SU1582005A1 - Способ определени распределени крутизны неровностей плоского шероховатого объекта - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  крутизны неровностей, определ ющих величину напр жени  при контакте трущихс  поверхностей. Цель изобретени  - повышение точности определени  и расширени  пределов измерени  сильношероховатых поверхностей за счет регистрации совокупности зон коррел ции образованной структурными элементами поверхности. В способе проецируют когерентное изображение в плоскость регистрации, записывают транспарант-маску и провод т взаимно пол ризационно-коррел ционный анализ совокупности зон коррел ции, из которого извлекаетс  информаци  о распределеии крутизны неровностей плоского шероховатого объекта. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  крутизны неровностей , определ ющих величину напр жени  при контакте трущихс  поверхностей , что актуально в приборостроении , машиностроении, бесконтактном контроле состо ни  поверхностей изделий и других отрасл х науки и техники .

Цель изобретени  - повышение точности определени  и расширение пределов измерени  сильношероховатых поверхностей за счет регистрации совокупности зон коррел ции образованной структурными элементами поверхности.

На чертеже приведена схема устройства , реализующего предлагаемый способ .

Устройство содержит источник 1 излучени , четвертьволновую пластинку 2, пол ризатор 3, телескопическую систему 4, объективы 5 и 6, анализатор 7, фотографический транспарант- маску 8 и фотоэлектронный приемник 9.

Предлагаемый способ осуществл етс  следующим образом.

На вход устройства поступает излучение от источника 1 - одномодово- го лазера. Пластинка 2 формирует циркул рную пол ризацию лазерного пучка. Пол ризатор 3 пропускает лазерную волну, плоскость пол ризации которой составл ет угол 45° относительно плоскости падени . Телескопическа  система 4, состо ща  из двух объективов и диафрагмы между

сл

00

to

01

ними, расшир ет пучок и формирует плоский волновой фронт. Эта волна отражаетс  от поверхности объекта 10. Объектив 5 проецирует когерентное изображение шероховатой поверхности в плоскость фоточувствительного сло  транспаранта-маски 8, на котором регистрируетс  распределение и|нтенсивностей в когерентном изображении . С помощью вращающегос  анализатора 7 формируют различные проекции плоскости световых колебаний в зрнах коррел ции когерентного изобра- поверхности и пропускают их через транспарант-маску 8. Объектив 6 проецирует пропущенный световой поток на вход фотоэлектронного приемника 9, котормй измер ет уровень интенсивности Qb, по которой однозначно определ ют распоеделение крутизны неровностей плоской шерохо- атой поверхности.

Формула-изобретени 

Способ определени  распределени  Крутизны неровностей плоского шероховатого объекта, заключающийс  в , что облучают исследуемую поверхность объекта пучком лазерного излучени ,формируют когерентное изображение поверхности,регистрируют на фоточувствительном слое его интенсивность , измер ют интенсивность излучени , прошедшего через фотографический транспарант, и определ ют распределение крутизны неровностей плоского шероховатого объекта, отличающий с  тем, что, с це-

лью повышени  точности определени  и расширени  пределов измерени  сильношероховатых поверхностей, задают плоскость колебаний вектора электрической напр женности пучка лазерного

5 излуче ни  под углом 45° относительно его плоскости падени , формируют плоский волновой фронт, устанавливают перед фоточувствительным слоем анализатор, ориентируют ось пропус-

0 кани  плоскости пол ризации под углом 45° к оси пучка лазерного излучени , регистрируют распределение ин- тенсивностей в когерентном изображении , прошедшем через анализатор, из5 мер ют интенсивности излучени , прошедшего через фотографический транспарант при различных поворотах оси пропускани  анализатора от 45 до 135° и по полученным величинам определ ют

0 распределение крутизны неровностей плоского шероховатого объекта.

Ю

Claims (1)

1. Форму.ла-изобретения

   Способ определения распределения крутизны неровностей плоского шероховатого объекта, заключающийся в Том, что облучают исследуемую поверхность объекта пучком лазерного излучения,формируют когерентное изображение поверхности,регистрируют на фоточувствительном слое его интенсивность, измеряют интенсивность из— $ лучения, прошедшего через фотографический транспарант, и определяют распределение крутизны неровностей плоского шероховатого объекта, отличающий ся тем, что, с це1Q лью повышения точности определения и расширения пределов измерения сильношероховатых поверхностей, задают плоскость колебаний вектора электрической напряженности пучка лазерного 15 излуче'ния под углом 45° относительно его плоскости падения, формируют плоский волновой фронт, устанавливают перед фоточувствительным слоем анализатор, ориентируют ось пропус— 2Q кания плоскости поляризации под углом 45° к оси пучка лазерного излучения, регистрируют распределение интенсивностей в когерентном изображении, прошедшем через анализатор, из— 25 меряют интенсивности излучения, прошедшего через фотографический транспарант при различных поворотах оси пропускания анализатора от 45 до 135? и по полученным величинам определяют 30 распределение крутизны неровностей плоского шероховатого объекта.,