SU1567882A1 - Способ определени функции распределени высот и углов наклона шероховатой поверхности - Google Patents
Способ определени функции распределени высот и углов наклона шероховатой поверхности Download PDFInfo
- Publication number
- SU1567882A1 SU1567882A1 SU884467676A SU4467676A SU1567882A1 SU 1567882 A1 SU1567882 A1 SU 1567882A1 SU 884467676 A SU884467676 A SU 884467676A SU 4467676 A SU4467676 A SU 4467676A SU 1567882 A1 SU1567882 A1 SU 1567882A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- heights
- plane
- angles
- rough surface
- radiation
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл исследовани структуры шероховатых поверхностей диэлектриков, металлов, полупроводников и др., что актуально в приборостроении, неразрушающем оптическом контроле и других отрасл х науки и техники. Целью изобретени вл етс повышение точности измерени и расширение области использовани за счет измерени функции распределени высот и углов наклона микронеровностей, размеры которых сравнимы с длиной волны излучени , и за счет азимута пол ризации при помощи магнитооптического модул тора. Задают плоскость колебаний лазерного света под углом 0*98ϕ/2 K плОСКОСТи пАдЕНи , фОРМиРуюТ ВыСОКОКОгЕРЕНТНый пучОК C цилиНдРичЕСКиМ ВОлНОВыМ фРОНТОМ, СХОд щиМС HA шЕРОХОВАТОй пОВЕРХНОСТи, пРОЕциРуюТ КОгЕРЕНТНОЕ изОбРАжЕНиЕ пРОфил пОВЕРХНОСТи B плОСКОСТи РЕгиСТРАции, СКАНиРуюТ пОлучЕННОЕ изОбРАжЕНиЕ, ВыдЕл юТ зОНы КОРРЕлл ции, изМЕР юТ АзиМуТ пОл РизАции B пРЕдЕлАХ КАждОй зОНы и пО пОлучЕННыМ дАННыМ РАССчиТыВАюТ фуНКции РАСпРЕдЕлЕНи МиКРОНЕРОВНОСТЕй пО ВыСОТАМ и углАМ НАКлОНА МиКРОНЕРОВНОСТЕй. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к измеритель-; ной технике и может быть использовано дл исследовани структуры шероховатых поверхностей диэлектриков, металлов , полупроводников и т.д., что актуально в приборостроении, неразрушающем оптическом контроле и других отрасл х науки и техники,
Цель изобретени - повышение точности измерени и расширение области использовани за счет измерени функции распределени высот и углов наклона микронеровностей, размеры которых сравнимы с длиной волны излучени
и за счет определени азимута пол ризации при помощи магнитооптического модул тора.
На чертеже изображена принципиальна схема устройства дл осуществлени предлагаемого способа измерени функции распределени высот и углов наклона шероховатой поверхности,
Устройство содержит источник 1 излучени , коллиматор 2, четвертьволновую пластинку 3, пол ризатор 4, объектив 5 с цилиндрическими преломл ющими поверхност ми, объектив 6 со сферическими преломл ющими поверхност ми, пол ризатор 7, диафрагму 8, магнитооптический модул тор 9, (Цотоэлектричес- кий блок 10 регистрации, блок 11 св зи , и мини -ЭВМ 12.,
Способ осуществл ют следующим образом .
На вход устройства поступает излучение от источника 1 излучени , например от одномодового лазера,JQ
Коллиматор 2, состо щий из двух объективов и диафрагмы между ними, служит дл расширени пучка и формировани волны с плоским волновым фронтом . Пластинка 3 ориентируетс таким |f образом, что ось наибольшей скорости составл ет угол 45 с плоскостью пол ризации лазерного пучка, что позвол ет получить циркул рную пол ризацию освещающего пучка, Пол ризатор 4 за- 20 дает плоскость колебаний световой волны под углом 90° к плоскости падени , Цилиндрический объектив 5 формирует волну со сход щимс на поверхности объекта 13 цилиндрическим вол- 25 ЛЮБЫМ фронтом, Объект 13 осуществл ет пол ризационно-фазовую модул цию лазерного пучка. Объектив 6 проектирует изображение профил исследуемой шероховатой поверхности объекта 13 сквозь 0 пол ризатор 7 в плоскость полевой диафрагмы , за которой расположен магнитооптический модул тор 9, фотоэлектрический блок 10 регистрации. Размер полевой диафрагмы 8 выбираетс пор дка о$ 1/10 части размера зоны коррел ции в когерентном изображении профил шерохо- ватой поверхности объекта 13. С помощью система пол ризатор 7 - магнитооптический модул тор 9 добиваютс по- 40 лучени минимального сигнала и определ ют величину поворота Ј азимута пол ризации световых колебаний в выделенной зоне коррел ции
,. .
где Г - угловой отсчёт системы,
Затем сканируют оптическое изображение профил шероховатой поверхности и по отсчетам окул рного микрометра ,,. (не показано) определ ют величину шагового параметра t, соответствующего значению Ј const
t(,2)/f const,
где t ( и t 4 - отсчеты, определ ющие интервал в изображении профил поверхности , плоскость пол ризации колеба- ( ний в котором не изменена.
Далее путем сканировани полученного когерентного изображени профил иероховатой поверхности выдел ютс овые зоны коррел ции и таким образом определ етс массив значений Ј; поворотов плоскости пол ризации в зонах коррел ции и соответствующие им значени шаговых параметров t (f; cons4,) Полученный массив и tj накапливаетс в пам ти блока 11 св зи с мини- ЭВМ 12 и статистически обрабатываетс . В результате получают распределение микронеровностей по высотам и углам наклона исследуемой шероховатой поверхности.
Claims (1)
- Формула изобретениСпособ определени функции распределени высот и углов наклона шероховатой поверхности, заключающийс в том, что облучают шероховатую поверхность пучком излучени , наблюдают изображение профил поверхности и определ ют функцию распределени высот и углов наклона шероховатой поверхности , отлич ающийс тем, что, с целью повышени точности и расширени области использовани за счет определени функции распределени высот и углов наклона микронеровностей , размеры которых сравнимы с длиной волны излучени , облучение производ т линейно-пол ризованным пучком высококогерентного излучени с цилиндрическим волновым фронтом, сход щимс на шероховатой поверхности, задают плоскость колебаний излучени под углом Ot e i ir/2 к плоскости его падени , проецируют наблюдаемое изображение профил поверхности в плоскость регистрации , сканируют полученное когерентное изображение профил , выдел ют в нем зоны коррел ции, измер ют азимут пол ризации световых колебаний в пределах каждой зоны коррел ции и по полученным данным определ ют функции распределени высот и углов наклона микронеровностей./3
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884467676A SU1567882A1 (ru) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | Способ определени функции распределени высот и углов наклона шероховатой поверхности |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884467676A SU1567882A1 (ru) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | Способ определени функции распределени высот и углов наклона шероховатой поверхности |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1567882A1 true SU1567882A1 (ru) | 1990-05-30 |
Family
ID=21392797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884467676A SU1567882A1 (ru) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | Способ определени функции распределени высот и углов наклона шероховатой поверхности |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1567882A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5352038A (en) * | 1991-05-06 | 1994-10-04 | Hoechst Aktiengesellschaft | Method of and measuring arrangement for contactless on-line measurement |
US5741070A (en) * | 1993-11-30 | 1998-04-21 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus for real-time semiconductor wafer temperature measurement based on a surface roughness characteristic of the wafer |
-
1988
- 1988-07-29 SU SU884467676A patent/SU1567882A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Кучин А,А.; Обрадович К.А, Оптические приборы дл измерени шероховатости поверхности, Л,: Машиностроение, 1981, с. 6-10. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5352038A (en) * | 1991-05-06 | 1994-10-04 | Hoechst Aktiengesellschaft | Method of and measuring arrangement for contactless on-line measurement |
US5741070A (en) * | 1993-11-30 | 1998-04-21 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus for real-time semiconductor wafer temperature measurement based on a surface roughness characteristic of the wafer |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5737085A (en) | Precision optical displacement measurement system | |
US3847485A (en) | Optical noncontacting surface sensor for measuring distance and angle of a test surface | |
US5200793A (en) | Range finding array camera | |
JP3971747B2 (ja) | 非球面および波面用の走査干渉計 | |
US4948253A (en) | Interferometric surface profiler for spherical surfaces | |
US8213022B1 (en) | Spatially smart optical sensing and scanning | |
JP4302512B2 (ja) | 非球面表面および波面に対する干渉計スキャニング | |
US5610705A (en) | Doppler velocimeter | |
US4340306A (en) | Optical system for surface topography measurement | |
US3768910A (en) | Detecting the position of a surface by focus modulating the illuminating beam | |
EP0094835A1 (en) | Apparatus for investigation of a surface | |
US5135307A (en) | Laser diode interferometer | |
EP0220046A2 (en) | Interferometer | |
US3767307A (en) | Real time interferometer | |
JPS5862507A (ja) | 表面の形状を光の干渉により決定する方法 | |
SU1567882A1 (ru) | Способ определени функции распределени высот и углов наклона шероховатой поверхности | |
JP2533514B2 (ja) | 凹部深さ・膜厚測定装置 | |
US4600304A (en) | Optical level | |
US5426504A (en) | Optical depth gauge for optically rough surfaces | |
EP0449337A2 (en) | Range finding array camera | |
US4192995A (en) | Photometric testing apparatus using shaped diffuser and light beam having a spatially ill-defined energy distribution | |
SU1635000A1 (ru) | Способ определени функции распределени углов наклона микронеровностей шероховатой поверхности | |
RU2263279C2 (ru) | Способ интерферометрического измерения отклонения формы оптических поверхностей и система для его осуществления | |
SU1744458A1 (ru) | Способ измерени рельефа объектов с шероховатой поверхностью | |
SU1645811A1 (ru) | Способ определени распределени крутизны микронеровностей шероховатых поверхностей |