die Art der Funktion, die das Softwaremittel 265 in
dem Prozessablauf ausführt.
Beispielsweise kann ein Softwaremittel 265 so konfiguriert
sein, um eine spezielle Funktion auszuführen, ohne eine spezielle Einheit
zu repräsentieren.
Beispielsweise kann das Softwaremittel 265 so konfiguriert
sein, um Steuerungsaktionen (d. h, als ein "Steuerungsmittel") für
ein spezielles Los 130 mit Scheiben 135, das in
der Prozessanlage 115 bearbeitet wird, zu bestimmen. Die
von dem Steuerungsmittel ausgeführten
Aktionen können
sowohl von den Eigenschaften des Loses 130 als auch den
Eigenschaften der Prozessanlage 115 abhängen. Ein Steuerungsmittel
kann von einem Losmittel oder einem Maschinenmittel aufgerufen werden,
abhängig von
der speziellen Implementierung. In der dargestellten Ausführungsform
bleibt das Steuerungsmittel mit einer speziellen Prozessanlage 115 während seiner
gesamten Lebensdauer verknüpft,
wobei jedoch auch andere Anordnungen eingesetzt werden können. Andere
Funktionen, die von den Softwaremitteln 265 ausgeführt werden
können,
beinhalten die zeitliche Ablaufsteuerung bzw. Terminierung.
-
In
einer Ausführungsform,
die detaillierter im Folgenden erläutert ist, sind beispielsweise
Terminierungsmittel, Prozessmittel und Steuerungsmittel vorgesehen.
Zu beachten ist, dass die Softwaremittel 265 nicht notwendigerweise
in einer 1 : 1 Beziehung mit Einheiten aus dem Herstellungsbereich,
etwa Losen 130, den Prozessanlagen 115, etc. verknüpft sein
müssen.
Stattdessen sind die meisten Bereichseinheiten jeweils durch eine
Gruppe aus Softwaremitteln 265 repräsentiert. Beispielsweise kann
ein Los 130 oder eine Prozessanlage 115 sowohl
ein Terminierungsmittel als auch ein Prozessmittel aufweisen. Ein
Steuerungsmittel kann mit einer speziellen Prozessanlage 115 verknüpft sein
und kann durch eines der Prozessmittel (d. h. verknüpft mit
dem Los 130 oder der Prozessanlage 115) aufgerufen
werden. Diese Anordnung erleichtert die Gestaltung spezialisierter
Objekte, die ein spezialisiertes Verhalten zeigen, um einen einzelnen
Aspekt der Funktionalität einer
Bereichseinheit zu unterstützen.
-
In
dieser speziellen Ausführungsform
sind die Softwaremittel 265 unter Anwendung von objektorientierten
Programmiertechniken implementiert. In dem Sprachgebrauch der objektorientierten
Programmierung ist ein Software-"mittel"- bzw. "agent" ein autonomes aktives
Objekt. Bei einem vorgegebenen Satz an Operationen kann ein Softwaremittel 265 eine
unabhängige
Aktion in Reaktion auf lokale Bedingungen ergreifen, wodurch ein
adaptives Systemverhalten erzeugt wird. Die vorliegende Erfindung präsentiert
ein durch Mittel verbessertes System, das autonome und mobile "Softwaremittel" definiert, konfiguriert
und verwendet, die die Funktion von Mitteln der "realen Welt" in einer Halbleiterherstellungsfabrik,
etwa Fabrikarbeiter, Material, Anlagen, Prozesse, etc. nachahmen
und verbessern. Ein Fachmann erkennt, dass ein Mittel oder ein anderes
Softwareobjekt ein oder mehrere Softwareobjekte enthalten kann.
Im hierin verwendeten Sinne soll der Begriff "Objekt" als ein Softwareobjekt verstanden werden, das
wiederum aus anderen Softwareobjekten zusammengesetzt sein kann.
Umgekehrt erkennt der Fachmann auch, dass die Funktionalität eines
Objektes mit anderen Funktionalitäten kombiniert werden kann.
Es ist zu beachten, dass Funktionalitäten, die als mit separaten
Objekten verknüpft
beschrieben sind, zu einer Funktionalität kombiniert werden können, die
mit einem einzelnen Objekt verknüpft
ist.
-
Ferner
sind in dieser speziellen Ausführungsform
die Softwaremittel 265 "konfigurierbar". In dieser speziellen
Ausführungsform
sind die Softwaremittel durch modifizierende Skripten, die deren Verhalten
regeln, oder durch Modifizieren von "Steuerungsknöpfen" konfigurierbar. Steuerungsknöpfe sind
extern konfigurierbare Parameter oder Eigenschaften der Softwaremittel,
die Flexibilität
und/oder Systemeinstellungen ermöglichen.
Beispielsweise spezifizieren diese Eigenschaften Kurven, die für Systementscheidungen
benutzt werden können.
Genauer gesagt, die Verarbeitungsaktionen und Terminierungsaktionen
der Soft waremittel 265 sind so aufgelistet, dass gewisse
vordefinierte Ereignisse das Ausführen eines Skriptsegments bewirken.
In einer speziellen Implementierung sind die Skripten in JPython
einer frei zugänglichen
Java-Programmiersprache, implementiert, die eine bidirektionale
Java-Schnittstelle bereitstellt. Zusätzliche Informationen sowie
das Herunterladen von JPython sind über das Internet bei http://www.jpython.org./
verfügbar.
-
Einige
Bereiche der detaillierten Beschreibungen hierin sind daher begrifflich
als ein softwareimplementierter Prozess dargestellt, der symbolische Darstellungen
von Operationen an Datenbits innerhalb eines Speichers in einem
Rechnersystem oder einer Rechnereinrichtung beinhaltet. Diese Beschreibungen
und Repräsentationen
sind diejenigen Mittel, die von dem Fachmann benutzt werden, um
in höchst effizienter
Weise den Inhalt ihrer Arbeit anderen Fachleuten mitzuteilen. Der
Prozess und die Operation erfordern physikalische Manipulationen
von physikalischen Größen. Üblicherweise,
obwohl dies nicht notwendig ist, nehmen diese Größen die Form elektrischer,
magnetischer, oder optischer Signale an, die gespeichert, übertragen,
kombiniert, verglichen oder anderweitig manipuliert werden können. Es
hat sich gelegentlich als günstig
erwiesen, insbesondere aus Gründen
der allgemeinen Nutzung, diese Signale als Bits, Werte, Elemente,
Symbole, Zeichen, Begriffe, Zahlen oder dergleichen zu bezeichnen.
-
Es
sollte jedoch beachtet werden, dass all diese und ähnliche
Begriffe mit den geeigneten physikalischen Größen zu verknüpfen sind
und lediglich bequeme Bezeichnungen darstellen, die diesen Größen zugeordnet sind. Sofern dies nicht speziell
anders dargestellt ist oder ansonsten in dieser Offenbarung offensichtlich
wird, beziehen sich diese Beschreibungen auf die Aktionen und Prozesse
einer elektronischen Einrichtung, die Daten, die als physikalische
(elektronische, magnetische oder optische) Größen innerhalb eines gewissen
Speichers der elektronischen Einrichtung vorhanden sind, manipuliert
und in andere Daten transformiert, die in ähnlicher Weise als physikalische
Größen innerhalb
des Speicherbereichs, oder in Übertragungseinrichtungen
oder Anzeigeeinrichtungen dargestellt sind. Beispiele der Begriffe,
die eine derartige Beschreibung bezeichnen, sind, ohne Einschränkung, die
Begriffe "Verarbeiten", "Berechnen", "Ausrechnen", "Bestimmen", "Anzeigen", und dergleichen.
-
Zu
beachten ist ferner, dass die softwareimplementierten Aspekte der
Erfindung typischerweise auf einer gewissen Form eines programmierbaren Speichermediums
codiert sind oder über
eine gewisse Art eines Übertragungsmediums
implementiert werden. Das Programmspeichermedium kann magnetisch
(beispielsweise eine Diskette oder eine Festplatte) oder optisch
(beispielsweise Kompaktdiskette, die nur lesbar ist, oder eine "CD-ROM" sein) und kann ein
Nur-Lesespeicher oder ein Speichermedium mit wahlfreiem Zugriff
sein. In ähnlicher
Weise kann das Übertragungsmedium
ein Medium mit verdrillten Drahtpaaren, Glasfasern oder anderen
geeigneten Übertragungsmedien,
die im Stand der Technik bekannt sind, sein. Die Erfindung ist nicht
auf diese Aspekte einer vorgegebenen Implementierung beschränkt.
-
Der
Prozessablauf 100 kann unter einem fortschrittlichen Prozesssteuerungs-
(APC) Rahmen bzw. Umgebung implementiert sein. Ein APC-System umfasst
ein verteiltes Softwaresystem mit austauschbaren, standardisierten
Softwarekomponenten, die eine Durchlauf-zu-Durchlauf-Steuerung und eine Fehlererkennung/Klassifizierung
in den Prozessablauf 100 ermöglichen. Die vorliegende Erfindung
der Softwaremittel 265 und deren Betrieb ist in der obersten
Ebene des APC-Systems implementiert, um eine nahezu autonome Abarbeitung
des Halbleiterfabrikationsprozessablaufs zu erreichen.
-
Die
Softwarekomponenten des APC-Systems implementieren einen Architekturstandard
auf der Grundlage von Systemtechnologien, die mit der Halbleiteranlagen
und Materialien internationaler computerintegrierter Herstellung
("SEMI") ("CIM") Umgebung, und den
fortschrittlichen Prozesssteuerungs- ("APC")
Rahmen verträglich
sind. Die CIM (SEMI E81-0699-
vorläufig
Spezifizierung für CIM-Umgebungsdomainarchitektur)
und APC (SEMI E93-0999-
provisorische Spezifizierung für
CIM fortschrittliche Prozesssteuerungskomponentenumgebung) Spezifizierungen
sind öffentlich
von SEMI erhältlich.
SEMI kann unter 8310 Hauptstadt Texas, Highway North, Suite 290,
Austin, TX 78731, Telefon: 512-349-2422, FAX: 512-349-2442 unter
der Internet-Adresse: httpa/www.semi.orq kontaktiert werden.
-
Diese
spezielle Architektur stützt
sich im Wesentlichen auf Software, in der objektorientierte Programmierung
verwendet ist und wendet die gemeinsame Objektanforderungs-Broker-Architektur ("CORBA") von der Objektmanagementgruppe ("OMG") und die CORBA-Dienstleistungsspezifikationen
für verteilte
Objektsysteme an. Informationen und Spezifizierungen für die OMG
CORBA Architektur sind ebenso einfach öffentlich verfügbar.
-
Ein
beispielhaftes Softwaresystem, das so angepasst werden kann, um
die Funktionen des hierin beschriebenen APC-Systems auszuführen, ist
das Katalyst-System, das kommerziell von KLA-Tencor, Inc. angeboten
wird. KLA-Tencor kann kontaktiert werden unter: 160 Rio Robles,
San Jose, CA 95134, Telefon: 408-875-6000, FAX: 408-875-3030, http://www.klatencor.com.
Weitere Informationen hinsichtlich des Katalystsystems sind ebenso
von KLA-Tencor auf deren Webseite unter http://www.klatencor.com/controlsolutions/catalystapc.html
erhältlich.
-
Es
sei nun auf 3 verwiesen;
hier ist eine vereinfachte Blockansicht einer beispielhaften Ausführungsform
eines Prozessablaufs 300 dargestellt, der unter Anwendung
von Softwaremittel 265 gemäß einer weiteren Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung implementiert ist. Ein beispielhaftes
Los 130 wird durch ein Losterminierungsmittel 310 und
ein Losprozessmittel 320 repräsentiert. Eine beispielhafte
Prozessanlage 115 wird durch ein Maschinenterminierungsmittel 330 und
ein Maschinenprozessmittel 340 repräsentiert. Das Losterminierungsmittel 310 verhandelt
mit den diversen Einheiten in dem Prozessablauf 300, etwa
dem Maschinenterminierungsmittel 330, um die für die Fertigstellung
des Loses erforderlichen Ressourcen zuverlässig bereitzustellen. Beispielsweise
können
das Losterminierungsmittel 310 und das Maschinenterminierungsmittel 330 eine Vorgehensweise
mittels eines "Vertragsnetzverhandlungsprotokoll" anwenden, um einen
Verarbeitungszeitpunkt des Loses 130 mit der Prozessanlage 115 festzulegen.
-
Das
Losprozessmittel 320 und/oder das Maschinenprozessmittel 340 können aufgerufen
werden, wenn das Los 130 an der Prozessanlage 115 zur
Verarbeitung empfangen wird. Das Losprozessmittel 320 und
das Maschinenprozessmittel 340 sind mit einem Steuerungsmittel 350 über Schnittstelle verbunden,
um notwendige Steuerungsaktionen für die Konfigurierung des Prozessrezepts
der Prozessanlage 115 für
die Verarbeitung des Loses 130 zu bestimmen. Das Steuerungsmittel 350 kann
entweder von dem Losprozessmittel 320 oder dem Maschinenprozessmittel 340 aufgerufen
werden. In einer Ausführungsform
kann das Losprozessmittel 320 dem Steuerungsmittel 350 Daten
hinsichtlich den Eigenschaften des Loses 130 (beispielsweise
Messdaten über
Längen,
elektrische Messdaten, etc.) zuleiten, die notwendig sind, um die
notwendige Steuerungsaktion zu bestimmen. In ähnlicher Weise kann das Maschinenprozessmittel 340 Daten
hinsichtlich der Prozessanlage 115 (beispielsweise Standzeit,
Zeit seit der letzten Reinigung, Anlagenzustand, etc.) dem Steuerungsmittel 350 zuleiten.
In einer alternativen Ausführungsform
können
Daten hinsichtlich der Eigenschaften des Loses 130 und/oder
der Prozessanlage 115 in einem zentral angelegten Datenspeicher 360 abgelegt
werden, wo sie dann von dem Steuerungsmittel 350 abgerufen
werden können.
Der Datenspeicher 360 kann so konfiguriert sein, um Daten,
etwa prozessvorgeschaltete und prozessnachgeschaltete Messdaten,
Anlagenzustände,
Losprioritäten,
etc. zu speichern.
-
Die
Arbeitsweise des Steuerungsmittels 350 wird nun detaillierter
beschrieben. Die von dem Steuerungsmittel 350 ausgeführten Steuerungsaktionen sind
implementationsspezifisch. Wenn beispielsweise die Prozessanlage 115 eine
CMP-Anlage ist, kann das Steuerungsmittel 350 vor dem Polieren
gewonnene Dickenmessungen (beispielsweise die Dicke von hohen Strukturelementen,
die Dicken von niedrigen Strukturelementen) empfangen und eine Polierzeit
vorhersagen, die erforderlich ist, um eine Solldicke nach dem Polieren
zu erreichen. Wenn die Prozessanlage 115 eine Ätzanlage
ist, kann das Steuerungsmittel 350 das Ätzverhalten der Prozessanlage 115 auf
der Grundlage von Dickenmessungen vor dem Ätzen und/oder nach dem Ätzen modellieren. Das
Steuerungsmittel 350 kann ein Steuermodell der Prozessanlage 115 verwenden,
um seine Vorhersage zu erzeugen. Das Steuermodell kann empirisch unter
Ausnutzung allgemein bekannter linearer oder nicht linearer Techniken
entwickelt werden. Das Steuermodell kann ein relativ einfaches auf
Gleichung basierendes Modell (beispielsweise linear, expotentiell,
gewichteter Durchschnitt, etc.) oder ein komplexeres Modell, etwa
ein neuronales Netzwerkmodell, ein Modell mit Hauptkomponentenanalyse (PCA)
oder ein Modell der Projektion auf latente Strukturen (PLS) sein.
Die spezielle Implementierung des Modells kann von der ausgewählten modellierenden
Technik abhängen.
Unter Anwendung des Steuermodells kann das Steuerungsmittel 350 Prozessrezeptparameter,
etwa Ätzzeit,
Plasmaleistung, Temperatur, Druck, Reaktionsgaskonzentrationen,
etc. bestimmen, um Dickenvariationen nach dem Ätzen zu reduzieren. Bei anderen
Arten von Prozessanlagen 115 sind andere Steuerungsszenarien
möglich.
-
Während der
Konfiguration des Steuerungsmittels 350, d. h., wenn es
zum ersten Mal instanziert wird, werden globale Konfigurationsvariablen
für die Verwendung
durch das Steuerungsmittel 350 definiert. In der dargestellten
Ausführungsform
enthalten diese globalen Variablen Variablenwerte aus einem Rezeptmanagementsystem
(RMS) (d. h. einer globalen Datenbank mit Rezepteinstellungen, in
der Ersatzrezepte für
den aktuellen Prozess gespeichert sind, das in die Prozessanlage 115 eingespeist
werden) und Kontextvariablen. Kontextvariablenwerte definieren eine
Steuerungsroutine und bestehen typischerweise aus Werten für Variablen,
etwa der Anlagenidentifizierungscodierung, der Losnummer, der Operationsnummer
und dergleichen. Ferner sind benötigte
Basislinienvariablen ebenfalls gegebene Werte. Zu Beispielen gehören eine
E-Mail-Liste für Fehlerbenachrichtigung,
Werte für
Zeitüberläufe, die maximale
Anzahl an Scheiben, die innerhalb eines Loses, das als ein "Kind"-Los betrachtet wird,
zulässig
ist, Informationen über
eine vorhergehende Schicht, die das Steuerungsmittel 350 verwenden kann
(Vorwärtskopplungsinformation)
und dergleichen.
-
Das
Steuerungsmittel 350 kann die Werte für die Losnummer und die Anzahl
der Scheiben, wie sie durch die globale Konfigurationsvariablen
gegeben sind, verwenden und Werte für die Losnummer, den Familiennamen,
Elternnamen, die Fabrik, die Anzahl der Scheiben und den Status
(d. h. ob das Los ein Elternlos oder ein Kindlos ist) bestimmen.
Die zuvor definierte Kontext- und RMS-Information kann verwendet
werden, um die Werte festzulegen, die das Steuerungsmittel 350 verwendet,
um Steuerungsaktivitäten
zu berechnen. Beispielsweise kann das Steuerungsmittel 350 die
Kontextinformation (oder "Routinen"-Zuordnung) verwenden, um den Wert eines Steuerungsmodellparameters
gemäß dem in
dem RMS definierten Wert festzulegen. Ein spezielles Beispiel wäre das Festlegen
des Wertes für
jede Rate, die in einem Steuerungsmodell gemäß dem Kontext der speziellen Ätzkammer
angewendet wird und der Wert für
die Ätzrate
der Ätzkammer,
wie sie im RMS definiert ist.
-
Des
weiteren kann das Steuerungsmittel 350 vorwärtsgekoppelte
Messinformation aus dem Datenspeicher 360 unter Anwendung
einer Abfrage mittels Losnummer und Schichtname abrufen. Das Steuerungsmittel 350 kann
Elemente in einem Array aus Daten überprüfen, die mit einem gegebenen
Los verknüpft
sind und Ersatzwerte für
fehlende Werte einfügen.
Beispielsweise kann der Sollwert eines vorhergehenden Prozesses
benutzt werden, um den Wert einer fehlenden Messung festzulegen,
die als Teil der vorwärtsgekoppelten
Information benötigt wird,
die von dem Steuerungsmittel 350 verwendet wird. Andere
Verfahren zum Festlegen des Wertes einer fehlenden vorwärtsgekoppelten
Information anstelle des Verwendens eines Ersatzwertes können ebenso
angewendet werden.
-
Das
Steuerungsmittel 350 setzt Werte für die Schlüssel und Zustandsstrukturen,
die zum Abfragen des Datenspeichers 360 erforderlich sind,
um Steuerungszustände
abzurufen, die mit der momentanen Steuerungsroutine bzw. mit dem
momentanen Steuerungsprogramm pfad verknüpft sind. Die Schlüssel können verwendet
werden, um Routinezustandsdaten aus dem Datenspeicher 360 abzurufen.
Das Steuerungsmittel 350 sucht nach den Routine bzw. Programmzustandsdaten
in einem Stapel aus geordneten Daten für Lose, die kürzlich mit
dieser Routine oder diesem Pfad bearbeitet wurden. Wenn derartige Werte
gefunden werden, werden diese einer anwenderdefinierten Funktion übermittelt,
die ein Steuermodell enthält,
die Werte für
die Routinezustände
berechnet und zurückgibt.
Wenn keine Werte in dem Stapel gefunden werden, kann das Steuerungsmittel 350 der
Hierarchie folgend suchen und Daten aus der ersten Hierarchieebene
abrufen, die Werte für
die Routinezustände
besitzt. Es wird angenommen, dass der Stapel und alle Hierarchieebenen ähnliche
Daten jedoch mit einem unterschiedlichen Grad an Genauigkeit enthalten.
-
Das
Steuerungsmittel 350 kann eine Gefahrenprüfung durchführen, indem
ein Auslesen in dem Datenspeicher 360 und ein Abrufen des
Wertes für die
Anzahl der Lose in dem Gefährdungsstapel
(d. h. dem Stapel aus Losen, die mit der gegebenen Routine seit
dem letzten Messvorgang bearbeitet wurden) abrufen. Dieser Wert
kann mit einem Schwellwert für die
Anzahl der Lose in dieser Gefährdungskategorie verglichen
werden, was einen typischen Wert darstellt, der in dem RMS spezifiziert
ist. Wenn dieser Gefährdungsschwellwert
nicht überschritten
wird, kann das Steuerungsmittel 350 weitermachen. Wenn der
Schwellwert überschritten
wird, kann das Steuerungsmittel 350 einen Abbruch veranlassen
und ein Anzeigefenster senden, das einen Bediener instruiert, ein
messtechnisches Ereignis an einem Los aus der Liste aus Losen in
dem Gefährdungsstapel durchzuführen, bevor
eine Steuerungsaktion für
das momentane Los festgelegt wird.
-
Das
Steuerungsmittel 350 berechnet Steuerungseingangssignale
(Prozessrezeptaktualisierungen) aus dem Zustand und der Sollwertinformation, die
zuvor bestimmt wurde, wie dies zuvor beschrieben ist. Das Steuerungsmittel 350 sendet
dann die Ergebnisse der Steuerungsaktion zu dem Maschinenprozessmittel 340,
das wiederum das Prozessrezept der Prozessanlage 115 vor
dem Bearbeiten des Loses 130 aktualisiert.
-
In
einigen Ausführungsformen
können
mehr als ein Steuerungsmittel 350 für das Bearbeiten des Loses 130 instanziiert
werden. Wenn beispielsweise die Prozessanlage 115 ein Photolithographieeinzelbildbelichter
ist, kann ein Steuerungsmittel 350 aufgerufen werden, um
die Überlagerung
zu steuern und ein weiteres Steuerungsmittel 350 kann aufgerufen werden,
um die kritischen Abmessungen (CD) zu steuern. Die mehreren Steuerungsmittel 350 können eine
Rückkopplung
aus bearbeiteten Scheiben benutzen, um diverse Einzelbildbelichterparameter, etwa
Belichtungsdosis, Belichtungszeit, Fokus, etc. einzustellen. In
einem weiteren Beispiel kann eine Abscheideanlage, etwa eine Anlage
zum Bilden von Polysiliziumschichten, mehrere Steuerungsmittel 350 zum
Steuern von Parametern, etwa die Polysiliziumkorngröße und die
Polysiliziumschichtdicke, aufweisen.
-
Wenn
die Steuerungsmittel 350 aufgerufen sind, werden die Kontextvariablen überprüft, um zu bestimmen,
welche einzelnen Steuerungsmittel 350 Steuerungsaktionen
festlegen müssen.
Die Operations-ID zeigt an, dass der Prozess ausgeführt wird (beispielsweise
Polygatemaske gegenüber
zweiter dielektrischer Zwischenebenenschichtmaske) (ILD)). Jedes
Steuerungsmittel 350 ist nur unter gewissen Kontextsituationen
erforderlich und läuft
nur, wenn all diese Kontextbedingungen erfüllt sind. Beispielsweise kann
das CD-Steuerungsmittel 350 für eine Polygatemaske
aktiviert sein, ist jedoch nicht für den Prozess der zweiten ILD-Maske
aktiv. Das Überlagerungs-Steuerungsmittel 350 andererseits
kann bei beiden Maskenereignis aktiv sein.
-
Die
Verwendung einer Steuerungsarchitektur auf Softwaremittel bzw. Agentenbasis,
wie es hierin beschrieben ist, verbessert die Gesamtfabrikeffizienz
und stellt eine verbesserte Automatisierung bereit. Insbesondere
Terminieren und Initiieren die autonomen, aktiven Softwaremittel 265 das
Ausführen der
Loszeitablaufsteuerung und der Bearbeitung. Im Allgemeinen verringert
eine verbesserte Prozesssteuerung die Produktschwankungen, was sich
wiederum auf eine Erhöhung
der Produktleistungsfähigkeit
und des Profits auswirkt.
-
Die
speziellen offenbarten Ausführungsformen
sind lediglich anschaulicher Natur, da die Erfindung auf unterschiedliche
aber äquivalente
Weisen modifiziert und ausgeführt
werden kann, wie dies dem Fachmann bei Besitz der Lehren hierin
offenkundig wird. Es sind ferner keine Beschränkungen in Hinblick auf die
Details des Aufbaus oder der Gestaltung, wie sie hierin gezeigt
sind, beabsichtigt, mit Ausnahme solcher Beschränkungen, wie sie in den Patentansprüchen beschrieben
sind. Es ist daher offensichtlich, dass spezielle offenbarte Ausführungsformen
geändert
oder modifiziert werden können
und dass alle derartigen Variationen als innerhalb des Schutzbereichs
und Grundgedankens der vorliegenden Erfindung liegend betrachtet
werden. Folglich ist der angestrebte Schutzbereich durch die angefügten Patentansprüche definiert.
-
Zusammenfassung
-
Ein
Herstellungssystem umfasst eine Prozessanlage, ein Steuerungsmittel
und ein erstes Prozessmittel. Die Prozessanlage ist ausgebildet,
ein Werkstück
entsprechend einem Prozessrezept zu bearbeiten. Das Steuerungsmittel
ist ausgebildet, eine mit dem Bearbeiten des Werkstücks in der
Prozessanlage verknüpfte
Steuerungsaktion zu bestimmen. Das erste Prozessmittel ist mit der
Prozessanlage und/oder dem Werkstück (verknüpft und ausgebildet, mit dem
Steuerungsmittel zu kommunizieren, die Steuerungsaktion zu empfangen
und das Prozessrezept auf der Grundlage der Steuerungsaktion zu
konfigurieren. Ein Verfahren zum Steuern einer Prozessanlage, die
ausgebildet ist, ein Werkstück gemäß einem
Prozessrezept zu bearbeiten, wird ebenso bereitgestellt. Ein erstes
Prozessmittel , das mit der Prozessanlage und/oder dem Werkstück verknüpft ist,
wird instanziiert. Ein Steuerungsmittel, das ausgebildet ist, eine
mit dem Bearbeiten des Werkstücks
in der Prozessanlage verknüpfte
Steuerungsaktion zu bestimmen, wird instanziiert. Das erste Prozessmittel
steht mit dem Steuerungsmittel in Verbindung, um die Steuerungsaktion
zu empfangen. Das erste Prozessmittel steht mit der Prozessanlage
in Verbindung, um das Prozessrezept auf der Grundlage der Steuerungsaktion
zu konfigurieren.