SU1613857A1 - Устройство дл измерени перемещени объекта - Google Patents
Устройство дл измерени перемещени объекта Download PDFInfo
- Publication number
- SU1613857A1 SU1613857A1 SU884487191A SU4487191A SU1613857A1 SU 1613857 A1 SU1613857 A1 SU 1613857A1 SU 884487191 A SU884487191 A SU 884487191A SU 4487191 A SU4487191 A SU 4487191A SU 1613857 A1 SU1613857 A1 SU 1613857A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- output
- phase
- plane
- input
- lens
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике. Цель изобретени - повышение точности измерений при измен ющейс дальности до объекта. Генератор 13 формирует сигнал, поступающий на излучатель 8 и через фазосдвигающий элемент 14 на излучатель 9. Излучатели 8, 9 формируют потоки излучени , сдвинутые по фазе друг относительно друга на 90°. С помощью призмы 7, светоделител 5, объектива 4 формируетс поток модулированного излучени . При перемещении зеркально-линзового отражател 1 происходит перераспределение мощности отраженных потоков излучени на фотоприемнике 6. Фазовый сдвиг сигнала, снимаемого с фотоприемника 6, зависит от положени зеркально-линзового отражател 1. Информационный сигнал формируетс нуль-органом 10, фазовый сдвиг которого измер етс фазочувствительным детектором 11. Плоскопараллельной пластиной 3, управл емой приводом 12, осуществл етс компенсаци смещени отраженного потока излучени . Положение плоскопараллельной пластины 3 измер етс элементами 15, 16, 17 и регистрируетс регистратором 18. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл бесконтактного измерени перемещени различных объектов при измен ющейс дальности до объекта.
Ц|гль изобретени - повьшение точности измерений при измен ющейс дальности до объекта.
На чертеже представлена функцио- нальна схема устройства
Устройство содержит зеркально- линзовый отражатель 1, установлен- ньА на объекте, и координатор 2, состо щий из расположенных последо- вательно, вдоль оптической оси плоскопараллельной пластины 3, вл ющейс компенсатором перемещени , объектива 4, светоделител 5, фотоприемни- к а 6, расположенного в фокальной
плоскости объектива 4,. разделительной пр моугольной прчзмы 7, расположенной в боковом канале, образованном светоделителем 5, так, что ее ребро находитс в фокальной плоскости объе ктива 4, первого 8 и второго 9 излучателей , расположенных на одной оси симметрично относительно катетнмх граней разделительной пр моугольной призмы 7, -нуль-органа 10, вход кото- рого соединен с выходом фотоприемника 6 фазочувствительного детектора 11, информационный вход которого соединен с выходом нуль-органа 10, привода 12, вход которого соединен с выходом.Фазочувствительного детектора 11, а выход - с плоскопараллельной пластиной 3, генератора 13, вьшо ненного в виде источника напр жени синусоидальной формы, первый выход которого соединен с первым излучателем 8 и входом фазосдвигающего элемента 14, а второй выход - с управл емым входом Фазочувствительного детектора 11, выход фазосдвигающего элемента 14 соединен с вторым излуча телем 9, датчика положени ко1«щенса- тора перемещени , оптически св занного с плоскопараллельной пластиной 3 и состо щего из расположенных на одной оси излучател 15, объектива 16, позиционно-чувствительного фотоприемника 17, вл ющихс датчиком положени плоскопараллельной пластины 3, и регистратора 18, причем ме зду объективом 16 и позиционно- чувствительным фотоприемником 17 расположена плоскопараллельна пластина 3.
Устройство работает следующим образом .
Генератор 13 формирует сигнал синусоидальной формы, который поступает на первый, излучатель 8 и на вход фазосдвигающего элемента 14. С выхода фазосдвигающего элемента 14 сигнал синусоидальной формы,о
сдвинутый по фазе на четверть периода относительно сигнала с выхода генератора 13, поступает на второй излучатель 9. В фокальной плоскости объектива 4 расположено ребро разделительной пр моугольной призмы 7, грани которой облучаютс излучател ми 8 и 9. При этом в пространстве перед координатором 2 формируетс поток излучени с границей раздела, причем верхн и нижн половины потока , излучени промодулированы одной и той же частотой, но имеют различные фазы модул ции интенсивности, сдвинутые одна относительно другой на четверть периода.
Пространственное распределение потока излучени формирует в пространстве перед координатором 2 равносиг- нальную плоскость, вл ющуюс измерительной , базой. Пучок излучени , вырезанный входным зрачком зеркально-линзового отражател 1 и отраженный в обратном направл.ении, пройд через плоскопараллельную пластину 3 и объектив 4, направл етс через светоделитель 5 на чувствительную площадку фотоприемника 6. Соотнощение потоков излучени с разной начальной фазой, приход щих на чувствительную площадку фотоприемника 6, зависит от пространственного положени входного ка зеркально-линзового отражател 1 относительно равносигнальной плоскости , образованной в пространстве оптической системой координатора 2. На чувствительной площадке фртоприем ника 6 происходит преобразование потоков излучени , пришедших на фотоприемник , в результате чего -на выходе фотоприемника 6 формируетс электрический сигнал синусоидальнс й формы с той же частотой, что и у. излчателей 8 и 9, но с фазой, промежуточной по отнощению к фазам потоков излучени . Таким образом, фаза сигнала с выхода фoтoпpиe.никa 6 зависит от соотношени мощностей отраженных потоков излучени -с различной начальной фазой, падающих на фотоприемник.
5, 16
а следовательно, и от положени зеркально-линзового отражател 1 относительно равносигнальной плоскости.
Сигнал с выхода фотоприемника 6 по ступает на нуль-орган 10, с выхода которого сигнал в виде последователь- кости пр моугольных сигналов со скваж вестью два, имеющих посто нную амплитуду , поступает на первый вход фа- зочувствительного детектора 11. На второй вход фазочувствитепьного детектора 11 поступает опорный сигнал с второго выхода генератора 13. Так как амплитуда сигналов, поступающих на: информационный вход фазочувстви- тельного детектора 11 с выхода нуль- органа 10, посто нна, напр жение сигнала на выходе фазочувствитель- ного детектора 11 зависит только от фазы информационного сигнала, т.е. от величины смещени зеркально-линзового отражател 1 в направлении, перпендикул рном равносигнальной плоскости.
Пол рность сигнала на .выходе фазочувствительного детектора 11 зависит от направлени смещени зеркально-линзового отражател 1. Сигнал с выхода фазочувствительного детектора 11 поступает на вход привода 12, управл ющего поворотом плос- копараллельно пластины 3„ При этом реализуетс нулевой метод измерени . Поворот плоскопараллельной пластины 3 вызывает параллельное смещение линии визировани координатора 2, что приводит к смещению положени оав- носигнальной плоскости до тех пор, пока мощности потоков излучени с разными начальными фазами, отраженные зеркально-линзовым отражателем 1, не станут равными друг другу При этом поворот плоскопараллельной пластины 3 вызывает смещение изображени излучател 15 на позиционно-чув- ствительном фотоприемнике 17, сигнал с которого обрабатываетс регистра- тором 18.
857
В устройстве может быть использован генератор 13, формирующий сигналы треугольной формыо
Использование устройства позвол ет; повысить точность измерений при измен ющейс дальности до объекта за счет того, что фаза сигнала, снимаемого с фотоприемника 6, не зависит от дапь0 кости до объекта.
I
Чрормула изобретени
Устройство дл измерени переме5 щени объекта, содержащее контрольный элемент в виде зеркально-линзового отражател , скрепл емый с.объектом, координатор, выполненный в виде последовательно расположенных плоско0 параллельной пластины, объектива, светоделител , фотоприемника, расположенного в фокальной плоскости объектива, пр моугольной призмы, расположенной в боковом канале, образо5 ванном светоделителем, и двух излучателей , расположенных симметрично относительно катетных граней пр моугольной призмы, блока обработки сигнала, привода, вход которого сое30 динен с выходом блока обработки
сигнала, а выход - с плоскопараллельной пластиной, датчика положени плоскопараллельной пластины, генератора , первый вьтход которого соеди , нен с первым излучателем, а второй выход - с управл ющим входом блока обработки сигнала, отличат- ю щ е е с тем, что, с целью повы- щени точности измерений при изме Q н ющейс дальности до объекта, оно снабжено фазосдвигающим элементом, вход ивыход которого подключены соответственно к первому выходу генератора и второму излучателю, нуль ,с органом, вход и выход которого подключены соответственно к фотоприемнику и информационному входу блока обработки сигнала, выполненному в виде фазочувствительного детектора.
Claims (1)
- Устройство для измерения перемещения объекта, содержащее контрольный элемент в виде зеркально-линзового отражателя, скрепляемый с.объектом, координатор, выполненный в виде последовательно расположенных плоскопараллельной пластины, объектива, светоделителя, фотоприемника, расположенного в фокальной плоскости объектива, прямоугольной призмы, расположенной в боковом канале, образованном светоделителем, и двух излучателей, расположенных симметрично относительно катетных граней прямоугольной призмы, блока обработки сигнала, привода, вход которого соединен с выходом блока обработки сигнала, а выход - с плоскопараллельной пластиной, датчика положения плоскопараллельной пластины, генератора, первый вьтход которого соединен с первым излучателем, а второй выход - с управляющим входом блока обработки сигнала, отличатю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений при изменяющейся дальности до объекта, оно снабжено фазосдвигающим элементом, вход и выход которого подключены соответственно к первому выходу генератора и второму излучателю, нульорганом, вход и выход которого подключены соответственно к фотоприемнику и информационному входу блока обработки сигнала, выполненному в виде фазочувствительного детектора.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884487191A SU1613857A1 (ru) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | Устройство дл измерени перемещени объекта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884487191A SU1613857A1 (ru) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | Устройство дл измерени перемещени объекта |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1613857A1 true SU1613857A1 (ru) | 1990-12-15 |
Family
ID=21401223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884487191A SU1613857A1 (ru) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | Устройство дл измерени перемещени объекта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1613857A1 (ru) |
-
1988
- 1988-09-26 SU SU884487191A patent/SU1613857A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1312384, кл„ G 01 В 21/00, 1986. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0652170B2 (ja) | 光結像式非接触位置測定装置 | |
ATE111593T1 (de) | Positionsmesseinrichtung. | |
US3533702A (en) | Multipurpose optical measuring device for determining the position of an object in two coordinates | |
SU1613857A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещени объекта | |
GB1521351A (en) | Methods and apparatus for measuring variations in distance to a surface | |
US4110042A (en) | Method and apparatus for photoelectrically determining the position of at least one focal plane of an image | |
GB1222661A (en) | Optical measuring apparatus | |
SU1370456A1 (ru) | Способ фиксации положени границы объекта | |
JPS588444B2 (ja) | 変位測定装置 | |
RU2092787C1 (ru) | Способ определения коротких дистанций до диффузно-отражающих объектов и устройство для его осуществления | |
SU1215004A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
US4808807A (en) | Optical focus sensor system | |
SU1582039A1 (ru) | Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива | |
SU958852A1 (ru) | Устройство дл измерени углового перемещени объекта | |
SU1337737A1 (ru) | Фотоэлектрическое теневое устройство | |
SU1083070A2 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений | |
SU1619031A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл формировани и пространственного отслеживани модулированного оптического пучка | |
SU983398A1 (ru) | Датчик системы слежени | |
SU767510A1 (ru) | Фотоэлектрическое устройство | |
SU1186942A1 (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени профил полированных поверхностей | |
SU1730532A1 (ru) | Устройство дл измерени углового положени объекта | |
RU1796901C (ru) | Устройство дл бесконтактного измерени профил деталей | |
SU1652809A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
SU1661571A1 (ru) | Устройство дл измерени профил отражающей поверхности | |
SU1413415A1 (ru) | Способ определени диаметра отверстий |