SU1370456A1 - Способ фиксации положени границы объекта - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Цель изобретени  - повышение точности измерени  за счет уменьшени  вли ни  дистабилизирующих факторов. Посто нный по интенсивности поток излучени , формируемый источниками 1 , 2 поперечного монохроматического излучени , модулируетс  по интенсивности модул торами 3, 4 интенсивности , проходит ослабители 5, 6, зеркало 7 и светоделитель 8 и поступает на блок 9 сканировани . В фокальной плоскости фокусирук цего объектива 10 формируетс  сканирующее по размеру и перемещающеес  поперек границы объектива 16 световое п тно, которое переноситс  приемным объективом на фотоприемник 13. Переменна  составл юща  электрического сигнала, снимаемого с фотоприемника 13, выдел етс  и детектируетс  блоком 14 обработки сигнала. При экранировании границей объекта 16 середины светового п тна продетектированный электрический сигнал равен нулю. При этом осуществл етс  фиксаци  границы объекта 16 индикатором 15. 2 ил. (Л

Description

со

сл о

1

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  линейных размеров различных объектов, например штриховых решеток:

Цель изобретени  - повышение точности измерени  за счет уменьшени  вли ни  дестабилизуюш;их факторов.

На фиг. 1 изображена функциональна  схема устройства дл  осуществлени  предлагаемого способа; на фиг.2 относительное перемещение светового пйгна и объекта ,на. фиг. 3 - временные диаграммы сигналов формируемых на выходе фотоприемника и в блоке обработки сигналов.

Устройство содержит оптически св занные источники 1 и 2 когерентнго монохроматического излучени  с различными длинами волн, модул торы 3 и 4 интенсивности, ослабители 5 и 6, зеркало 7, светоделитель 8, блок 9 сканировани , фокусирующий объект 10, столик 11, приемный объектив 12 последовательное соединенные фото- приемиик 13, блок 14 обработки сигналов и блок 15 индикации. Фиксируес  граница объекта 16.

Способ осуществл ют следующим образом .

Потоки излучени , формируемые источниками 1 и 2 когерентного монохроматического излучени , в виде параллельных пучков лучей направл ютс через модул торы 3 и 4 интенсивност ослабители 5 и 6, зеркало 7 и светоделитель 8 на блок 9 сканировани .

Блок 9 сканировани  осуществл ет периодическое отклонение параллельн пучков лучей по углу, направл емых на фокусирующий объектив 10, ; фокальной плоскости которого формируес  дифракционна  картина, перемещающа с  относительно объекта 16.

Модул торы 3 и 4 интенсивности осуществл ют противофазную модул ци по интенсивности потоков излучени , формируемых источниками 1 и 2 когерентного монохроматического излучени , а ослабители 5 и 6 выравнивают интенсивности потоков излучени .

Источники 1 и 2 когерентного монхроматического излучени  формируют потоки излучени  на различных длина волн, в св зи с чем размеры централного дифракционного максимума дифракционной картины, формируемой фо

кусирующим объективом 10, модулируютс  по размеру с частотой, равной частоте модул ции по интенсивности потоков излучени , задаваемой модул торами 3 и 4 интенсивности.

Потоки излучени , прошедшие через объект 16, установленный на столике 11, и приемный объектив 12, преобразуютс  фотоприемником 13 в злектри- ческий сигнал, переменна  составл юща  которого вьщел етс  и детектируетс  в блоке 14 обработки сигналов.

При сканировании размера центрального дифракционного максимума дифракционной картины модул ци  электрического сигнала возникает при экранировании части дифракционного максимума краем объекта (фиг. 2а, б, г, д). При экранировании границей объекта 16 половины центрального дифракционного максимума (фиг. 2в) модул ции электрического сигнала не

происходит. При зтом осуществл етс  фиксаци  границы объекта 16 блоком 15 индикации.

Предлагаемый способ по сравнению с известными повышает точность измерений за счет фиксации нулевого значени  продетектированного переменного электрического сигнала.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   0

   Способ фиксации положени  границы объекта, заключающийс  в том, что фокусируют посто нный по интенсивности поток излучени  в виде светового.п тна в плоскости границы объекта, осуществл ют относительное перемещение светового п та и границы объекта, преобразуют интенсивность потока излучени , прошедшего через границу 5 объекта, в электрический сигнал, выдел ют и детектируют переменную составл ющую электрического сигнала,фиксируют характерную точку продетекти- рованной переменной составл ющей электрического сигнала, по времени формировани  которой суд т о положении границы объекта, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерени , модулируют по размеру световое п тно, а характерную точку фиксируют при равенстве нулю продетектированной переменной составл ющей электрического сигнала.

   0

   Е

   Ф

   и,

   /V. J

   Фиг.З