SU791260A3 - Устройство дл бестигельной зонной плавки стержней из полупроводникового материала - Google Patents

Description

Изобретание относитс  к устройствам дл  бестигельной зонной плавки стержней из полупровоцникового материала, в которых зона плавки создаетс  индукционной нагревательной катушкой, кольцеобразно окружающей стержень.

Известно устройство, в котором индукционна  нагревательна  обмотка и параллельно включенна  емкость подсоединены к выходной цепи высокочастотного генератора flj.

Известно также устройство, в котором в качестве емкости используют подстроенные конденсаторы из фторопласта, которые размещают вместе с нагревательной обмоткой в герметичном объеме. Индукционную нагревательную обмотку выполн ют в виде полой трубки, по которой циркулирует охлаждающа  жидкость l,2j. .

Однако подобные устройства нельз  использовать на повышенной частоте, котора  необходима при бестигельной зонной плавке стержней диаметром выше 5О мм.

Цель изобретени  - повышение надежности работы и увеличение допустимой нагрузки.

Указанна  цель достигаетс  тем, что 5 емкость образована параллельно соединенными керамическими конденсаторами, св занными между собой с помощью пластин из меди или посеребренной меди, которые имеют канал дл  протекани  жид-

10 кости и помещены в герметичную камеру, жестко закрепленную с генератором с помощью полой трубы, заполненной изолирующей жидкостью. В качестве изоли- рующей жидкости и хладагента исполь15 зуют трансформаторное масло. В качестве охлаждаюшего вещества токовводов используют воду. Полось токовводов соединена с каналами пластин конденсаторов последовательно. Конденсаторы посажены

20 на металлические радиаторы U - образной формы.

Claims (2)

1. На фиг. 1 схематично изображено предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг. 2- вертикальна  проек25 цй  герметичной камеры без крышки с 7 обозначенной пунктиром индукционной нагревательной обмоткой. Устройство имеет катушку 1 индукционного нагрева, соединенную с последовательно включенными конденсаторами 2,также соединенными с выкоаом высокочастотного генератора полыми трубами 3.Конденсаторы 2 расположены на меднык пластинах 4 и 5, в которых имеютс  каналы 6 и 7 дл  протекани  воды и помеа1ены в герметичную камеру 8, заполненную трансформаторным маслом. Герметична  камера 8 жестко подсоединена к генератору полой трубой 9. Конденсаторы установлены на у -образные изогнутые радиаторы 10 из меди. Медные пластины 4 и 5, между которыми наход тс  конденсаторы скреплены посредством изолированных стержней 11 на плите 12 герметичной камеры 8. Высокочастотные каналы 6 и 7, выполненные в виде змеевиков охлаждени , подвод т холодную воду к } оаксиальному проходному каналу 13. При этом внутрен ний проход канала 13 соединен винтами с медной пластиной 5, а внешний проход 14 жестко соединен с медной пластиной 4 пайкой. Коаксиальный проходной канал изолирован и направлен герметично через плиту 12. На головке коаксиального проходного канала закреплена высокочастотна  индукционна  катушка 1. Высокочастотна  труба 3 (дл  тока и холодной воды ) св зана через фланцы 15 и 16 с трубами или каналами 6 и 7 охлаждени , причем части фланцев 15 и 16 дл  придани  жесткости конструкции соединены с плитой 12 через изол тор, посредством опорного рычага 17. Циркул ци  воды проходит в направлении стрелок 18 и 19, причем стрелка 18 обозначает подачу , а стрелка 19 отвод холодной воды Внутренн   полость камеры 8 заполнена трансформаторным маслом, а дл  спуска или замены масла предусмотрен винт 2О Индукционна  катушка заземл етс  в точке 21. О4 Формула изобретени  1.Устройство дл  бестигельной зонной плавки стержней из полупроводникового материала, содержащее нагреватель в виде катушки индукционного нагрева с параллельно включенной электрической емкостью , соединенные с выходом генератора высокой частоты с помощью токовводов , которые выполнены в виде полых труб дл  протекани  охлаждающего вещества , отличающеес  тем, что, с целью повышени  надежности работы и увеличени  допустимой нагрузки, емкость образована параллельно соединенными керамическими конденсаторами, св занными между собой с помощью пластин из меди или посеребренной меди , которые имеют канал дл  протекани  жидкости и помещены в герметичную камеру, жестко закрепленную с генератором с помощью полой трубы, заполненной изолирующей жидкостью. 2.Устройство по п. 1, отличаю щ е е с   тем, что в качестве изолирующей жидкости и хладагента используют трансформаторное масло. 3. Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что в качестве охлаждающего веществатокрвводов используют 4.Устройство по п. 1, о т л и чающеес  тем, что полость то- ковводов соединена с каналами пластин конденсаторов последовательно. 5.Устройство по п. 1, о т л и ч а - ю щ е е с  тем, что конденсаторы посажены на металлические радиаторы Ц -образной формы. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе . 1. Патент ФРГ № 1198324, кл. 12с 2, 12.08.65.
2. 2. Производство монокристаллов кремни  большого диаметра за рубежом. М., 1972, с. 53-54.

   5