SU983837A1 - Устройство дл съема деталей - Google Patents

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЪЕМА ДЕТАЛЕЙ

1

Изобретение относитс  к технологическому оборудованию дл  съема и укпадки полупроводниковых кристаллов и предназначено дл  производства полупроводниковых приборов.

Известно устройство дл  подачи мелких деталей, в частности полупроводниковых кристаллов с эластичной липкой пленки , содержащее инструмент присоску, выталкиватель и прижимной элемент, выпол-JQ ненный в виде соединенной с приводом возвратно-поступательного движени  {замки с отверстием по форме кристалла, снабженной фланцем, высота которого превышает толщину кристалла на 0,3 -,5 0,5 мм . 1 .

Недостатком устройства  вл етс  его сложность за счет введени  дополнительной рамки с приводом возвратно-поступательного движени , а также возможность 2U повреждени  соседних периферийных кристаллов при захвате основного кристалла.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому ус вл етс  устройство дл  съема деталей, преимущественно полупроводниковых кристаллов с эластичной липкой плешш, содержащее присоску,-опорный столик дл  эластичной липкой пленки, вакуумную камеру, соединенную с каналами, выполненным в опорном столике, и выталкиватель.

В известном устройстве механизм перемещени  выталкивател  механическийС2.

Недостатком этого устройства  вл ет с  то, что устройство ненадежно в работе, а именно, в отсутствии зависимости между подъемом выталкивател  и прижимом эластичной диафрагмы к поверхности опорного столика. Отсутствие такой зависимости приводит к тому, что подъем выталкивател  может производитьс , когда эластична  диафрагма не прижата, вакуумом к onopHOKfy столику. А это, в свою очередь, приводит к смещению и отрьгоу от эластичного носител  соседних кристаллов и следовательно, к увеличению брака.

Цель изобретени  - повышение надежности работы.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  съема деталей, преимущественно полу-проводниковых кристаллов с эластичной липкой пленки, содержащем присоску, опорный столик дл  размещени  эластичной липкой пленки, вакуумную камеру, соединенную с каналами, выполненными в опорном столике, и выталкиватель , выталкиватель закреплен на дне вакуумной камеры.

Причем вакуумна  камера выполнена в виде сильфона.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - то же, в рабочем положении.

Устройство дл  объема мелких деталей содержит присоску 1, опорный столик 2 дл  размещени  эластичной липкой плен-20 ки 3, на которой расположены кристаллы 4 и общую вакуумную камеру 5, Опорный столик 2 снабжен каналами 6, от которого отход т сквозные отверсти  7. Каналы 6 сообщаютс  с общей вакуумной камерой 25 5, через полость- которой проходит выталкиватель 8. Он закреплен одним концом на днище вакуумной камеры 5 и снабжен пружиной 9. Вакуумна  камера 5 служит одновременно дл  присасьшани  диафрагмы зо

и перемещени  выталкивател  8.

Устройство работает следующим образом .

Разделенна  на кристаллы 4 полупроводникова  пластина закрепл етс  на эластичной липкой пленке 3. При объеме кристаллов пленки 3 перемещаетс  относительно опорного столика 2, снабженного вакуумными отверсти ми 7. После совмеще- ни  оси кристалла 4 с осью выталкивате- 40 ю щ

л  8 на кристалл опускаетс  инструментприсоска 1. При этом торец инструментаприсоски не доходит до поверхности кристалла . В этот момент в полость камеры 5 и в отверсти  7 опорного столика 2 подаетс  вакуум. При наличии надежного прижима диафрагмы с кристаллами к поверхности опорного столика 2 камера 5 сжимаетс  и поднимает выталкиватель 8, Если же пленка 3 не прижата к опорному столику, то при подаче вакуума воздух

будет через отверсти  7 отсасьюатьс  из атмосферы, а камера 5 сжиматьс  не будет и не будет подниматьс  выталкиватель 8, т. е. выталкиватель 8 и сжатие камеры 5 возможно только при хорошо прижа-

той пленке к опорному столику.

Кристалл, наход щийс  над выталкивателем поднимаетс  и захватьюаетс  присоской . Затем вакуум, отключаетс , камера 5 и выталкиватель 8 возвращаетс 

в первоначальное положение под действием пружины 9. После этого производитс  ориентаци  следующего кристаппа. Цикл повтор етс .

Использование предлагаемого устройстшее присоску, опорный столик дл  размещени  эластичной липкой пленки, вакуумную камеру, соединенную с каналами,выполненными в опорном столике, и выталкира выполнена в виде сильфона. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР

N9 562884, кл. Н О1 L. 21/68, 2О.О4.75.

2.Патент Швейцарии № 548112, кл. Н О1 L, 7/66, опублик. 11.О4.74. ва повьщ1ает надежность работы и исключает брак. Выход годных кристаллов на операхши съема увеличилс  с 99,5% до. 99,9%.

Claims (2)

1. Формула изобретени  1. Устройство дл  съема деталей, преимущественно полупроводниковых кристаллов с эластичной липкой пленки, содержа- ватель, отличающеес  тем. что, с целью повышени  надежности работы , выталкиватель закреплен на дне вакуумной камеры.
2. 2. Устройство по п. 1, о т л и ч а е е с   тем, чтс вакуумна  каме