Claims (2)
ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : 1. กรรมวิธีสำหรับการทำให้สารละลายไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์แอคเควียสบริสุทธิ์ ซึ่ง ประกอบรวมด้วยการทรีตเมนต์สารละลายไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์แอคเควียสในลำดับแรกด้วยการ ทำให้บริสุทธิ์ด้วยรีเวอร์สออสโมซิสเมมเบรน และหลังจากนั้นด้วยการทำให้บริสุทธิ์อื่นอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งขั้นตอน ซึ่งเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยการเผยต่อแสงอัลตร้าไวโอเลต (exposure ultravilolet),การเผยต่อโอโซน,การสัมผัสกับเรซินดูดซับอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด,และการรวมกัน แบบใดๆ ของขั้นตอนเหล่านั้น 2. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งสารละลายแอคเควียส เปอร์ออกซิเจน คือ สารละลาย ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ 3. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 2, ที่ซึ่งสารละลายไฮโดรเจน เปอร์ออกไซด์ มีความเข้มข้นก่อนที่จะ ผ่านการทรีตเมนต์ คือ 5 ถึง 70 % โดยน้ำหนัก ของไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ 4. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 3 ข้อใดข้อหนึ่ง, ที่ ซึ่งเมมเบรน คือ เมมเบรนชนิดรีเวอร์ส ออสโมซิส 5. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 4 ข้อใดข้อหนึ่ง, ที่ ซึ่งขั้นตอนอื่นๆ ของการทำให้บริสุทธิ์ ถูก เลือกจากการนำไป ผ่านแสงอัลตร้าไวโอเลต, การนำไปผ่านโอโซน, การนำไปสัมผัส กับ เรซินดูดซับ อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด, หรือ การรวมกันแบบ ใดๆ ของขั้นตอนเหล่านี้ 6. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 5 ข้อใดข้อหนึ่ง , ที่ ซึ่งการทรีตเมนต์ประกอบรวมด้วย, ใน ลำดับดังต่อไปนี้, (1) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน, (2) ขั้นตอนการทำให้ บริสุทธิ์ที่เลือก จากการผ่าน แสงอัลตร้าไวโอเลต และ/หรือ การผ่านโอโซน,(3) ขั้นตอนการ เจือจาง,(4) อาจเลือกที่ จะสัมผัสกับเรซินดูดซับ, (5) อาจ เลือกที่จะทำขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยการแลกเปลี่ยน ไอออน. 7. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 6, ที่ซึ่งการทรีตเมนท์อาจ เลือกที่จะมี (6) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ ด้วยการแลก เปลี่ยนไอออนขั้นตอนที่สองที่อาจจะมี, และ (7) ขั้นตอนการ ทำให้บริสุทธิ์ที่เลือกจากการ ผ่าน แสงอัลตร้าไวโอเลต และ/หรือ การผ่านโอโซน 8. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 5 ข้อใดข้อหนึ่ง, ที่ ซึ่งการทรีตเมนต์ประกอบรวมด้วย, ใน ลำดับดังต่อไปนี้, (1) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน, (2) การทรีตเมนต์ที่ เลือกจากการนำไป ผ่านแสงอัลตร้าไวโอ เลต, การผ่านโอโซน, และ/หรือ การนำไปสัมผัสกับเรซินดูดซับ อย่างน้อยที่สุด หนึ่งชนิด, (3) อาจเลือกที่จะมีการทรีตเ มนต์อื่นๆ อีกหนึ่งวิธี หรือมากกว่า 9. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 8, ที่ซึ่งการทรีตเมนต์ ประกอบรวมด้วย, ในลำดับดังต่อไปนี้, (1) ขั้นตอนการทำให้ บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน, (2) การผ่านแสงอัลตร้าไวโอเลต, และ (3) การสัมผัสกับ เรซิน ดูดซับอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด 1 0. สารละลายบแอคเควียสเปอร์ออกซิเจนที่ได้โดยกรรมวิธีของ ข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 9 ข้อใดข้อหนึ่ง และที่มีปริมาณ คาร์บอนจากสารอินทรีย์โดยรวม (Total Organic Carbon) (TOC) น้อยกว่า 1 มก. ต่อ กก. ของสารละลาย เปอร์ออกซิเจน 1Disclaimer (all) which will not appear on any notice page: 1. Procedures for purifying hydrogen peroxide acrylate solution, including hydrogen peroxide acid treatment. Quies in the first order with Purified with reverse osmosis membrane And after that with at least another purification The most one step It is selected from a group consisting of exposure ultravilolet, exposure to ozone, exposure to at least one type of sorbent resin, and any combination of these steps. That 2. Process according to claim 1, where the Acquias solution Peroxide is a hydrogen peroxide solution 3. The process according to claim 2, where the hydrogen peroxide solution is concentrated before the Treated is 5 to 70% by weight of hydrogen peroxide. 4. Treatment according to claim 1 to 3, where the membrane is a reverse osmosis membrane. Cisco 5. Process in accordance with any one of Clause 1 to 4, where the other procedure Of purification is chosen from the application Through ultraviolet light, ozone transmission, exposure to at least one sorbent resin, or any combination of these steps 6. One of the 5, where the treatments are included, in the following sequence, (1) membrane purification step, (2) purification step Pure selected through ultraviolet light transmission and / or ozone transmission, (3) dilution phase, (4) may elect to come into contact with sorbent resin, (5) may elect to do Ion exchange purification process. 7. Process according to claim 6, where treatment may elect to have (6) second step ion exchange purification process. That may have, and (7) a selective purification process based on ultraviolet exposure and / or ozone transmission 8.Any process of claim 1 to 5, where The treatments included, in the following sequence, (1) the membrane purification process, (2) the treatments that We choose from application Through ultraviolet light, ozone transmission, and / or contact with absorbent resins. At least one type, (3) may choose to have one or more other treatments. 9. Process according to claim 8, where the treatment is performed. Included, in the following order, (1) Purified with a membrane, (2) transmittance ultraviolet light, and (3) exposure to at least one of the sorbent resins 1 0. Obtained by the method of Clause 1 to 9, any one And that is the volume Total organic carbon (TOC) less than 1 mg per kg of peroxide solution 1.
1. สารละลายแอคเควียสเปอร์ออกซิเจนตามข้อถือสิทธิที่ 10 ที่มี TOC น้อยกว่า 0.1 มก. ต่อ กก. ของสารละลายเปอร์ ออกซิเจน 11. Acquiesper oxygen solution according to claim 10, with TOC less than 0.1 mg per kg of peroxide 1 solution.
2. การใช้สารละลายแอคเควียสตามข้อถือสิทธิที่ 10 หรือ 11 ในการผลิตส่วนประกอบไมโคร อิเลกโทรนิค และเซมิคอนดักเตอร์2. Use of acquias solution according to claim 10 or 11 in the manufacture of microelectronic and semiconductor components.