SU1215004A1 - Устройство дл измерени перемещений - Google Patents
Устройство дл измерени перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU1215004A1 SU1215004A1 SU843757885A SU3757885A SU1215004A1 SU 1215004 A1 SU1215004 A1 SU 1215004A1 SU 843757885 A SU843757885 A SU 843757885A SU 3757885 A SU3757885 A SU 3757885A SU 1215004 A1 SU1215004 A1 SU 1215004A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- unit
- lens
- light
- photodetector
- drive
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол профил криволинейных поверхностей. Целью изобретени вл етс повьшение точности измерени и расширение функциональных возможностей за счет измерени углов поворота объекта. Формируетс с помощью источника 2 света, объектива 3 и цилиндрической линзы 4 выт нутое изображение световой марки, которое преобразуетс фотоприемником 10 в электрический сигнал. При повороте объекта происходит поворот световой ,v 0 / /yy/vv /V / v A/ /v сд о о 4 9ив. 1
Description
1215004
марки относительно фотоприемника 10. На выходе усилительного блока 22 формируетс сигнал управлени , поворачивающий цилиндрическую линзу 4 в поло те во о
I
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени линейных и угловых перемещений объектов, имекмцих отражающую поверхность, например профил криволинейных поверхностей лопаток турбины.
Целью изобретени вл етс повышение точности измерений и расширение функциональных возможностей за счет измерени угла поворота объекта
На фиг.1 представлена функциональна схема устройства; на фиг.2 - вид А на фиг.1; на фиг.З - вид Б на фиг.1 (положение изображени световой марки относительно фотоприемника ) . 1
Устройство содержит блок 1 формировани изображени световой марки., состо щий из источника 2 (модулиро- ванног о) света, объектива 3, цилиндрической линзы 4, установленной в оппаве 5, кинематически св занной с дополнительным приводом 6; датчик 7 поворота; фотоприемный блок 8, состо щий из фокусирующего объектива 9, четырехквадрантного фотоприемника 10; блок 11 нахождени разностных сигналов, состо щий из сумматоров 12 - 15, входы которых подключены к четырехквадрантному фотоприемнику 10, дифференциальных усилителей 16, 17, входы которых подключены к выходам сумматоров 12 - 15; усилительный блок 18, состо щий из последовательно соединенных фазового детектора 19, модул тора 20, усилител 21 мощности; информационный вход фазового детектора 19 подключен к выходу дифферерщиального усилител 16; усилительный блок 22, состо щий из последовательно соединенных фазового детектора 23, модул тора 24, усилител 25 мощности; информационный вход фазового детектора 23 подключен к выходу дифференложение при котором сигнал с усилительного блока 22 равен нулю. По повороту цилиндрической линзы 4 суд т о повороте объекта 29. 2 ил.
циального усилител 17-; генератор 26, выход которого соединен с управ- л 1ющими входами фазовых детекторов 19, 23 и управл ющим входом источни- ка 2 модулированного света; источник 27 переменного напр жени ; привод 28 кинематически св зан с блоком .1 формировани изображени световой марки и фотоприемным блоком 8; информационные входы привода 28 и дополнительного привода 6 подключены соответственно к вьгходам усилителей 21, 25 мощности; выход источника 27 переменного напр жени со- единен с управл ющими входами модул торов 20, 24, управл ющими входами привода 28 и дополнительного привода 6.
Измер ют линейное перемещение и угол поворота объекта 29.
Устройство работает следующим образом.
Параллельные модулированные по интенсивности пучки света, форми- руемые источником 2 света, подключенным к генератору 26, преобра- зуютс объективом 3 и цилиндрической линзой 4 в изображение выт нутой световой марки, проецируемой на от- ражающую поверхность объекта 29.
Изображение выт нутой световой марки переноситс фокусирующим объективом 9 в плоскость установки четырехквадрантного фотоприемни- ка 10.
Оптические оси объектива 3, цилиндрической линзы 4 фокусирующего объектива 9 расположены в одной плоскости.
Электрические сигналы, снимаемые с четырехквадрантного фотоприемника 10, поступают на входы сумматоров 12 - 15, вход щих в блок 11 нахождени разностных сигналов.
Электрические сигналы, снимаемые с выходов сумматоров 12, 13 и сумма31
торов 14, 15, поступают соответственно на входы дифференциальных усилителей 16, 17, выходные сигналы с которых поступают на информационные входы фазовых детекторов 19, 23, вхо- ДЯ1ЦИХ в усилительные блоки 18, 22, на опорные входы которых поступают сигналы с генератора 26.
Посто нные напр жени , формируемые на выходах фазовых детекторов 19, 23, преобразуютс в переменные напр жени модул торами 20, 24, управл емыми источником 27 переменного напр жени , усиливаютс по мощности усилител ми 21, 25 мощности и поступают на привод 28 и дополнительный привод 6, на которые также подаютс опорные сигналы от источника 27 переменного напр жени .
Привод 6 осуществл ет поворот оправы 5, в которой закреплена цилиндрическа линза 4. Контроль угла поворота оправы 5 осуществл етс датчиком 7 поворота.
Привод 28 осуществл ет одновременное продольное перемещение блока 1 формировани изображени световой марки и фотоприемного блока 3.
В исходном положении объекта 29 изображение выт нутой световой марки расположено симметрично относительно линий раздела фоточувствительных площадок раздела четырехквад- рантного фотоприемника 10 (фиг.2).
При этом сигналы, снимаемые с че- тырехквадрантного фотоприемника, равны между собой; напр жени , формируемые на выходах дифференциальных усилителей 16, 17, равны нулю; сигналы, поступающие с усилителей 21, 25 мощности на привод 28 и дополнительный привод 6, также равны нулю.
При смещении объекта 28 вдоль оптической оси объектива 3 происходит смещение изображени выт нутой световой марки относительно линий раздела фоточувствительных площадок четы- рехквадрантного фотоприемника 10.
При этом сигналы, снимаемые с выходов сумматоров 12, 13, не равны между собой, на выходе дифференциального усилител 16 формируетс посто нное напр жение, знак которого св зан с направлением смещени объекта 29, которое преобразуетс усилительным блоком 18 в переменное напр жение , поступающее на привод 28, перемещающий блок 1 формировани изобра44
жени световой марки и фотоприемный блок 8 в положение, при котором напр жение на выходе дифференциального усилител 16 становитс равным
нулю.
По величине перемещени блока I формировани изображени световой марки и фотоприемного блока 8 суд т о величине смещени объекта 29.
При повороте объекта 29 вокруг оси, перпендикул рной оптической оси объектива 3 и цилиндрической линзы 4 и лежащей в плоскости, через которую проходит оптическа ось
фокусирующего объектива 9, происходит поворот изображени выт нутой световой марки относительно линий раздела фоточувствительных площадок четырехквадрантного фотоприемника 10.
При этом суммы сигналов, снимаемых с диагонально расположенных фоточувствительных площадок четырехквадрантного фотоприемника 10, не равны между собой, на выходе дифференциального усилител 17 формируетс посто нное напр жение, знак которого св зан с направлением поворота объекта 29, которое преобразуетс усилительным блоком 22 в переменное
напр жение, поступакнцее на привод 6, вращающий через оправу 5 цилиндрическую линзу 4 до поло:.сени , при котором напр жение на выходе дифференциального усилител 17 становитс
равным нулю.
По углу поворота оправы 5, фиксируемой датчиком 7 поворота, суд т об угле поворота объекта 29.
Использование предлагаемого уст- ройства позвол ет исключить погрешность , св занную с поворотом объекта , а также расширить его функциональные возможности за счет измерени угла поворота объекта.
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл измерени перемещений , содержащее оптически св занные блок формировани изображени световой марки, состо щий из источника света и объектива, фотоприемный блок, состо щий из фокусирующего объектива и фотоприемника, блокнахождени разностных сигналов, входы которого подключены к выходам фотоприемного блока, привод, вход которого св зан с выходом блока наS12хождени разностных сигналов, выход привода кинематически св зан с блоком формировани изображени световой марки и фотоприемным блоком, отличающеес тем, что, с целью повышени точности измерений и расширени функциональных возможностей за счет измерени угла поворота объекта, блок формировани изображени световой марки снабжен цилиндрической линзой во вращающей50046с оправе, ось вращени которой совпадает с оптической осью источника света и обьектива, цилиндрическа линза в оправе установлена перед5 объективом, дополнительным приводом, кинематически св занным с оправой, фотоприемник фотоприемного блока выполнен четырехквадрантным, блок на- .хождени разностного сигнала снабженО дополнительным выходом, св занным с дополнительным приводомВид БВидАг/4и.Рид. 3Составитель Т.Айсин Редактор Н.Швьздка Техред М.ГергельЗаказ 900/51 Тираж 671ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5Филиал П1Ш Патент, г, Ужгород, ул. Проектна , 4Корректор А.Зимокосов
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843757885A SU1215004A1 (ru) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | Устройство дл измерени перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843757885A SU1215004A1 (ru) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | Устройство дл измерени перемещений |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1215004A1 true SU1215004A1 (ru) | 1986-02-28 |
Family
ID=21125626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843757885A SU1215004A1 (ru) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | Устройство дл измерени перемещений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1215004A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5279038A (en) * | 1991-03-19 | 1994-01-18 | Framatome | Device for measuring the angular position of a component which is rotatably displaceable relative to a fixed component, especially of a telescope mounting in relation to its supporting structure |
RU2606805C1 (ru) * | 2015-10-06 | 2017-01-10 | НаноОптоМетрикс ЛТД. | Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений |
-
1984
- 1984-05-04 SU SU843757885A patent/SU1215004A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 787891, кл. G 01 В 11/00, 1979. Авторское свидетельство СССР №1037070, кл. q 01 В 21/00, 1982. * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5279038A (en) * | 1991-03-19 | 1994-01-18 | Framatome | Device for measuring the angular position of a component which is rotatably displaceable relative to a fixed component, especially of a telescope mounting in relation to its supporting structure |
RU2606805C1 (ru) * | 2015-10-06 | 2017-01-10 | НаноОптоМетрикс ЛТД. | Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений |
WO2017060803A1 (ru) * | 2015-10-06 | 2017-04-13 | НаноОптоМетрикс ЛТД. | Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4022532A (en) | Sample point interferometric system for optical figure monitoring | |
US5026985A (en) | Method and apparatus for detecting a reference position of a rotating scale with two sensors | |
US4438330A (en) | Wavefront sensor employing a modulation reticle | |
JP2755757B2 (ja) | 変位及び角度の測定方法 | |
SU1215004A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
US4395123A (en) | Interferometric angle monitor | |
JPH0214588A (ja) | リングレーザジャイロスコープ | |
WO2017060803A1 (ru) | Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений | |
SU1613857A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещени объекта | |
JPH0422261Y2 (ru) | ||
JPH0617770B2 (ja) | マ−ク検出機 | |
JPS635208A (ja) | 表面形状測定装置 | |
JPS636418A (ja) | エンコ−ダ | |
SU777625A1 (ru) | Фотоэлектрический автоколлимационный датчик крена | |
SU1582039A1 (ru) | Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива | |
SU505220A1 (ru) | Автоколлимационное устройство | |
SU645086A1 (ru) | Устройство дл измерени скорости ленточного носител | |
SU1439398A1 (ru) | Фотоэлектрический способ измерени перемещений излучател и устройство дл его осуществлени | |
SU1430747A1 (ru) | Способ бесконтактного определени линейного размера детали | |
SU1037070A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений объектов | |
JPS6264904A (ja) | 形状測定装置 | |
SU1186942A1 (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени профил полированных поверхностей | |
SU781891A1 (ru) | Звукосниматель | |
SU763677A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл измерени угла поворота объекта | |
SU1295226A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений |