KR950020419A - 비대칭 변화를 감소시키는 안정된 연자성막을 구비한 박막 자기 변환기 - Google Patents

비대칭 변화를 감소시키는 안정된 연자성막을 구비한 박막 자기 변환기 Download PDF

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Abstract

자기성 전기저항 판독 변환기에서는 연자성막 바이어스층에 대해 불활서인 재료가 연자성막의 증착 이전에 기판 표면에 형성된다. 본 발명의 양호한 실시예에서는 기판 표면층의 재료로 Cr 또는 Tr 같은 금속이 사용된다. 이들 금속은 기판 상에 증착될 때 부분산화로 인해 고저항성을 갖게 됨으로써 자기성 전기저항 층을 통하 전류의 분로형성을 감소시키며, 더 나아가 기판의 표면 오염으로부터 연자성막을 보호하는 장벽의 역할을 하게 된다. 또한, 표면층은 연자성막의 자화방향을 양호한 방향으로 설정하는 시드층의 역할을 함으로써 자기 불안정성을 감소시키고 있다.

Description

비대칭 변화를 감소시키는 안정된 연자성막을 구비한 박막 자기 변환기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 자기 디스크 저장 시스템(magnetic disk storage system)의 간이 블록도,
제2도는 본 발명의 양호한 실시예에 따른 자기 복수 적층체(multilayer magnetic structure)의 단면도.

Claims (20)

  1. 기판(substrate)과; 상기 기판 상에 증착된 재료의 표면층(a surface of material)과; 상기 표면층상의 제1자기 합금 재료층을 포함하는 자기 복수 적층제(a layered magnetic stracture)에 있어서, 상기 표면층의 재료는 제1자기 합금 재료에 대해 실질적으로 불활성이 됨으로써 제1자기 합금 재료층을 형성하기 위한 양호한 표면을 제공하는 것을 특징으로 하는 자기 특수 적층체.
  2. 제1항에 있어서, 제1자기 합금 재료층에 자기적으로(magnetically) 분리되고 정자기적으로 (magnetostatically) 결합되는 제2자기 합금 재료층을 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체.
  3. 제2항에 있어서, 기판은 산화물층(an oxide layer)을 포함하며, 상기 표면층은 산화물층 상에 증착되는 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체.
  4. 제3항에 있어서, 상기 표면층 아래의 기판의 산화물층은 SiO2또는 Al2o3중의 하나인 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체.
  5. 제4항에 있어서, 상기 증착된 재료의 표면층은 Ta 또는 Cr로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체.
  6. 제2항에 있어서, 제2자기 합금 재로는 자기성 전기저항 재료(a magnetoresistive material)인 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체.
  7. 제1항에 있어서, 제1자기 합금 재료는 NiFeRh, NiFeNb 또는 NiFeCr중의 하나인 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체.
  8. 제7항에 있어서, 상기 증착된 재료의 표면층은 Ta 또는 Cr의 산화물인 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체.
  9. 제8항에 있어서, 기판은 산화물층을 포함하며, 상기 표면층은 상기 산화물층 상에 증착되는 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체.
  10. 제1항에 있어서, 상기 증착된 재료의 표면층은 Ta 또는 Cr의 산화물인 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체.
  11. 기판과; 기판 상에 증착된 재료의 표면층과; 상기 표면층 상에 있는 연자성 재료의 바이어스 층(a vias layer)과; 연자성 재료가 자기성 전기저항 재료를 자기적으로 바이어스하도록 연자성 재료에 대해 자기적으로 분리되고 정자기적으로는 결합되는 자기성 전기저항 재료층을 포함하는 자기성 전기저항 판독 변환기(a mangetoresistive read transducer)에 있어서, 상기 표면층의 재료는 연자성 재료에 대해 실질적으로 불활성이 됨으로써 상기 연자성 재료층을 형성하기 위한 양호한 표면을 제공하는 것을 특징으로 하는 자기성 전기저항 판독 변환기.
  12. 기판과, 이 기판 상에 각각 순차 형성되며 정자기적으로 결합되는 제1 및 제2자기 합금층을 포함하는 복수 적층체의 자기 변환기에 있어서, 상기 재료표면층은 기판과 제1자기 합금층 사이에 형성되고, 제1자기 합금층에 대해 거의 실질적으로 불활성이 됨으로써 제1자기 합금층을 형성하기 위한 양호한 표면을 제공하는 것을 특징으로 하는 자기 변환기(a magnetic transducer).
  13. 제12항에 있어서, 제1자기 합금은 연자성 재료, 제2자기 합금은 자기성 전기저항 재료인 것을 특징으로 하는 자기 변환기.
  14. 기판을 제공하는 제공 단계; 기판의 표면에 재료의 표면층을 증착하는 증착 단계; 상기 표면층 상에 제1자기 합금층을 증착하는 증착 단계를 포함하는 자기 복수 적층체의 제조방법에 있어서, 상기 표면층의 재료는 제1자기 합금층에 대해 실질적으로 불활성이 됨으로써 제1자기 합금층을 형성하기 위한 양호한 표면을 제공하는 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체의 제조방법.
  15. 제14항에 있어서, 제1자기 합금층에 대해 자기적으로는 분리되고 정자기적으로 결합되는 제2자기 합금층을 증착하는 증착 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체의 제조방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 증착된 재료의 표면층은 Ta 또는 Cr의 산화물인 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체의 제조방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 기판은 산화물 층을 포함하며, 상기 표면층은 산화물층 상에 증착되는 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체의 제조방법.
  18. 제14항에 있어서, 제1자기 합금은 NiFeRh, NiFeNb 또는 NiFeCr중의 하나인 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체의 제조방법.
  19. 제15항에 있어서, 제2자기 합금은 자기성 전기저항 재료인 것을 특징으로 하는 자기 복수 적층체의 제조방법.
  20. 데이타 트랙을 따라 데이타를 기록하는 자기 저장매체(a magnetic storage medium)와; 상기 자기저항 매체와의 상대적 운동시 매체에 근접 위치되게 유지되는, 다층 구조체의 자기성 전기저항 센서를 구비하는 자기변환기와; 상기 자기저장 매체 상의 선택된 데이타 트랙으로 상기 자기 변환기를 이동시키기 위해 상기 자기 변환기에 결합된 액추에이터 수단(actuator means)과; 상기 자기성 전기저항 센서에 의해 수집되는 상기 자기 저장 매체에 기록되어 있는 데이타 비트를 표현하는 자기장에 응답해서 상기 자기성 전기저항 재료의 저항변화를 검지하기 위해 상기 자기성 전기저항 센서에 결합된 검지수단(detection means)을 포함하는데, 상기 다층 구조체가 기판과, 제1자기 합금 재료에 대해 실질적으로 불활성이 됨으로써 제1자기 합금 재료층을 위한 양호한 표면을 제공하는, 상기 기판 상에 증착된 재료의 표면층과, 상기 표면층 상의 제1자기 합금 재료층과; 제1자기 합금 재료층에 대해 자기적으로 분리되고 정자기적으로 결합되는 제2자기 합금 재료층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기 저장 시스템(a magnetic storage system).
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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