SU823913A1 - Емкостной преобразователь давлени - Google Patents
Емкостной преобразователь давлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU823913A1 SU823913A1 SU782587757A SU2587757A SU823913A1 SU 823913 A1 SU823913 A1 SU 823913A1 SU 782587757 A SU782587757 A SU 782587757A SU 2587757 A SU2587757 A SU 2587757A SU 823913 A1 SU823913 A1 SU 823913A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- membrane
- single crystals
- housing
- pressure transducer
- hysteresis
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к емкостным преобразователям давления.
Известны устройства для измерения давления, содержащие мембрану, обра- 5 зующую одну из обкладок электрического конденсатора, защемленную между двух корпусных деталей и электрод, расположенный напротив мембраны, образующий другую.обкладку конденсато- Ю pa [1].
Недостатком этого устройства является то, что крепление мембраны путем ее защемления между двумя корпусными деталями не исключает гисте- .15 резиса из-за микроперемещений' мембран в заделке, а также обладает температурной нестабильностью, вследствие изменения напряжений в деталях, которые могут иметь место в таком 20 соединении при изменении температуры, что предопределяет недостаточную точность измерений посредством этого устройства.
Наиболее близким по технической 25 сущности к предлагаемому является преобразователь, содержащий корпус в виде диска из ситалла,.являющийся изолятором с нанесенным на него электродом в виде токопроводящего 30 покрытия и мембрану, которая выполнена в виде ситаллового диска с нанесенным на него токопроводящим покрытием. На корпусе нанесена из силикатно-серебряной пасты опорная шайба.. Мембрана совместно с неподвижным электродом образуют конденсатор, зазор между электродами которого равен толщине опорного кольца [2].
• Однако в известном устройстве мембрана выполнена из материала поликристаллической структуры; обладающей выраженным внутренним трением, и поэтому при ее изгибе имеет место гистерезис. При этом мембрана испытывает внешнее трение относительно опорной шайбы, которое также является источником гистерезиса. Возникающий при перемещении мембраны гистерезис не обеспечивает высокой точности измерения этим преобразователем. Кроме того, покрытие из силикатносеребряной .пасты на· ситалловом кольце образует двухслойную структуру с разными коэффициентами линейного расширения в слоях, что приводит к температурным деформациям ситаллового кольца.
Наличие деформируемых под температурным воздействием деталей пре3 образователя не обеспечивает его высокой температурной стабильности.
Цель изобретения - повышение точности измерений за счет уменьшения температурных погрешностей и гистерезиса. Поставленная цель достигается тем, э -что в емкостном преобразователе давления, содержащем корпус и мембрану, на которых размещены соответственно неподвижный и подвижный элек-<0 троды, корпус и мембрана выполнены из монокристаллов и ориентированы так, что их оптические оси совпадают, при этом оба монокристалла соединены неразъемно.
На чертеже схематично изображено предлагаемое устройство.
Емкостной преобразователь содержит корпус 1, являющийся изолятором, и мембрану 2 с нанесенными на них в виде токопроводящего покрытия электродами 3 и 4. При этом корпус и мембрана выполнены из монокристаллов с ионно-ковалентной или ковалентной связью, например из лейкосапфира, и ориентированы так, что их оптические оси совпадают. При этом оба монокристалла соединены неразъемно. Емкость формируется за счет дистанционного расположения корпуса 1 и мембраны 2 с заданным зазором между электродами.
Преобразователь работает следующим образом.
Измеряемое давление попадается на мембрану 2, прогиб которой с высокой степенью точности следует закону изменения измеряемого давления.
Малая погрешность измерения обеспечивается вследствие выполнения мембраны 2 из монокристалла, обладающего низким внутренним сопротивлением, и неразъемному- практически безгистерезисному соединению с корпусом 1.
Прогиб мембраны 2 с высокой точностью трансформируется в изменение зазора между электродами, нанесен.· ными на монокристаллы, и далее в изменение образованной ими электрической емкости. Статическая точность этого преобразователя с одной стороны достигается вышеуказанными конструктивными решениями, обеспечивающими низкие потери энергии на трение, а с другой -высокой степенью термоскомпенсированности, которая достигается равенством коэффициентов термического расширения монокристаллов 1 и 2, образующих емкость.
3D
Совпадение коэффициентов теплового расширения обеспечивается одинаковой ориентацией оптических осей соединенных монокристаллов 1 и 2 относительно друг друга.
Применение монокристаллов с.ионно-ковалентной или ковалентной связью, например из лейкосапфира, обеспечивает минимальные потери энергии на трение в мембране при динамических нагрузках, а, следовательно, и минимальный гистерезис. Кроме того, жесткое неразъемное соединение монокристаллов без промежуточного связующего звена, обладающего гистрезисом, позволяет получить высокую” добоотность этой системы.в целом, как колебательного звена, а также обеспе- . чить высокую стабильность его характеристик при температурном воздействии .
Монокристаллическая монолитная сварная конструкция преобразователя обеспечивает высокую стабильность в процессе длительной эксплуатации при различных физических воздействиях.
Используемые в конструкции монокристаллы обладают также высокими изоляционными свойствами и высокой степенью инертности к различного рода химическим и биологическим средам. Эти свойства являются важными качественными характеристиками, которыми должны обладать современные медицинские электроманометры.
Claims (1)
- Формула изобретенияЕмкостной преобразователь давления, содержащий корпус и мембрану, на которых размещены соответственно неподвижный и подвижный электроды, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения за счет уменьшения температурных погрешностей и гистерезиса, в нем корпус и мембрана выполнены из монокристаллов, ориентированных так, что их оптические оси совпадают, при этом оба монокристалла соединены неразъемно.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782587757A SU823913A1 (ru) | 1978-03-20 | 1978-03-20 | Емкостной преобразователь давлени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782587757A SU823913A1 (ru) | 1978-03-20 | 1978-03-20 | Емкостной преобразователь давлени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU823913A1 true SU823913A1 (ru) | 1981-04-23 |
Family
ID=20752391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU782587757A SU823913A1 (ru) | 1978-03-20 | 1978-03-20 | Емкостной преобразователь давлени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU823913A1 (ru) |
-
1978
- 1978-03-20 SU SU782587757A patent/SU823913A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4168518A (en) | Capacitor transducer | |
US3715638A (en) | Temperature compensator for capacitive pressure transducers | |
US4432238A (en) | Capacitive pressure transducer | |
KR940001481B1 (ko) | 정전용량식 압력차 검출기 | |
EP0041886A1 (en) | Capacitive pressure transducer | |
JPS61500633A (ja) | 圧力変換器 | |
JPH04502508A (ja) | 多係数圧力センサ | |
JPH0365643A (ja) | 静電容量型湿度センサー | |
JPH04290936A (ja) | 容量式マノメータのためのセンサ | |
US4433580A (en) | Pressure transducer | |
EP0198018A1 (en) | Capacitive sensing cell made of brittle material | |
US4741214A (en) | Capacitive transducer with static compensation | |
US4229776A (en) | Capacitive capsule for aneroid pressure gauge | |
JPS63308529A (ja) | 容量性圧力変換器 | |
JPS6073425A (ja) | 力測定器 | |
SU823913A1 (ru) | Емкостной преобразователь давлени | |
JP3171410B2 (ja) | 真空センサ | |
JPS5967437A (ja) | 水晶振動子圧力センサ | |
US4134304A (en) | Air pressure transducer of diffusion type | |
JPS6199383A (ja) | 容量式変位センサ | |
FI89982B (fi) | Kapacitiv absoluttryckomvandlare | |
RU178898U1 (ru) | Емкостной датчик давления с алмазной мембраной | |
JPS601402Y2 (ja) | 静電容量式差圧伝送器 | |
JPH0515071Y2 (ru) | ||
JPS5855833A (ja) | 差圧測定装置 |