TH18410A - ทรานส์ดิวเซอร์แม่เหล็กที่เป็นแผ่นฟิล์มบางที่มีฟิล์มอ่อนใช้ลดการเปลี่ยนค่าที่สมนัยกัน - Google Patents

Abstract

ในทรานส์ดิวเซอร์ใช้อ่านที่มีความต้านทานแบบแม่เหล็ก วัสดุซึ่งเฉื่อยเมื่อเทียบ กับชั้นที่ไบอัสด้วยแม่เหล็กที่เป็นฟิล์มอ่อนจะถูกสร้างที่ผิวหน้าของซับสเตรทก่อน การสร้างและ เกาะตัวของฟิล์มอ่อน ในรูปแบบที่ดีของการประดิษฐ์นี้ชั้นผิวหน้าของซับสเตรทของโลหะ เช่น Cr หรือ Ta จะถูกนำมาใช้ โลหะเหล่านี้มีความต้านทานสูงเนื่องจากการอ๊อกซิเดซีนบางส่วน เมื่อเกาะตัวบนซับสเตรทเพื่อลดการพ่วงของกระแสตรวจวัดผ่านชั้นที่มีความต้านทานแบบแม่เหล็ก และที่หน้าที่ต่อไปเป็นตัวกั้นขวาง เพื่อป้องกันฟิล์มอ่อนจากการปนเปื้อนที่ผิวหน้าร่วมของซับสเตรท ชั้นผิวหน้ายังทำหน้าที่เป็นชั้นในสุด เพื่อกำหนดการจัดเรียงความเป็นแม่เหล็กของฟิล์มอ่อนใน ทิศทางที่กำหนดไว้เป็นอย่างดีซึ่งจะลดความเสถียรของแม่เหล็กลง

Claims (7)

1. ทรานส์ดิวเซอร์ใช้อ่านที่ใช้ความต้านทานแบบแม่เหล็ก ที่ซึ่งประกอบด้วย ซับสเตรทที่มีชั้นบนของ Al2O3 หรือ SiO2 อยู่บนนั้น ชั้นผิวหน้าของโครเมียมที่ถูกอ๊อกซิไดส์บางส่วน หรือแทนทาลัมที่เกาะอยู่เหนือ และติดกันกับชั้นบนของ Al2O3 หรือ SiO2 วัสดุชั้นผิวหน้าที่มีความต้านทานสูง ชั้นไบอัสของวัสดุแม่เหล็กอ่อนบนชั้นผิวหน้าดังกล่าว; ชั้นของวัสดุที่ใช้ความต้านทานแบบแม่เหล็กที่แยกตัวทางแม่เหล็กจาก และเชื่อม ตัวทางแม่เหล็กสถิตย์กับวัสดุแม่เหล็กอ่อน ในลักษณะที่วัสดุแม่เหล็กอ่อนจะไบอัสด้วยแม่เหล็กกับ ตัววัสดุที่ใช้ความต้านทานแบบแม่เหล็กชั้นของวัสดุที่ใช้ความต้านทานแบบแม่เหล็ก ถูกแยกจาก ชั้นไบอัสดังกล่าวโดยชั้นตัวแยกที่ไม่มีแม่เหล็ก และวัสดุของชั้นผิวหน้าดังกล่าวที่มีลักษณะเฉื่อย ทั้งหมดเมื่อเทียบกับวัสดุแม่เหล็กอ่อน เพื่อที่จะจัดให้มีผิวหน้าที่กำหนดไว้เป็นอย่างดีสำหรับการ สร้างตัวของชั้นไบอัสดังกล่าว 2. ทรานส์ดิวเซอร์ใช้อ่านที่ใช้ความต้านทานแบบแม่เหล็ก ตามที่ระบุถึงใน ข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งชั้นไบอัสดังกล่าวเป็นวัสดุแม่เหล็กอ่อนที่ถูกเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วย NiFeCr NiFeNb และ NiFeRh 3. ทรานส์ดิวเซอร์ใช้อ่านที่ใช้ความต้านทานแบบแม่เหล็ก ตามที่ระบุไว้ในข้อ ถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งชั้นของวัสดุที่ใช้ความต้านทานแบบแม่เหล็กดังกล่าวประกอบด้วยอัลลอยของ NiFe 4. ทรานส์ดิวเซอร์ใช้อ่านที่ใช้ความต้านทานแบบแม่เหล็ก ตามที่ระบุไว้ในข้อ ถือสิทธิข้อ 1 ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยชั้นตัวสวมที่เกาะอยู่เหนือชั้นของวัสดุที่ใช้ความต้านทานแบบ แม่เหล็กดังกล่าว 5. ทรานส์ดิวเซอร์แม่เหล็กที่มีโครงสร้างแบบหลายชั้น ซึ่งรวมถึงซับสเตรทที่มี ชั้นบนของ Al2O3 หรือ SiO2 อยู่บนนั้น ชั้นของอัลลอยแม่เหล็กที่หนึ่งและที่สองที่สร้างตัวในที่นั้น ตามลำดับ ซึ่งจะเชื่อมต่อทางแม่เหล็กสถิตย์ชั้นของอัลลอยแม่เหล็กที่หนึ่งที่สร้างตัวบนซับสเตรท ชั้นของอัลลอยแม่เหล็กที่หนึ่งและที่สองถูกแยกจากกัน โดยชั้นตัวแยกที่ไม่มีแม่เหล็กการปรับปรุง ประกอบด้วยชั้นผิวหน้าของโครเมียมที่ถูกอ๊อกซิไดส์บางส่วนหรือแทนทาลัมที่ติดกันกับชั้นบน ของ Al2O3 หรือ SiO2 ใต้ชั้นของอัลลอยของแม่เหล็กที่หนึ่ง โดยชั้นผิวหน้าดังกล่าวของวัสดุจะถูก กำกับโดยลักษณะที่มีความต้านทานสูง และเฉื่อยทั้งหมด เมื่อเทียบกับอัลลอยแม่เหล็กที่หนึ่งเพื่อที่ จะจัดให้มีผิวหน้าที่กำหนดไว้เป็นอย่างดีสำหรับการสร้างขึ้นเป็นชั้นอัลลอยแม่เหล็กที่หนึ่ง 6. ทรานส์ดิวเซอร์แม่เหล็กตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ซึ่งอัลลอยแม่เหล็ก ที่หนึ่งเป็นวัสดุแม่เหล็กอ่อน และอัลลอยแม่เหล็กที่สองเป็นวัสดุที่มีความต้านทานแม่แบบเหล็ก 7. ทรานส์ดิวเซอร์แม่เหล็กตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งอัลลอยแม่เหล็ก ที่หนึ่งดังกล่าวถูกเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วย NiFeCr, NiFeNb และ NiFeRh 8. ทรานส์ดิวเซอร์แม่เหล็กตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งอัลลอยแม่เหล็ก ที่สองดังกล่าวประกอบด้วยอัลลอยของ NiFe 9. วิธีการสำหรับการประกอบหัวแม่เหล็กที่เป็นชั้น ที่ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอน ของ การจัดให้มีซับสเตรทสำหรับหัวแม่เหล็กที่เป็นชั้น ซับสเตรทดังกล่าวจะมีชั้นบน การเกาะติดชั้นผิวหน้าของวัสดุโดยตรง และสัมผัสกับชั้นบนของซับสเตรท ชั้น ผิวหน้าดังกล่าวของวัสดุจะกลายเป็นถูกอ๊อกซิไดส์บางส่วน เมื่อถูกเกาะติดบนชั้นบนดังกล่าว และ การเกาะติดชั้นของอัลลอยแม่เหล็กที่หนึ่งโดยตรงบนและสัมผัสกับชั้นผิวหน้า ดังกล่าว ของวัสดุโดยวัสดุของชั้นผิวหน้าดังกล่าวจะถูกกำกับโดยลักษณะที่เฉื่อยทั้งหมดเมื่อเทียบ กับอัลลอยแม่เหล็กที่หนึ่ง ซึ่งเป็นการจัดให้มีผิวหน้าที่กำหนดเป็นอย่างดีสำหรับการสร้างตัวของ ชั้นอัลลอยแม่เหล็กที่หนึ่ง 1 0. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 12 ที่ซึ่งอัลลอยแม่เหล็กที่สอง คือ วัสดุที่ มีความต้านทานแบบแม่เหล็ก 1

1. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 10 ที่ซึ่งวัสดุที่ใช้ความต้านทานแบบ แม่เหล็กดังกล่าวเป็นอัลลอยของ NiFe 1

2. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 9 ที่ซึ่งประกอบต่อไปด้วยขั้นตอนของการ เกาะติดชั้นของอัลลอยแม่เหล็กที่สอง ซึ่งปลดตัวทางแม่เหล็กออกจากชั้นของอัลลอยแม่เหล็กที่หนึ่ง และเชื่อมต่อด้วยแม่เหล็กสถิตย์กับชั้นของอัลลอยแม่เหล็กที่หนึ่ง 1

3. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 12 ที่ซึ่งชั้นผิวหน้าดังกล่าวของวัสดุที่เกาะ ติดอยู่ประกอบด้วย Ta หรือ Cr ที่ถูกอ๊อกซิไดส์บางส่วน 1

4. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งชั้นบนดังกล่าวคือ Al2O3 หรือ SiO2 1

5. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 9 ที่ซึ่งอัลลอยของแม่เหล็กที่หนึ่งได้แก่ NiFeRh , NiFeNb, และ NiFeCr ตัวใดตัวหนึ่ง 1

6. วิธีการสำหรับการประกอบหัวอ่านที่ใช้ความต้านทานแม่แบบเหล็กที่ซึ่ง ประกอบด้วย การจัดให้มีซับสเตรทที่มีชั้นบนของ Al2O3 หรือ SiO2 การเกาะติดชั้นผิวหน้าของของ Cr หรือ Ta โดยตรงบนและติดกันกับชั้นที่เป็น ซับสเตรทดังกล่าว ชั้นผิวหน้าดังกล่าวจะกลายเป็นถูกอ๊อกซิไดส์บางส่วน เมื่อถูกเกาะติดบนชั้นบน ดังกล่าว การเกาะติดชั้นของอัลลอยแม่เหล็กที่ประกอบด้วย Ni, Fe และชิ้นส่วนที่ถูกเลือก จากกลุ่มที่ประกอบด้วย Cr, Nb, และ Rh โดยตรงบนและสัมผัสกับชั้นผิวหน้าดังกล่าว การเกาะติดชั้นตัวแยกที่ไม่มีแม่เหล็กบนชั้นของอัลลอยแม่เหล็ก และ การเกาะติดชั้นของวัสดุที่ใช้ความต้านทานแบบแม่เหล็กบนชั้นตัวแยกดังกล่าว 1

7. วิธีการตามที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 16 ที่ซึ่งการเกาะติดชั้นของวัสดุที่ใช้ ความต้านทานแบบแม่เหล็กประกอบด้วย การเกาะติดชั้นของอัลลอยที่ประกอบด้วย Ni และ Fe