PL103013B1 - Urzadzenie do beztyglowego topienia strefowego pretow z materialu polprzewodnikowego - Google Patents

Urzadzenie do beztyglowego topienia strefowego pretow z materialu polprzewodnikowego Download PDF

Info

Publication number
PL103013B1
PL103013B1 PL1975182089A PL18208975A PL103013B1 PL 103013 B1 PL103013 B1 PL 103013B1 PL 1975182089 A PL1975182089 A PL 1975182089A PL 18208975 A PL18208975 A PL 18208975A PL 103013 B1 PL103013 B1 PL 103013B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
coolant
capacitors
melting
zone
pot
Prior art date
Application number
PL1975182089A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Siemens Ag 1000 Berlin Und 8000 Muenchen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag 1000 Berlin Und 8000 Muenchen filed Critical Siemens Ag 1000 Berlin Und 8000 Muenchen
Publication of PL103013B1 publication Critical patent/PL103013B1/pl

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • C30B13/16Heating of the molten zone
    • C30B13/20Heating of the molten zone by induction, e.g. hot wire technique

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Induction Heating (AREA)
  • Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Description

Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie do bez¬ tyglowego topienia strefowego pretów z materialu pólprzewodnikowego, w którym strefa topnienia wytwarzana jest przez indukcyjna cewke grzejna obejmujaca pret pierscieniowo.Obwód grzewczy, utworzony w równoleglym ukladzie cewki indukcyjnej i kondensatorów dola¬ czony jest do obwodu wyjsciowego generatora wy¬ sokiej czestotliwosci.Znane jest na przyklad z opisu patentowego RFN nr 1 198 324 urzadzenie do beztyglowego topienia pretów zawierajace kondensatory o. zmiennej po¬ jemnosci — kondensatory teflonowe — polaczone z indukcyjna cewka grzejna i umieszczone w ko¬ morze topienia strefowego w garnkach.Przy wiekszych mocach wysokiej czestotliwosci jakie sa niezbedne do beztyglowego topienia stre¬ fowego pretów krzemowych o srednicy wiekszej niz 50 mm, przydatnosci kondensatorów teflono¬ wych byla jednak ograniczona, gdyz byly one bar¬ dzo wrazliwe na uszkodzenia. Zastosowanie ich bylo równiez bardzo kosztowne.Celem wynalazku jest opracowanie konstrukcji urzadzenia do topienia strefowego pretów z ma¬ terialu pólprzewodnikowego, które nie ma wad urzadzen znanych ze stanu techniki.Cel wynalazku zostal osiagniety przez to, ze po¬ jemnosc utworzona jest przez kondensatory cera¬ miczne polaczone równolegle ze soba i umieszczo- 2 ne w garnku wypelnionym chlodziwem izolacyj¬ nym o malej lepkosci.Jako chlodziwo izolacyjne korzystnie stosuje, sie olej transformatorowy.Kondensatory ceramiczne polaczone sa za pomo¬ ca plyt wyposazonych w przewody wypelnione przeplywajacym chlodziwem, wykonanych z ma¬ terialu bedacego dobrym przewodnikiem elektryczT nosci jak miedz lub miedz posrebrzana. Jako, prze¬ plywajace chlodziwo mozna zastosowac wode. Gar¬ nek kondensatorowy usytuowany jest w komorze topienia strefowego cewki indukcyjnej, przez co przewody do cewki, przez które plynie prad rezo¬ nansowy sa bardzo krótkie.Przewody chlodzace cewke i garnek kondensato¬ rowy sa polaczone szeregowo. Korzystnie rura wsporcza garnka kondensatorowego wypelniona jest chlodziwem izolacyjnym o malej lepkosci i chlodzona woda. Kondensatory otoczone sa radia¬ torami chlodzacymi z miedzi wygietymi w ksztalcie litery U, które w trakcie montazu nasuwane sa na kondensatory. Efekt chlodzenia przez to zostaje wydatnie zwiekszony.Plaszcz rury wsporczej garnka kondensatorowego wykonany jest z dobrze przewodzacego antyma- gnetycznego materialu na przyklad z miedzi dla unikniecia strat spowodowanych wystepowaniem pretów wirowych.Urzadzenie pozwala przy niewielkich nakladach, 103013103013 wytwarzac krysztaly pólprzewodnikowe zwlaszcza krzemu z pretów o srednicy 50 mm i wiekszych.Przedmiot wynalazku jest uwidoczniony w przy¬ kladzie wykonania na rysunku, na którym fig, 1 przedstawia urzadzenie wedlug wynalazku w prze- 5 kroju, fig. 2 — garnek kondensatorowy z induk¬ cyjna cewka grzejna w przekroju, fig. 3 — urza¬ dzenie z fig. 1 w widoku z kierunku strzalki III na fig. 1.Urzadzenie zawiera garnek kondensatorowy 5, 10 rure wsporcza 4, doprowadzenie 6 energii wyso¬ kiej czestotliwosci, równolegle polaczone konden¬ satory ceramiczne 7, przewody chlodzace 8, 81 z przeplywajaca woda w kierunku strzalek 20 i 21, plyty 9, 10 wykonane z miedzi podtrzymujace kon- 15 densatory 7 oraz radiatory 11 miedziane w ksztal¬ cie litery U dla dodatkowego chlodzenia.Miedziane plyty 9 i 10, miedzy którymi znajdujac sie kondensatory 7 sa zamocowane z zachowaniem odstepu za pomoca pretów izolacyjnych 12 do ply- 20 ty podstawowej 13 garnka kondensatorowego 5.Przewody 8, 81 uksztaltowane w formie wezownicy doprowadzaja wode chlodzaca do wspólosiowych przewodów 14, 15. Przewód wewnetrzny 14 jest polaczony za pomoca srub z plyta podtrzymujaca 9. 25 Przewód zewnetrzny 15 moze byc polaczony z ply¬ ta 10 na stale za pomoca spawania. Przewody 14, stanowia wspólosiowy przepust, który przecho¬ dzi przez plyte podstawowa 13 i jest w stosunku do niej uszczelniony. Na glowicy przepustu zamo¬ cowana jest w znany sposób cewka grzejna 16 wy¬ sokiej czestotliwosci.Przwody doprowadzajace sa polaczone za pomo¬ ca kolnjerzy 17 i 18 z przewodami 8 i 81, przy czym kolnierze 17 i 18 sa polaczone za pómoc^ wspornika 19 z plyta podstawowa 13 garnka kondensatorowe¬ go 5. Obieg Chlodziwa nastepuje zgodnie ze strzal¬ kami 20 i 21, przy czym strzalka 20 przedstawia kierunek zasilania, a strzalka 21 kierunek powrot¬ ny wody chlodzacej.Wnetrze 22 garnka kondensatorowego 5 jest wy¬ pelnione chlodziwem izolacyjnym na przyklad ole¬ jem transformatorowym. W dolnej czesci garnka 40 kondensatorowego 5 znajduje sie sruba 23 do spuszczania lub wymiany oleju. Sruba 24 sluzy do podlaczania uziemienia cewki grzejnej 18. PL PL

Claims (6)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Urzadzenie, do beztyglowegó topienia strefo¬ wego pretów z materialu pólprzewodnikowego za¬ wierajace obwód grzewczy utworzony z indukcyj¬ nej cewki grzewczej i polaczonej równolegle z nia pojemnosci, polaczony za posrednictwem dopro¬ wadzen pradowych z obwodem wyjsciowym gene¬ ratora wysokiej czestotliwosci, znamienne tym, ze pojemnosc utworzona jest przez kondensatory (7) ceramiczne polaczone równolegle za posrednic¬ twem plyt (9, 10) z materialu przewodzacego prad elektryczny i umieszczone w prózniowym garnku (5) wypelnionym chlodziwem izolujacym a malej lepkosci, przy czym wykonane z miedzi lub z po¬ srebrzanej miedzi, plyty (9, 10) posiadaja przewód- wypelniony przeplywajacym chlodziwem, a dopro¬ wadzenie pradowe stanowia równoczesnie dopro¬ wadzenia chlodziwa.
2. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze chlodziwo izolujace stanowi olej transformato-' rowy.
3. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze przeplywajace chlodziwo stanowi woda.
4. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze przewody chlodzace cewki i garnka (5) konden¬ satorowego sa polaczone szeregowo.
5. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze rura podtrzymujaca garnek kondensatorowy za¬ wiera rzadkie chlodziwo izolujace, jest chlodzona woda i otoczona plaszczem z dobrze przewodzacego antymagnetycznego materialu dla unikniecia strat spowodowanych wystepowaniem pradów wiro¬ wych. ;
6. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze zawiera radiatory (11) w ksztalcie litery U, ota¬ czajace kondensatory (7) i przy montazu nasuwane- na kondensatory.103 013 Fig.1 Fig.2 li 12 t— m 4-13103 013 Fig.3 W.Z.Graf. Z-d Glówny — 2513/80 — 100 Cena 45 zl PL PL
PL1975182089A 1974-07-16 1975-07-15 Urzadzenie do beztyglowego topienia strefowego pretow z materialu polprzewodnikowego PL103013B1 (pl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2434136A DE2434136A1 (de) 1974-07-16 1974-07-16 Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen von halbleitermaterialstaeben

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL103013B1 true PL103013B1 (pl) 1979-05-31

Family

ID=5920692

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL1975182089A PL103013B1 (pl) 1974-07-16 1975-07-15 Urzadzenie do beztyglowego topienia strefowego pretow z materialu polprzewodnikowego

Country Status (10)

Country Link
US (1) US4035600A (pl)
JP (1) JPS5133975A (pl)
BE (1) BE825058A (pl)
CA (1) CA1041177A (pl)
DE (1) DE2434136A1 (pl)
DK (1) DK321275A (pl)
GB (1) GB1495324A (pl)
IT (1) IT1039204B (pl)
PL (1) PL103013B1 (pl)
SU (1) SU791260A3 (pl)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2607729C2 (de) * 1976-02-25 1985-07-04 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleitermaterialstäben
JPS58198257A (ja) * 1982-05-12 1983-11-18 Chem Reizou Kk 食物材料等の衣製造法
JPS615749A (ja) * 1984-06-18 1986-01-11 Mashiko Chiyouri Gijutsu Kenkyusho:Kk 揚衣が剥離しない保存性唐揚食品の製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2159826A (en) * 1936-07-30 1939-05-23 Gen Electric Electric capacitor
GB749438A (en) * 1951-11-14 1956-05-23 Siemens Ag Improvements in or relating to electric capacitors
DE1137804B (de) * 1956-12-15 1962-10-11 Siemens Ag Keramischer Kondensator in Scheiben- oder Tellerform mit Fluessigkeitskuehlung
US3219892A (en) * 1962-09-18 1965-11-23 Gen Electric Electric capacitor cooling means
DE1198324B (de) * 1963-09-06 1965-08-12 Siemens Ag Verfahren zum tiegelfreien Zonenschmelzen
BE789504A (fr) * 1971-12-07 1973-01-15 Siemens Ag Bobine de chauffage par induction pour la fusion par zones sanscreuset de barreaux semiconducteurs

Also Published As

Publication number Publication date
GB1495324A (en) 1977-12-14
BE825058A (fr) 1975-05-15
DE2434136A1 (de) 1976-01-29
JPS5133975A (en) 1976-03-23
US4035600A (en) 1977-07-12
CA1041177A (en) 1978-10-24
IT1039204B (it) 1979-12-10
DK321275A (da) 1976-01-17
SU791260A3 (ru) 1980-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2402661A (en) Alternating current rectifier
CN103026436A (zh) 具备散热构造的无线电力传输系统及送受电装置
AU2002257311B2 (en) Furnace with bottom induction coil
PL101295B1 (pl) Urzadzenie do prowadzenia beztyglowego topienia strefowego krystalizujacych pretow,zwlaszcza pretow polprzewodnikowych
PL103013B1 (pl) Urzadzenie do beztyglowego topienia strefowego pretow z materialu polprzewodnikowego
US2908739A (en) Water cooled crucible for high frequency heating
US2404404A (en) High-frequency apparatus
US3935412A (en) Induction heated vapor source
US3769484A (en) Apparatus and method for floating-zone melting of a semiconductor rod
US20180366257A1 (en) Use of Thermally Conductive Powders as Heat Transfer Materials for Electrical Components
US1971195A (en) Vacuum induction apparatus
US4247736A (en) Induction heater having a cryoresistive induction coil
CN217037139U (zh) 一种大功率射频谐振发生装置
US1857029A (en) Cooled radiofrequency apparatus
US2517425A (en) Arrangement of electronic discharge tube equipment for the thermal treatment of metals by high-frequency currents
US1328336A (en) Artificially-cooled high-frequency coil
US1748706A (en) Electric induction furnace
US3518394A (en) Output transformer and work inductor for induction generators
CN210070521U (zh) 一种应用于碳化硅微粉的电子管烘干装置
US3862348A (en) Apparatus for crucible-free zone melting
SU771911A1 (ru) Индукционное устройство дл плавки металла во взвешенном состо нии
US2768226A (en) Spark-gap converter, induction-heating and melting assembly
CN216626101U (zh) 一种涡流加热结构以及低温加热装置
US1683146A (en) Best available copx
SU965029A1 (ru) Высокочастотное устройство дл нагрева сжатого газа