SU651687A3 - Способ изготовлени изделий из нитрида кремни - Google Patents

Claims (2)

1. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ИЗ НИТРИДА КРЕМНИЯ ва и , термообработки с пос е ующЕм изостатичЕеским гор чим нрессованнем, перед важуумированием на заготовку дополнительно нанос т слой легкоплав кого стекловидного материала, термообработку провод т с изотермической де|жкой при температуре спёкааи  пег коп авкбго материала, а гор чее пресс ЕЁПйе i с Еэотермическикта выдержками йрй тёгишературе спекани  тугЬпйаБХого 1йатё рийпа а нитрида кремни . Причет изй ерШ1 еекуй) шнвркку пр термос работке провод т при 00 1100 С до спекавй  внешнего сло  покрыти , а при гор чем прессовании при 13.00 -1600 0 и 1600-1900 С до спешканн  соответственно внутреннего сло  покрыти  и нитрида кремни . В качестве материала внутреннего с о  не есообразно использовать стекло типа внкор, содержащее, наприклер вес.%: ,7} ВгОJ 2,9 и АеаОзО,4 ИШ1другое кварпевсФГЬтекло, а такие тугоплавкие металлы как молибден , вольфрам и другие, В качестве материала дл  внешнего слоза покрыти  можно использовать легкоплавкие стекла с содержанием SiOg 60Ц80% п остальное B,gO А& О,, КОоО, К20,СаО. Толщина слоев должна (доставл ть 0,05-1 мм. Слои покрыти  нанос т либо погружением заготовок в сусйен;и , .либо разбрызгиванием в пламени или другим термическим распылением. Пред п6 гт1ательный размер частни составл ет 0,1-ГОО мк. : После вакуумировани  начинают поднимать температуру и при непрерывном откачивании довод т ее. до спекани  внешнего сло . Величина давлени  в процессе .тического прессовани  зависит ;бт вв дени  к нитриду кремни  таких добавок, составл ет 1ОО-ЗОО МПа без добавок и не менее 20 МПа при ввбденйв добавок. При мер . Порошок Hatpiattfa крем н   с размером частиц менее 7 м , содержащий примерно 0,1 вес.% окиси ма на , помещают в кансулу определенной формы нз резв ы шш во гвинвлхлореда, герметизируют ее а подвергают сжатию при давлении 600 МПа в течение: 5 мин. . . : : ; После этого заготовке придают нуж- ную форуму дополнительной обработкой. t Заготовку погружают сначала в вод HjTo суспензню стекл нного иорошка состава , вес.%: S-iO. 96,7; ,. . 0,4, Еодсушивах слой а внбвь погружают заготовку в сус тензию соотааа зес,%: &4O2-.80,3j BcSgC 12,2; NcagUb 0,4 и 0,3;СаО-. ,2,8%. -;..-.. . : - : . .. ; После етогр заготовку с двухслойнь М покрытием помешают в камеру дл  йз&статнческого гор чего прессовани  н подвергают рбезгажнванию в течечас , термообработке праа откач нии 2 с медленным нагревом до 9ОО С. ке После двутдасовой изотермической дёржки темнёратуру уменьшают до 700. С и подают аргон или гелий н Повышают температуру, осуществл   изо, термическую ныдер ску при 1300 С до спекани  внутреннего :сло . Затем уве-. личивают температуру до 18ОО С и поддерживают давление 200 МПа дл  спекани  нитрида кремни .. Температуру поы 1шают медленноj обеспечива  постепенное взаимодейстЕве между сло5ши. Врем  спекани  О,5 час с добавками MgO и (около 2 час без добавок). Следует отметить, что если при фор. мовании заготовки из порошка нитрида кремни  были использованы временные св зки, их необходимо удалить перед вакуумированием, например при нагре« ве до 400°С, В результате получают издели , об« ладакнпие пош 1шенной механической прочностью благодар  подавлению диосоцйааии нитрида кремни , которые мо. гут быть вспользоваш дл  лопаток и монолитных ту инных роторов газовых турбин. Формула изобретени  1. Способ изготовлени  изделий из нитрида; кремни  путем формовани  заготовок , нанесени  на их поверхность пЬристого сло  тутоплавкого металла иди стёкловйдкого материала, температура спекани  которых при высоком давлении ниже температуры спекани  нитрида крелта , ва1куумирован и термообработки с последукндим изрстатвческим гор чим прессованием, о т   и- ч а; ю щи и с   тем, что,сцёлью юшш& ни механической прочности путем по давлени  его диссошашш, перед вакуу . 5 65 мированнем ва загото&ку иополнитвльнЪ нанос пг спой , легкоплавкого сте  овиднего материала, термообработку ирово- П т с взотермп }еской выдержкой при температуре спекани  легкоплавкого материала, а гор чее прессование - с изотермическими надер сками при т мпературе спекани  тугоплавкого материала в нитрида кремни 
2. 2. Способ по п. 1, о т   и ч а юш в И с   тем, что изотермическую 687 .6 выдержку при тврмообмботке осутаеств  ют при 600 100 С до спекани  внешнего сло  покрыти , а пм гор чем ррбссованвв при 1300..160О С и. 1600$ 190О°С до спекани  соответственно внутреннего сло  пок клти  и нитрида кремни . Источники информапии, прин тые во внимание при экспертизе 0 1. За вка ФРГ № 2.349.277, кл. С 04 В 35/58, 1975.