SU1696890A1 - Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени - Google Patents

Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени Download PDF

Info

Publication number
SU1696890A1
SU1696890A1 SU894772678A SU4772678A SU1696890A1 SU 1696890 A1 SU1696890 A1 SU 1696890A1 SU 894772678 A SU894772678 A SU 894772678A SU 4772678 A SU4772678 A SU 4772678A SU 1696890 A1 SU1696890 A1 SU 1696890A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
amplitude
normal
measuring
pattern
photodetector
Prior art date
Application number
SU894772678A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Викторович Морозов
Вадим Викторович Солодов
Original Assignee
Мелитопольский Институт Механизации Сельского Хозяйства
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Мелитопольский Институт Механизации Сельского Хозяйства filed Critical Мелитопольский Институт Механизации Сельского Хозяйства
Priority to SU894772678A priority Critical patent/SU1696890A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1696890A1 publication Critical patent/SU1696890A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и предназначено дл  измерени  амплитуды колебаний диффузно отражающих объектов методами когерентной оптики. Целью изобретени   вл етс  повышение информативности путем измерени  как нормальной, так и тангенциальной составл ющей амплитуды колебаний. Излучение от лазера 2 фокусируетс  на опорную 5 и исследуемую 12 поверхности, Из нормального отраженного излучени  формируют интерференционную спекл-кар- тину, изменение интенсивности которой регистрируетс  фотоприемником 6. Путем отражени  от зеркал 8 и 9 формируетс  интерференционна  картина, образованна  излучением, отраженным от исследуемой поверхности 12 в противоположных направлени х под углом п /4. Изменение интенсивности этой картины регистрируетс  фотоприемником 11, Выходы фотоприемников 6 и 11 соединены с блоком 7 регистрации , в котором вычисл ютс  значени  тангенциальной и нормальной составл ющих амплитуды колебаний. 2 с.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения нормальной и тангенциальной составляющих амплитуды колебаний диффузно отражающих объектов методами когерентной оптики.
Цель изобретения - повышение информативности за счет определения, помимо нормальной составляющей, также тангенциальной составляющей амплитуды колебаний.
На фиг.1 представлена схема устройства, реализующего способ измерения амплитуды колебаний; на фиг.2 -- взаимное расположение освещающего и отраженных пучков, поверхности объекта и вектора амплитуды колебаний.
Устройство для измерения амплитуды колебаний диффузно отражающей поверхности содержит вибровозбудитель 1, источник 2 когерентного излучения - лазер, объектив 3, установленный на пути лазерного пучка, первый светоделитель 4, опорную поверхность 5, первый фотоприемник 6. блок 7 регистрации, зеркала 8 и 9, установленные параллельно вдоль оптической оси объектива 3, второй светоделитель 10, установленный на пути пучков, отраженных от зеркала 8 и 9, второй фотоприемник 11, выход которого связан с входом блока 7 регистрации.
На фиг.1 показан также исследуемый объект 12.
Способ осуществляется следующим рбразом.
Излучение лазера 2 фокусируется с помощью объектива 3 на поверхность объекта 12 и опорную поверхность 5. С помощью первого светоделителя 4 в пространстве регистрации первого фотоприемника 6 формируется интерференционная спекл-структура, образованная волнами, отраженными нормально от исследуемой и опорной поверхностей. Изменение интенсивности указанной интерференционной спекл-картины во времени регистрируется первым фотоприемником 6, выход которого связан с входом блока 7 регистрации, и таким образом проводится измерение нормальной составляют,ей амплитуды колебаний диффузно отражающего объекта.
Одновременно с помощью зеркал 8 и 9 и второго светоделителя 10 в пространстве регистрации второго фотоприемника 11 формируется вторая интерференционная 5 спекл-картина, образованная двумя волнами, отраженными от исследуемого объекта 12 в противоположных направлениях под углом л /4 к нормали поверхности. Изменение интенсивности второй интерференционной спекл-струкгуры во времени регистрируется вторым фотоприемником 11, выход которого также электрически связан с блоком 7'регистрации.
Интенсивность интерференционной спекл-картины. образованной двумя волнами, отраженными от исследуемой точки симметрично под углом π /4 к нормали поверхности, а значит, и напряжение электри'10 ческого сигнала на выходе фотоприемника следующим образом зависит от оптической разности хода Δ интерферирующих волн:
U (t) = U ocos д ) где Uo ~ максимально возможная амплитуда электрического сигнала;
λ- длина волны излучения используемого лазера.
В случае, когда исследуемая точка со20 вершает тангенциальные гармонические колебания at (t) = atsin(2 π ft + a), где at, f, a - амплитуда, частота и фаза измеряемых механических колебаний соответст25 венно в плоскости, перпендикулярной оптической оси освещающего пучка, и регистрируется интенсивность интерференционной спекл-картины, образованной волнами, отраженными от исследуемой том30 ки А поверхности под углом π/4 к оптической оси в противоположных направлениях (фиг,2), оптическая разность хода следующим образом зависит от времени:
Δ (t) — Via t sin (2 π f t -f- a) + Δ 0 , где Δο = const - начальная разность хода интерферирующих волн.
Напряжение электрического сигнала на выходе фотоприемника следующим образом зависит от параметров механических, колебаний:
U (t) = U о cos [^~ V2 a , sin (2 л f t + + α) +φ], от где φ =-χ—Δо ” начальная разность фаз. которая устанавливается равной л /2.
Таким образом, предлагаемый способ позволяет одновременно с измерением нормальной составляющей колебаний измерять и at - тангенциальную составляющую колебаний диффузно отражающей поверхности,

Claims (2)

  1. Формула изобретения
    1. Способ измерения амплитуды колебаний, заключающийся в том, что разделяют когерентное излучение на два пучка, фокусируют их соответственно на исследуемую и опорную поверхности, формируют из волн, отраженных нормально от поверхностей, интерференционную спекл-картину и по изменению интенсивности этой картины определяют нормальную составляющую амплитуды колебаний, отличающийся тем, что, с целью повышения информативности за счет, определения, помимо нормальной составляющей, также и тангенциальной составляющей амплитуды колебаний, формируют из волн, отраженных в точке фокусировки на исследуемой поверхности в противоположных направлениях под углом я/4 к нормали поверхности, дополнительную интерференционную спекл-картину и по изменению интенсивности этой картины определяют тангенциальную составляющую амплитуды колебаний.
  2. 2. Устройство для измерения амплитуды колебаний, содержащее источник когерентного излучения, расположенные по ходу излучения объектив и светоделитель, предназначенный для формирования опор- 20 ного и измерительного каналов, размещенную в опорном канале опорную поверхность и установленный в выходном пучке фотоприемник и блок регистрации, вход которо5 го электрически связан с выходом фотоприемника, отличающееся тем, что, с целью повышения информативности за счет определения, помимо нормальной составляющей, также и тангенциальной со10 ставляющей амплитуды колебаний, оно снабжено двумя зеркалами, установленными в измерительном канале и ориентированными параллельно одно другому и оптической оси канала, дополнительным 15 светоделителем, оптически связанным с зеркалами, и установленным по ходу излучения за дополнительным светоделителем дополнительным фотоприемником, выход которого электрически связан с входом блока регистрации.
    Составитель В.Бахтин Редактор И.Шулла Техред М.Моргентал Корректор Н.Ревская
    Заказ 4297 Тираж Подписное
    ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
    113035. Москва, Ж-35. Раушская наб.. 4/5
    Производственно-издательский комбинат Патент, г, Ужгород, ул.Гагарина, 101
SU894772678A 1989-12-22 1989-12-22 Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени SU1696890A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894772678A SU1696890A1 (ru) 1989-12-22 1989-12-22 Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894772678A SU1696890A1 (ru) 1989-12-22 1989-12-22 Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1696890A1 true SU1696890A1 (ru) 1991-12-07

Family

ID=21486453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894772678A SU1696890A1 (ru) 1989-12-22 1989-12-22 Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1696890A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 890076, кл. G 01 Н 9/00, 1981. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5080491A (en) Laser optical ultarasound detection using two interferometer systems
US4046477A (en) Interferometric method and apparatus for sensing surface deformation of a workpiece subjected to acoustic energy
US5106192A (en) Polarization insensitive absolute interferometeric method and apparatus for measuring position angular bearing and optical paths
US4650330A (en) Surface condition measurement apparatus
US6373871B1 (en) Ellipsometer with two lasers
US4422764A (en) Interferometer apparatus for microtopography
US4577967A (en) Surface shape measurement apparatus
EP0220046A2 (en) Interferometer
JPH03504647A (ja) 単一ビームac干渉計
US5068541A (en) Surface roughness measuring method and apparatus utilizing truncated conical lens and objective lens
SU1696890A1 (ru) Способ измерени амплитуды колебаний и устройство дл его осуществлени
US20040263858A1 (en) Apparatus for measuring sub-resonance of optical pickup actuator
Palmer Ultrasonic surface wave detection by optical interferometry
JPH0344243B2 (ru)
SU1370456A1 (ru) Способ фиксации положени границы объекта
JPH01101475A (ja) 導通形成検査装置
GB2146116A (en) Surface condition measurement apparatus
SU785644A1 (ru) Фотоэлектрическое устройство дл измерени геометрических размеров объектов
SU1441188A1 (ru) Гетеродинный интерференционный способ измерени перемещений
SU1460612A1 (ru) Способ измерени параметров вибрации объекта
Farahi et al. A fibre optic interferometric system for surface profiling
SU1415072A1 (ru) Интерференционный способ измерени малых ультразвуковых сигналов и интерференционное устройство дл его осуществлени
SU1236313A1 (ru) Интерференционный способ регистрации нулевого положени сканирующего зеркала и устройство дл его осуществлени
SU1404811A1 (ru) Стабилизированный интерферометр
SU1497451A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных перемещений объектов