TH81358A - เครื่องมืออิเล็กโทรด และวิธีการของการผลิตสิ่งเดียวกันนี้ - Google Patents

Abstract

DC60 (12/04/49) วิธีการของการผลิตเครื่องมืออิเล็กโทรดจะเพิ่มความถูกต้องแม่นยำ และคุณภาพของแบบ ที่เป็นตัวนำของเครื่องมือ , ดังนั้น จะปรับปรุงคุณภาพของแบบของร่องที่ถูกดำเนินกระบวนการ , ปรับปรุงอายุการใช้งานของเครื่องมือ และลดจำนวนของกระบวนการผลิต เมื่อเปรียบเทียบกับ วิธีการผลิตเครื่องมืออิเล็กโทรดธรรมดาทั่วไป อย่างเฉพาะเจาะจงมากกว่า , แบล็งค์ของอิเล็กโทรด จะถูกจัดให้มี และสารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบาง จะถูกประยุกต์ใช้กับพื้นผิว- ดำเนินกระบวนการของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด โดยการตกสะสมของไอ หรือ โพลีเมอไรเซชันแบบ การตกสะสมของไอ สารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบาง จะถูกกำจัดออกอย่างง่ายดาย หลังจากนั้นจากส่วนของพื้นผิวดำเนินกระบวนการของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด โดยกระบวนการ เช่น การกัดด้วยกรด เพื่อสร้างส่วนพื้นผิวของแบบที่เป็นตัวนำที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้า โดยไม่มี ความจำเป็นสำหรับแมชชินนิ่งของการสลักลึกที่ใช้เวลา และราคาแพง และ การดำเนินกระบวนการเพิ่มเติม วิธีการของการผลิตเครื่องมืออิเล็กโทรดจะเพิ่มความถูกต้องแม่นยำ และคุณภาพของแบบ ที่เป็นตัวนำของเครื่องมือ , ดังนั้น จะปรับปรุงคุณภาพของแบบของร่องที่ถูกดำเนินกระบวนการ , ปรับปรุงอายุการใช้งานของเครื่องมือ และลดจำนวนของกระบวนการผลิต เมื่อเปรียบเทียบกับ วิธีการผลิตเครื่องมืออิเล็กโทรดธรรมดาทั่วไป อย่างเฉพาะเจาะจงมากกว่า , แบล็งค์ของอิเล็กโทรด จะถูกจัดให้มี และสารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบาง จะถูกประยุกต์ใช้กับพื้นผิว- ดำเนินกระบวนการของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด โดยการตกสะสมของไอ หรือ โพลีเมอไรเซชันแบบ การตกสะสมของไอ สารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบาง จะถูกกำจัดออกอย่างง่ายดาย หลังจากนั้นจากส่วนของพื้นผิวดำเนินกระบวนการของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด โดยกระบวนการ เช่น การกัดด้วยกรด เพื่อสร้างส่วนพื้นผิวของแบบที่เป็นตัวนำที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้า โดยไม่มี ความจำเป็นสำหรับแมชชินนิ่งของการสลักลึกที่ใช้เวลา และราคาแพง และ การดำเนินกระบวนการเพิ่มเติม

Claims (20)

1. วิธีการของการผลิตเครื่องมืออิเล็กโทรด ซึ่งประกอบด้วย : การจัดให้มีแบล็งค์ของอิเล็กโทรด ที่ถูกสร้างขึ้นจากวัสดุที่เป็นตัวนำ ; การประยุกต์ใช้ของสารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบางกับพื้นผิวด้านบน ของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด โดยหนึ่งในการตกสะสมของไอ และโพลีเมอไรเซชันแบบการตกสะสม ของไอ ; และ การกำจัดออกของสารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบางส่วนของ พื้นผิวด้านบนของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด เพื่อที่จะสร้างแบบที่เป็นตัวนำ

2. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งการกำจัดออกของสารเคลือบที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบาง จากส่วนของพื้นผิวด้านบนของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด เพื่อว่าที่จะสร้างแบบที่เป็นตัวนำ จะประกอบด้วย การกำจัดออกของสารเคลือบที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบางจากส่วนของพื้นผิวด้านบนของแบล็งค์ของ อิเล็กโทรด เพื่อที่จะสร้างแบบที่เป็นตัวนำ สำหรับการดำเนินกระบวนการของแบบร่องแรงดัน- ไฮโดรไดนามิก ในไฮโดรไดนามิก แบริ่ง

3. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมด้วยการประยุกต์ใช้ของ สารเคลือบชนิดโลหะด้านบน เหนือแบบที่เป็นตัวนำ หลังจากการกำจัดออกของสารเคลือบเรซิน ที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบางจากส่วนของพื้นผิวด้านบนของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด

4. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ซึ่งการประยุกต์ใช้ของสารเคลือบขนิดโลหะด้านบน เหนือ แบบที่เป็นตัวนำ จะประกอบด้วยกาประยุกต์ใช้ของสารเคลือบชนิดโลหะ ที่รวมถึงโลหะอย่างน้อย หนึ่งชนิด ที่เลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบด้วยแพลทินัม , ทองคำ , ซิลเวอร์ , โรเดียม , พัลลาเดียม , รูธีเนียม , โครม และนิกเกิล เหนือแบบที่เป็นตัวนำ

5. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมด้วยการประยุกต์ใช้สารเคลือบ ชนิดโลหะที่แตกต่างกันเพิ่มเติมอย่างน้อยหนึ่งชนิด เหนือแบบที่เป็นตัวนำ ก่อนการประยุกต์ใช้ของ สารเคลือบชนิดโลหะด้านบน เหนือแบบที่เป็นตัวนำ

6. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 5 ซึ่งการประยุกต์ใช้ของสารเคลือบขนิดโลหะที่แตกต่างกัน เพิ่มเติมอย่างน้อยหนึ่งชนิด เหนือแบบที่เป็นตัวนำ จะประกอบด้วยการประยุกต์ใช้ของหนึ่งในทองคำ และซิลเวอร์ เหนือแบบที่เป็นตัวนำ

7. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งการประยุกต์ใช้ของสารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวน ชนิดฟิล์มบางกับพื้นผิวด้านบนของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด จะประกอบด้วยการประยุกต์ใช้ของ สารเคลือบกลุ่มโพลีเอไมด์ชนิดฟิล์มบาง , สารเคลือบกลุ่มเตตราฟลูออโรเอทธิลีน- เฮกซาฟลูออโรโพรพิลีน โคโพลีเมอร์ (FEP) , และสารเคลือบกลุ่มเปอร์ฟลูออโรแอลคอกซี- เตตราฟลูออโรเอทธิลีน โคโพลีเมอร์ (PFA)

8. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งการจัดให้มีของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด ที่ถูกสร้างขึ้นจาก วัสดุที่เป็นตัวนำ จะประกอบด้วยการจัดให้มีแบล็งค์ของอิเล็กโทรด ที่ถูกสร้างขึ้นจากวัสดุที่เป็นตัวนำ ที่เลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบด้วยคอปเปอร์ , ทังสเตน , ฟอสฟอร์ บรอนซ์ , ทองเหลือง , ไอร์ออน คอปเปอร์ อัลลอย , ไทเทเนียม อัลลอย , คอปเปอร์ ทังสเตน อัลลอย และโคบอลท์ อัลลอย

9. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งการกำจัดออกของสารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวน ชนิดฟิล์มบางจากส่วนของพื้นผิวด้านบนของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด เพื่อที่จะสร้างแบบที่เป็นตัวนำ จะประกอบด้วยการกำจัดออกของสารเคลือบที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบางโดยหนึ่งในการกัดด้วยกรด แบบละเอียด , เลเซอร์ , การพ่นที่มีความถูกต้องแม่นยำ และการเซาะ

10. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งการประยุกต์ใช้ของสารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวน ชนิดฟิล์มบางกับพื้นผิวด้านบนของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด จะประกอบด้วยการประยุกต์ใช้ของ สารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบาง ที่มีความหนาในช่วงของประมาณ 5 ไมโครเมตร ถึง 50 ไมโครเมตร กับพื้นผิวด้านบนของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด

11. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ซึ่งประยุกต์ใช้สารเคลือบชนิดโลหะด้านบนเหนือ แบบที่เป็นตัวนำ จะประกอบด้วยการประยุกต์ใช้ของสารเคลือบชนิดโลหะ ที่มีความหนาน้อยกว่า หรือ เท่ากับความหนาของสารเคลือบที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบาง กับแบบที่เป็นตัวนำ

12. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 5 ซึ่งประยุกต์ใช้สารเคลือบชนิดโลหะที่แตกต่างกัน เพิ่มเติมอย่างน้อยหนึ่งชนิด เหนือแบบที่เป็นตัวนำ จะประกอบด้วยการประยุกต์ใช้จำนวนหนึ่ง ของสารเคลือบชนิด โลหะกับแบบที่เป็นตัวนำ เพื่อว่าผลรวมของความหนาของสารเคลือบชนิดโลหะ ทั้งหมด ที่รวมถึงสารเคลือบชนิดโลหะด้านบน จะน้อยกว่า หรือ เท่ากับความหนาของสารเคลือบ ที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบาง

13. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ซึ่งการประยุกต์ใช้ของสารเคลือบขนิดโลหะด้านบน เหนือแบบที่เป็นตัวนำ จะประกอบด้วยการประยุกต์ใช้ของสารเคลือบชนิดโลหะกับแบบที่เป็นตัวนำ ที่มีความหนา ซึ่งเท่ากันโดยประมาณกับความหนาของสารเคลือบที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบาง

14. วิธีการของการสร้างเครื่องมืออิเล็กโทรด สำหรับการใช้ในอิเล็กโตรเคมิคอล แมชชินนิ่ง ซึ่งวิธีการจะประกอบด้วย การจัดให้มีแบล็งค์ของอิเล็กโทรด ที่ถูกสร้างขึ้นจากวัสดุที่เป็นตัวนำ , การประยุกต์ใช้ของสารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบางกับพื้นผิวด้านบน ของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด โดยหนึ่งในการตกสะสมของไอ และโพลีเมอไรเซซันแบบการตกสะสม ของไอ , การกำจัดออกของสารเคลือบที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบางจากส่วนของพื้นผิวด้านบน ของแบล็งค์ของอิเล็กโทรด เพื่อที่จะสร้างแบบที่เป็นตัวนำสำหรับการดำเนินกระบวนการของแบบ ของร่องแรงดันไดนามิกของไฮโดรไดนามิก แบริ่ง , และ การประยุกต์ใช้ของสารเคลือบชนิดโลหะด้านบนเหนือแบบที่เป็นตัวนำ

15. วิธีการของข้อถือสิทธิข้อที่ 14 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมด้วยการประยุกต์ใช้ของสารเคลือบ ชนิดโลหะที่แตกต่างกันเพิ่มเติมอย่างน้อยหนึ่งชนิดบนแบบที่เป็นตัวนำก่อนการประยุกต์ใช้ของ สารเคลือบชนิดโลหะด้านบนเหนือแบบที่เป็นตัวนำ

16. เครื่องมืออิเล็กโทรด ซึ่งประกอบด้วย แบล็งค์ของอิเล็กโทรด ที่ถูกสร้างขึ้นจากวัสดุที่เป็นตัวนำ และที่รวมถึงพื้นผิวดำเนิน กระบวนการ , และ สารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวนชนิดฟิลม์บางของการตกสะสมของไอ หรือ โพลีเมอไรเซซันแบบการตกสะสมของไอ สำหรับการปกคลุมพื้นผิวดำเนินกระบวนการ นอกจาก ส่วนที่ถูกกำจัดออกของสิ่งเหล่านี้ ซึ่งจะเผยพื้นผิวดำเนินกระบวนการในวิธีที่จะกำหนดแบบที่เป็น ตัวนำ

17. เครื่องมืออิเล็กโทรดของข้อถือสิทธิข้อที่ 16 ซึ่งแบบที่เป็นตัวนำ จะถูกทำให้เป็นซอก เมื่อเทียบกับสารเคลือบที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบาง

18. เครื่องมืออิเล็กโทรดของข้อถือสิทธิข้อที่ 16 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมด้วยสารเคลือบชนิด โลหะด้านบน ที่ปกคลุมแบบที่เป็นตัวนำ

19. เครื่องมืออิเล็กโทรดของข้อถือสิทธิข้อที่ 18 ซึ่งประกอบเพิ่มเติมด้วยสารเคลือบชนิด โลหะที่แตกต่างกันเพิ่มเติมอย่างน้อยหนึ่งชนิด ที่ถูกวางตำแหน่งไว้ระหว่างแบบที่เป็นตัวนำ และ สารเคลือบชนิดโลหะด้านบน

20. เครื่องมืออิเล็กโทรดของข้อถือสิทธิข้อที่ 19 ซึ่งสารเคลือบชนิดโลหะด้านบน และ สารเคลือบชนิดโลหะที่แตกต่างกันเพิ่มเติมอย่างน้อยหนึ่งชนิด จะมีความหนารวม ที่เท่ากัน โดยประมาณกับความหนาของสารเคลือบชนิดเรซินที่เป็นฉนวนชนิดฟิล์มบาง