JP3313121B2 - 細長チップの供給装置 - Google Patents
細長チップの供給装置Info
- Publication number
- JP3313121B2 JP3313121B2 JP5658191A JP5658191A JP3313121B2 JP 3313121 B2 JP3313121 B2 JP 3313121B2 JP 5658191 A JP5658191 A JP 5658191A JP 5658191 A JP5658191 A JP 5658191A JP 3313121 B2 JP3313121 B2 JP 3313121B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- elongated
- wafer
- elongated chip
- push
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は細長チップの供給装置に
係り、ＬＥＤチップのような細長チップを複数本の突き
上げピンにより確実に突き上げて、移載ヘッドに供給で
きるようにしたものである。
係り、ＬＥＤチップのような細長チップを複数本の突き
上げピンにより確実に突き上げて、移載ヘッドに供給で
きるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】ウェハーに装備されたチップをリードフ
レームなどの基板に搭載する場合、ダイエジェクタの突
き上げピンにより、ウェハー上のチップを突き上げ、こ
のチップを移載ヘッドのノズルに吸着してピックアップ
し、基板に移送搭載するようになっている。
レームなどの基板に搭載する場合、ダイエジェクタの突
き上げピンにより、ウェハー上のチップを突き上げ、こ
のチップを移載ヘッドのノズルに吸着してピックアップ
し、基板に移送搭載するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＬＥＤチッ
プなどの細長チップを上記突き上げピンにより突き上げ
る場合、細長チップが回転方向にわずかでも位置ずれし
ていると、ピンはこのチップからはずれ、このチップを
突き上げることはできない。因みに、ＬＥＤチップのサ
イズは、例えばタテ３０mm、ヨコ０．５mmである。
プなどの細長チップを上記突き上げピンにより突き上げ
る場合、細長チップが回転方向にわずかでも位置ずれし
ていると、ピンはこのチップからはずれ、このチップを
突き上げることはできない。因みに、ＬＥＤチップのサ
イズは、例えばタテ３０mm、ヨコ０．５mmである。
【０００４】そこで本発明は、ＬＥＤチップのような細
長チップを確実に突き上げて、移載ヘッドに供給するこ
とができる細長チップの供給装置を提供することを目的
とする。
長チップを確実に突き上げて、移載ヘッドに供給するこ
とができる細長チップの供給装置を提供することを目的
とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、細長チップを
備えたウェハーと、このウェハーの下方にあって、この
細長チップを突き上げるダイエジェクタと、この細長チ
ップを上方から観察するカメラとがあり、上記ダイエジ
ェクタが上記細長チップの長さ方向に沿う複数本の突き
上げピンを有するペパーポットを備え、且つ上記カメラ
の観察結果に基づいて、このペパーポットを上記細長チ
ップに対して相対的に水平回転させる回転手段を設けた
ものである。
備えたウェハーと、このウェハーの下方にあって、この
細長チップを突き上げるダイエジェクタと、この細長チ
ップを上方から観察するカメラとがあり、上記ダイエジ
ェクタが上記細長チップの長さ方向に沿う複数本の突き
上げピンを有するペパーポットを備え、且つ上記カメラ
の観察結果に基づいて、このペパーポットを上記細長チ
ップに対して相対的に水平回転させる回転手段を設けた
ものである。
【０００６】
【作用】上記構成において、突き上げピンによりウェハ
ー上の細長チップを突き上げるに先立ち、このチップを
カメラにより観察して、その回転方向の位置ずれを検出
する。
ー上の細長チップを突き上げるに先立ち、このチップを
カメラにより観察して、その回転方向の位置ずれを検出
する。
【０００７】次いでペパーポットをこのチップに対して
相対的に水平回転させて、複数本のピンを細長チップの
長さ方向に沿わせたうえで、ピンによりこのチップを突
き上げ、移載ヘッドにピックアップさせる。
相対的に水平回転させて、複数本のピンを細長チップの
長さ方向に沿わせたうえで、ピンによりこのチップを突
き上げ、移載ヘッドにピックアップさせる。
【０００８】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【０００９】図１は細長チップの供給装置の全体図であ
る。１はウェハーであり、台板２に保持されている。ウ
ェハー１上には、ＬＥＤチップのような細長チップＰが
貼着されている。台板２はＸＹテーブル３に支持されて
おり、ＸＹ方向へ移動する。
る。１はウェハーであり、台板２に保持されている。ウ
ェハー１上には、ＬＥＤチップのような細長チップＰが
貼着されている。台板２はＸＹテーブル３に支持されて
おり、ＸＹ方向へ移動する。
【００１０】４はウェハー１の下方に設けられたダイエ
ジェクタであって、ペパーポット５と、このペパーポッ
ト５の頭部に装着されたキャップ６を有している。
ジェクタであって、ペパーポット５と、このペパーポッ
ト５の頭部に装着されたキャップ６を有している。
【００１１】図２に示すように、ペパーポット５の内部
には、昇降杆７が収納されている。昇降杆７の上部に
は、台座８が装着されており、この台座８には突き上げ
ピン９が複数本立設されている。
には、昇降杆７が収納されている。昇降杆７の上部に
は、台座８が装着されており、この台座８には突き上げ
ピン９が複数本立設されている。
【００１２】このピン９は、細長チップＰの長さ方向に
沿うように、直線上に並設されており、これに対応し
て、上記キャップ６には複数個のピン孔１０が直線上に
開孔されている（図１も参照）。１１は昇降杆７の弾発
用コイルばね、１２は突き上げ杆である。図示しない駆
動手段に駆動されて、突き上げ杆１２が昇降すると、昇
降杆７も昇降し、ピン９はピン孔１０から突没する。
沿うように、直線上に並設されており、これに対応し
て、上記キャップ６には複数個のピン孔１０が直線上に
開孔されている（図１も参照）。１１は昇降杆７の弾発
用コイルばね、１２は突き上げ杆である。図示しない駆
動手段に駆動されて、突き上げ杆１２が昇降すると、昇
降杆７も昇降し、ピン９はピン孔１０から突没する。
【００１３】１３はペパーポット５の下部に装着された
ギヤ、１４はこのギヤ１３に係合するギヤ、１５はモー
タである。モータ１５が駆動すると、ペパーポット５は
その軸心線を中心に水平回転する。
ギヤ、１４はこのギヤ１３に係合するギヤ、１５はモー
タである。モータ１５が駆動すると、ペパーポット５は
その軸心線を中心に水平回転する。
【００１４】図１において、１６はウェハー１の上方に
設けられたカメラであり、細長チップＰを観察する。２
０は移載ヘッドであって、ノズル２１を有している。こ
のノズル２１の下端部には吸着体２２が設けられてい
る。図４に示すように、吸着体２２の下面には細長の吸
着部２３が設けられており、この吸着部２３には、細長
チップＰに沿うように、複数個の吸着孔２４が直線上に
開孔されている。
設けられたカメラであり、細長チップＰを観察する。２
０は移載ヘッドであって、ノズル２１を有している。こ
のノズル２１の下端部には吸着体２２が設けられてい
る。図４に示すように、吸着体２２の下面には細長の吸
着部２３が設けられており、この吸着部２３には、細長
チップＰに沿うように、複数個の吸着孔２４が直線上に
開孔されている。
【００１５】この装置は上記のような構成より成り、次
に動作の説明を行う。ウェハー１上のチップＰを移載ヘ
ッド２０でピックアップするに先立ち、カメラ１６でこ
のチップＰを観察して、回転方向の位置ずれを検出す
る。
に動作の説明を行う。ウェハー１上のチップＰを移載ヘ
ッド２０でピックアップするに先立ち、カメラ１６でこ
のチップＰを観察して、回転方向の位置ずれを検出す
る。
【００１６】図３実線に示すように、チップＰに位置ず
れがない場合は、そのままピン９を突出させてチップＰ
を突き上げる。また図３鎖線に示すように、チップＰに
回転方向の位置ずれがある場合は、モータ１５を駆動し
てペパーポット５を回転させ、複数本のピン９を細長チ
ップＰの長さ方向に沿わせたうえで、ピン９を突出させ
てチップＰを突き上げ、移載ヘッド２０にピックアップ
させる。
れがない場合は、そのままピン９を突出させてチップＰ
を突き上げる。また図３鎖線に示すように、チップＰに
回転方向の位置ずれがある場合は、モータ１５を駆動し
てペパーポット５を回転させ、複数本のピン９を細長チ
ップＰの長さ方向に沿わせたうえで、ピン９を突出させ
てチップＰを突き上げ、移載ヘッド２０にピックアップ
させる。
【００１７】なお上記実施例では、ペパーポット５を回
転させているが、ウェハー１を水平回転させて、ピン９
をチップＰの長さ方向に沿わせるようにしてもよい。
転させているが、ウェハー１を水平回転させて、ピン９
をチップＰの長さ方向に沿わせるようにしてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、細長チッ
プを備えたウェハーと、このウェハーの下方にあって、
この細長チップを突き上げるダイエジェクタと、この細
長チップを上方から観察するカメラとがあり、上記ダイ
エジェクタが上記細長チップの長さ方向に沿う複数本の
突き上げピンを有するペパーポットを有し、且つ上記カ
メラの観察結果に基づいて、このペパーポットを上記細
長チップに対して相対的に水平回転させる回転手段を設
けているので、ＬＥＤチップのような細長チップを突き
上げピンにより確実に突き上げて、移載ヘッドにピック
アップさせることができる。
プを備えたウェハーと、このウェハーの下方にあって、
この細長チップを突き上げるダイエジェクタと、この細
長チップを上方から観察するカメラとがあり、上記ダイ
エジェクタが上記細長チップの長さ方向に沿う複数本の
突き上げピンを有するペパーポットを有し、且つ上記カ
メラの観察結果に基づいて、このペパーポットを上記細
長チップに対して相対的に水平回転させる回転手段を設
けているので、ＬＥＤチップのような細長チップを突き
上げピンにより確実に突き上げて、移載ヘッドにピック
アップさせることができる。
【図１】本発明の細長チップの供給装置の全体図
【図２】本発明の細長チップの供給装置のピックアップ
時の動作説明のための断面図
時の動作説明のための断面図
【図３】本発明の細長チップの供給装置における要部の
平面図
平面図
【図４】本発明の細長チップの供給装置におけるノズル
の斜視図
の斜視図
１ ウェハー ４ ダイエジェクタ ５ ペパーポット ９ 突き上げピン １３ ギヤ １４ ギヤ １５ モータ １６ カメラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/52 H01L 21/78
Claims (1)
- 【請求項１】細長チップを備えたウェハーと、このウェ
ハーの下方にあって、この細長チップを突き上げるダイ
エジェクタと、この細長チップを上方から観察するカメ
ラとがあり、上記ダイエジェクタが上記細長チップの長
さ方向に沿う複数本の突き上げピンを有するペパーポッ
トを備え、且つ上記カメラの観察結果に基づいて、この
ペパーポットを上記細長チップに対して相対的に水平回
転させる回転手段を設けたことを特徴とする細長チップ
の供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5658191A JP3313121B2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 細長チップの供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5658191A JP3313121B2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 細長チップの供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04291742A JPH04291742A (ja) | 1992-10-15 |
| JP3313121B2 true JP3313121B2 (ja) | 2002-08-12 |
Family
ID=13031136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5658191A Expired - Lifetime JP3313121B2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 細長チップの供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3313121B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006025361A1 (de) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Siemens Ag | Ausstoßeinheit zum Abtrennen von Bauelementen aus einer im Wesentlichen ebenen Anordnung von Bauelementen |
| CN103010510B (zh) * | 2012-12-10 | 2014-09-03 | 广东志成华科光电设备有限公司 | Led编带机用防震转向装置 |
-
1991
- 1991-03-20 JP JP5658191A patent/JP3313121B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04291742A (ja) | 1992-10-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090531 Year of fee payment: 7 |
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