SU1037070A1 - Устройство дл измерени линейных перемещений объектов - Google Patents

Устройство дл измерени линейных перемещений объектов Download PDF

Info

Publication number
SU1037070A1
SU1037070A1 SU823447445A SU3447445A SU1037070A1 SU 1037070 A1 SU1037070 A1 SU 1037070A1 SU 823447445 A SU823447445 A SU 823447445A SU 3447445 A SU3447445 A SU 3447445A SU 1037070 A1 SU1037070 A1 SU 1037070A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
amplifier
input
output
output control
transducer
Prior art date
Application number
SU823447445A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Исакович Савич
Виктор Васильевич Макаренко
Original Assignee
Омский политехнический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Омский политехнический институт filed Critical Омский политехнический институт
Priority to SU823447445A priority Critical patent/SU1037070A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1037070A1 publication Critical patent/SU1037070A1/ru

Links

Landscapes

  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ nEPEMEtJlEHHH оеВЕКТОВ, содержащее осветитель, состо щий из источника света и первого фокусирующего объектива , оптико-электронный преобразователь , состо щий из второго фокусирующего объектива и блока фотопреобрааователей , управл емый усилитель, привод, вход которого св зан с выходом управл емого усилител , а выход привода св зан с оптико-электронным преобразователем и осветителем, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерени , оно снабжено дифференциальным усилителем, сумматором, выход которого св зан с управл щим входом управл емого усилител , а блок фотопреобразователей выполнен в виде светоделительной призмы и двух после;)овательно- встречно включенных фотоприектиков, выход первого фотоприемника соединен с первым входом сумматора и первым входом дифференциального усилител , выход которого соединен с вторым входом сумматора, выход второго фотоприемника соединен с вторым входам дифференциального усилител  и информационным входом управл емого усилител .

Description

06
Изо)ретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  линейных перемещений объектов, имеющих отражающие поверхности, в частности, дл  измерени  профил  криволинейных поверхно тей. Известно устройство дл  измерени  линейных перемещений объектов, содержащее осветитель, оптико-электр ный преобразователь, привод, вход ко торого св зан с выходом оптико-элект ронного преобразовател , а выход при вода св зан с оптико-электронным пре разователем и осветителем. Устройство также содержит электро механический блок регулировани   ркости осветител , установленный в ос тителе, вход которого св зан с выходом оптико-электронного преобразов тел  СПНедостатком устройства  вл етс  недостаточное быстродействие и сложность конструкции электромеханического блока регулировани   ркости осветител . Наиболее близким по технической сущности к изобретению  вл етс  устройство дл  измерени  линейных перемещений объектов , содержащее осветитель , состо щий из источника света и первого фокусирующего объектива оптико-электронный преобразовател15 состо щий из второго фокуси(эующего объектива и блока фотопреобразователей , управл емый усилитель, привод вход .которого св зан с выходом управ л емого усилител , а выход привода св зан с оптико-электронным преобразователем и осветителем С 2. Однако устройство имеет недостаточную точность измерени , св занную с динамической ошибкой измерени . Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерени . Указанна  цель достигаетс  тем, что устройство дл  измерени  линейных перемещений объектов, содержащее осветитель, состо щий из источни ка света и первого фокусирующего объ ектийа, оптико-электронный преобразователь , состо щий из второго фокусирующего объектива и блока фотопреобразоват ;лей , упраЁл емый усилитель привод, вход которого св зан с выходом управл емого усилител , а выход привода св зан с оптико-электронным преобразователем и осветителем,снабжено дифференциальным усилителем, сумматором, выход которого св зан с 1 02 . управл ющим входом управл емого усилител , а блок фотопреобразователей выполнен в виде светоделительной призмы и двух последовательно-встречно включенных фотоприемников, выход первого фотоприемника соединен с первым входом сумматора и первым входом Дифференциального усилител , выход которого соединен с вторым входом сумма.тора, выход второго фотоприемника соединен с вторым входом дифференциального усилител  и информационным входом управл емого усилител . На чертеже представлена функциональна  схема устройства. Устройство содержит осветитель 1, состо щий из источника 2 света, первого фокусируюи его объектива 3, модул тора 4, блока 5 считывани  опорного сигнала, состо щего из дополнительного источника 6 света, дополни .тельного фотоприемника 7 и усилител  8, оптико-электронный преобразователь 9 состо щий из второго фокусирующего объектива 10 и блока 11 фотопреобразователей , состо щего из светоделительной призмы 12, фотоприемников 13 и 14, управл емый усилитель 1$, фазовый детектор 16, модул тор 17, усилитель 18 мощности, привод 19, источник 20 переменного напр жени , дифференциальный усилитель 21, сумматор 22, амплитудный детектор 23. Измер етс  линейное перемещение объекта 2k. Устройство работает следующим образом . Промодулированный модул тором k световой поток от источника 2 света фокусируетс  первым фокусирующим объек- тивом 3 на поверхность объекта 2k, имеющего отражающую поверхность. Отраженный от объекта 2k световой поток фокусируетс  вторым фокусирующим объективом 10 на ребре светоделительной призмы 12, раздел ющей световой поток на два световых потока, первый из которых попадает на фотоприемник 13, а второй - на фотоприемник Т. Фотоприемники 13 и Tt включены последовательно-встречно , вследствие чего на выходе второго фотоприемника I формируетс  напр жение, равное разности напр жений, формируемых каждым из фотоприемников 13 и 1А. Разностный сигнал поступает на информационный вход управл емого усилител  15, с выхода которого сигнал поступает на информационный вход фазового .детектора 16. Опорный сигнал с часУотой модул ции светового потока модул тором k формируетс  с помощью дополнительного источника 6 света, дополнительного фотоприемника 7, усилител  8. Опорный сигнал с выхрда усилител  8 поступает на опорный вход фазового детектора 16, выходной сигнал с которого в виде напр жени  посто нного тока поступает на информационный вход модул тора 17э на опорный вход которого поступает опорное напр жениес источника 20 переменного напр жени . На выходе модул тора 17 формирует с  сигнал, частота которого равна частоте источника 20 переменного напр жени , амплитуда пропорциональна амплитуде напр жени , поступающего на его информацио.нный вход, а фаза св зана с, пол рностью входного напр жени . Напр жение, снимаемое с выхода мо дул тора 17, усиливаетс  усилителем мощности и поступает на привод 19,на который также поступает опорное напр  жение с выхода источника 20 переменного напр жени „ Выход привода 19 св зан с осветителем 1 и оптико-электронным преобра зователем 9. При совмещении оптических осей пе вого и второго фокусирующих объективов 3 и 10 на Поверхности объекта 2М сцетовые потоки, попадающие на фотоприемники 13 и 14, равны, их разност равна нулю, напр жение на выходе управл емого усилител  15 равно нулю, и привод 19 не перемещает осветитель и оптико-электронный преобразователь 9. При смещении объекта 2k происходи перераспределение световых потоков, падающих на фотоприемники 13 и 1А, разностный сигнал усиливаетс  управл емым усилителем 15, детектируетс  фазовым детектором 16, модулируетс  модул тором 17, усиливаетс  усилителем 18 мощности. Усиленное напр жение поступает на привод 19 перемещающий одновременно осветитель 1 и оптико-электронный преобразователь 9 в положение, при котором световые потоку , падающие на фотоприемники 13 и ll станут равными. По величине перемещений осветител  1 и оптико-электронного преобразовател  9 можно судить о величине линейного перемещени  объекта Zk. Дл  поддержани  посто нной чувствительности след щей системы из разностного сигнала., снимаемого с выхода фотоприемника 1Ц дифференциальным усилителем 21, вычитаетс  сигнал, снимаемый с фотоприемника 13. Формируемый на выходе дифференциального усилител  21 сигнал, равный сигналу , снимаемому с фотоприемника 1, суммируетс  сумматором 22 с сигналом , -снимаемым с фотоприемника 13. Суммарный сигнал, формируемый на выходе сумматора 22, величина которого св зана с величиной светового потока, попадающего на фотоприемники 13 и }k, детектируетс  амплитудным детектором 23 и поступает на управл ющий вход управл емого усилител  15, уменьша  его усиление при увеличении ббщего светового потока, падающего на фотоприемниг ки 13. и 1 {., и увеличива  усиление управл емого усилител  15 при уменьшении общего светового потока, попадающего на фотоприемники 13 и Ц. Таким образом, за счет примененной схемы обработки сигнала компенсируетс  изменение выходного напр жени  при изменении суммарного светового потока, тем самым повышаетс  точность изменени . Экономический э( пт внепрени  изобретени  составит 110,9 тыс.руб.

Claims (1)

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОББЕКТОВ, содержащее осветитель, состоящий из источника света и первого фокусирующего объектива, оптико-электронный преобразователь, состоящий из второго фокусирующего объектива и блока фотопреобразователей , управляемый усилитель, привод, вход которого связан с выхо дом управляемого усилителя, а выход привода связан с оптико-электронным преобразователем и осветителем, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено дифференциальным усилителем, сумматором, выход которого связан с управляющим входом управляемого усилителя, а блок фотопреобразователей выполнен в виде светоделительной призмы и двух последовательновстречно включенных фотоприемников, выход первого фотоприемника соединен с первым входом сумматора и первым входом дифференциального усилителя, выход которого соединен с вторым g входом сумматора, выход второго фо’ топриемника соединен с вторым входом (Л дифференциального усилителя и инфор, мационным входом управляемого усйли- V·» теля. с fe м
SU823447445A 1982-05-31 1982-05-31 Устройство дл измерени линейных перемещений объектов SU1037070A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823447445A SU1037070A1 (ru) 1982-05-31 1982-05-31 Устройство дл измерени линейных перемещений объектов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823447445A SU1037070A1 (ru) 1982-05-31 1982-05-31 Устройство дл измерени линейных перемещений объектов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1037070A1 true SU1037070A1 (ru) 1983-08-23

Family

ID=21014870

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823447445A SU1037070A1 (ru) 1982-05-31 1982-05-31 Устройство дл измерени линейных перемещений объектов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1037070A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2606805C1 (ru) * 2015-10-06 2017-01-10 НаноОптоМетрикс ЛТД. Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство СССР № 659895, кло G 01 В 11 /.й, 197. 2 о Авторское свидетельство СССР № 1 28200, кл. G 01 В 11/02, 1971 (прототип). *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2606805C1 (ru) * 2015-10-06 2017-01-10 НаноОптоМетрикс ЛТД. Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений
WO2017060803A1 (ru) * 2015-10-06 2017-04-13 НаноОптоМетрикс ЛТД. Устройство для линейного перемещения объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR910020668A (ko) 광 빔 제어용 트래킹 제어장치
KR920006926A (ko) 광디스크 구동장치의 트랙편심 보정 방법 및 그 장치
DE69221931D1 (de) Optische Abtastvorrichtung
KR880002279A (ko) 감광성 반도체 소자와 광전자 초점 에러 검출 시스템 및 광학 정보 기록 판독장치
US5305084A (en) Heterodyne interferometer
SU1037070A1 (ru) Устройство дл измерени линейных перемещений объектов
US5132948A (en) Phase comparing apparatus and focus error detecting apparatus
FR2445512A1 (en) Position detecting system for image forming appts. - includes two part photodiode providing two signals with difference proportional to position error
SU868341A1 (ru) Устройство дл бесконтактного измерени рассто ний
EP0285723A2 (en) Path length control for laser angular rate sensors
SU1599650A1 (ru) Преобразователь линейных перемещений
SU1215004A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
KR900003159Y1 (ko) 포커스 에라 오프셋 자동 보상회로
SU1677520A1 (ru) Фотоэлектрическое измерительное устройство
KR940004611A (ko) 데이타 신호에서 잡음요소를 감소시키는 방법 및 장치
SU1067353A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений объекта
KR100329277B1 (ko) 레이저 광의 자동 초점 유지 장치
SU1661571A1 (ru) Устройство дл измерени профил отражающей поверхности
SU1613857A1 (ru) Устройство дл измерени перемещени объекта
SU966721A1 (ru) Устройство считывани фотоэлектрического растрового преобразовател
SU1096497A1 (ru) Устройство дл измерени линейных перемещений
SU1467401A1 (ru) Устройство неразрушающего контрол параметров колебаний строительных изделий
SU739384A1 (ru) Устройство дл измерени атмосферной рефракции
RU1796901C (ru) Устройство дл бесконтактного измерени профил деталей
SU457958A1 (ru) Двухкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор