SU886044A1 - Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки - Google Patents

Description

I

Изобретение относитс  к приборостро енюо, в частности к технике магнитной записи, и может быть использовано в технологии изготовлени  магнитных головок .

Известны способы обработки рабочей поверхности магнитных головок, основанные на нанесении на нее тонких до. попнитепьньк слоев с более высокой износостойкостью . Например, методом катодаого распылени  на рабочую поверхность магнитной головки нанос т магнитом51гкий сплав алфесилГ13 или электролитическим осаждением нанос т ианЬсостойкий слой, содержащий ,частицы магнетика или феррита 2 Однако вышеуказанные способы обработки рабочей поверхности недостаточно эффективны. В процессе эксплуатации нанесенные на магнитную головку покрыти  отслаиваютс  и крошатс , тем самым не обеспечива  их необходимых механических параметров.

Известны также способы обработки рабочей поверхности магнитных головок вкгаочающие обработку этой поверхности в вакууме путем бомбардировки пучком ионов элементов насыщени  Сз

Одншсо известный способ обработки рабочей поверхности износостойкость увеличивает недостаточно. Это главным образом, св зано с тем, что при больших

10 дозах ионного внедрени  (практически уже при ф 5. 10 сьГ про вл етс  эффект распьшенй  внедр емыми ионами. В св зи с этим  влением нельз  достичь сколь угодно больших концентраций внедв5 ренных примесей , так как устанавливает с  стационарный насыщенный режим, ттри котором количество внедренных примес -, ньвс атомов становитс  равным количеству распыленньсс с обрабатьюаемой поверх20 ности атомов. С другой стороны, процесс распылени  рабочей поверхности недопуо-. ТИМ с технологической точки зрени , так как уменьшает ее толщину.

Цель изобретени  - получение более высокой степени износостойкости; маг. нитной головки.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что способ обработки рабочей поверхности магнитнсЛ головки включает бомбардировку этой поверхности в вакууме пучком электрически а тивньк гтримесньос firceioB, причем внедрение электрическв активных примесных иовов провод т дозами о-Ю до 5-1О см с энергией в диапазсже от 50 до 40О кэВ при однс эеменном осаждении на рабочую по- . верхность распьотенного пермалло  со (жоростью, равной скфости расаь пени  , внедр емых примесных ис ов.

Таким образоМ| осаждение тс кого. сло  пермалло  со скс остью осажденсс , равной скорости распылени  рабочей поверхности магнитесЛ головки вне/ф емьь м  1фимесными ионами, компенсируют процесс распылени  и позвол ет достиг нуть сколь угодно большие Концентрмхии внесенных Примесных атомов, тем самым получать износостойкие ,соединени  на рабочих поверхност х магнитньОс гот

ЛОВ(Ж.

На чертеже представлено устройство, реализующее предлагаемый способ.

Устройство содержит рабочую поверхность 1 магнитной головки пермаллоевуго мишень 2 и дополнительный ионный источник 3. Направление электрически активных примесных ионов фосфора на чер- теже показано стрелками А, направление распыленного пермалло  2 - стрелками Б, направление пучка ионов, распыл ю - щего пермаллоевую мишень - стрелками В.

Пример. Обрабатьшаемую магнит ную го оису помещают в приекетую камеру установки ионного легировани . На поверхность головки внедр ют ионы фосфо .ра Чр с энергией 50-40О кэВ и дозах этих ионов | 5-id® см Из донолнительного ионного источника 3 направл ют на пермаллоевую мвЕ1ень поток

ишов не ада Он энергией 3 кэВ и плотностью ионного тока 2 мкА/см -, которые у дар  сь об нее, распыл ют ее Во врем  легировани  комгюнсаци  распылени  рабочей Поверхности магаитной

головки проводитс  путем осаждени  на ее рабочую поверхность пермалло .

Рассе ние от рабочей поверхности магнитной головки до оермаллоевой мишени устанавливают рашсьсм 4 см, а до дополнительного аоннс о источника 2,5 см, причем допогавте ьный ионный источник устанавливают иод углом 65 по отношени о нормали к поверхности распыл емого пермалло .

Износостойкость магнитных головок в зависимости от режимов легировани  представлена в таблице.

50

50

50

50

i50

200

20О

500

200

2ОО

400

4ОО

4ОО

4ОО

400

,4.

3-3

lOxa 10 3,8

3.6 .107, 4,4 4,1 Ч

- 5,0 4,75 . 5,8

5.54 ,1

3.74 ,8

4. 5,2 4,95 ,75 5,4 (8 6,3 5,9 5 -10

5UO 4,25 3,9 5,1

4.85 -10 5,8 5,4 -t

.« в,2 6,0 ,8 6,6 6,4 5-10

Использование предлагаемого способ/ обеспечивает по сравнению с известными при сравнимых дозах внедрени  значительно большую износостойкость рабочей поверхности магнитных головок, что позвол ет значительно повысить их долговечность.

Claims (2)

1.Патент США № 3566О45, кл. Q 11 В 5/22, 1971.

2.Патент США № 3737483,

кл. Q 11 В 5/4О, С 23 С 3/О2, 1973. tS3. Авторское свидетельство СССР

№ 668371, кл, С 22 F 3/00, 1978. (прототип).