CN218631982U - 基于芯片加工的芯片拾取装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基于芯片加工的芯片拾取装置，涉及芯片加工技术领域，包括真空泵，真空泵的外表面固定连接有一组安装板，每个安装板的上表面均开设有安装孔，真空泵的输入端固定连通有吸管一，吸管一的底端固定连通有软管。本实用新型通过真空泵、安装板、安装孔、吸管一、软管、吸管二、吸嘴、安装槽、密封圈以及固定组件之间的配合设置，真空泵工作能够将吸管一内部的空气抽出，使得吸管二和吸嘴内部的空气也被抽出，能够使得吸嘴对芯片进行吸附，能够将芯片吸起，方便对芯片进行拾取，利用固定组件，能够方便对吸嘴进行拆卸，从而对吸嘴进行更换时方便快捷，能够保证该拾取装置的使用效果。

Description

基于芯片加工的芯片拾取装置

技术领域

本实用新型涉及芯片加工技术领域，具体是一种基于芯片加工的芯片拾取装置。

背景技术

芯片是半导体元件产品的统称，芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，在芯片的加工过程中，需要使用固晶机上的拾取装置对晶圆进行拾取，将晶圆拾取到铜框架的表面，以方便芯片后续的加工。

现有技术中对晶圆进行拾取时，大多是通过吸嘴向下移动与芯片接触，通过吸嘴将芯片吸起进行拾取，但是，吸嘴在使用一段时间后，会发生磨损，需要对损坏的吸嘴进行更换，现有的芯片拾取装置不方便对吸嘴进行拆卸，导致对吸嘴进行更换时较为繁琐，影响芯片拾取装置的使用效果。为此，我们提供了基于芯片加工的芯片拾取装置解决以上问题。

实用新型内容

解决的技术问题

本实用新型的目的就是为了弥补现有技术的不足，提供了一种基于芯片加工的芯片拾取装置。

技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基于芯片加工的芯片拾取装置，包括真空泵，所述真空泵的外表面固定连接有一组安装板，每个所述安装板的上表面均开设有安装孔，所述真空泵的输入端固定连通有吸管一，所述吸管一的底端固定连通有软管，所述软管的底端固定连通有吸管二，所述吸管二的下方设置有吸嘴，所述吸嘴的上表面开设有安装槽，所述安装槽的内壁安装有密封圈，所述吸管二的底端与密封圈的上表面相接触，所述吸管二的外表面安装有两个固定组件，所述吸管一和吸管二之间安装有两个缓冲组件。

上述的，所述固定组件包括固定连接于所述吸管二外表面的连接板，所述连接板的上表面固定镶嵌有螺纹套管，所述螺纹套管的内壁螺纹连接有螺纹杆。

上述的，所述螺纹杆的顶端安装有转动块，所述螺纹杆的底端转动连接有固定板，且固定板与吸嘴的外表面相接触。

上述的，所述连接板的外表面固定连接有两个滑筒，两个所述滑筒的内壁均滑动连接有滑杆，且滑杆的底端与固定板的上表面相连接。

上述的，所述缓冲组件包括固定连接于所述吸管一外表面的支撑板一和固定连接于所述吸管二外表面的支撑板二，所述支撑板一的底面安装有导向筒，所述导向筒的内壁滑动连接有导向杆，所述导向杆的底端与支撑板二的上表面相连接。

上述的，所述导向筒的外表面套设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的两端分别与支撑板一和支撑板二相互靠近的一侧面相连接。

有益效果：

与现有技术相比，该基于芯片加工的芯片拾取装置具备如下有益效果：

一、本实用新型通过真空泵、安装板、安装孔、吸管一、软管、吸管二、吸嘴、安装槽、密封圈以及固定组件之间的配合设置，真空泵工作能够将吸管一内部的空气抽出，使得吸管二和吸嘴内部的空气也被抽出，能够使得吸嘴对芯片进行吸附，能够将芯片吸起，方便对芯片进行拾取，利用固定组件，能够方便对吸嘴进行拆卸，从而对吸嘴进行更换时方便快捷，能够保证该拾取装置的使用效果。

二、本实用新型通过吸嘴、连接板、螺纹套管、螺纹杆、转动块、固定板、滑筒以及滑杆之间的配合设置，拧动转动块能够带动螺纹杆转动，利用螺纹杆和螺纹套管之间的配合设置，螺纹杆转动能够使得固定板向下移动，解除固定板对吸嘴的限位，方便对吸嘴进行拆卸，将更换好的吸嘴放置在吸管二的底端，反向转动转动块能够带动螺纹杆反向转动，从而能够使得固定板向上移动，能够对吸嘴进行固定，从而能够方便对吸嘴进行更换。

本实用新型的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本实用新型的实践中得到教导。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型吸嘴的立体结构示意图；

图3为本实用新型固定组件的立体结构示意图；

图4为本实用新型缓冲组件的立体结构示意图。

图中：1、真空泵；2、安装板；3、安装孔；4、吸管一；5、软管；6、吸管二；7、吸嘴；8、安装槽；9、密封圈；10、固定组件；101、连接板；102、螺纹套管；103、螺纹杆；104、转动块；105、固定板；106、滑筒；107、滑杆；11、缓冲组件；111、支撑板一；112、支撑板二；113、导向筒；114、导向杆；115、缓冲弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-4所示，本实用新型提供一种技术方案：一种基于芯片加工的芯片拾取装置，包括真空泵1，真空泵1的外表面固定连接有一组安装板2，每个安装板2的上表面均开设有安装孔3，将固定螺栓穿过安装孔3的内部，使得固定螺栓与固晶机上的驱动机构相连接，能够方便对该装置进行固定。

真空泵1的输入端固定连通有吸管一4，吸管一4的底端固定连通有软管5，设置的软管5，使得吸管一4和吸管二6之间为软连接，能够避免驱动机构的力直接对吸管二6进行施加，软管5的底端固定连通有吸管二6，吸管二6的下方设置有吸嘴7，真空泵1工作能够将吸管一4内部的空气抽出，使得吸管二6和吸嘴7内部的空气也被抽出，能够使得吸嘴7对芯片进行吸附，能够将芯片吸起，方便对芯片进行拾取。

吸嘴7的上表面开设有安装槽8，在对吸嘴7进行安装时，使得吸管二6的底端位于安装槽8的内部，能够方便对吸嘴7进行安装，安装槽8的内壁安装有密封圈9，吸管二6的底端与密封圈9的上表面相接触，设置的密封圈9，能够保证吸管二6和吸嘴7之间的连接密封性，能够保证吸嘴7对芯片的拾取效果。

吸管二6的外表面安装有两个相对称的固定组件10，固定组件10包括固定连接于吸管二6外表面的连接板101，连接板101的上表面固定镶嵌有螺纹套管102，螺纹套管102的内壁螺纹连接有螺纹杆103，螺纹杆103的顶端安装有转动块104，螺纹杆103的底端转动连接有固定板105，且固定板105与吸嘴7的外表面相接触。

转动块104的外表面开设有一圈防滑纹，在固定板105的外表面开设有与吸嘴7相适配的定位槽，使得定位槽的内壁与吸嘴7的外表面相接触，拧动转动块104能够带动螺纹杆103转动，利用螺纹套管102和螺纹杆103之间的螺纹配合，螺纹杆103转动能够带动固定板105向上移动，使得固定板105对吸嘴7提供向上的力，能够方便对吸嘴7进行固定。

在连接板101的外表面固定连接有两个相对称的滑筒106，两个滑筒106的内壁均滑动连接有滑杆107，且滑杆107的底端与固定板105的上表面相连接。

当固定板105移动时，能够使得滑杆107在滑筒106的内壁滑动，能够对固定板105进行导向和限位，能够保证固定板105在移动时的稳定性。

吸管一4和吸管二6之间安装有两个相对称的缓冲组件11，缓冲组件11包括固定连接于吸管一4外表面的支撑板一111和固定连接于吸管二6外表面的支撑板二112，支撑板一111的底面安装有导向筒113，导向筒113的内壁滑动连接有导向杆114，导向杆114的底端与支撑板二112的上表面相连接，导向筒113的外表面套设有缓冲弹簧115，缓冲弹簧115的两端分别与支撑板一111和支撑板二112相互靠近的一侧面相连接，缓冲弹簧115与导向筒113不接触。

当驱动机构带动该装置向下移动时，吸嘴7首先与芯片相接触，此时吸管一4继续向下移动，能够使得导向杆114在导向筒113的内壁滑动，能够对缓冲弹簧115进行压缩，设置的缓冲弹簧115，能够对芯片产生的压力进行缓冲，避免吸嘴7对芯片造成损害，从而能够对芯片和吸嘴7进行防护。

工作原理：该装置在使用时，将该装置安装在固晶机的驱动机构上进行使用，驱动机构能够带动该装置进行移动，对芯片进行拾取，将吸嘴7移动至芯片的上方，真空泵1工作能够将吸管一4内部的空气抽出，使得吸管二6和吸嘴7内部的空气也被抽出，能够使得吸嘴7对芯片进行吸附，能够将芯片吸起，当吸嘴7发生损坏需要对吸嘴7进行更换时，首先拧动转动块104，转动块104能够带动螺纹杆103转动，利用螺纹杆103和螺纹套管102之间的配合设置，螺纹杆103转动能够使得固定板105在滑筒106和滑杆107的导向下移动，能够解除固定板105对吸嘴7的限位，能够方便对吸嘴7进行拆卸，将更换好的吸嘴7放置在吸管二6的底端，反向转动转动块104能够带动螺纹杆103反向转动，从而能够使得固定板105向上移动，能够对吸嘴7进行固定，从而能够方便对吸嘴7进行更换，当该装置在工作时，吸嘴7向下移动与芯片接触时，对芯片产生一定的压力，此时吸管一4继续向下移动，能够使得导向杆114在导向筒113的内壁滑动，能够对缓冲弹簧115进行压缩，设置的缓冲弹簧115，能够对芯片产生的压力进行缓冲，从而能够对芯片和吸嘴7进行防护。

需要说明的是，在本文中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“固设”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，“安装”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；“相连”可以是机械连接，也可以是电连接；“连接”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种基于芯片加工的芯片拾取装置，包括真空泵(1)，其特征在于：所述真空泵(1)的外表面固定连接有一组安装板(2)，每个所述安装板(2)的上表面均开设有安装孔(3)，所述真空泵(1)的输入端固定连通有吸管一(4)，所述吸管一(4)的底端固定连通有软管(5)，所述软管(5)的底端固定连通有吸管二(6)，所述吸管二(6)的下方设置有吸嘴(7)，所述吸嘴(7)的上表面开设有安装槽(8)，所述安装槽(8)的内壁安装有密封圈(9)，所述吸管二(6)的底端与密封圈(9)的上表面相接触，所述吸管二(6)的外表面安装有两个固定组件(10)，所述吸管一(4)和吸管二(6)之间安装有两个缓冲组件(11)。

2.根据权利要求1所述的一种基于芯片加工的芯片拾取装置，其特征在于：所述固定组件(10)包括固定连接于所述吸管二(6)外表面的连接板(101)，所述连接板(101)的上表面固定镶嵌有螺纹套管(102)，所述螺纹套管(102)的内壁螺纹连接有螺纹杆(103)。

3.根据权利要求2所述的一种基于芯片加工的芯片拾取装置，其特征在于：所述螺纹杆(103)的顶端安装有转动块(104)，所述螺纹杆(103)的底端转动连接有固定板(105)，且固定板(105)与吸嘴(7)的外表面相接触。

4.根据权利要求3所述的一种基于芯片加工的芯片拾取装置，其特征在于：所述连接板(101)的外表面固定连接有两个滑筒(106)，两个所述滑筒(106)的内壁均滑动连接有滑杆(107)，且滑杆(107)的底端与固定板(105)的上表面相连接。

5.根据权利要求1所述的一种基于芯片加工的芯片拾取装置，其特征在于：所述缓冲组件(11)包括固定连接于所述吸管一(4)外表面的支撑板一(111)和固定连接于所述吸管二(6)外表面的支撑板二(112)，所述支撑板一(111)的底面安装有导向筒(113)，所述导向筒(113)的内壁滑动连接有导向杆(114)，所述导向杆(114)的底端与支撑板二(112)的上表面相连接。

6.根据权利要求5所述的一种基于芯片加工的芯片拾取装置，其特征在于：所述导向筒(113)的外表面套设有缓冲弹簧(115)，所述缓冲弹簧(115)的两端分别与支撑板一(111)和支撑板二(112)相互靠近的一侧面相连接。

Images