CN216505207U - 吸取装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及的是半导体晶圆芯片制造的技术领域，具体是一种吸取装置，上述吸取装置包括：抽气组件，所述抽气组件设置有第一腔体；多个连接杆，每个所述连接杆设置有第二腔体，每个所述连接杆通过所述第二腔体连通于所述第一腔体；多个吸盘，每个所述吸盘部分套设于所述连接杆。当吸取装置吸取晶圆片时，吸盘抵接于晶圆片无效区域，通过抽气组件抽离第一腔体和第二腔体的空气，形成真空环境，使吸盘和晶圆片之间产生负压，使吸盘稳固吸住晶圆片，移动吸取装置即可移动晶圆片。采用多个小吸盘吸取晶圆片，避开晶圆片有效区域，避免对晶圆片造成污染，提高良品率，同时提高了对晶圆片的吸附力，提高可靠性。

Description

吸取装置

技术领域

本实用新型涉及的是半导体晶圆芯片制造的技术领域，具体是一种吸取装置。

背景技术

在半导体晶圆芯片的制作的过程中，由于晶圆片涉及的工艺很多，在加工的过程中，经常需要将晶圆片在各种不同的夹具之间来回转移，目前，主要是通过吸笔来转移晶圆片，然而吸笔的吸附头面积较大，容易接触到晶圆片的有效区域，会对有效区域形成污染，从而降低产品的良品率。

因此，有必要提出一种吸取装置，以至少部分地解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容

本实用新型实施例旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型实施例的目的在于提供一种吸取装置。

为了实现上述目的，本实用新型实施例的技术方案提供了一种吸取装置，包括：

抽气组件，所述抽气组件设置有第一腔体；

多个连接杆，每个所述连接杆设置有第二腔体，每个所述连接杆通过所述第二腔体连通于所述第一腔体；

多个吸盘，每个所述吸盘部分套设于所述连接杆。

另外，本实用新型实施例提供的上述技术方案中的吸取装置还可以具有如下附加技术特征：

在本实用新型实施例的一个技术方案中，所述抽气组件包括：

抽气泵，连接于所述第一腔体；

阀门，设置在所述第一腔体中，用于控制所述第一腔体的打开或关闭。

在本实用新型实施例的一个技术方案中，所述吸取装置还包括：

转盘，所述转盘转动连接于所述抽气组件靠近所述连接杆的一端，所述转盘设置有多个连接孔，所述连接杆通过所述连接孔连接于所述转盘。

在本实用新型实施例的一个技术方案中，所述转盘包括：

塞体，当所述连接杆通过所述连接孔连接于所述转盘的情况下，通过所述塞体封堵剩余的所述连接孔。

在本实用新型实施例的一个技术方案中，所述连接杆用于连接所述转盘的一端设置有外螺纹，所述连接孔设置有内螺纹，所述连接杆和所述转盘螺纹连接。

在本实用新型实施例的一个技术方案中，所述连接杆用于连接吸盘的一端为空心伸缩杆。

在本实用新型实施例的一个技术方案中，所述吸取装置还包括：

止动件，设置在所述转盘和所述抽气组件的连接处。

在本实用新型实施例的一个技术方案中，所述吸取装置还包括：

负压传感器，连接于所述第一腔体，用于检测所述第一腔体内的负压。

在本实用新型实施例的一个技术方案中，所述吸盘选用硅胶吸盘。

相比于现有技术，本实用新型至少包括以下有益效果：

本方案中的吸取装置设置有抽气组件、多个连接杆和多个吸盘，其中，每个连接杆设置有第二腔体，抽气组件设置有第一腔体，每个连接杆通过第二腔体连通于第一腔体的方式连接于抽气组件，并且每个吸盘部分套设于连接杆，如此设置，当吸取装置吸取晶圆片时，调整吸盘的位置，使得吸盘抵接于晶圆片的无效区域，通过抽气组件抽离第一腔体和第二腔体的空气，形成真空环境，以此使得吸盘和晶圆片之间的空间产生负压，以此使得吸盘能够稳固的吸住晶圆片，移动吸取装置即可移动晶圆片。采用多个小吸盘共同吸取晶圆片，避开了晶圆片的有效区域，避免对晶圆片造成污染，提高良品率，同时提高了对晶圆片的吸附力，可根据晶圆片的实际尺寸调节吸盘的数量，更具有针对性和可靠性。

本实用新型所述的吸取装置，本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了根据本申请实施例提供的一种吸取装置的结构示意图；

图2示出了图1中的吸取装置的另一个角度的结构示意图。

其中，图1和图2中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

100吸取装置，110抽气组件，111第一腔体，112真空开关，120连接杆，121第二腔体，130吸盘，140转盘，141连接孔。

具体实施方式

为了更好的理解上述技术方案，下面通过附图以及具体实施例对本申请实施例的技术方案做详细的说明，应当理解本申请实施例以及实施例中的具体特征是对本申请实施例技术方案的详细的说明，而不是对本申请技术方案的限定，在不冲突的情况下，本申请实施例以及实施例中的技术特征可以相互组合。

如图1和图2所示，根据本申请实施例提出了一种吸取装置100，包括：抽气组件110，上述抽气组件110设置有第一腔体111；多个连接杆120，每个上述连接杆120设置有第二腔体121，每个上述连接杆120通过上述第二腔体121连通于上述第一腔体111；多个吸盘130，每个上述吸盘130部分套设于上述连接杆120。

具体地，吸取装置100设置有抽气组件110、多个连接杆120和多个吸盘130，其中，每个连接杆120设置有第二腔体121，抽气组件110设置有第一腔体111，每个连接杆120通过第二腔体121连通于第一腔体111的方式连接于抽气组件110，并且每个吸盘130部分套设于连接杆120，如此设置，当吸取装置100吸取晶圆片时，调整吸盘130的位置，使得吸盘130抵接于晶圆片的无效区域，通过抽气组件110抽离第一腔体111和第二腔体121的空气，形成真空环境，以此使得吸盘130和晶圆片之间的空间产生负压，以此使得吸盘130能够稳固的吸住晶圆片，移动吸取装置100即可移动晶圆片。采用多个小吸盘130共同吸取晶圆片，避开了晶圆片的有效区域，避免对晶圆片造成污染，提高良品率，同时提高了对晶圆片的吸附力，可根据晶圆片的实际尺寸调节吸盘130的数量，更具有针对性和可靠性。

上述抽气组件110包括：抽气泵，连接于上述第一腔体111；阀门，设置在上述第一腔体111中，用于控制上述第一腔体111的打开或关闭。

具体地，抽气组件110设置有抽气泵和阀门，其中，抽气泵连接于第一腔体111，用于抽取第一腔体111以及第二腔体121内的空气以形成真空环境，进而使得吸盘130和晶圆片之间的空间产生负压，以此使得吸盘130能够稳固的吸住晶圆片。并且在第一腔体111内设置有阀门，具体地，阀门位于第一腔体111内靠近抽气泵处，当开启阀门时，抽气泵开始抽取第一腔体111内的空气，当关闭阀门时，抽气泵无法抽取第一腔体111内的空气，当将晶圆片移动到所需位置时，停止抽气泵并再次打开阀门，使得空气进入第一腔体111及第二腔体121内，使得吸盘130和晶圆片之间的负压减少，吸盘130和晶圆片分离。

可以理解的是，可在抽气组件110的外侧设置真空开关112，真空开关112连接于阀门，通过控制真空开关112的开闭来控制第一腔体111内的阀门的开闭，更便于控制真空环境。

可以理解的是，抽气泵和第一腔体111之间设置有连接软管，以此来增加操作灵活性，工作人员可手持抽气组件110来吸取晶圆片。为了提高操作的便携性，抽气组件110可选用塑料材质，以减轻重量，避免工作人员工作时容易产生疲劳的情况发生。

如图1和图2所示，上述吸取装置100还包括：转盘140，上述转盘140转动连接于上述抽气组件110靠近上述连接杆120的一端，上述转盘140设置有多个连接孔141，上述连接杆120通过上述连接孔141连接于上述转盘140。

具体地，吸取装置100还设置有转盘140，转盘140可转动连接于抽气组件110靠近连接杆120的一端，转盘140的侧面设置有多个连接孔141，连接杆120可通过连接孔141连接于转盘140。如此设置，可通过转动转盘140调整连接杆120的位置，以此来简便快速地避开晶圆片的有效预区域来使得吸盘130吸取晶圆片，提高良品率。

示例性的，转盘140设置有轴承，套设于抽气组件110靠近上述连接杆120的一端，转盘140通过轴承转动连接于抽气组件110，减少转盘140和抽气组件110之间的摩擦，减少设备磨损。

上述转盘140包括：塞体，当上述连接杆120通过上述连接孔141连接于上述转盘140的情况下，通过上述塞体封堵剩余的上述连接孔141。

具体地，转盘140设置有塞体，塞体用于封堵连接孔141。当根据晶圆片的尺寸和重量选择吸盘130的数量和吸取的位置后，将对应位置的连接杆120的一端连接于转盘140，另一端连接于吸盘130，转动转盘140，精确调整吸盘130的位置后，通过塞体将剩余的连接孔141封堵。避免抽气组件110抽取空气造成连接孔141处形成负压，会吸入工作环境中的杂质进入抽气组件110中，影响抽气组件110正常工作的情况发生，进一步地提高可靠性和稳定性。

上述连接杆120用于连接上述转盘140的一端设置有外螺纹，上述连接孔141设置有内螺纹，上述连接杆120和上述转盘140螺纹连接。

具体地，在连接杆120用于连接转盘140的一端设置外螺纹，在连接孔141处设置内螺纹，外螺纹和内螺纹相配合，通过螺纹连接的形式将连接杆120和转盘140连接在一起，便于安装和拆卸，并且连接牢固，减少漏气的风险，提高可靠性和稳定性。

可以理解的是，当连接孔141设置有内螺纹时，塞体设置有外螺纹，外螺纹和内螺纹相配合，塞体通过螺纹连接的形式堵住连接孔141，减少漏气的风险。

如图1所示，上述连接杆120为弯折结构，上述连接杆120用于连接吸盘130的一端垂直于上述连接杆120用于连接转盘140的一端。

具体地，连接杆120设置为弯折结构，其中，弯折处位于连接杆120靠近吸盘130的一端，使得连接杆120用于连接吸盘130的一端垂直于上述连接杆120用于连接转盘140的一端。如此设置，使得吸盘130垂直于抽气组件110。考虑到晶圆片的加工环境，改变连接杆120的角度可以避免吸取晶圆片时和其他设备发生干涉的情况发生，保证吸取工作能够顺利进行。

可以理解的是，每个连接杆120的尺寸以及弯折位置和角度应相同，以此保证吸盘130的高度位置一致，使得多个吸盘130能够同时进行吸取作业，避免出现多个吸盘130高度不同时，只有弯折长度最长的连接杆120连接的吸盘130能吸取晶圆片的情况发生。保证了吸力足够稳定地吸取晶圆片，提高稳定性和可靠性。

示例性的，连接杆120的材质选用不锈钢材质，保证弯折后的连接杆120也具有良好的结构强度。

上述连接杆120用于连接吸盘130的一端为空心伸缩杆。

可以理解的是，连接杆120弯折处可选用空心的伸缩杆来连接吸盘130，即连接杆120垂直于抽气组件110的部分为空心伸缩杆，如此设置，便于根据晶圆片的位置和每个连接杆120的位置来调整连接杆120的长度，以保证每个吸盘130均处于同一高度，并且工作人员能够方便操作吸取装置100。

上述吸取装置100还包括：止动件，设置在上述转盘140和上述抽气组件110的连接处。

具体地，吸取装置100还设置有止动件，止动件位于转盘140和抽气组件110的连接处，当转动转盘140调整吸盘130的位置后，通过止动件来停止转盘140的转动，以确定吸盘130的位置不再改变，并且保证吸盘130吸取晶圆片后，不会带动晶圆片转动，避免转动过程中发生挂碰等情况，提高良品率。

示例性的，止动件为卡片，当需要止动时，卡片卡接于转盘140和抽气组件110的连接处。

上述吸取装置100还包括：负压传感器，连接于上述第一腔体111，用于检测上述第一腔体111内的负压。

具体地，吸取装置100还设置有负压传感器，负压传感器连接于第一腔体111，当抽气泵抽取第一腔体111内的空气时，负压传感器可检测出第一腔体111内的负压值，当检测到负压低于第一预设值时，说明第一腔体111内的空气过多，还需要继续抽取空气，提高负压，以保证吸盘130能够稳固的吸取晶圆片；当检测到负压高于第二预设值时，说明抽气泵功率过高，导致第一腔体111内负压过大，容易导致吸盘130对晶圆片的吸力过大，存在破坏晶圆片的风险，应减少抽气泵的功率。通过负压传感器实时检测第一腔体111内的负压，保证了吸取装置100能够稳定可靠的吸取晶圆片。

上述吸盘130选用硅胶吸盘130。

具体地，吸盘130选用软硅胶吸盘，保证吸力的同时，减少对晶圆片的破坏，提高良品率。

在本实用新型的描述中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本实用新型中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种吸取装置，其特征在于，包括：

抽气组件，所述抽气组件设置有第一腔体；

多个连接杆，每个所述连接杆设置有第二腔体，每个所述连接杆通过所述第二腔体连通于所述第一腔体；

多个吸盘，每个所述吸盘部分套设于所述连接杆。

2.根据权利要求1所述的吸取装置，其特征在于，所述抽气组件包括：

抽气泵，连接于所述第一腔体；

阀门，设置在所述第一腔体中，用于控制所述第一腔体的打开或关闭。

3.根据权利要求1所述的吸取装置，其特征在于，还包括：

转盘，所述转盘转动连接于所述抽气组件靠近所述连接杆的一端，所述转盘设置有多个连接孔，所述连接杆通过所述连接孔连接于所述转盘。

4.根据权利要求3所述的吸取装置，其特征在于，所述转盘包括：

塞体，当所述连接杆通过所述连接孔连接于所述转盘的情况下，通过所述塞体封堵剩余的所述连接孔。

5.根据权利要求3所述的吸取装置，其特征在于，

所述连接杆用于连接所述转盘的一端设置有外螺纹，所述连接孔设置有内螺纹，所述连接杆和所述转盘螺纹连接。

6.根据权利要求3所述的吸取装置，其特征在于，

所述连接杆为弯折结构，所述连接杆用于连接吸盘的一端垂直于所述连接杆用于连接转盘的一端。

7.根据权利要求6所述的吸取装置，其特征在于，

所述连接杆用于连接吸盘的一端为空心伸缩杆。

8.根据权利要求3所述的吸取装置，其特征在于，还包括：

止动件，设置在所述转盘和所述抽气组件的连接处。

9.根据权利要求3所述的吸取装置，其特征在于，还包括：

负压传感器，连接于所述第一腔体，用于检测所述第一腔体内的负压。

10.根据权利要求1所述的吸取装置，其特征在于，

所述吸盘选用硅胶吸盘。

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