SU370463A1 - Способ термодинамического контроля - Google Patents
Способ термодинамического контроляInfo
- Publication number
- SU370463A1 SU370463A1 SU1647887A SU1647887A SU370463A1 SU 370463 A1 SU370463 A1 SU 370463A1 SU 1647887 A SU1647887 A SU 1647887A SU 1647887 A SU1647887 A SU 1647887A SU 370463 A1 SU370463 A1 SU 370463A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- thickness
- substrate
- coating
- control
- thermodynamic control
- Prior art date
Links
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к нераарушающему Контролю толщины слоистых материалов и может быть использовано дл контрол толщины пленок в (процессе напылени на подложки.
Известен способ термодинамического контрол толщины покрыти , заключающийс в том, что покрытие нагревают и регист рируют параметры термодиффузни. Причем, примен ют нагреватель, колтажтирующий в определенной зоне поюрыти , и термодатчики , расположенные в этой зоне.
Однако известный способ непригоден изза недостаточной точности дл контрол толщины напыл емого пощыт , например, при термовакуумном напылении пленок.
Целью изобретени вл етс повышение точности контрол покрыти в процессе напылени на подложку.
Дл этого по предложенному способу регистрируют градиент тем|ператур между серединой и кра ми ПОДЛОЖ1КИ Посредством термодатчиков и по нему суд т о толщине напыл емого покрыти .
На чертеже показана схема .реализации предложенного способа, гДе прин ты следующие обозначени : 1 - держатели подложки 2, на которую воздействует поток напыл емого материала 3 и 4 - термодатчики посредине и два других - по кра м (на чертеже не показаны) подложки.
Квантованный обтюратором или заслонкой поток напыл емого материала воздействует на подложку, котора одновременно нагреваетс потоком тепла от испарител и от осаждаемого материала. В установивщемс термодина.мическом процессе градиент температур между серединой и кра ми подложки определ етс толщиной напыл емой пленки. По этому градиенту, регистрируе.мому посредством термодатчиков, суд т о толщине покрыти (В процессе напылени . Эффективность способа возрастает с увеличением отношени
5 толщины плеНКи и подложки.
Предмет изобретени
Способ термодинамического контрол тол0 щины покрыти , заключающийс в том, что покрытие нагревают и регистрируют параметры термодиффузии, отличающийс тем, что, с целью повышени точности контрол по5 крыти в процессе наоылени на подложк}, регистрируют градиент температур между серединой и кра ми подложки посредством термодатчиков и по нему суд т о толщине напыл емого .покрыти .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1647887A SU370463A1 (ru) | 1971-04-21 | 1971-04-21 | Способ термодинамического контроля |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1647887A SU370463A1 (ru) | 1971-04-21 | 1971-04-21 | Способ термодинамического контроля |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU370463A1 true SU370463A1 (ru) | 1973-02-15 |
Family
ID=20472736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1647887A SU370463A1 (ru) | 1971-04-21 | 1971-04-21 | Способ термодинамического контроля |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU370463A1 (ru) |
-
1971
- 1971-04-21 SU SU1647887A patent/SU370463A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS57134558A (en) | Production of organic vapor deposited thin film | |
| JPS5210869A (en) | Thin film forming method | |
| JPS5772318A (en) | Vapor growth method | |
| ES8207491A1 (es) | Procedimiento para formar un revestimiento de metal o de compuesto metalico sobre una cinta de vidrio. | |
| SU370463A1 (ru) | Способ термодинамического контроля | |
| FR2083740A5 (en) | Laser applied surface film | |
| SE8402530L (sv) | Sett for framstellning av belagt plant glas | |
| US2363555A (en) | Method of producing selenium rectifiers | |
| GB1529418A (en) | Coating substrates | |
| JPS57153445A (en) | Sos semiconductor substrate | |
| JPS56154076A (en) | Thermal head | |
| JPS5728327A (en) | Aluminium diffusion | |
| JPS56130648A (en) | Production of ion sensor | |
| JPS55121649A (en) | Cvd device | |
| FR2024463A1 (en) | Vapour deposition of metallic coating on - metallic surface | |
| SU434462A1 (ru) | Способ изготовления магнитной пленки для термомагнитной записи | |
| JPH0649901B2 (ja) | けい素鋼板の磁気特性改善方法 | |
| GB966664A (en) | Coating process | |
| US4262630A (en) | Method of applying layers of source substance over recipient and device for realizing same | |
| JPS5492598A (en) | Production of cdse film | |
| JPS54154434A (en) | Wet-on-wet coating of coating material | |
| JPS579870A (en) | Formation of vapor-deposited film consisting of two or more elements | |
| GB1491615A (en) | Silver halide vapour deposition method and apparatus | |
| FR3115632B1 (fr) | Procédé de fabrication d’une couche de pérovskite à multi-cations | |
| JPH03202468A (ja) | 膜形成方法 |