TH79293A

TH79293A - เครื่องมืออิเล็กโทรด และวิธีการสำหรับอิเล็กโตรเคมิคอล แมชชินนิ่ง

Info

Publication number: TH79293A
Application number: TH601000257A
Authority: TH
Inventors: เนดาเตะ มาซาโนริ; อูซูอิ โมโตโนริ; โอกามิยะ อะกิโอะ
Original assignee: นายกฤชวัชร์ ชัยนภาศักดิ์; นายสัตยะพล สัจจเดชะ; นายอรรถกร เวชานนท์
Filing date: 2006-01-23
Publication date: 2006-08-10

Abstract

DC60 เครื่องมืออิเล็กโทรด สำหรับอิเล็กโตรเคมิคอล แมชชินนิ่ง จะมีแบบที่เป็นตัวนำที่ละเอียดมาก ซึ่งไม่สามารถถูกผลิตโดยวิธีการธรรมดาทั่วไป นอกจากนี้ , เครื่องมือจะมีการยึดติดที่แข็งแรงมาก ระหว่างชั้นที่ใช้เป็นฉนวน และซับสเตรท ซึ่งจะป้องกันการแทรกผ่านของอิเล็กโตรไลท์ ระหว่าง ชั้นที่ใช้เป็นฉนวน และซับสเตรท , แม้หลังจากช่วงเวลาของการใช้ที่ยาวนาน แบบที่เป็นตัวนำจะ ถูกสร้างขึ้นโดยพื้นผิวที่ปลายด้านนอกของส่วนยื่น ซึ่งจะถูกสร้างขึ้นในซับสเตรท แบบที่เป็นตัวนำ จะสอดคล้องกับแบบของร่อง ซึ่งสามารถถูกแมชชินแบบอิเล็กโตรเคมิคอลด้วย เครื่องมือ ในการผลิตของเครื่องมืออิเล็กโทรด , ซับสเตรท ที่รวมถึงส่วนยื่น จะถูกเคลือบด้วย ฟิล์มบางของเรซินที่ใช้เป็นฉนวน ที่ถูกประยุกต์ใช้โดยกระบวนการโพลีเมอไรเซชันแบบ การตกสะสมของไอ หรือ การตกสะสมของไอ พื้นผิวที่ปลายของส่วนยื่นจะถูกเผยโดย การกำจัดออกของบางส่วนของเรซินที่ใช้เป็นฉนวน เพื่อสร้างแบบที่เป็นตัวนำ วิธีการของการผลิต เครื่องมือ จะลดค่าใช้จ่าย และเวลาในการผลิต เครื่องมืออิเล็กโทรด สำหรับอิเล็กโตรเคมิคอล แมชชินนิ่ง จะมีแบบที่เป็นตัวนำที่ละเอียดมาก ซึ่งไม่สามารถถูกผลิตโดยวิธีการธรรมดาทั่วไป นอกจากนี้, เครื่องมือจะมีการยึดติดที่แข็งแรงมาก ระหว่างชั้นที่ใช้เป็นฉนวน และซับสเตรท ซึ่งจะป้องกันการแทรกผ่านของอิเล็กโตรไลท์ ระหว่าง ชั้นที่ใช้เป็นฉนวน และซับสเตรท, แม้หลังจากช่วงเวลาของการใช้ที่ยาวนาน แบบที่เป็นตัวนำจะ ถูกสร้างขึ้นโดยพื้นผิวที่ปลายด้านนอกของส่วนยื่น ซึ่งจะถูกสร้างขึ้นในซับสเตรท แบบที่เป็นตัวนำ จะสอดคล้องกับแบบของร่อง ซึ่งสามารถถูกแมชชินแบบอิเล็กโตรเคมิคอลด้วย เครื่องมือ ในการผลิตของเครื่องมืออิเล็กโทรด, ซับสเตรท ที่รวมถึงส่วนยื่น จะถูกเคลือบด้วย ฟิล์มบางของเรซินที่ใช้เป็นฉนวน ที่ถูกประยุกต์ใช้โดยกระบวนการโพลีเมอไรเซชันแบบ การตกสะสมของไอ หรือ การตกสะสมของไอ พื้นผิวที่ปลายของส่วนยื่นจะถูกเผยโดย การกำจัดออกของบางส่วนของเรซินที่ใช้เป็นฉนวน เพื่อสร้างแบบที่เป็นตัวนำ วิธีการของการผลิต เครื่องมือ จะลดค่าใช้จ่าย และเวลาในการผลิต

Claims

1. เครื่องมืออิเล็กโทรด สำหรับอิเล็กโตรเคมิคอล แมชชินนิ่ง ซึ่งเครื่องมืออิเล็กโทรด จะประกอบด้วยพื้นผิวทำงาน ซึ่งจะหันหน้าเข้าหาชิ้นงาน ในระหว่างกระบวนการอิเล็กโตรเคมิคอล แมชชินนิ่ง, และเครื่องมืออิเล็กโทรดจะประกอบด้วย แบบที่เป็นตัวนำที่ถูกสร้างขึ้นบนพื้นผิวทำงานโดยซับสเตรทของอิเล็กโทรดที่ถูกเผย ซึ่งแบบที่เป็นตัวนำจะสอดคล้องกับแบบของร่องที่ต้องการ ซึ่งจะถูกแมชชินแบบอิเล็กโตรเคมิคอล บนชิ้นงาน ด้วยเครื่องมืออิเล็กโทรด , และ ฟิล์มที่เป็นฉนวนบาง ซึ่งเป็นเรซินของโพลีเมอไรเซชันแบบการตกสะสมของไอ หรือ เรซินของการตกสะสมของไอ ซึ่งฟิล์มที่เป็นฉนวนบางจะปกคลุมพื้นผิวทำงานของซับสเตรท ของอิเล็กโทรดที่นอกเหนือจากตำแหน่งของแบบที่เป็นตัวนำ

2. เครื่องมืออิเล็กโทรดตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งพื้นผิวของแบบที่เป็นตัวนำ และพื้นผิวของ ฟิล์มที่เป็นฉนวนบาง จะเสมอกัน

3. เครื่องมืออิเล็กโทรดตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งแบบที่เป็นตัวนำจะถูกสร้างขึ้นโดย อย่างน้อยหนึ่งส่วนยื่น ซึ่งจะถูกสร้างขึ้นในซับสเตรท

4. เครื่องมืออิเล็กโทรดตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งความสูงของส่วนยื่น คือ 5 ไมโครเมตร ถึง 50 ไมโครเมตร

5. เครื่องมืออิเล็กโทรดตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งความหนาของฟิล์มที่เป็นฉนวนบาง คือ 5 ไมโครเมตร ถึง 50 ไมโครเมตร

6. เครื่องมืออิเล็กโทรดตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งฟิล์มที่เป็นฉนวนบาง จะเลือกได้จากกลุ่ม ที่ประกอบด้วยโพลีอิไมด์ เรซินที่ถูกโพลีเมอไรซ์แบบการตกสะสมของไอ, เปอร์ฟลูออโรแอลคอกซี-เตตราฟลูออโรเอทธิลีน โคโพลีเมอร์ (PFA) ที่ถูกตกสะสมแบบไอ, และ เตตราฟลูออโรเอทธิลีน-เฮกซาฟลูออโรโพรพิลีน โคโพลีเมอร์ (FEP) ที่ถูกตกสะสมแบบไอ

7. เครื่องมืออิเล็กโทรดตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ซึ่งซับสเตรทของอิเล็กโทรดของ เครื่องมืออิเล็กโทรด จะเลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบด้วยคอปเปอร์, ทองเหลือง, ฟอสฟอร์ บรอนซ์ , ไอร์ออน-คอปเปอร์ อัลลอย, สเตรเลส สตีล, ทังสเตน, ไทเทเนียม อัลลอย, คอปเปอร์ ทังสเตน อัลลอย และโคบอลต์ อัลลอย

8. วีธีการของการผลิตเครื่องมืออิเล็กโทรด ซึ่งประกอบด้วย การกำจัดออกของส่วนของพื้นผิวของซับสเตรทของอิเล็กโทรด เพื่อสร้างส่วนยื่น ในพื้นผิวทำงานของซับสเตรทของอิเล็กโทรด, ซึ่งพื้นผิวทำงานจะหันหน้าเข้าหาชิ้นงานในระหว่าง กระบวนการอิเล็กโตรเคมิคอล แมชชินนิ่ง, การสร้างของฟิล์มที่เป็นฉนวนที่สม่ำเสมอ ที่มีความหนาเป็น 5 ถึง 50 ไมโครเมตร โดยการตกสะสมของไอ หรือ โพลีเมอไรเซชันแบบการตกสะสมของไอ เพื่อว่าพื้นผิวทำงาน ที่รวมถึงส่วนยื่น จะถูกเคลือบด้วยฟิล์มที่เป็นฉนวน, และ การกำจัดออกของฟิล์มที่เป็นฉนวนจากปลายด้านนอกของส่วนยื่น เพื่อสร้าง แบบที่เป็นตัวนำ ซึ่งจะถูกล้อมรอบโดยฟิล์มที่ใช้เป็นฉนวน

9. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 8 ซึ่งการกำจัดออกของฟิล์มที่ใช้เป็นฉนวน จะถูกดำเนินการ โดยการฝน หรือ การกัดด้วยกรด

10. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 9 ซึ่งในระหว่างการฝน หรือ การกัดด้วยกรด พื้นผิวของ แบบที่เป็นตัวนำ และพื้นผิวของฟิล์มที่เป็นฉนวน จะทำให้เสมอกัน

11. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 8 ซึ่งส่วนยื่นจะถูกสร้างขึ้นโดยการกัดด้วยกรด

12. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่ 8 ซึ่งส่วนยื่นจะถูกสร้างขึ้นโดยวิธีการที่เลือกได้จาก กลุ่มที่ประกอบด้วยกระบวนการกำจัดออกด้วยการตัด, กระบวนการกำจัดออกด้วยเลเซอร์, และ กระบวนการกำจัดออกด้วยการพ่นที่มีความถูกต้องแม่นยำ