SU1613857A1 - Устройство дл измерени перемещени объекта - Google Patents

Устройство дл измерени перемещени объекта Download PDF

Info

Publication number
SU1613857A1
SU1613857A1 SU884487191A SU4487191A SU1613857A1 SU 1613857 A1 SU1613857 A1 SU 1613857A1 SU 884487191 A SU884487191 A SU 884487191A SU 4487191 A SU4487191 A SU 4487191A SU 1613857 A1 SU1613857 A1 SU 1613857A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
output
phase
plane
input
lens
Prior art date
Application number
SU884487191A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Анатольевич Губин
Александр Николаевич Тимофеев
Original Assignee
Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики filed Critical Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority to SU884487191A priority Critical patent/SU1613857A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1613857A1 publication Critical patent/SU1613857A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Цель изобретени  - повышение точности измерений при измен ющейс  дальности до объекта. Генератор 13 формирует сигнал, поступающий на излучатель 8 и через фазосдвигающий элемент 14 на излучатель 9. Излучатели 8, 9 формируют потоки излучени , сдвинутые по фазе друг относительно друга на 90°. С помощью призмы 7, светоделител  5, объектива 4 формируетс  поток модулированного излучени . При перемещении зеркально-линзового отражател  1 происходит перераспределение мощности отраженных потоков излучени  на фотоприемнике 6. Фазовый сдвиг сигнала, снимаемого с фотоприемника 6, зависит от положени  зеркально-линзового отражател  1. Информационный сигнал формируетс  нуль-органом 10, фазовый сдвиг которого измер етс  фазочувствительным детектором 11. Плоскопараллельной пластиной 3, управл емой приводом 12, осуществл етс  компенсаци  смещени  отраженного потока излучени . Положение плоскопараллельной пластины 3 измер етс  элементами 15, 16, 17 и регистрируетс  регистратором 18. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  бесконтактного измерени  перемещени  различных объектов при измен ющейс  дальности до объекта.
Ц|гль изобретени  - повьшение точности измерений при измен ющейс  дальности до объекта.
На чертеже представлена функцио- нальна  схема устройства
Устройство содержит зеркально- линзовый отражатель 1, установлен- ньА на объекте, и координатор 2, состо щий из расположенных последо- вательно, вдоль оптической оси плоскопараллельной пластины 3,  вл ющейс  компенсатором перемещени , объектива 4, светоделител  5, фотоприемни- к а 6, расположенного в фокальной
плоскости объектива 4,. разделительной пр моугольной прчзмы 7, расположенной в боковом канале, образованном светоделителем 5, так, что ее ребро находитс  в фокальной плоскости объе ктива 4, первого 8 и второго 9 излучателей , расположенных на одной оси симметрично относительно катетнмх граней разделительной пр моугольной призмы 7, -нуль-органа 10, вход кото- рого соединен с выходом фотоприемника 6 фазочувствительного детектора 11, информационный вход которого соединен с выходом нуль-органа 10, привода 12, вход которого соединен с выходом.Фазочувствительного детектора 11, а выход - с плоскопараллельной пластиной 3, генератора 13, вьшо ненного в виде источника напр жени  синусоидальной формы, первый выход которого соединен с первым излучателем 8 и входом фазосдвигающего элемента 14, а второй выход - с управл емым входом Фазочувствительного детектора 11, выход фазосдвигающего элемента 14 соединен с вторым излуча телем 9, датчика положени  ко1«щенса- тора перемещени , оптически св занного с плоскопараллельной пластиной 3 и состо щего из расположенных на одной оси излучател  15, объектива 16, позиционно-чувствительного фотоприемника 17,  вл ющихс  датчиком положени  плоскопараллельной пластины 3, и регистратора 18, причем ме зду объективом 16 и позиционно- чувствительным фотоприемником 17 расположена плоскопараллельна  пластина 3.
Устройство работает следующим образом .
Генератор 13 формирует сигнал синусоидальной формы, который поступает на первый, излучатель 8 и на вход фазосдвигающего элемента 14. С выхода фазосдвигающего элемента 14 сигнал синусоидальной формы,о
сдвинутый по фазе на четверть периода относительно сигнала с выхода генератора 13, поступает на второй излучатель 9. В фокальной плоскости объектива 4 расположено ребро разделительной пр моугольной призмы 7, грани которой облучаютс  излучател ми 8 и 9. При этом в пространстве перед координатором 2 формируетс  поток излучени  с границей раздела, причем верхн   и нижн   половины потока , излучени  промодулированы одной и той же частотой, но имеют различные фазы модул ции интенсивности, сдвинутые одна относительно другой на четверть периода.
Пространственное распределение потока излучени  формирует в пространстве перед координатором 2 равносиг- нальную плоскость,  вл ющуюс  измерительной , базой. Пучок излучени , вырезанный входным зрачком зеркально-линзового отражател  1 и отраженный в обратном направл.ении, пройд  через плоскопараллельную пластину 3 и объектив 4, направл етс  через светоделитель 5 на чувствительную площадку фотоприемника 6. Соотнощение потоков излучени  с разной начальной фазой, приход щих на чувствительную площадку фотоприемника 6, зависит от пространственного положени  входного ка зеркально-линзового отражател  1 относительно равносигнальной плоскости , образованной в пространстве оптической системой координатора 2. На чувствительной площадке фртоприем ника 6 происходит преобразование потоков излучени , пришедших на фотоприемник , в результате чего -на выходе фотоприемника 6 формируетс  электрический сигнал синусоидальнс й формы с той же частотой, что и у. излчателей 8 и 9, но с фазой, промежуточной по отнощению к фазам потоков излучени . Таким образом, фаза сигнала с выхода фoтoпpиe.никa 6 зависит от соотношени  мощностей отраженных потоков излучени  -с различной начальной фазой, падающих на фотоприемник.
5, 16
а следовательно, и от положени  зеркально-линзового отражател  1 относительно равносигнальной плоскости.
Сигнал с выхода фотоприемника 6 по ступает на нуль-орган 10, с выхода которого сигнал в виде последователь- кости пр моугольных сигналов со скваж вестью два, имеющих посто нную амплитуду , поступает на первый вход фа- зочувствительного детектора 11. На второй вход фазочувствитепьного детектора 11 поступает опорный сигнал с второго выхода генератора 13. Так как амплитуда сигналов, поступающих на: информационный вход фазочувстви- тельного детектора 11 с выхода нуль- органа 10, посто нна, напр жение сигнала на выходе фазочувствитель- ного детектора 11 зависит только от фазы информационного сигнала, т.е. от величины смещени  зеркально-линзового отражател  1 в направлении, перпендикул рном равносигнальной плоскости.
Пол рность сигнала на .выходе фазочувствительного детектора 11 зависит от направлени  смещени  зеркально-линзового отражател  1. Сигнал с выхода фазочувствительного детектора 11 поступает на вход привода 12, управл ющего поворотом плос- копараллельно пластины 3„ При этом реализуетс  нулевой метод измерени . Поворот плоскопараллельной пластины 3 вызывает параллельное смещение линии визировани  координатора 2, что приводит к смещению положени  оав- носигнальной плоскости до тех пор, пока мощности потоков излучени  с разными начальными фазами, отраженные зеркально-линзовым отражателем 1, не станут равными друг другу При этом поворот плоскопараллельной пластины 3 вызывает смещение изображени  излучател  15 на позиционно-чув- ствительном фотоприемнике 17, сигнал с которого обрабатываетс  регистра- тором 18.
857
В устройстве может быть использован генератор 13, формирующий сигналы треугольной формыо
Использование устройства позвол ет; повысить точность измерений при измен ющейс  дальности до объекта за счет того, что фаза сигнала, снимаемого с фотоприемника 6, не зависит от дапь0 кости до объекта.
I
Чрормула изобретени 
Устройство дл  измерени  переме5 щени  объекта, содержащее контрольный элемент в виде зеркально-линзового отражател , скрепл емый с.объектом, координатор, выполненный в виде последовательно расположенных плоско0 параллельной пластины, объектива, светоделител , фотоприемника, расположенного в фокальной плоскости объектива, пр моугольной призмы, расположенной в боковом канале, образо5 ванном светоделителем, и двух излучателей , расположенных симметрично относительно катетных граней пр моугольной призмы, блока обработки сигнала, привода, вход которого сое30 динен с выходом блока обработки
сигнала, а выход - с плоскопараллельной пластиной, датчика положени  плоскопараллельной пластины, генератора , первый вьтход которого соеди , нен с первым излучателем, а второй выход - с управл ющим входом блока обработки сигнала, отличат- ю щ е е с   тем, что, с целью повы- щени  точности измерений при изме Q н ющейс  дальности до объекта, оно снабжено фазосдвигающим элементом, вход ивыход которого подключены соответственно к первому выходу генератора и второму излучателю, нуль ,с органом, вход и выход которого подключены соответственно к фотоприемнику и информационному входу блока обработки сигнала, выполненному в виде фазочувствительного детектора.

Claims (1)

  1. Устройство для измерения перемещения объекта, содержащее контрольный элемент в виде зеркально-линзового отражателя, скрепляемый с.объектом, координатор, выполненный в виде последовательно расположенных плоскопараллельной пластины, объектива, светоделителя, фотоприемника, расположенного в фокальной плоскости объектива, прямоугольной призмы, расположенной в боковом канале, образованном светоделителем, и двух излучателей, расположенных симметрично относительно катетных граней прямоугольной призмы, блока обработки сигнала, привода, вход которого соединен с выходом блока обработки сигнала, а выход - с плоскопараллельной пластиной, датчика положения плоскопараллельной пластины, генератора, первый вьтход которого соединен с первым излучателем, а второй выход - с управляющим входом блока обработки сигнала, отличатю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений при изменяющейся дальности до объекта, оно снабжено фазосдвигающим элементом, вход и выход которого подключены соответственно к первому выходу генератора и второму излучателю, нульорганом, вход и выход которого подключены соответственно к фотоприемнику и информационному входу блока обработки сигнала, выполненному в виде фазочувствительного детектора.
SU884487191A 1988-09-26 1988-09-26 Устройство дл измерени перемещени объекта SU1613857A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884487191A SU1613857A1 (ru) 1988-09-26 1988-09-26 Устройство дл измерени перемещени объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884487191A SU1613857A1 (ru) 1988-09-26 1988-09-26 Устройство дл измерени перемещени объекта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1613857A1 true SU1613857A1 (ru) 1990-12-15

Family

ID=21401223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884487191A SU1613857A1 (ru) 1988-09-26 1988-09-26 Устройство дл измерени перемещени объекта

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1613857A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1312384, кл„ G 01 В 21/00, 1986. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0652170B2 (ja) 光結像式非接触位置測定装置
ATE111593T1 (de) Positionsmesseinrichtung.
US3533702A (en) Multipurpose optical measuring device for determining the position of an object in two coordinates
SU1613857A1 (ru) Устройство дл измерени перемещени объекта
GB1521351A (en) Methods and apparatus for measuring variations in distance to a surface
US4110042A (en) Method and apparatus for photoelectrically determining the position of at least one focal plane of an image
GB1222661A (en) Optical measuring apparatus
SU1370456A1 (ru) Способ фиксации положени границы объекта
JPS588444B2 (ja) 変位測定装置
RU2092787C1 (ru) Способ определения коротких дистанций до диффузно-отражающих объектов и устройство для его осуществления
SU1215004A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
US4808807A (en) Optical focus sensor system
SU1582039A1 (ru) Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива
SU958852A1 (ru) Устройство дл измерени углового перемещени объекта
SU1337737A1 (ru) Фотоэлектрическое теневое устройство
SU1083070A2 (ru) Интерференционное устройство дл измерени перемещений
SU1619031A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл формировани и пространственного отслеживани модулированного оптического пучка
SU983398A1 (ru) Датчик системы слежени
SU767510A1 (ru) Фотоэлектрическое устройство
SU1186942A1 (ru) Устройство дл бесконтактного измерени профил полированных поверхностей
SU1730532A1 (ru) Устройство дл измерени углового положени объекта
RU1796901C (ru) Устройство дл бесконтактного измерени профил деталей
SU1652809A1 (ru) Устройство дл измерени линейных перемещений
SU1661571A1 (ru) Устройство дл измерени профил отражающей поверхности
SU1413415A1 (ru) Способ определени диаметра отверстий