TH75290B - กรรมวิธีสำหรับการทำให้สารละลายไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์แอคเควียสบริสุทธิ์ - Google Patents

Abstract

DC60 (17/12/47) กรรมวิธีสำหรับการทำให้สารละลายแอคเควียสเปอร์ออกซิเจนบริสุทธิ์ซึ่งประกอบรวมด้วย การทรีตเมนต์สารละลายแอคเควียสเปอร์ออกซิเจน ด้วย (a) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน อย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน, (b) อาจเลือกที่จะทำ ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยการแลกเปลี่ยน ไอออนอย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน, (c) อาจเลือกที่จะทำ ขั้นตอนการเจือจางอย่างน้อยที่สุดหนึ่ง ขั้นตอน, และ (d) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์อื่นๆ อย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน , ซึ่งขั้นตอนทั้งหมดนี้ สามารถทำตามลำดับใดๆ ก็ได้ สารละลายเเอคเควียสเปอร์ออกซิเจนที่มีระดับ TOC น้อยกว่า 1 มก./กก. สามารถได้โดยกรรมวิธีนี้ สารละลายเหล่านี้ สามารถใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ กรรมวิธีสำหรับการทำให้สารละลายเปอร์ออกซิเจนแอคเควียสบริสุทธิ์ซึ่งประกอบรวมด้วย การทรีตเมนต์สารละลายเปอร์ออกซิเจนแอคเควียสด้วย(a)ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน อย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน,(b)อาจเลือกให้มีขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยการแลกเปลี่ยนไอออน อย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน,(c)อาจเลือกให้มีขั้นตอนการเจือจางอย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน,และ (d) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์อื่นๆ อย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน,ซึ่งขั้นตอนทั้งหมดนี้สามารถทำตาม ลำดับใดๆ ก็ได้ สารละลายเปอร์ออกซิเจนแอคเควียสที่มีระดับ TOC น้อยกว่า 1 มก./กก. สามารถ ได้มาโดยกรรมวิธีนี้ สารละลายเหล่านี้ สามารถใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

Claims (2)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : 1. กรรมวิธีสำหรับการทำให้สารละลายไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์แอคเควียสบริสุทธิ์ ซึ่ง ประกอบรวมด้วยการทรีตเมนต์สารละลายไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์แอคเควียสในลำดับแรกด้วยการ ทำให้บริสุทธิ์ด้วยรีเวอร์สออสโมซิสเมมเบรน และหลังจากนั้นด้วยการทำให้บริสุทธิ์อื่นอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งขั้นตอน ซึ่งเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยการเผยต่อแสงอัลตร้าไวโอเลต (exposure ultravilolet),การเผยต่อโอโซน,การสัมผัสกับเรซินดูดซับอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด,และการรวมกัน แบบใดๆ ของขั้นตอนเหล่านั้น 2. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งสารละลายแอคเควียส เปอร์ออกซิเจน คือ สารละลาย ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ 3. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 2, ที่ซึ่งสารละลายไฮโดรเจน เปอร์ออกไซด์ มีความเข้มข้นก่อนที่จะ ผ่านการทรีตเมนต์ คือ 5 ถึง 70 % โดยน้ำหนัก ของไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ 4. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 3 ข้อใดข้อหนึ่ง, ที่ ซึ่งเมมเบรน คือ เมมเบรนชนิดรีเวอร์ส ออสโมซิส 5. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 4 ข้อใดข้อหนึ่ง, ที่ ซึ่งขั้นตอนอื่นๆ ของการทำให้บริสุทธิ์ ถูก เลือกจากการนำไป ผ่านแสงอัลตร้าไวโอเลต, การนำไปผ่านโอโซน, การนำไปสัมผัส กับ เรซินดูดซับ อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด, หรือ การรวมกันแบบ ใดๆ ของขั้นตอนเหล่านี้ 6. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 5 ข้อใดข้อหนึ่ง , ที่ ซึ่งการทรีตเมนต์ประกอบรวมด้วย, ใน ลำดับดังต่อไปนี้, (1) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน, (2) ขั้นตอนการทำให้ บริสุทธิ์ที่เลือก จากการผ่าน แสงอัลตร้าไวโอเลต และ/หรือ การผ่านโอโซน,(3) ขั้นตอนการ เจือจาง,(4) อาจเลือกที่ จะสัมผัสกับเรซินดูดซับ, (5) อาจ เลือกที่จะทำขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยการแลกเปลี่ยน ไอออน. 7. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 6, ที่ซึ่งการทรีตเมนท์อาจ เลือกที่จะมี (6) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ ด้วยการแลก เปลี่ยนไอออนขั้นตอนที่สองที่อาจจะมี, และ (7) ขั้นตอนการ ทำให้บริสุทธิ์ที่เลือกจากการ ผ่าน แสงอัลตร้าไวโอเลต และ/หรือ การผ่านโอโซน 8. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 5 ข้อใดข้อหนึ่ง, ที่ ซึ่งการทรีตเมนต์ประกอบรวมด้วย, ใน ลำดับดังต่อไปนี้, (1) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน, (2) การทรีตเมนต์ที่ เลือกจากการนำไป ผ่านแสงอัลตร้าไวโอ เลต, การผ่านโอโซน, และ/หรือ การนำไปสัมผัสกับเรซินดูดซับ อย่างน้อยที่สุด หนึ่งชนิด, (3) อาจเลือกที่จะมีการทรีตเ มนต์อื่นๆ อีกหนึ่งวิธี หรือมากกว่า 9. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 8, ที่ซึ่งการทรีตเมนต์ ประกอบรวมด้วย, ในลำดับดังต่อไปนี้, (1) ขั้นตอนการทำให้ บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน, (2) การผ่านแสงอัลตร้าไวโอเลต, และ (3) การสัมผัสกับ เรซิน ดูดซับอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด 1 0. สารละลายบแอคเควียสเปอร์ออกซิเจนที่ได้โดยกรรมวิธีของ ข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 9 ข้อใดข้อหนึ่ง และที่มีปริมาณ คาร์บอนจากสารอินทรีย์โดยรวม (Total Organic Carbon) (TOC) น้อยกว่า 1 มก. ต่อ กก. ของสารละลาย เปอร์ออกซิเจน 1

1. สารละลายแอคเควียสเปอร์ออกซิเจนตามข้อถือสิทธิที่ 10 ที่มี TOC น้อยกว่า 0.1 มก. ต่อ กก. ของสารละลายเปอร์ ออกซิเจน 1

2. การใช้สารละลายแอคเควียสตามข้อถือสิทธิที่ 10 หรือ 11 ในการผลิตส่วนประกอบไมโคร อิเลกโทรนิค และเซมิคอนดักเตอร์