SU1481594A1

SU1481594A1 - Способ определени параметров анизотропной поверхности

Info

Publication number: SU1481594A1
Application number: SU874320119A
Authority: SU
Inventors: Давид Исакович Биленко; Валентина Петровна Полянская; Михаил Владимирович Иванов
Original assignee: Научно-исследовательский институт механики и физики Саратовского государственного университета
Priority date: 1987-10-26
Filing date: 1987-10-26
Publication date: 1989-05-23

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени глубины канавок периодических структур поверхности, например поверхности элементов полупроводниковых приборов. Целью изобретени вл етс расширение диапазона исследуемых поверхностей за счет определени параметров поверхностей с канавками, имеющими ширину пор дка длины волны зондирующего излучени . Поверхность освещают пучком когерентного монохроматического излучени , плоскость пол ризации которого перпендикул рна плоскости падени излучени . Ориентируют поверхность так, чтобы плоскость падени излучени была параллельна направлению анизотропии поверхности, измен ют угол падени излучени , измер при этом интенсивность дифрагированного излучени , и по результатам измерений суд т о глубине канавок.

Description

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени глубины канавок периодических структур поверхности, например поверхности элементов полупроводниковых приборов.

Целью изобретени вл етс расширение диапазона исследуемых поверхностей за счет определени параметров поверхностей с канавками, имеющими ширину пор дка длины волны зондирующего излучени .

Способ осуществл етс следующим образом.

Исследуемую поверхность с канавками , имеющими период чередовани в интервале (1-100)А, где ft - длина волны когерентного, монохроматического излучени , используемого при исследовани х , и ширину не менее , освещают пучком когерентного монохроматического излучени , плоскость пол ризации которого перпендикул рна плоскости падени излучени . В качестве источника такого излучени может быть использован, например, гелий-неоновый лазер, имеющий длину волны 0,63 мкМоПоверхность ориентируют так, что плоскость падени излучени параллельна направлению анизотропии0 Измен ют угол падени излучени , например, с помощью гониометра, одновремегшо с этим производ т измерение интенсивности дифрагированного излучени . Определ ют зависимость интенсивности дифрагироJ-

00

ел

со

4-

ванного излучени от угла падени , по угловому положению экстремумов- которой определ ют глубину канавки.

Claims

Формула изобретени

Способ определени параметров анизотропной поверхности, заключающийс в том, что исследуемую поверхность освещают пучком когерентного монохроматического излучени , ориентируют так, чтобы плоскость падени излучени была параллельна направлению анизотропии, измер ют интенсивность дифрагированного излучени

и определ ют параметры, отличающийс тем, что, с целью расширени диапазона исследуемых поверхностей, поверхность освещают пучком излучени , плоскость пол ризации которого перпендикул рна плоскости падени излучени , измер ют угол падени излучени , измерение интенсивности дифрагированного излучени производ т одновременно с изменением угла падени , определ ют зависимость интенсивности дифрагированного излучени от угла падени , по угловому положению экстремумов которой определ ют параметры.