JP2776333B2

JP2776333B2 - 液晶配向膜検査方法および検査装置

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Publication number: JP2776333B2
Application number: JP26636195A
Authority: JP
Inventors: 一郎廣沢
Original assignee: Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1995-09-20
Filing date: 1995-09-20
Publication date: 1998-07-16
Anticipated expiration: 2015-09-20
Also published as: JPH0990368A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶配向膜検査方法
および検査装置に関し、特に液晶表示素子において液晶
分子の配向を制御する有機薄膜の分子配向を評価する方
法および検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】有機薄膜の膜中分子の配向状態はそれを
用いたデバイスの機能に与える影響が大きい。特に、液
晶表示素子で液晶分子に初期配向を与えるのに用いられ
る有機薄膜においては、有機薄膜分子の配向と、液晶分
子の配向と、の間に密接な関係があることが知られてお
り（例えば文献⁽¹⁾（石原他、“リキッドクリスタル
ズ(Liquid Crystals)”、第４巻、６号、第６６９頁、
１９８９年）参照）、有機薄膜の分子配向度が大きいほ
ど、液晶分子の配向規制力が大きいとされる。

【０００３】このために有機薄膜の分子配向の定量的測
定はデバイスの機能を評価する上で重要である。

【０００４】有機薄膜の従来の評価方法においては、赤
外線吸収分光法やラマン散乱分光法など、分子振動から
分子の状態を観測する方法が中心である。

【０００５】薄膜内の分子配向度や配向方向についての
知見は、分子配向に起因する薄膜の光学異方性を光の偏
光を利用した二色比の測定を行うことにより評価して得
られる（例えば特開平６−１６０８６２号公報参照）。

【０００６】そして、上記赤外線吸収等による振動分光
法以外にも、例えば試料を透過した光の旋光度によって
光学異方性を評価することが行われている（例えば特開
平６−１０２５１２号公報参照）。

【０００７】また、偏光方向が膜表面に水平またはそれ
と直交する直線偏光を入射し、その反射光強度の差か
ら、分子配向によって生じる膜の面内の屈折率異方性を
観測する方法も提案されている（例えば特開平４−９５
８４５号公報参照）。

【０００８】さらに、上記した以外の、有機薄膜の従来
の評価方法として、原子間力顕微鏡や走査トンネル顕微
鏡によって薄膜表面の形状を二次元的に測定することが
行われている（例えば文献⁽²⁾（磯野他、日本学術振興
会、１４２委員会Ａ委員会Ａ部会、特別研究会試料、第
３４頁、１９９４年）参照）。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】赤外吸収等の光を用い
た振動分光による方法は、ガラス基板上に透明電極膜を
作製し、その上に液晶配向膜が設けられてなる液晶表示
素子を測定する際に、ガラス基板や透明電極膜の影響を
避けることはできない。

【００１０】特に１５００ｃｍ^-1より低波数の赤外線は
ガラスを透過しないために吸収スペクトルの測定が困難
である。

【００１１】これまでの赤外分光による液晶配向膜の分
子配向の観測は１２４０ｃｍ^-1のピークに注目して測定
を行っているので（例えば文献⁽³⁾（沢他、“ジャパニ
ーズジャーナルオブアプライドフィジクス(Japan
ese Journal of Applied Physics)”、第３３巻、第６
２７３頁、１９９４年）参照）、現在使用されている液
晶表示素子の配向膜の検査を行うことはできない。

【００１２】また、複屈折率測定を行う場合、通常ガラ
ス基板自身が歪による複屈折率異方性を有することか
ら、配向膜自身の複屈折率を測定するのは困難である。

【００１３】したがって、従来から知られている評価方
法では、配向膜中の分子の配向状態を正確に評価するこ
とはできない。

【００１４】これに加えて複屈折位相差φは、複屈折率
Δｎ、膜厚ｄ、光の波長λとの間には次式(1)なる関係
がある。

【００１５】φ＝２π（Δｎ）ｄ／λ …(1)

【００１６】上式(1)は、複屈折位相差φの測定から得
られる量が、膜厚ｄと分子配向によって生じる複屈折率
Δｎの積であることを示している。

【００１７】液晶表示素子に配向膜として広く使われて
いる、ラビング処理されたポリイミド膜は、膜全体の分
子が配向するのではなく、表面附近が配向することが知
られている（例えば上記文献⁽³⁾（沢他、“ジャパニー
ズジャーナルオブアプライドフィジクス(Japan
ese Journal of Applied Physics)”、第３３巻、第６
２７３頁、１９９４年）参照）ので、配向した部分の厚
さが測定できなければ分子配向を定量的に知ることはで
きない。

【００１８】そして、膜からの反射光強度の入射光の偏
光状態と、膜への入射方向（分子の配向方向に対する入
射光の方向）の依存性から、膜の面内の屈折率異方性を
測定して配向を決定する方法が、例えば上記特開平４−
９５８４５号公報に提案されているが、複屈折位相差測
定と同様に、配向した部分の膜厚を測定することができ
ないために、膜の分子配向自身を測定することは不可能
である。

【００１９】更に、測定を行う際の技術的な困難性とし
て、表面形状の異方性の効果が挙げられる。

【００２０】すなわち、液晶配向膜として広く用いられ
るポリイミド膜は、ラビングにより膜中の分子に分子配
向が与えられるが、このラビング処理により、ラビング
方向に走る微細な溝が形成されることが知られている
（例えば上記文献⁽²⁾（磯野他、日本学術振興会、１４
２委員会Ａ委員会Ａ部会、特別研究会試料、第３４頁、
１９９４年）等報告は多数有る）。

【００２１】この溝の存在のために、正反射方向以外に
散乱される光の量に差が生じて、反射光強度に影響を与
える。

【００２２】例えば、上記特開平４−９５８４５号公報
の（実施例３）には、入射光の偏光方向と垂直の偏光成
分をもつ反射光強度の測定から配向膜の状態の評価結果
が記載されているが、検出される反射光成分は膜中の配
向していない部分の厚さと表面の状態（荒れ、乱れ又は
粗さ）にも依存する量であるので、分子配向を直接反映
している量とはいえない。

【００２３】また、原子間力顕微鏡による観察において
は、試料表面の粗さといった表面形状の測定がなされて
いるのみで、有機薄膜において原子レベルの分解能での
観察が為された例はない。

【００２４】液晶配向膜の場合、これらの方法で観測さ
れた表面形状が液晶の配向状態に影響を与える膜中の分
子配向と直接の関係はないことは既に報告されている
（例えば上記文献⁽²⁾（磯野他、日本学術振興会、１４
２委員会Ａ委員会Ａ部会、特別研究会試料、第３４頁、
１９９４年）等報告は多数有る）。

【００２５】更に、ラビングした表面をアセトン等の有
機溶媒で処理した膜においては、液晶分子の配向規制力
はあるものの、ラビングで発生した表面の筋状の構造が
なくなることが知られている。

【００２６】このように、試料表面形態の観察は、膜の
液晶配向規制力に関して、直接的な情報を与えない。

【００２７】一方、分子配向は、反射光の偏光状態の異
方性を観測することで測定できる。しかしながら、反射
光の偏光状態は、試料の分子配向ばかりでなく、入射光
の波長や試料への入射角にも依存する。

【００２８】このため、微小領域を測定するためにレン
ズを用いて入射光を絞ると、試料への入射角に広がりが
発生するために正確な測定ができなくなってしまう。

【００２９】この他に、反射型の偏光顕微鏡による配向
膜の微小部分の評価も試みられている（例えば(株)ニコ
ン製、『配向膜観察顕微鏡』、ＥＰＩＰＯＬ−５Ｄ、参
照）。この方法は、直接偏光した光を試料に対してほぼ
垂直に入射し、反射光のうち入射光の偏光成分とは垂直
の成分をもつ光の強度の面内分布を観察するものであ
る。微小域を観察するためには入射光をレンズを用いて
集光し、反射光をレンズを通して拡大し結像させる。入
射光の偏光方向に対する試料の向きを変えて観測するこ
とで、膜の光学的異方性をある程度観測できるが、定量
的な観測は困難である。

【００３０】さらに、光が試料に対してほぼ垂直に入射
するために、ガラス基板の歪が反射光の偏光状態に大き
く影響するために膜自身の分子配向の観測はより困難で
ある。

【００３１】そこで、光を試料面に対して傾けて入射し
たときに生じる反射光は、ポリイミド膜に比較してガラ
ス基板が厚いので、基板歪の影響を受けた裏面からの反
射光を除外し、基板歪の影響を受けていない反射光のみ
を観測することができる。

【００３２】すなわち、反射光の偏光状態の異方性から
膜の分子配向状態を知ることができる。

【００３３】また、光の偏光状態は、検光子を通過する
光の強度の検光子角度依存性により求める回転検光子法
が従来より用いられている。しかし、この方法では検格
子の３６０゜回転における光の強度を測定するために、
試料面上の１点の測定時間が長く、広い面積の分子配向
の一様性の評価を行うのに莫大な時間が必要とされると
いう問題を有する。

【００３４】例えば、標準的な偏光解析装置であるPhot
odevice（フォトデバイス）社製 MARY-102の１点あた
りの標準的な測定時間は約２秒である。光の径は０．５
ｍｍ程度であるから１５０ｍｍ角の膜の分子配向の面内
均一性の測定を１ｍｍ間隔で行うと１２時間以上を要
し、これを液晶表示素子の検査に実用化することは困難
である。

【００３５】従って、本発明の目的は、上記した各種課
題を解決し、ガラス基板上に作製された配向膜中の微小
領域での分子配向状態の評価が可能な方法と装置を提供
することにある。

【００３６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、有機薄膜からなる配向膜を評価する方法
であって、前記配向膜表面を、互いに交差する２つの単
色の光線を入射角を一定にして走査し、その際に生じる
前記配向膜表面からのそれぞれの反射光をビームスプリ
ット手段で２分し、２分された反射光が、互いに振動方
向が直交する検光子を通過する光強度の強度比を測定
し、前記有機薄膜の分子配向状態と面内均一性とを測定
することを特徴とする配向膜の評価方法を提供する。

【００３７】また、本発明は、互いに交差する２つの単
色の光線を出力する第１及び第２の光源と、前記第１及
び第２の光源から出射された第１及び第２の入射光線を
所定の入射角で試料表面の走査領域に共に照射する光学
手段と、前記試料表面からの前記第１及び第２の入射光
線に対応する第１及び第２の反射光をそれぞれ２分する
第１及び第２のビームスプリット手段と、を備え、前記
第１及び第２の反射光のそれぞれについて、２分された
反射光に対応して設けられ互いに振動方向が直交する第
１及び第２の検光子と、前記２つの検光子を通過した光
の強度をそれぞれ検出する第１及び第２の光検出手段
と、を備え、前記第１及び第２の光検出手段の出力信号
に基づき前記反射光の強度比を測定し、前記試料の分子
配向状態とその面内均一性を測定するように構成されて
なることを特徴とする配向膜の検査装置を提供する。

【００３８】

【作用】本発明の原理・作用を以下に説明する。本発明
においては、反射光の強度比を通じて偏光状態を測定す
ることにより、荒れや溝等の表面形状の異方性に起因す
る散乱光強度の変化に影響されることなく膜の光学的異
方性を測定することができる。

【００３９】一方、本発明においては、表面形状も散乱
強度の異方性を測定することにより観察可能である。

【００４０】通常、空間のある固定した位置で観測され
る角周波数ωの光の時刻ｔでの電場ベクトル強度は光の
伝搬方向に垂直な面上に定義された互いに直交する２つ
の方向ＸＹについて、Ｘ成分Ａ１×ｅｘｐ（ｉ（ωｔ＋δ１）） …(2-1) Ｙ成分Ａ２×ｅｘｐ（ｉ（ωｔ＋δ２）） …(2-2) と表される。

【００４１】上式(2-1)、(2-2)において、δ１、δ２は
それぞれの方向の初期位相を示し、またｉはｉ²＝−１
である。

【００４２】強度の絶対値を除いた偏光状態はこの２成
分の比（Ａ１／Ａ２）×ｅｘｐ（ｉ（δ１−δ２）） …(3) となり、次式(4)及び(5)で定義される２つの量φ、Δで
表される。

【００４３】ｔａｎφ＝（Ａ１／Ａ２） …(4) Δ＝（δ１−δ２） …(5)

【００４４】この２つのパラメータφ、Δに影響を与え
るのは、膜の屈折率、吸収係数および膜厚であり、測定
された２つのパラメータから膜の状態を表す２つのパラ
メータを決定できる。

【００４５】通常、液晶配向膜に使われるようなポリイ
ミド膜の吸収係数は、可視光領域で１／１０００未満で
あり、波長依存性も小さいために吸収はない物質として
扱うことができる。

【００４６】そこで、本発明に係る評価方法において
は、複屈折位相差測定や反射光強度異方性測定では伺い
知ることができない、分子が配向している部分の膜厚
と、屈折率と、を独立に求めることが可能とされ、分子
配向について定量的な測定が可能とされる。

【００４７】そして、反射光の偏光状態の入射光波長依
存性や入射角依存性を測定することにより、既知量が増
えることから、膜の屈折率の深さ方向の分布を測定した
条件の数に応じて決めることができる。

【００４８】なお、入射光と反射光の偏光状態は、試料
表面に平行な成分Ｓと、それに直交する成分Ｐで表す。

【００４９】入射光は表面に水平な成分とそれに直交す
る成分の値が等しい状態であるφ＝π／４、の場合に、
反射光の偏光状態はそれぞれの方向で振幅反射率比を与
え、膜厚と屈折率を同時に求める場合に最適である。

【００５０】ポリイミド膜は可視域、特にＨｅ−Ｎｅレ
ーザー程度の波長の光の吸収は極く小さい（１／１００
０以下）ために、膜による光の吸収やその異方性は無視
して扱うことができる。

【００５１】このため、振幅反射率比を次式(6)で表わ
した場合、（ｔａｎφ）×ｅｘｐ（ｉΔ） …(6) 分子配向状態がφに与える影響は小さく、液晶表示素子
の配向膜に使われるポリイミドの分子状態は位相差Δの
値に注目することで可能である。

【００５２】反射光の位相差Δは楕円偏光の長短軸比ｂ
／ａと次式(7)で表わされる関係が成り立つことから、ｂ／ａ＝ｔａｎ（Δ／２） …(7) 偏光子を用いて長短軸比を測定することにより反射光の
位相差がわかり、また２方向の反射光の位相差の違いか
ら膜の分子配向状態を評価することができる。

【００５３】それぞれの反射光の長短軸比を測定するの
にあたり、おのおのをビームスプリッタで２本に分け、
そのうちの一方は偏光子を長軸方向に合わせ、もう一方
では偏光子を短軸方向に合わせ、ビームスプリッタの透
過率、及び反射率を考慮し、それぞれの透過光強度を規
格化して、反射光の偏光状態を同時に決定する。すなわ
ち、本発明においては、好ましくは、４つの偏光子を用
いてポリイミド膜の屈折率異方性の測定を行う。

【００５４】分子配向の面内均一性の走査により測定す
る際、最初に偏光子と検光子の方向を決める必要があ
る。その際、入射光の偏光子の方向と反射光の偏光状態
を観察するための偏光子（検光子）の角度の設定には、
以下の２通りの方法が考えられる。

【００５５】その１つは、偏光子角度を常に一定、たと
えばＰ／Ｓ比が１になるπ／４等に固定し、反射光側の
各検光子の向きを透過光強度が最大もしくは最小になる
ように調整後固定し、走査を行って位相差の異方性の面
内分布を測定する方法である。

【００５６】他の方法は、反射光側の検光子の向きを例
えば入射面に対して±π／４の向きに固定し、それらを
透過する光の強度が最大または最小になるように入射光
側の偏光子の方向を調整後に走査を行うものである。

【００５７】後者の方法の方が、前者の方法よりも、光
学素子の調整が容易である。

【００５８】また、光学素子の調整は、試料に照射する
２つの光の両方について行う必要は必ずしもない。本発
明においては、分子配向状態を反射光の偏光の異方性で
測定するため、２つの方向の位相差の違いを測定するに
は、光学素子の調整は１つの方向についてのみ行い、他
の方向の光はそれと同じ条件に固定することで十分であ
る。

【００５９】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して以下に説明する。

【００６０】図１及び図２は、本発明の一実施形態の構
成を説明するための図である。図１は、入射光に単一波
長の光線を用いた装置について、試料面法線方向から見
た概略構成を示しており、図２は、試料に入射する２本
の光線のうちの一方（Ｘ方向とする）についての装置の
概略構成を示している。

【００６１】図１及び図２を参照して、Ｙ方向の入射光
光源１１、Ｘ方向の入射光光源２１（図２の３１）から
出た光は、偏光子１２、２２（図２の３２）によって直
線偏光にされる。本実施形態に係る測定においては、光
源としてＨｅ−Ｎｅレーザーの６３３ｎｍの光を用い
た。

【００６２】２つの光線が、試料ステージ２０上に載置
された試料１０（図２の３０）表面上の同じ範囲を測定
するように、入射光と反射光の形状をスリット１８、１
９、２８、２４（図２の３８、３９）を用いて整形を行
った。

【００６３】本実施形態に係る測定においては、試料１
０、３０への光の入射角として５０゜を選び、２つの光
線とも試料１０、３０面上で、１×１ｍｍの正方形にな
るように、縦０．６ｍｍ、及び横１ｍｍに整形した。

【００６４】試料１０、３０で反射した光は、スリット
１９、２４（図２の３９）を通過後に、ビームスプリッ
タ１３、２３（図２の３３）に達し、それぞれ２つ、計
４つの光にスプリットする。

【００６５】なお、本実施形態において用いたビームス
プリッタ（ハーフミラー）は、クロム膜プレート型で反
射率透過率ともに３２±６％である。

【００６６】これらの光は、検光子１４、１５、２９、
２５（図２の３４、３５）に入り、検光子を通過した光
は、検出器１６、１７、２６、２７（図２の３６、３
７）に入り、光強度が測定される。なお、図２の検光子
３５及び検出器３７の位置は、光が直角方向に反射され
ることを示すもので、作図の都合により、図１の検光子
１４、２５等、検出器１６、２７等の位置と必ずしも一
致しない。

【００６７】上記検出器として、光信号を電気信号に変
換するフォトダイオードを用い、フォトダイオードの出
力電気信号をマルチメータを介して測定しコンピュータ
に測定結果を取り込み、各方向の反射光の長短軸比とそ
の差を求めた。

【００６８】図１及び図２に示す本実施形態に係る装置
を用いて、以下のように作製された試料を測定した。

【００６９】ポリイミド原料液の日産化学製のＳＥ７３
１１を一辺１５０ｍｍの正方形のコーニング社製の７０
５９ガラスの表面にスピンコート装置を用いて塗布した
後、２５０℃で２時間加熱による焼成を行った。

【００７０】次いで、ラビングされた部分と、ラビング
されていない部分と、が共存した試料を作製するため
に、ポリイミドを塗布した面の半分にレジストを転写に
より塗布した。

【００７１】この状態で半径４０ｍｍバフ布ローラーに
て、布の押込み長さ４ｍｍ、回転数２００ｒｐｍ、移動
速度２０ｍｍ／ｓで５回のラビングを行った後に、レジ
ストを剥離した。この際のラビング方向は、レジスト境
界に対して垂直とした。

【００７２】膜質の均一性の測定は、以下の手順に従っ
た。

【００７３】光が試料面のラビングが施されていない部
分（すなわちレジストを塗布した部分）の基板の縁から
３０ｍｍ内側の位置にあたるように位置を合わせた。な
お、ラビング方向が試料ステージのＸ軸方向になるよう
に試料をおいた。

【００７４】検光子は振動方向を光の入射面に対して±
４５゜に固定し、ビームスプリッタで２つに分けられた
光のうちの一方の偏光板を通過する強度を最大になるよ
うに偏光子の角度を調整し、入射面に対して９．５゜の
方向に固定した。

【００７５】そして、光の照射されている点がラビング
処理された部分に向かうように３０ｍｍ／ｓの速さでス
テージをＸ方向に移動した。

【００７６】検出器からの出力は、走査開始とともに
０．２秒間隔で３秒間取込みを行った後、ステージをも
との位置に戻し、Ｙ方向へ６ｍｍ移動後に同じ条件でＸ
方向走査を５回行った。測定に要した時間は約４２秒で
ある。

【００７７】ステージのＸ方向の戻しと、Ｙ軸方向への
移動も含めて１走査は９秒以内で終了する。なお、ステ
ージをＸ方向にもどす際にバックラッシュをできるだけ
小さくするために１０５ｍｍ逆方向に移動した後に１５
ｍｍ順方向に移動させた。

【００７８】この測定によって得られたＸ軸方向の２つ
の検出器に入る光の強度比のＹ軸方向の２つの検出器に
入る光の強度比の割合、すなわち、次式(8)で与えられ
る値を、（Ｘ軸反射光強度の短軸方向／長軸方向）／（Ｙ軸反射光強度の短軸方向／長軸方向） …(8) 走査開始時間と各走査ごとに表１に示す。

【００７９】各走査のＹ座標は、１回目の２５ｍｍ、２
回目３１ｍｍ、３回目３７ｍｍ、４回目４３ｍｍ、５回
目４９ｍｍであり、Ｘ座標と時間経過の関係は、０秒３
０ｍｍ、０．２秒３６．０ｍｍ、０．４秒４２．０ｍ
ｍ、０．６秒４８ｍｍ、０．８秒５４ｍｍ、１．０秒６
０ｍｍ、１．２秒６６ｍｍ、１．４秒７２ｍｍ、１．６
秒７８ｍｍ、１．８秒８４ｍｍ、２．０秒９０ｍｍ、
２．２秒９６ｍｍ、２．４秒１０２ｍｍ、２．６秒１０
８ｍｍ、２．８秒１１４ｍｍ、３．０秒１２０ｍｍであ
る。

【００８０】

【表１】

【００８１】表１の結果から、走査開始後１．４秒まで
は測定された値が、ほぼ「１」とされており、ポリイミ
ド分子の向きはランダムであると考えられる。

【００８２】一方、走査開始後１．６秒以降の領域、す
なわちＸ座標が少なくとも７８ｍｍより大きい領域で
は、測定された値が「２」以上になっており、試料に異
方性があることは明らかで、この領域はラビング処理さ
れた部分と対応している。

【００８３】前記従来の回転検格子法で同様の測定を行
うと、３分弱を要するのに対し、本実施形態に係る測定
においては、従来の約４倍の速さで測定できることを示
している。

【００８４】さらに、ステージの移動速度を上げ、サン
プリングの時間間隔を短くすれば高速な測定を行なうこ
とができる。

【００８５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
反射光の偏光状態の異方性測定を通じて、ポリイミド液
晶配向膜の分子配向の面内均一性を高速に観測すること
ができる。また、本発明によれば液晶配向膜を高速に検
査することを可能とし、製造コストの低減を達成する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を説明するための図であ
り、試料面の法線方向からみた装置の概略構成を示す図
である。

【図２】本発明の一実施形態を説明するための図であ
り、一方の光について入射面の法線方向からみた装置の
概略構成を示す図である。

【符号の説明】

１０、３０試料２１、３１光源１２、２２偏光子１３、２３ビームスプリッタ１４、１５、２４、２５検光子１６、１７、２６、２７光検出器１８、１９、２８、２９スリット２０試料ステージ３２偏光子３３ビームスプリッタ３４、３５検光子３６、３７検出器３８、３９スリット４０試料ステージ

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】有機薄膜からなる配向膜を評価する方法で
あって、前記配向膜表面を、互いに交差する２つの単色の光線を
入射角を一定にして走査し、その際に生じる前記配向膜
表面からのそれぞれの反射光をビームスプリット手段で
２分し、２分された反射光が、互いに振動方向が直交する検光子
を通過する光強度の強度比を測定し、前記有機薄膜の分
子配向状態と面内均一性とを測定することを特徴とする
配向膜の評価方法。
【請求項２】請求項１記載の前記配向膜がポリイミドフ
ィルムからなることを特徴とする液晶配向膜の評価方
法。
【請求項３】有機薄膜からなる配向膜の表面に、互いに
交差する２つの単色の光線を入射角を一定にして照射
し、その際に生じる前記配向膜表面からの２方向の反射
光についてその偏向状態の異方性を測定し前記反射光の
それぞれの位相差に基づき、前記有機薄膜の分子の配向
状態を評価することを特徴とする評価方法。
【請求項４】前記２方向の反射光の楕円偏向における長
短軸比をそれぞれ求め前記２方向の反射光の位相差の違
いから前記分子配向状態を求めることを特徴とする請求
項３記載の評価方法。
【請求項５】前記配向膜を前記光源に対してＸＹ方向に
走査移動させる手段を備え、前記配向膜の分子配向の面
内均一性を測定することを特徴とする請求項３又は４記
載の評価方法。
【請求項６】互いに交差する２つの単色の光線を出力す
る第１及び第２の光源と、前記第１及び第２の光源から出射された第１及び第２の
入射光線を所定の入射角で試料表面の走査領域に共に照
射する光学手段と、前記試料表面からの前記第１及び第２の入射光線に対応
する第１及び第２の反射光をそれぞれ２分する第１及び
第２のビームスプリット手段と、を備え、前記第１及び第２の反射光のそれぞれについて、２分さ
れた反射光に対応して設けられ互いに振動方向が直交す
る第１及び第２の検光子と、前記２つの検光子を通過した光の強度をそれぞれ検出す
る第１及び第２の光検出手段と、を備え、前記第１及び第２の光検出手段の出力信号に基づき前記
反射光の強度比を測定し、前記試料の分子配向状態とそ
の面内均一性を測定するように構成されてなることを特
徴とする配向膜の検査装置。
【請求項７】前記試料を前記光源に対してＸＹ方向に相
対移動する手段を備えたことを特徴とする請求項６記載
の検査装置。
【請求項８】前記第１及び第２の光源から出射された第
１及び第２の入射光線を所定の入射角で前記試料表面に
照射する光学手段が、前記第１及び第２の入射光線を直
線偏光させる手段と、前記第１及び第２の入射光線と前
記第１及び第２の反射光線とが前記試料表面上において
所定の範囲及び形状をなすように整形する手段と、を備
えたことを特徴とする請求項６記載の検査装置。
【請求項９】前記ビームスプリッタがハーフミラーから
なることを特徴とする請求項６記載の検査装置。
【請求項１０】前記整形する手段が、入射側と反射側に
それぞれ設けられたスリットからなることを特徴とする
請求項８記載の検査装置。
【請求項１１】請求項６記載の前記試料が液晶配向膜と
して用いられるポリイミドフィルムからなることを特徴
とする液晶配向膜の検査装置。