SU1696890A1 - Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени - Google Patents
Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1696890A1 SU1696890A1 SU894772678A SU4772678A SU1696890A1 SU 1696890 A1 SU1696890 A1 SU 1696890A1 SU 894772678 A SU894772678 A SU 894772678A SU 4772678 A SU4772678 A SU 4772678A SU 1696890 A1 SU1696890 A1 SU 1696890A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- amplitude
- normal
- measuring
- pattern
- photodetector
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл измерени амплитуды колебаний диффузно отражающих объектов методами когерентной оптики. Целью изобретени вл етс повышение информативности путем измерени как нормальной, так и тангенциальной составл ющей амплитуды колебаний. Излучение от лазера 2 фокусируетс на опорную 5 и исследуемую 12 поверхности, Из нормального отраженного излучени формируют интерференционную спекл-кар- тину, изменение интенсивности которой регистрируетс фотоприемником 6. Путем отражени от зеркал 8 и 9 формируетс интерференционна картина, образованна излучением, отраженным от исследуемой поверхности 12 в противоположных направлени х под углом п /4. Изменение интенсивности этой картины регистрируетс фотоприемником 11, Выходы фотоприемников 6 и 11 соединены с блоком 7 регистрации , в котором вычисл ютс значени тангенциальной и нормальной составл ющих амплитуды колебаний. 2 с.п. ф-лы, 2 ил.
Description
Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения нормальной и тангенциальной составляющих амплитуды колебаний диффузно отражающих объектов методами когерентной оптики.
Цель изобретения - повышение информативности за счет определения, помимо нормальной составляющей, также тангенциальной составляющей амплитуды колебаний.
На фиг.1 представлена схема устройства, реализующего способ измерения амплитуды колебаний; на фиг.2 -- взаимное расположение освещающего и отраженных пучков, поверхности объекта и вектора амплитуды колебаний.
Устройство для измерения амплитуды колебаний диффузно отражающей поверхности содержит вибровозбудитель 1, источник 2 когерентного излучения - лазер, объектив 3, установленный на пути лазерного пучка, первый светоделитель 4, опорную поверхность 5, первый фотоприемник 6. блок 7 регистрации, зеркала 8 и 9, установленные параллельно вдоль оптической оси объектива 3, второй светоделитель 10, установленный на пути пучков, отраженных от зеркала 8 и 9, второй фотоприемник 11, выход которого связан с входом блока 7 регистрации.
На фиг.1 показан также исследуемый объект 12.
Способ осуществляется следующим рбразом.
Излучение лазера 2 фокусируется с помощью объектива 3 на поверхность объекта 12 и опорную поверхность 5. С помощью первого светоделителя 4 в пространстве регистрации первого фотоприемника 6 формируется интерференционная спекл-структура, образованная волнами, отраженными нормально от исследуемой и опорной поверхностей. Изменение интенсивности указанной интерференционной спекл-картины во времени регистрируется первым фотоприемником 6, выход которого связан с входом блока 7 регистрации, и таким образом проводится измерение нормальной составляют,ей амплитуды колебаний диффузно отражающего объекта.
Одновременно с помощью зеркал 8 и 9 и второго светоделителя 10 в пространстве регистрации второго фотоприемника 11 формируется вторая интерференционная 5 спекл-картина, образованная двумя волнами, отраженными от исследуемого объекта 12 в противоположных направлениях под углом л /4 к нормали поверхности. Изменение интенсивности второй интерференционной спекл-струкгуры во времени регистрируется вторым фотоприемником 11, выход которого также электрически связан с блоком 7'регистрации.
Интенсивность интерференционной спекл-картины. образованной двумя волнами, отраженными от исследуемой точки симметрично под углом π /4 к нормали поверхности, а значит, и напряжение электри'10 ческого сигнала на выходе фотоприемника следующим образом зависит от оптической разности хода Δ интерферирующих волн:
U (t) = U ocos д ) где Uo ~ максимально возможная амплитуда электрического сигнала;
λ- длина волны излучения используемого лазера.
В случае, когда исследуемая точка со20 вершает тангенциальные гармонические колебания at (t) = atsin(2 π ft + a), где at, f, a - амплитуда, частота и фаза измеряемых механических колебаний соответст25 венно в плоскости, перпендикулярной оптической оси освещающего пучка, и регистрируется интенсивность интерференционной спекл-картины, образованной волнами, отраженными от исследуемой том30 ки А поверхности под углом π/4 к оптической оси в противоположных направлениях (фиг,2), оптическая разность хода следующим образом зависит от времени:
Δ (t) — Via t sin (2 π f t -f- a) + Δ 0 , где Δο = const - начальная разность хода интерферирующих волн.
Напряжение электрического сигнала на выходе фотоприемника следующим образом зависит от параметров механических, колебаний:
U (t) = U о cos [^~ V2 a , sin (2 л f t + + α) +φ], от где φ =-χ—Δо ” начальная разность фаз. которая устанавливается равной л /2.
Таким образом, предлагаемый способ позволяет одновременно с измерением нормальной составляющей колебаний измерять и at - тангенциальную составляющую колебаний диффузно отражающей поверхности,
Claims (2)
- Формула изобретения1. Способ измерения амплитуды колебаний, заключающийся в том, что разделяют когерентное излучение на два пучка, фокусируют их соответственно на исследуемую и опорную поверхности, формируют из волн, отраженных нормально от поверхностей, интерференционную спекл-картину и по изменению интенсивности этой картины определяют нормальную составляющую амплитуды колебаний, отличающийся тем, что, с целью повышения информативности за счет, определения, помимо нормальной составляющей, также и тангенциальной составляющей амплитуды колебаний, формируют из волн, отраженных в точке фокусировки на исследуемой поверхности в противоположных направлениях под углом я/4 к нормали поверхности, дополнительную интерференционную спекл-картину и по изменению интенсивности этой картины определяют тангенциальную составляющую амплитуды колебаний.
- 2. Устройство для измерения амплитуды колебаний, содержащее источник когерентного излучения, расположенные по ходу излучения объектив и светоделитель, предназначенный для формирования опор- 20 ного и измерительного каналов, размещенную в опорном канале опорную поверхность и установленный в выходном пучке фотоприемник и блок регистрации, вход которо5 го электрически связан с выходом фотоприемника, отличающееся тем, что, с целью повышения информативности за счет определения, помимо нормальной составляющей, также и тангенциальной со10 ставляющей амплитуды колебаний, оно снабжено двумя зеркалами, установленными в измерительном канале и ориентированными параллельно одно другому и оптической оси канала, дополнительным 15 светоделителем, оптически связанным с зеркалами, и установленным по ходу излучения за дополнительным светоделителем дополнительным фотоприемником, выход которого электрически связан с входом блока регистрации.
Составитель В.Бахтин Редактор И.Шулла Техред М.Моргентал Корректор Н.Ревская Заказ 4297 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035. Москва, Ж-35. Раушская наб.. 4/5Производственно-издательский комбинат Патент, г, Ужгород, ул.Гагарина, 101
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894772678A SU1696890A1 (ru) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894772678A SU1696890A1 (ru) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1696890A1 true SU1696890A1 (ru) | 1991-12-07 |
Family
ID=21486453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894772678A SU1696890A1 (ru) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1696890A1 (ru) |
-
1989
- 1989-12-22 SU SU894772678A patent/SU1696890A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 890076, кл. G 01 Н 9/00, 1981. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5080491A (en) | Laser optical ultarasound detection using two interferometer systems | |
US4046477A (en) | Interferometric method and apparatus for sensing surface deformation of a workpiece subjected to acoustic energy | |
US5106192A (en) | Polarization insensitive absolute interferometeric method and apparatus for measuring position angular bearing and optical paths | |
US4650330A (en) | Surface condition measurement apparatus | |
US6373871B1 (en) | Ellipsometer with two lasers | |
US4422764A (en) | Interferometer apparatus for microtopography | |
US4577967A (en) | Surface shape measurement apparatus | |
EP0220046A2 (en) | Interferometer | |
JPH03504647A (ja) | 単一ビームac干渉計 | |
US5068541A (en) | Surface roughness measuring method and apparatus utilizing truncated conical lens and objective lens | |
SU1696890A1 (ru) | Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени | |
US20040263858A1 (en) | Apparatus for measuring sub-resonance of optical pickup actuator | |
Palmer | Ultrasonic surface wave detection by optical interferometry | |
JPH0344243B2 (ru) | ||
SU1370456A1 (ru) | Способ фиксации положени границы объекта | |
JPH01101475A (ja) | 導通形成検査装置 | |
GB2146116A (en) | Surface condition measurement apparatus | |
SU785644A1 (ru) | Фотоэлектрическое устройство дл измерени геометрических размеров объектов | |
SU1441188A1 (ru) | Гетеродинный интерференционный способ измерени перемещений | |
SU1460612A1 (ru) | Способ измерени параметров вибрации объекта | |
Farahi et al. | A fibre optic interferometric system for surface profiling | |
SU1415072A1 (ru) | Интерференционный способ измерени малых ультразвуковых сигналов и интерференционное устройство дл его осуществлени | |
SU1236313A1 (ru) | Интерференционный способ регистрации нулевого положени сканирующего зеркала и устройство дл его осуществлени | |
SU1404811A1 (ru) | Стабилизированный интерферометр | |
SU1497451A1 (ru) | Интерферометр дл измерени линейных перемещений объектов |