SU983837A1 - Устройство дл съема деталей - Google Patents
Устройство дл съема деталей Download PDFInfo
- Publication number
- SU983837A1 SU983837A1 SU813285853A SU3285853A SU983837A1 SU 983837 A1 SU983837 A1 SU 983837A1 SU 813285853 A SU813285853 A SU 813285853A SU 3285853 A SU3285853 A SU 3285853A SU 983837 A1 SU983837 A1 SU 983837A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ejector
- crystals
- vacuum chamber
- support table
- removal
- Prior art date
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЪЕМА ДЕТАЛЕЙ
1
Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл съема и укпадки полупроводниковых кристаллов и предназначено дл производства полупроводниковых приборов.
Известно устройство дл подачи мелких деталей, в частности полупроводниковых кристаллов с эластичной липкой пленки , содержащее инструмент присоску, выталкиватель и прижимной элемент, выпол-JQ ненный в виде соединенной с приводом возвратно-поступательного движени {замки с отверстием по форме кристалла, снабженной фланцем, высота которого превышает толщину кристалла на 0,3 -,5 0,5 мм . 1 .
Недостатком устройства вл етс его сложность за счет введени дополнительной рамки с приводом возвратно-поступательного движени , а также возможность 2U повреждени соседних периферийных кристаллов при захвате основного кристалла.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому ус вл етс устройство дл съема деталей, преимущественно полупроводниковых кристаллов с эластичной липкой плешш, содержащее присоску,-опорный столик дл эластичной липкой пленки, вакуумную камеру, соединенную с каналами, выполненным в опорном столике, и выталкиватель.
В известном устройстве механизм перемещени выталкивател механическийС2.
Недостатком этого устройства вл ет с то, что устройство ненадежно в работе, а именно, в отсутствии зависимости между подъемом выталкивател и прижимом эластичной диафрагмы к поверхности опорного столика. Отсутствие такой зависимости приводит к тому, что подъем выталкивател может производитьс , когда эластична диафрагма не прижата, вакуумом к onopHOKfy столику. А это, в свою очередь, приводит к смещению и отрьгоу от эластичного носител соседних кристаллов и следовательно, к увеличению брака.
Цель изобретени - повышение надежности работы.
Поставленна цель достигаетс тем, что в устройстве дл съема деталей, преимущественно полу-проводниковых кристаллов с эластичной липкой пленки, содержащем присоску, опорный столик дл размещени эластичной липкой пленки, вакуумную камеру, соединенную с каналами, выполненными в опорном столике, и выталкиватель , выталкиватель закреплен на дне вакуумной камеры.
Причем вакуумна камера выполнена в виде сильфона.
На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - то же, в рабочем положении.
Устройство дл объема мелких деталей содержит присоску 1, опорный столик 2 дл размещени эластичной липкой плен-20 ки 3, на которой расположены кристаллы 4 и общую вакуумную камеру 5, Опорный столик 2 снабжен каналами 6, от которого отход т сквозные отверсти 7. Каналы 6 сообщаютс с общей вакуумной камерой 25 5, через полость- которой проходит выталкиватель 8. Он закреплен одним концом на днище вакуумной камеры 5 и снабжен пружиной 9. Вакуумна камера 5 служит одновременно дл присасьшани диафрагмы зо
и перемещени выталкивател 8.
Устройство работает следующим образом .
Разделенна на кристаллы 4 полупроводникова пластина закрепл етс на эластичной липкой пленке 3. При объеме кристаллов пленки 3 перемещаетс относительно опорного столика 2, снабженного вакуумными отверсти ми 7. После совмеще- ни оси кристалла 4 с осью выталкивате- 40 ю щ
л 8 на кристалл опускаетс инструментприсоска 1. При этом торец инструментаприсоски не доходит до поверхности кристалла . В этот момент в полость камеры 5 и в отверсти 7 опорного столика 2 подаетс вакуум. При наличии надежного прижима диафрагмы с кристаллами к поверхности опорного столика 2 камера 5 сжимаетс и поднимает выталкиватель 8, Если же пленка 3 не прижата к опорному столику, то при подаче вакуума воздух
будет через отверсти 7 отсасьюатьс из атмосферы, а камера 5 сжиматьс не будет и не будет подниматьс выталкиватель 8, т. е. выталкиватель 8 и сжатие камеры 5 возможно только при хорошо прижа-
той пленке к опорному столику.
Кристалл, наход щийс над выталкивателем поднимаетс и захватьюаетс присоской . Затем вакуум, отключаетс , камера 5 и выталкиватель 8 возвращаетс
в первоначальное положение под действием пружины 9. После этого производитс ориентаци следующего кристаппа. Цикл повтор етс .
Использование предлагаемого устройстшее присоску, опорный столик дл размещени эластичной липкой пленки, вакуумную камеру, соединенную с каналами,выполненными в опорном столике, и выталкира выполнена в виде сильфона. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе
1.Авторское свидетельство СССР
N9 562884, кл. Н О1 L. 21/68, 2О.О4.75.
2.Патент Швейцарии № 548112, кл. Н О1 L, 7/66, опублик. 11.О4.74. ва повьщ1ает надежность работы и исключает брак. Выход годных кристаллов на операхши съема увеличилс с 99,5% до. 99,9%.
Claims (2)
- Формула изобретени 1. Устройство дл съема деталей, преимущественно полупроводниковых кристаллов с эластичной липкой пленки, содержа- ватель, отличающеес тем. что, с целью повышени надежности работы , выталкиватель закреплен на дне вакуумной камеры.
- 2. Устройство по п. 1, о т л и ч а е е с тем, чтс вакуумна каме
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813285853A SU983837A1 (ru) | 1981-05-13 | 1981-05-13 | Устройство дл съема деталей |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813285853A SU983837A1 (ru) | 1981-05-13 | 1981-05-13 | Устройство дл съема деталей |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU983837A1 true SU983837A1 (ru) | 1982-12-23 |
Family
ID=20957143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU813285853A SU983837A1 (ru) | 1981-05-13 | 1981-05-13 | Устройство дл съема деталей |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU983837A1 (ru) |
-
1981
- 1981-05-13 SU SU813285853A patent/SU983837A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2410344A3 (en) | Method for manufacturing an accelerometer | |
JP2003025174A (ja) | 基板吸着方法および基板吸着機構 | |
SU983837A1 (ru) | Устройство дл съема деталей | |
CN110651362B (zh) | 拾取装置以及拾取方法 | |
SU562884A1 (ru) | Устройство дл подачи мелких деталей | |
JP2003142572A (ja) | ウエハ搬送用ハンド | |
TWI524155B (zh) | Exposure machine exposure platform | |
JPH09321097A (ja) | バンプ付きワークの押圧装置 | |
JPH11277422A (ja) | ウェーハの接着装置 | |
TWM487460U (zh) | 曝光機之曝光平台 | |
JP3043056B2 (ja) | プリント基板穴明機における基板押え装置 | |
JPH05152418A (ja) | チツプピツクアツプ装置 | |
CN220031448U (zh) | 一种刮胶加工用点胶压合治具 | |
JPS6411744A (en) | Workpiece holding device | |
CN218631982U (zh) | 基于芯片加工的芯片拾取装置 | |
JPH098101A (ja) | ダイエジェクタ装置 | |
CN217691113U (zh) | 具有可动吸附模块的键合设备 | |
CN214078905U (zh) | 一种燃油泵自动铆点收口机构 | |
JP2619443B2 (ja) | ペレットのピックアップ方法 | |
SU1068256A1 (ru) | Вакуумное зажимное устройство | |
CN209747459U (zh) | 贴膜装置 | |
CN211804399U (zh) | 一种真空腔体激光焊接装置 | |
CN219427154U (zh) | 一种打孔冲压一体设备 | |
CN219575571U (zh) | 一种氧化铝陶瓷基片冲压抹灰一体机 | |
KR200255041Y1 (ko) | 리드프레임 공급장치 |