TH71858A - Processes for purification of hydrogen peroxide acidic solution - Google Patents

Processes for purification of hydrogen peroxide acidic solution

Info

Publication number
TH71858A
TH71858A TH401003857A TH0401003857A TH71858A TH 71858 A TH71858 A TH 71858A TH 401003857 A TH401003857 A TH 401003857A TH 0401003857 A TH0401003857 A TH 0401003857A TH 71858 A TH71858 A TH 71858A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
purification
solution
exposure
hydrogen peroxide
membrane
Prior art date
Application number
TH401003857A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH75290B (en
Inventor
บอสซ์ เจอร์เกน
โอเวน โรเบิร์ต
เซลล์ ไมเคิล
Original Assignee
นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์ นายบุญมา เตชะวณิช นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายบุญมา เตชะวณิช
Filing date
Publication date
Application filed by นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์ นายบุญมา เตชะวณิช นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายบุญมา เตชะวณิช filed Critical นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์
Publication of TH71858A publication Critical patent/TH71858A/en
Publication of TH75290B publication Critical patent/TH75290B/en

Links

Abstract

DC60 (17/12/47) กรรมวิธีสำหรับการทำให้สารละลายแอคเควียสเปอร์ออกซิเจนบริสุทธิ์ซึ่งประกอบรวมด้วย การทรีตเมนต์สารละลายแอคเควียสเปอร์ออกซิเจน ด้วย (a) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน อย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน, (b) อาจเลือกที่จะทำ ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยการแลกเปลี่ยน ไอออนอย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน, (c) อาจเลือกที่จะทำ ขั้นตอนการเจือจางอย่างน้อยที่สุดหนึ่ง ขั้นตอน, และ (d) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์อื่นๆ อย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน , ซึ่งขั้นตอนทั้งหมดนี้ สามารถทำตามลำดับใดๆ ก็ได้ สารละลายเเอคเควียสเปอร์ออกซิเจนที่มีระดับ TOC น้อยกว่า 1 มก./กก. สามารถได้โดยกรรมวิธีนี้ สารละลายเหล่านี้ สามารถใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ กรรมวิธีสำหรับการทำให้สารละลายเปอร์ออกซิเจนแอคเควียสบริสุทธิ์ซึ่งประกอบรวมด้วย การทรีตเมนต์สารละลายเปอร์ออกซิเจนแอคเควียสด้วย(a)ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน อย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน,(b)อาจเลือกให้มีขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยการแลกเปลี่ยนไอออน อย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน,(c)อาจเลือกให้มีขั้นตอนการเจือจางอย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน,และ (d) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์อื่นๆ อย่างน้อยที่สุดหนึ่งขั้นตอน,ซึ่งขั้นตอนทั้งหมดนี้สามารถทำตาม ลำดับใดๆ ก็ได้ สารละลายเปอร์ออกซิเจนแอคเควียสที่มีระดับ TOC น้อยกว่า 1 มก./กก. สามารถ ได้มาโดยกรรมวิธีนี้ สารละลายเหล่านี้ สามารถใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์DC60 (17/12/47) A process for the purification of aqueous oxygen solutions comprising treatment of the aqueous oxygen solution with (a) at least one membrane purification step, (b) optionally at least one ion-exchange purification step, (c) optionally at least one dilution step, and (d) at least one other purification step, all of which may be performed in any order. Aqueous oxygen solutions having a TOC level of less than 1 mg/kg can be obtained by this process. These solutions can be used in the manufacture of semiconductors. A process for the purification of aqueous oxygen peroxide solutions comprising treatment of the aqueous oxygen peroxide solution with (a) a membrane purification step, (b) optionally including at least one ion-exchange purification step, (c) optionally including at least one dilution step, and (d) other purification steps. At least one step, all of which can be followed in any order, can be obtained by this process. Peroxygen aqueous solutions with TOC levels less than 1 mg/kg can be obtained. These solutions can be used in the production of semiconductors.

Claims (2)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : 1. กรรมวิธีสำหรับการทำให้สารละลายไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์แอคเควียสบริสุทธิ์ ซึ่ง ประกอบรวมด้วยการทรีตเมนต์สารละลายไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์แอคเควียสในลำดับแรกด้วยการ ทำให้บริสุทธิ์ด้วยรีเวอร์สออสโมซิสเมมเบรน และหลังจากนั้นด้วยการทำให้บริสุทธิ์อื่นอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งขั้นตอน ซึ่งเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยการเผยต่อแสงอัลตร้าไวโอเลต (exposure ultravilolet),การเผยต่อโอโซน,การสัมผัสกับเรซินดูดซับอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด,และการรวมกัน แบบใดๆ ของขั้นตอนเหล่านั้น 2. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งสารละลายแอคเควียส เปอร์ออกซิเจน คือ สารละลาย ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ 3. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 2, ที่ซึ่งสารละลายไฮโดรเจน เปอร์ออกไซด์ มีความเข้มข้นก่อนที่จะ ผ่านการทรีตเมนต์ คือ 5 ถึง 70 % โดยน้ำหนัก ของไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ 4. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 3 ข้อใดข้อหนึ่ง, ที่ ซึ่งเมมเบรน คือ เมมเบรนชนิดรีเวอร์ส ออสโมซิส 5. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 4 ข้อใดข้อหนึ่ง, ที่ ซึ่งขั้นตอนอื่นๆ ของการทำให้บริสุทธิ์ ถูก เลือกจากการนำไป ผ่านแสงอัลตร้าไวโอเลต, การนำไปผ่านโอโซน, การนำไปสัมผัส กับ เรซินดูดซับ อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด, หรือ การรวมกันแบบ ใดๆ ของขั้นตอนเหล่านี้ 6. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 5 ข้อใดข้อหนึ่ง , ที่ ซึ่งการทรีตเมนต์ประกอบรวมด้วย, ใน ลำดับดังต่อไปนี้, (1) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน, (2) ขั้นตอนการทำให้ บริสุทธิ์ที่เลือก จากการผ่าน แสงอัลตร้าไวโอเลต และ/หรือ การผ่านโอโซน,(3) ขั้นตอนการ เจือจาง,(4) อาจเลือกที่ จะสัมผัสกับเรซินดูดซับ, (5) อาจ เลือกที่จะทำขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยการแลกเปลี่ยน ไอออน. 7. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 6, ที่ซึ่งการทรีตเมนท์อาจ เลือกที่จะมี (6) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ ด้วยการแลก เปลี่ยนไอออนขั้นตอนที่สองที่อาจจะมี, และ (7) ขั้นตอนการ ทำให้บริสุทธิ์ที่เลือกจากการ ผ่าน แสงอัลตร้าไวโอเลต และ/หรือ การผ่านโอโซน 8. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 5 ข้อใดข้อหนึ่ง, ที่ ซึ่งการทรีตเมนต์ประกอบรวมด้วย, ใน ลำดับดังต่อไปนี้, (1) ขั้นตอนการทำให้บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน, (2) การทรีตเมนต์ที่ เลือกจากการนำไป ผ่านแสงอัลตร้าไวโอ เลต, การผ่านโอโซน, และ/หรือ การนำไปสัมผัสกับเรซินดูดซับ อย่างน้อยที่สุด หนึ่งชนิด, (3) อาจเลือกที่จะมีการทรีตเ มนต์อื่นๆ อีกหนึ่งวิธี หรือมากกว่า 9. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 8, ที่ซึ่งการทรีตเมนต์ ประกอบรวมด้วย, ในลำดับดังต่อไปนี้, (1) ขั้นตอนการทำให้ บริสุทธิ์ด้วยเมมเบรน, (2) การผ่านแสงอัลตร้าไวโอเลต, และ (3) การสัมผัสกับ เรซิน ดูดซับอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด 1 0. สารละลายบแอคเควียสเปอร์ออกซิเจนที่ได้โดยกรรมวิธีของ ข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 9 ข้อใดข้อหนึ่ง และที่มีปริมาณ คาร์บอนจากสารอินทรีย์โดยรวม (Total Organic Carbon) (TOC) น้อยกว่า 1 มก. ต่อ กก. ของสารละลาย เปอร์ออกซิเจน 1Disclaimer (all) which will not appear on any notice page: 1. Procedures for purifying hydrogen peroxide acrylate solution, including hydrogen peroxide acid treatment. Quies in the first order with Purified with reverse osmosis membrane And after that with at least another purification The most one step It is selected from a group consisting of exposure ultravilolet, exposure to ozone, exposure to at least one type of sorbent resin, and any combination of these steps. That 2. Process according to claim 1, where the Acquias solution Peroxide is a hydrogen peroxide solution 3. The process according to claim 2, where the hydrogen peroxide solution is concentrated before the Treated is 5 to 70% by weight of hydrogen peroxide. 4. Treatment according to claim 1 to 3, where the membrane is a reverse osmosis membrane. Cisco 5. Process in accordance with any one of Clause 1 to 4, where the other procedure Of purification is chosen from the application Through ultraviolet light, ozone transmission, exposure to at least one sorbent resin, or any combination of these steps 6. One of the 5, where the treatments are included, in the following sequence, (1) membrane purification step, (2) purification step Pure selected through ultraviolet light transmission and / or ozone transmission, (3) dilution phase, (4) may elect to come into contact with sorbent resin, (5) may elect to do Ion exchange purification process. 7. Process according to claim 6, where treatment may elect to have (6) second step ion exchange purification process. That may have, and (7) a selective purification process based on ultraviolet exposure and / or ozone transmission 8.Any process of claim 1 to 5, where The treatments included, in the following sequence, (1) the membrane purification process, (2) the treatments that We choose from application Through ultraviolet light, ozone transmission, and / or contact with absorbent resins. At least one type, (3) may choose to have one or more other treatments. 9. Process according to claim 8, where the treatment is performed. Included, in the following order, (1) Purified with a membrane, (2) transmittance ultraviolet light, and (3) exposure to at least one of the sorbent resins 1 0. Obtained by the method of Clause 1 to 9, any one And that is the volume Total organic carbon (TOC) less than 1 mg per kg of peroxide solution 1. 1. สารละลายแอคเควียสเปอร์ออกซิเจนตามข้อถือสิทธิที่ 10 ที่มี TOC น้อยกว่า 0.1 มก. ต่อ กก. ของสารละลายเปอร์ ออกซิเจน 11. Acquiesper oxygen solution according to claim 10, with TOC less than 0.1 mg per kg of peroxide 1 solution. 2. การใช้สารละลายแอคเควียสตามข้อถือสิทธิที่ 10 หรือ 11 ในการผลิตส่วนประกอบไมโคร อิเลกโทรนิค และเซมิคอนดักเตอร์2. Use of acquias solution according to claim 10 or 11 in the manufacture of microelectronic and semiconductor components.
TH401003857A 2004-10-01 Processes for purification of hydrogen peroxide acidic solution TH75290B (en)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH71858A true TH71858A (en) 2005-11-07
TH75290B TH75290B (en) 2020-03-23

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0634364B1 (en) Pure water manufacturing method
CN100482602C (en) Method of removing organic impurities from water
JPH0790219B2 (en) Pure water production apparatus and production method
WO2016098891A1 (en) Ultrapure water production apparatus and ultrapure water production method
CN103241827A (en) Water treatment method for simultaneously eliminating dissolved organic matters and ammonia nitrogen
CO6260024A2 (en) METHOD FOR INCREASING THE ACTIVITY OF ASPARAGINASE IN A SOLUTION
JP4447212B2 (en) Ultrapure water production method and ultrapure water production apparatus
JPH0649190B2 (en) High-purity water manufacturing equipment
CN202829785U (en) Treatment system for nanofiltration and reverse-osmosis concentrated solution
JP3480797B2 (en) Wastewater treatment method
KR101070827B1 (en) Method and apparatus for water treatment
TH75290B (en) Processes for purification of hydrogen peroxide acidic solution
CN104591370A (en) Water treatment method with combined hydrogen peroxide and persulfates to catalyze ozone
JP3110034B2 (en) Method to remove organic matter and dissolved oxygen simultaneously
JPH05115B2 (en)
JP4826864B2 (en) Ultrapure water production equipment
JP3992996B2 (en) Wastewater treatment method and apparatus
JP3259557B2 (en) How to remove organic matter
CN111573924B (en) Drinking water disinfection device and method
JPS5939386A (en) Removal of organic halogen compound in city water
JPH09221305A (en) Method for producing high-purity hydrogen peroxide solution
CN212655605U (en) Drinking water disinfection device
JP3528287B2 (en) Pure water production method
JP3899583B2 (en) Pure water production method
JPH1147770A (en) How to remove organic matter