SU858086A1 - Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки - Google Patents

Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки Download PDF

Info

Publication number
SU858086A1
SU858086A1 SU792820133A SU2820133A SU858086A1 SU 858086 A1 SU858086 A1 SU 858086A1 SU 792820133 A SU792820133 A SU 792820133A SU 2820133 A SU2820133 A SU 2820133A SU 858086 A1 SU858086 A1 SU 858086A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
magnetic head
ions
energy
working surface
wear resistance
Prior art date
Application number
SU792820133A
Other languages
English (en)
Inventor
Кестутис-Ионас Ионо Билюс
Альвидас Пятро Иотаутис
Людвикас Ионович Пранявичюс
Валерий Иванович Пустовит
Original Assignee
Каунасский Политехнический Институт Им.А.Снечкуса
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Каунасский Политехнический Институт Им.А.Снечкуса filed Critical Каунасский Политехнический Институт Им.А.Снечкуса
Priority to SU792820133A priority Critical patent/SU858086A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU858086A1 publication Critical patent/SU858086A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

(54)СПОСОБ ОБРАБОТКИ РАБОЧЕЙ ПОВЕРХНОСТИ МАГНИТНОЙ ГОЛОВКИ

Claims (3)

  1. Изобретение относитс  к приборор-троению , в частности к технике магнитной записи. Известны способы увеличени  износ стойкости магнитной головки, основан ные на нанесении на их рабочзпо повер ность тонких дополнительных слоев с более выЬокой износостойкостью. Методом катодного распьшени  на рабочую поверхность магнитной головк нанос т магнитом гкий сплав алфесил или электролитическим осаждением нанос т износостойкий слой, содержапщй частицы магнетита или феррита Однако рассмотренные способы не позвол ют получить износостойкие покрыти  с хорошей адгезией. В процессе эксплуатации износостойкие покрыти  отслаиваютс  и крошатс , тем самым не обеспечива  необходимых механических параметров головки. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности  вл етс  спо соб, включающий операцию обработки поверхности магнитной головки в вакууме путем бомбардировки пучком ионов элементов насыщени  . Однако при осуществлении известного способа изготовлени  магнитной головки ее износостойкость недостаточно высока. Цель изобретени  - получение более высокой степени износострйкости магнитной головки при неизменной эдгергии внедренных примесных ионов. Поставленна  цель достигаетс  тем, что на магнитную головку нанос т слой металла толщиной 0,6-1,0 мкм, после чего осуществл ют внедрение электрически активных примесных ионов с посто нной энергией в диапазоне - 00600 кэВ и дозой 140 2,5-10 см одновременном воздействии на рабочую поверхность магнитной головки пучком ионов неона с энергией 5-10 кэВ и плотностью ионного тока в пучке 15 мА/см . 3 Так как ионы неона постепенно распыл ют вспомогательный слой, внедрение электрически активных примесных ионов проводитс  в тело с перемещающейс  границей поверхности и суммарный профиль распределени , очерчиваемый вершиной гауссовой кривой распределени , будет характеризоватьс  плос кой вершиной, т.е. высокоравномерным распределением внедренных примесей по всей глубине магнитной головки,начина  с поверхности. При этом энерги  высокоэнергетических примесных ионов в течении всего технологического процесса остаетс  посто нной. На фиг. 1 показано нанесение вспомогательного сло  металла на рабочую поверхность головки; на фиг. 2 - крива  распределени  внедренных примесей . На рабочую поверхность А-А магнитной головки 1 нанос т вспомогательный слой 2, например, металла и провод т внедрение высокоэнергетических примесных ионов Б при одновременном распылении низкоэнергетичными ионами В вспомогательного сло  2. По мере посто нного стравливани  вспомогательного сло  2 гауссова  крива  распределени  внедренных примесей 3 будет пер двигатьс  вглубь магнитной головки,а результирующа  крива  распределени  Использование предлагаемого способа обработки,рабочей поверхности магнитных головок обеспечивает высокую износостойкое ть при неизменной энергни внедр емых электрически активных ионов, что позвол ет значительно повысить их долговечность. 6 примесей 4, очерчиваема  вершиной кривой 3, будет характеризоватьс  высокомерным распределением по глубине магнитной головки, Так как в случае многократных внедрений при различных энерги х и дозах результирующий профиль распределени  внедренных примесей 5 характеризуетс  неравномерным распределением примесей по глубине магнитной головки, то исключение предлагаемым способом нелегированных областей 6 способствует значительному повьш1ению износостойкости магнитной головки,не прибега  к использованию многократных внедрений. Пример, При реализации способа было проведено увеличение износостойкости рабочих поверхностей магнитных головок при энерги х внедренньгх ионов фосфора 300-400 кэВ и дозах Ф 10 - 2, Перед внедрением на рабочую поверхность магнитной головки был нанесен вспомогательный слой АГ толщиной 0,6 мкм и 0,8 мкм, который во врем  легировани  распыл лс  ионами неона Ne с энергией 5 кэВ и плотностью ионного тока 1,5 мА/см. В таблице приведены значени  износостойкости магнитной головки в зависимости от режимов легировани . Формула изобретени  Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки, основанный на бомбардировке этой поверхности в вакууме пучком ионов, отличающий с   тем, что, с целью повьппени  износоустойчивости рабочей поверхности магнитной головки, на нее нанос т слой металла толщиной 0,61 ,0 мкм, после чего осуществл ют внедрение электрически активных примесных ионов с посто нной энергией в диапазоне 300-600 кэВ и дозой IlO - 2, см при одновременном воздействии нарабочую поверхность магнитной головки пучком ионов неона с 85 6« энергией 5-10 кэВ и плотностью ионпого тока в пучке 1-5 мА/см , Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Патент США W 3566045, кл. G И В 5/22, 1971.
  2. 2.Патент США 3737583, кл. G 11 В 5/40, 1973.
  3. 3.Патент США кл. G 11 В 5/42, 19.02.78 (прототип).
SU792820133A 1979-09-26 1979-09-26 Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки SU858086A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792820133A SU858086A1 (ru) 1979-09-26 1979-09-26 Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792820133A SU858086A1 (ru) 1979-09-26 1979-09-26 Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU858086A1 true SU858086A1 (ru) 1981-08-23

Family

ID=20850797

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792820133A SU858086A1 (ru) 1979-09-26 1979-09-26 Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU858086A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2501770B2 (ja) 物品をプラズマ処理する方法
KR960002632B1 (ko) 재료의 플라즈마 증진 마그네트론 스퍼터 전착 장치 및 방법
DE69922816T2 (de) Oberflächenbehandlung mittels physikalischer dampfabscheidung mit kompensierung der ungleichförmigkeit
EP0786795A3 (en) Method for manufacturing thin film, and deposition apparatus
JPH0693417A (ja) 硬質材料の被覆方法
US4505798A (en) Magnetron sputtering apparatus
DE69121446T2 (de) Zerstäubungssystem
EP0387904B1 (en) Method of producing thin film
SU858086A1 (ru) Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки
US3869368A (en) Methods of sputter deposition of materials
JPH0432152B2 (ru)
EP0969118A2 (en) Surface hardening of resins
SU886044A1 (ru) Способ обработки рабочей поверхности магнитной головки
JPS54141111A (en) Method and apparatus for production of magnetic recording medium
JPS5761644A (en) Cover glass having diamond coating layer and its preparation
JPS61153275A (ja) スパツタリングによる薄膜形成方法
JPS63307272A (ja) イオンビ−ムスパツタ装置
CN112853323A (zh) 一种电极板的表面处理方法及电极板
Jahrreiss Secondary electron emission from thin films
JPS57128437A (en) Manufacture of lanthanum-boride thermionic emission electrode
WO2003046248A3 (fr) Procede perfectionne de revetement d'un support
JPH0559542A (ja) マグネトロンスパツタ電極
SU980145A1 (ru) Способ изготовлени интегральных магнитных головок
JP2580149B2 (ja) スパツタ装置
US4394245A (en) Sputtering apparatus