SU1640542A1 - Способ определени оптической анизотропии прозрачных образцов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измеритепь ной технике и может быть испопьзовано дл  исследовани  структуры вещества отиче ски напр женных (разово-неоднородных объектов, что актуально в оптическом дефектоскопии кристаллооптике полупроводниковом и оптическом приборостроении Цель изобретени  -повышени  точности определени  оптической анизотропии что обус ловлено диапазоном линейного измерени  интенсивности соответствующего четырем пор дкам изменени  интенсивности в нулевой полосе интерференционной картины а также расширение области применени  за счет определени  высоты микронеровно стей поверхности образцов В способе используют высококогерентное излучение с плоским волновым фронтом формируют опорный и обаектный пучки проецируют интерференционную картину в плоскость регистрации измер ют распределение интенсивности и азимутов пол ризации в нулевой полосе по которым определ ют оп тическую анизотропию и высоту микроне оовностеи поверхности образца 1 ил ел

Description

Изобретение относитс  к i/пмеритель- ной технике и может быть испо овано дл  исследовани  структуры вещества оптически напр женных фазово-неоднородчых объектов что актуально в оптической ,neq)eK- тоскопии, кристаллооптике полупроводниковом и оптическом приборостроении

Цель изобретени  - повышение точности определени  оптической анизотропии что обусловлено диапазоном линейного измерени  интенсивности, соответствующего четырем пор дкам изменени  интенсивности в нулевой полосе интерференционной картины, а также расширение области применени  за счет определени  высоты микронеровностей поверхности образцов

На чертеже изображена принципиальна  схема устройства реализующего способ определени  оптической анизотропии прозрачных образцов

Устройство содержит источник 1 излучени  дающий высококогерентное излучение с плоским волновым фронтом светоделитель 2, поворотные зеркала 3 и 4 оптический смеситель 5, магнитооптический модул тор 6, анализатор 7 и фотоэлектронный умножитель 8.

Предлагаемый способ осуществл етс  следующим образом

Полупрозрачна  пластина 2 раздел ет излучение от источника 1 излучени  на два пучка объектный, который направл етс  к

о

-N О

сл

4

hO

исследуемому образцу 9, а также на опорный , который поворачиваетс  зеркалом 3 в направлении оптического смесител  5, на котором строго соосно смешиваютс  опорное и объектное пол , в результате чего формируетс  нулева  интерференционна  полоса, световые колебани  в которой модулируютс , проход  через магнитооптический модул тор 6, Пол ризатор 7 преобразует модул цию азимутов пол ризации в нулевой интерференционной полосе в модул цию интенсивностей, которую наблюдают на экране осциллографа и по которой определ ют величину азимута пол ризации с точностью до 10, что соответствует удвоению частоты модулирующего магнитного пол . Фотоэлектронный умножитель 8 регистрирует значение интенсивности в нулевой полосе в ситуации отключенного магнитооптического модул  тора 6.

Далее, путем перемещени  образца 9, определ ют новые указанные значени  и, таким образом, накапливают соответствующие статистические массивы данных, по которым определ ют оптическую анизотро

пию и высоту микронеровностей поверхности образца 9.

Claims (1)

1. Формула изобретени  Способ определени  оптической анизот5 ропии прозрачных образцов, заключающийс  в том, что пропускают монохроматическое линейно пол ризованное излучение через образец, формируют интерференционную картину, анализируют интенсивность излу10 чени , прошедшего через пол ризационный анализатор, и определ ют оптическую анизотропию прозрачных образцов, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точнъсти определени  оптической анизот15 ропии и расширени  области применени  за счет определени  высоты микронеровностей поверхности образцов, используют высококогерентное излучение с плоским волновым фронтом, формируют опорный 20 и объектный пучки, соосно смешивают эти пучки, проецируют интерференционную картину в плоскость регистрации, измер ют распределение интенсивности и азимутов пол ризации в нулевой полосе интерфе25 ренционной картины и по ним определ ют оптическую анизотропию и высоту микронеровностей поверхности образцов

   7 8