SU945652A1

SU945652A1 - Способ измерени шероховатости поверхности

Info

Publication number: SU945652A1
Application number: SU802937493A
Authority: SU
Inventors: Николай Трофимович Квасов; Александр Константинович Полонин; Ремир Александрович Беляев; Владимир Евгеньевич Карпов; Александр Сергеевич Немченок
Original assignee: Минский радиотехнический институт
Priority date: 1980-06-09
Filing date: 1980-06-09
Publication date: 1982-07-23

Description

(St) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

1

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол поверхности.

Известен способ измерени шероховатости поверхности, заключающийс в том, что световой поток направл ют на контролируемую поверхность и регистрируют световой поток отраженный от нее til.

Недостатком известного способЬ вл етс невысока точность контрол , обусловленна тем, что отраженное излучение не находитс в простой функциональной зависимости от размеров дефекта-.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс способ измерени шероховатости поверхности , заключающийс в том, что направл ют на контролируемую поверхность пол ризованное электромагнитное излучение, регистрируют интенсивность излучени , отраженного .от поверхности, и по величине интенсивности оценивают контролируемый параметр 2,

Недостатком способа вл етс невозможность измерени поверхностных дефектов вследствие того, что отраженное электромагнитное излучение вл етс функцией как ориентационных, так и линейных характеристик дефекта , а также невозможности определе ,Q НИИ асимметрии дефекта на контролируемой поверхности.

Цель изобретени - измерение также и поверхностных дефектов.

Поставленна цель достигаетс тем, что осуществл ют вращение плоскости пол ризации излучени , направл емого на поверхность , а величину контролируемого параметра определ ют 20 по максимальной интенсивности отраженного от поверхности излучени .

На чертеже представлена схема устройство дл осуществлени способа . 3Э Устройство содержит источник 1 электромагнитного излучени , устройство 2 вращени плоскости пол ризации , диафрагму 3, два объектива и 5, диафрагму 6 и фотоприемник 7 Способ осуществл етс следующим образом. .Излучение от источника 1 проходит через устройство 2 вращени плоскости пол ризации, которое обеспечивает управл емое вращение плоскости пол ризации излучени . Затем излучение проходит диафрагму 3 котора выдел ет центральную часть пучка, и объективом фокусируетс за контролируемую поверхность 8. Отраженное от контролируемой по-, верхности излучение объек ив 5 фокусирует в пучок, который ,оходит через диафрагму 6 и попадает а фотоприемник 7. , При облучен ,чи к нтролирз емой поверхности 8 излучением с вращающимс вектором пол ризации, отраженный пучок излучени будет иметь экстремальные значени в случае совпадени .направлени вектора пол ризации с направлением асимметрии дефекта. Поэтому по зарегистрированному фотоприемником 7 экстремальному значению интенсивности можно судить о наличии дефекта на поверхности и произвести Контроль асимметрии зарегистрированных дефектов. Предлагаемый способ позвол ет по наличию и величине экстремального значени интенсивности отраженного линeйнo-пoл pиioвaннoгo электромагнитного излучени судить о наличии дефекта на контролируемой поверхности и производить идентификацию дефектов, так как существует пр ма функциональна зависимость экстремального значени отраженной интенсивности излучени от линейных размеров дефекта. формула изобретени Способ измерени шероховатости поверхности , заключающийс в том, что направл ют на контролируемую поверхность пол ризованное электромагнитное излучение, -регистрируют интенсивность излучени , отраженного от поверхности, и по величине интенсивности оценивают контролируемый параметр , отличающийс тем, что, с целью измерени также и поверхностных дефектов, осуществл ют вращение плоскости пол ризации излучени , нэпраал емого на поверхность, а величину контролируемого параметра определ ют по максимальн5й интенсивности отраженного от поверхности излучени . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство. СССР tf 508670, кл. G 04 В 11/30, 1972. 2.Патент Великобритании № 523бО,кл. G 01 В П/ЗО, 1978 (прототип).

Claims

Формула изобретения

Способ измерения шероховатости поверхности, заключающийся в том, что направляют на контролируемую поверхность' поляризованное электромагнитное излучение, -регистрируют интенсивность излучения, отраженного от поверхности, и по величине интенсивности оценивают контролируемый параметр, отличающийся тем, что, с целью измерения также и поверхностных дефектов, осуществляют вращение плоскости поляризации излучения, направляемого на поверхность, а величину контролируемого параметра определяют по максимальной интенсивности отраженного от поверхности излучения.