SU562884A1 - Устройство дл подачи мелких деталей - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к полупроводниковому про-изводству и может -примен тьс  дл  подачи мелких деталей, например полупроВОДНИ1КОВЫХ кристаллов на операци х напайжи их на ножки приборов, разбраковки, перегрузки в кассеты. Известны устройства дл  подачи мелких деталей с использованием вакуумных присосок 1. Известно устройство дл  подачи мелких деталей, в частности полупроводниковых кристаллов с предварительно раст нутой эластичной липкой плеНКИ, содержащее вакуумную присоску, выталки:ватель со сферической рабочей поверхностью и прижимной элемент, выполненный в виде неподвижного кольпевого вакуумного присоса, относительно которого перемещаетс  подложка с кристаллами в горизонтальной плоскости. При этом поперечное сечение отверсти  в вакуумном присосе представл ет собой круг, на площади которого размещаетс  несколько кристаллов 2. Недостатком известных устройств  вл етс  нарущение ориентации кристалла в процессе подъема его выталкивателем, так как кристалл в процессе деформации эластичной лленки не поддерживаетс  прижимным элементом . Цель изобретени  - предотвращенке на;рущечи  ориентации деталей. Поставленна  цель достигаетс  тем, что прижимной элемент выполнен в виде соединенной с приводом возвратно-поступательного движени  рамки с отверстием по форме кристалла , снабженной фланцем, высота которого превыщает толщииу кристалла на 0-3- 0,5 мм. На чертеже схематически изображено предлагаемое зстройство, общий вид. Устройство дл  подачи мелких деталей содержит инструмент-присоску 7, выталкиватель 2, рамку 3 с отверстием 4 и фланцем 5, электромагнит 6, пружину 7 и кассету 8 с эластичной липкой пленкой 9, на которой уложены детали, например полупроводниковые кристаллы 10. На рабочей части инструмента-присоски / имеетс  гнездо //, соединенное с вакуумиой системой (на чертеже не показана) каналом 12. Устройство работает следующим образом. Рамка 3 под действием электромагнита 6 опускаетс  в крайнее нижнее положение, при этом фланец 5 прижимает эластичную липкую пленку 9 к основанию кассеты 8, а полупроводниковый кристалл W оказываетс  в отверстии 4 рамки 3, выполненно-м по форме кристалла. Затем выталкиватель 2 поднимаетс  вверх, прокалывает эластичнз-ю липкую пленку 9 и отдел ет кристалл 10 от пленки . Подключенный к вакуумной сети инструмент-присоска опускаетс  вниз, забирает кристалл 10 и переносит его «а позицию напайки. После этого электромагнит отключаетс , рамка 3 под действием пружины 7 поднимаетс  вверх, кассета 8, перемеща сь, подает по-д рамку 5 очередной кристалл, и цикл работы повтор етс .

Устройство исключает возможность- нарушени  ориентации кристаллов в процессе их отделени  от эластичной липкой пленки и позвол ет забирать кристаллы гор чим инструментом-присоской . При этом исключаетс  загр знение кристаллов и обеспечиваетс  их надежное отделение от эластичной липкой пленки.

Claims (2)

1.Патент Вели кобритании № 1309990, кл. В 3 R, 1969.

2.Авторское свидетельство СССР № 401270, ,кл. Н 01 L 7/68, 1970.