SE511189C2 - Metod och anordning för en laserskrivare för komplexa mikrolitografiska mönster med en fördröjingskrets - Google Patents

Description

511189 U'| 10 15 20 25 30 35 2 Naturligtvis finns det härmed ett behov av en mycket exakt och tillförlitlig tidsfördröjningskrets, och det är något som har varit ett problem i den tidigare kända tek- niken vilken använder integrerande fördröjningskretsar, skapande fördröjningen som tiden som behövs för att för- ändra en integreringskondensator till en bestämd nivå.

Det är också ett problem med synkronisering mellan för- dröjningskretsen och klockpulsgeneratorn, och med kompli- cerade och tidskonsumerande inställningsjusteringar, vil- ka är nödvändiga i varje ny installation, och också när det har skett förändringar i klockhastigheten etc.

Vidare är dessa kända fördröjningskretsar inte snab- ba nog vad gäller förändring av tidsvärden, vilket leder till en försämring av kapaciteten för apparaten. De kända fördröjningskretsarna är också känsliga mot störningar.

Det är därför ett syfte med föreliggande uppfinning att tillhandahålla en anordning av den ovan nämnda typen med en förbättrad fördröjningskrets. ' Detta syfte uppnås med en anordning i enlighet med patentkrav l. Andra särdrag och fördelar med föreliggande uppfinning kommer att förstås ifrån de beroende kraven, och ifrån den följande detaljerade beskrivningen av ett föredraget utförande av uppfinningen med hänvisning till de bifogade ritningarna.

Kortfattad sammanfattning av uppfinningen Föreliggande uppfinning hänför sig till en metod och anordning för skrivande av litografiska mönster med en rasterscanningsteknik omfattande användning av en elek- tronisk klocka för att styra moduleringen av strålen där placeringen i scanningsriktningen för mönsterelementen styrs med tidsfördröjningar av åtminstone en klocksignal med delar av en klockperiod. Uppfinningen kännetecknas av att nämnda klockperiod delas i ett antal lika stora tids- tidsvärden med hjälp av en fas-låst-loop och ett speci- fikt tidsvärde väljs i enlighet med ett digitalt styrord.

Härmed erhålls flera fördelar, såsom att det inte finns lO 15 20 25 35 511 189 3 något behov av inställningsjusteringar, en automatisk justering till klockan och stabilitet mot störningar.

I enlighet med ett föredraget utförande av uppfin- ningen omfattar den faslåsta kretsen N-fördröjnings- element, vilka vardera tillhandahåller en ytterligare fördröjning på 1/N av klockperioden, varvid N är digitalt justerbart mellan åtminstone två förutbestämda värden, 60 och 64. las exakt med flera olika tal, företrädesvis 50, Härmed kan klockperioden de- vilket minskar problemet med avrundningsfel.

I enlighet med ett annat föredraget utförande av uppfinningen omfattar den faslåsta kretsen N fördröj- ningselement, där N är ett antal sådant att N = 2” där n är ett positivt tal, varvid vilken som helst¿tidsperiod digitalt kan representeras av ett binärt ord för antalet kompletta klockperioder och ett binärt ord för den ytter- ligare fördröjningen som ett antal l/N fraktioner av en klockperiod. Härmed blir vilken som helst tidperiod myck- et enkel att uttrycka och kommunicera.

I enlighet med ett annat föredraget utförande av fö- religgande uppfinning används den faslåsta kretsen för tillhandahållande av en adressupplösning som är väsent- ligt mycket högre än vad som ges av den elektroniska klockan, med tidsfördröjningar i respektive klockperio- der.

I enlighet med ytterligare ett föredraget utförande av föreliggande uppfinning används fördröjningskretsen för att fördröja den ingående klocksignalen hos elektro- nikklockan för vissa logikkomponenter, såsom komponenter för justerande av andra strålar i fallet med multipel- strålskrivning, eller komponenter för finjustering av placeringen av hela mönstret i scanningsriktningen.

Kortfattad beskrivning av ritningarna Fig l visar en anordning för producerande av ett yt- mönster eller en struktur i enlighet med den tidigare kända tekniken. 10 20 25 30 35 511 189 4 Fig 2 visar ett utförande av en modulatordrivlogik som kan användas i anordningen i fig 1.

Fig 3 visar fördröjningskretsen som skall användas i uppfinningen i enlighet med ett föredraget utförande.

Fig 4 visar ett tidsschema illustrerande operationen för fördröjningskretsen i fig 3.

Fig 5 visar ett annat utförande av fördröjningskret- sen i enlighet med uppfinningen.

Föredragna utföranden I fig 1 visas en anordning i enlighet med den tidi- gare kända tekniken för genererande av ytmönster eller strukturer på eller substrat med ett fotokänsligt hölje. I det illustrerade utförandet, är substratet 3 an- ordnat på ett objektbord 19 vilket är rörligt i X- och Y- riktningen. Ett skrivhuvud med en fokuseringslins 15 och ett deflektororgan 14 är anordnat till att vara statio- närt i X- och Y-riktningarna. 5 Laserstrålkällan 13 alstrar en laserstràle vilken moduleras vad gäller dess effekt och specifikt dess in- tensitet av ett modulatororgan 5. Fokuseringslinsen 15 fokuserar laserstràlen och formar en fokuserad laserstrà- le såsom indikerats vid 1, substratet 3. vilket riktas mot ytan hos För att kontrollera positionen för objektbordet 19, har anordningen positionskontrollorgan l8x och l8y vilka kontrollerar positioneringen av objektbordet 19 i X- och Y-riktningarna relativt skrivhuvudet (deflektororganet 14 och fokuseringslinsen 15). Tillsammans med elektriska mo- torer 17x och 17y, formar positionskontrollorganen l8x och l8y en servomekanism, vilken alstrar den precist styrda rörelsen av objektbordet 19.

Servomekanismerna alstrar remsor 30 av en given bredd när laserstrålen 1 scannar längs scanningslinjen 2 i X-riktningen med en konstant hastighet. När en respek- tive remsa 30 är fullgjord, utför X-servomekanismen en återförande sveprörelse till startpositionen och objekt- 10 15 20 25 30 35 511189 5 bordet 19 flyttas sedan i Y-riktningen med bredden för en remsa av den elektriska motorn l7y.

Laserstrålen från källan 13 passerar genom den akusto-optiska modulatorn 5 vilken drivs av en högfrek- vent moduleringsdrivsignal 4. Moduleringsdrivsignalen 4 tillförs av modulatordrivlogikorgan 6. Intensiteten eller effekten för modulationsdrivsignalen 4 styrs av en analog moduleringsdrivsignal från en digital-analogomvandlare.

Digital-analogomvandlaren, vilken är anordnad i module- ringsdrivsteget eller logikorganen 6, som visas i fig 3, styrs av en effektstyrsignal 7 med hjälp av ett lagrings- organ vilket företrädesvis är i form av ett register, för lagring av det digitala effektstyrningsordet som erford- ras för alstrande av styreffekten. «¿ Allmänt, innefattar datalevereringsorganet en klocka som har en förutbestämd klockperiod mellan klockpulserna, för att upprätta ett regelbundet tåg av klockpulser. En databehandlingsenhet tillhandahålls för att acceptera in- gående data och behandla eller upprätta strålintensitets- data och stràlpositionsdata för en kant i mönstret som skall skrivas. Både strålintensitetsdatan och strålposi- tionsdatan upprättas i ett digitalt format. Anordningen innefattar även, som del av datalevereringsorganet en signalbehandlingsenhet för omvandlande av strålpositions- data till en ekvivalent tid för positionering av laser- strålen längs scanningslinjen under scanningen. Specifikt konverteras denna ekvivalenta tid som ett helt tal av klockpulser samt en restdel. För att skapa en tidspuls svarande mot den ekvivalenta tiden, kan digitala räknar- organ vara tillhandahàllna för att generera en tidsstyr- ningspuls vid en tid svarande mot heltalet hos klockpul- serna och en tidsfördröjningskrets kan vara anordnad för att tillföra tidsstyrningspulsen en tidsfördröjning lika med den kvarvarande resten. När väl motsvarande tidspul- ser skapas, kan kretsen användas för att sätta modulä- torns ingående signal till den digitala strålintensitets- datan vid ankomsten av tidsstyrningspulsen. (fl l0 15 20 25 30 35 511 189 6 Hänvisning kommer nu att göras till fig 2, vilken visar ett föredraget utförande av modulatordrivlogikorga- nen 6 som beskrives ovan med hänvisning till fig l. Den har två lagringsorgan för bitord, i form av register 605 och 608. Registret 605 laddas med intensitets- eller ef- fektdata 7, kommande från datalevereringsorganen 24 visa- de i fig 1. Registret 608 laddas med positions- eller fördröjningsdata 25 vilka också kommer från datalevere- ringsorganet 24. Detta sker på basis av en övergång orsa- kad av klocksignalen 31. drivs också en I arrangemanget, digital-analogomvandlare 606 av effektdatan som tidigare lagrats i lagringsorganet 607. Detta kan också vara i form av ett register. En digitalt styrd fördröjningskrets 609 överför klocksignalen 31 till dess utgående sida, med en fördröjning vilken beror på data lagrad i registret 608. Efter denna fördröjning tillförs den aktiva kanten av klocksignalen till utgången 610 hos fördröjningskret- sen 609. Värdet lagrat i registret 605 laddas till re- gistret 607 och överförs till den ingående sidan av digi- tal-analogomvandlaren 606. Efter en intern fördröjning i digital-analogomvandlaren 606, uppkommer en ny analog ef- fektstyrsignal 4 vid utgången av modulatordrivsteget hos (fig 1).

I den tidigare kända tekniken, modulatoranordningen 5 var fördröjningskret- sarna digitalt styrda analoga fördröjningskretsar. Dessa analoga fördröjningskretsar hade flera nackdelar. Exem- pelvis är minimitidsteget relativt stort, och det finns ett stort behov av separata justeringar till klockan, la- tensperioderna är väsentligt mycket större, varvid det finns ett behov av flera fördröjningskretsar vilka arbe- tar i skift, och det finns en stor känslighet för externa störningar och hastigheten är mycket begränsad.

I fig 3 visas en fördröjningskrets i enlighet med föreliggande uppfinning. Fördröjningskretsen omfattar en (”delayed-locked-loop”) omfattar N-seriellt sammankopplade fördröjningselement fas-làst-loop vilken i sin tur 301, där N är ett heltal större än 2. Varje fördröjnings- 10 15 20 25 30 35 511189 7 element fördröjer en referenssignal från klockan med en tidskvantitet. Denna tidskvantitet är företrädesvis den- samma för alla elementen, dvs 1/N av klockperioden. Na- turligtvis kan fördröjningskretsen också omfatta flera faslåsta loopar.

Kretsen omfattar också en faskomparator 302 samman- kopplad med utgången av det sista fördröjningselementet för mottagande av den genomgående fördröjda signalen och referenssignalen från klockan. Därmed, genererar faskom- paratorn 302 en kontrollsignal indikerande skillnaden mellan en fas för nämnda genomförda fördröjningssignal och en fas för nämnda referenssignal. Utgången av faskom- paratorn är ansluten till nämnda fördröjningselement för överförande av styrsignalen till fördröjninggelementen varvid vardera av fördröjningselementen justeras så att fasen för nämnda referenssignal är synkroniserad med fa- sen för nämnda genomförda fördröjningssignal. Dvs, för- dröjningskretsen omfattar ett återkopplingssystem, vilket automatiskt justerar storleken på fördröjningen i varje fördröjningssteg.

Kretsar som använder fas-låst-looptekniker är kända exempelvis från det amerikanska patentet 4 338 569. Dessa kända kretsar har använts i helt andra områden, såsom: justering av klockförvrängning (”clock skew”) och tids- mätningar (huvudsakligen inom området nukleär fysik och liknande).

Fördröjningskretsarna enligt uppfinningen omfattar också en utväljande del, företrädesvis omfattande en mul- tiplexer 303 som är ansluten till fördröjningselementen för mottagande av en fördröjningssignal genererad av för- dröjningselementen 301 och för att styra utsignalen från fördröjningskretsen i enlighet med den önskade kvarvaran- de resten.

Till ingången för multiplexern 303 är anslutet den utgående signalen från respektive fördröjningselement.

Detta åstadkoms företrädesvis med NAND-grindar 304, så att signalen före och efter varje fördröjningselement 301 511189 10 15 20 25 30 35 8 är anslutet till en NAND-grind 304, utsignalen från den- samma är Överförd till multiplexern 303. På detta sätt är de ingående signalerna till multiplexern 303 mycket korta pulser.

Signalerna mellan de olika fördröjningselementen il- lustreras i tidsschemat i fig 4.

Multiplexern har också ett styrt ord som insignal, och i enlighet med detta styrord, väljs den korrekta ut- signalen. Multiplexern i enlighet med uppfinningen har företrädesvis en avaktiveringsfunktion, varvid en avakti- veringssignal vid avaktiveringsingången kan förhindra att en signal utsänds. Detta är viktigt för att undertrycka en fördröjningssignal från fördröjningskretsar för att exempelvis förhindra fördröjningssignaler från att komma in i nästa klockperiod, osv.

Utsignalen från multiplexern 303 är företrädesvis vidareförd genom en pulsförlängare 305. Pulsförlängaren gör de utgående pulserna från fördröjningskretsen längre i tiden. Detta reducerar känsligheten för brus.

Fördröjningsvärdet kan dynamiskt sättas med en förd- röjningsstyrinsignal (styrord) till vilket som helst vär- de mellan 0 och N-1. att N = 2“, vilken som helst tidsperiod digitalt representeras av ett N är företrädesvis ett antal sådant där n är ett positivt heltal. Härigenom kan binärt ord för antalet fullständiga perioder och ett bi- närt ord för den ytterligare fördröjningen ett antal av 1/N delar av en klockperiod.

Vidare, styrs N företrädesvis av en ingående port och kan valbart sättas till vilket som helst av värdena 50, 60 eller 64. Inställningsingången är inte visad i fig 1. Härmed kan klockperioden exakt delas med 2, 3, 4, 5, 6, 8, 10, 12, 15, 16, 20, 25, 30, 32, 50, 60 och 64. Möj- ligtvis kan värdet sättas till 72, och därmed tillhanda- hålla en exakt delning med 9, 18, 24, 36 och 72. Detta är av stort värde för att undvika avrundningsfel. Andra vär- den som kan användas för N är: 25, 30, 32, 36, 40, 72, 80, 100, 120 och 128. Ytterligare värden är naturligtvis 10 15 20 25 30 35 511189 9 möjliga, så länge som de tillhandahåller en exakt delning av antal som är värdefulla för den avsedda applikationen, och företrädesvis flera olika sådana antal.

Kretsen är företrädesvis utformad med emitterkopplad ECL) teknik.

I fig 5 visas ett alternativt utförande av fördröj- logik (”Emitter Coupled Logic", ningskretsen i enlighet med uppfinningen. Fördröjnings- kretsen i detta utförande omfattar också en fas-låst-loop med seriellt anslutna fördröjningselement 301 och en Dock, enlighet med detta utförande en andra uppsättning av se- faskomparator 302. omfattar fördröjningskretsen i riellt anslutna fördröjningselement 501, varvid styrsig- nalen från faskomparatorn 302 inte endast återsänds till fördröjningselementen 301 i den första uppsättningen utan också till fördröjningselementen 501 i den andra uppsätt- ningen. Med detta arrangemang, kommer fördröjningselemen- ten 501 i den andra uppsättningen att ha samma fördröj- ningstidsvärden som fördröjningselementen 301 i den för- Med det- ta utförande kan den första uppsättningen ha en första sta uppsättningen (exempelvis 2 ns per element). ingång, lN1, och den andra uppsättningen en andra ingång, IN2. Härmed, ingående signalen, vilken kan vara asynkron med den för- finns en möjlighet att fördröja den andra sta ingående signalen (exempelvis klocksignalen), med fördröjningstidsvärdena som automatiskt justeras till den första ingående signalen.

Fördröjningskretsen i enlighet med uppfinningen tillhan- dahàller flera fördelar utöver den tidigare kända tekni- ken, såsom: ° mer stabil och robust mot störningar; ° inget behov av inställningsjusteringar; ° automatiska justeringar till klockan; ° den kan göras mycket kompakt; ° digitalt styrd delning; ° högre klockfrekvens; ° ingen latens eller vänteperioder i exempelvis kon- densatorer. 511 189 10 15 25 10 Exempelvis kan en klocka med 50 Mhz tillhandahålla en klockperiod T = 20 ns. Om denna period skall delas med 60, blir resultatet 333 ps per steg. En väntad avvikning för kretsen i enlighet med uppfinningen är omkring +/- 170 ps, jämfört med +/-1000 ps för analoga kretsar. Detta illustrerar klart det minskade behovet av inställnings- justeringar med kretsen i enlighet med uppfinningen.

Fördröjningskretsen för uppfinningen tillhandahålles sålunda exakt delning av klockpulserna, och därigenom alstrar den en mycket exakt tidsfördröjning. Kretsen an- passas också till klocksignalen, och är därför alltid synkroniserad med klockan.

Fördröjningskretsen beskriven enligt ovan kan också användas för andra ändamål i skrivningen av-lgtografiska mönster med rasterscanningsteknik. Fördröjningskretsen kan användas för att fördröja den ingående klocksignalen för elektronikklockan för vissa logikkomponenter, såsom komponenterna för justering av stràlen relativt andra strålar i fallet med multipla strålar som skriver, eller komponenter för finjustering av placeringen av hela mönstret i scanningsriktningen.

Termerna och uttrycken som använts i den föregående beskrivningen har använts däri som termer för beskrivning och inte för begränsning, och det finns ingen avsikt vid användningen av sådana termer och uttryck att utesluta ekvivalenter av särdragen som visats och beskrivits eller delar därav, och det inses att området för uppfinningen definieras och avgränsas endast av patentkraven som föl- jer.

Claims (22)

10 15 20 25 30 35 511189 ll PATENTKRAV

1. l. Metod för skrivning av litografiska mönster med en lasterscanningsteknik omfattande användningen av en elektronisk klocka för att styra moduleringen av strålen där placeringen i scanningsriktningarna för mönsterele- ment styrs av tidsfördröjningar med delar av en klockpe- riod, k ä n n e t e c k n a d av att nämnda klocka an- vänds för att generera ett antal företrädesvis lika långa fördröjningsvärden med hjälp av en fas-låst-loop (609) (”delay-locked loop”) och ett specifikt fördröjningstids- värde väljs i enlighet med ett digital styrord.

2. Metod i enlighet med patentkrav 1, där det digi- tala styrordet förändras dynamiskt under skrivningen av ett mönster. «¿

3. Metod i enlighet med patentkrav l eller 2, k ä n n e t e c k n a d av att nämnda tidsfördröjningskrets omfattar en fas-låst- loop omfattande: " åtminstone N seriellt sammankopplade fördröjnings- element (301), där N är ett heltal större än 2, där var- dera fördröjer en referenssignal från nämnda klocka med ett tidskvantum, och en faskomparator (302) ansluten till utgången av det Nzte fördröjningselementet för mottagande av den genom- förda fördröjningssignalen och referenssignalen, för ge- nererande av en styrsginalen indikerande skillnaden mel- lan en fas för nämnda genomförda fördröjningssignal och en fas för nämnda referenssignal, och återkopplingsorgan för överförande av styrsignalen till fördröjningselemen- ten, och därigenom justera vardera av fördröjningselemen- ten så att fasen för nämnda referenssignal är synkronise- rad med fasen för nämnda genomförda fördröjningssignal.

4. Metod i enlighet med något av ovanstående patent- krav, k ä n n e t e c k n a d av att nämnda fördröjning- ar genereras av ett antal seriellt sammankopplade för- dröjningselement styrda av styrsignalen i den fas-låsta loopen. 511 189 20 30 35 12

5. Metod i enlighet med patentkrav 3, k ä n n e - t e c k n a d seriellt sammankopplade fördröjningselementen (301) av att klocksignalen är ansluten till de styr- da av nämnda styrsignal och utväljande ett antal fördröj- ningselement för att fördröja nämnda klocksignal till ut- gången i enlighet med nämnda digitala styrord.

6. Metod i enlighet med något av ovanstående patent- k ä n n e t e c k n a d av att krav, fördröjningskretsen omfattar N fördröjningselement (301), vilka vardera till- handahåller en ytterligare fördröjning på 1/N av klockpe- rioden, varvid N är digitalt justerbart med åtminstone två förutbestämda värden, företrädesvid valda bland vär- dena 25, 30, 32, 36, 40, 50, 60, 64, 72, 80, 100, 120 och 128. 1

7. Metod i enlighet med något av ovanstående patent- é krav, k ä n n e t e c k n a d av att klockperioden delas i N ökningar (steg), där N är ett antal sådant, att N = 2” där n helst tidsperiod digitalt kan representeras med ett bi- är ett positivt heltal, varvid vilken som närt ord för antalet fullständiga klockperioder och ett binärt ord för den ytterligare fördröjningen som ett an- tal av l/N av en klockperiod.

8. Metod i enlighet med något av patentkraven 1 - 7, k ä n n e t e c k n a d av att fördröjningskretsen an- vänds för att tillhandahålla en adressupplösning för mönsterelement som är betydligt mycket högre än vad som ges av den elektroniska klockan, med tidsfördröjning i respektive klockperioder.

9. Metod i enlighet med något av patentkraven 1 - 7, k ä n n e t e c k n a d av att fördröjningskretsen an- vänds för att fördröja den ingående klocksignalen för elektronikklockan för vissa logikkomponenter.

10. Metod i enlighet med patentkrav 9, k ä n n e - t e c k n a d av att logikkomponenter är komponenter för justerande av strålen relativt andra strålar i fallet med multipel strålskrivning. lO 15 20 25 30 35 511 189 13

11. ll. Metod i enlighet med patentkrav 9, k ä n n e - t e c k n a d av att logikkomponenterna är komponenter för finjusteringsplacering av hela mönstret i scannings- riktningen.

12. Anordning avpassad för skrivning av litografiska omfattande en elektro- (609), av att tidsfördröjningskretsen är en mönster med rasterscanningsteknik, nisk klocka och en tidsfördröjningskrets k ä n - n e t e c k n a d varvid ut- fas-låst-loopkrets, driven av nämnda klocka, signalen från fördröjningskretsen bestäms av ingående data.

13. Anordning i enlighet med patentkrav 12, varvid den är avpassad för skrivning av komplexa mönster på en av en ljuskänslig yta (3) med scanning av åtminstone en, modulator (5) i parallella modulerad, laserstråle (1) scanningslinjer (2) medan den förflyttas längs scannings- remsor (30) i en riktning vinkelrätt mot scanningslinjer- na, varvid anordningen omfattar: å (24) lerna till nämnda modulator medan laserstrålen scannas, datalevereringsorgan för styrande av insigna- varvid datalevereringsorganen innefattar en klocka med en förutbestämd klockperiod mellan klockpulserna; en databehandlingsenhet (6) för mottagande av ingå- ende data och beräknande av strålintensitetsdata och stràlpositionsdata, vardera i ett digitalt format, för en kant i mönstret, en signalbehandlingsenhet (6) för omvandlande av strålpositionsdata till en ekvivalent tid för positione- ring av laserstràlen längs scanningslinjen under scan- ningen, och omvandlande av denna ekvivalenta tid till ett heltal pulser plus en kvarvarande rest, och (609) vandlingen i den modulerade datan, alstrande nämnda kvar- en tidsfördröjningskrets för att fördröja om- varande rest, för högre adressupplösningar än svarande mot dataklockpulserna. 15 20 25 30 35 511189 14

14. Anordning i enlighet med patentkrav 12 eller 13, k ä n n e t e c k n a d av att nämnda tidsfördröjningskrets (609) omfattar en fas- låst-loop omfattande: N seriellt sammankopplade fördröjningselement (301), där N är ett heltal större än 2, vardera fördröjande en referenssignal från nämnda klocka, med ett tidskvantum, (302) det Nzte fördröjningselementet för mottagande av den en faskomparator sammankopplad med utgången av genomförda fördröjningssignalen och referenssignalen, för genererande av en styrsignal indikerande en skillnad mel- lan fasen för nämnda genomförda fördröjningssignal och fasen för nämnda referenssignal, och återkopplad till nämnda fördröjningselement för överförande am styrsigna- len till fördröjningselementen, varvid vardera av för- dröjningselementen justeras så att fasen för nämnda refe- renssignal synkroniseras med fasen för nämnda genomförda fördröjningssignal, C (303) elementen för mottagande av den fördröjda signalen gene- en multiplexer sammankopplad med fördröjnings- rerad av fördröjningselementen och för att styra utsigna- len från fördröjningskretsen i enlighet med den önskade kvarvarande resten.

15. Anordning i enlighet med något av patentkraven 12 - 14, dröjning genereras av ett antal seriellt sammankopplade (3OM k ä n n e t e c k n a d av att nämnda tidsför- fördröjningselement styrda av styrsignalen i den fas-låsta loopen.

16. Anordning i enlighet med patentkrav 14, k ä n - n e t e c k n a d av att vardera av fördröjningselemen- ten fördröjer referenssignalen från nämnda klocka, med ett tidskvantum som är 1/N av en klockperiod.

17. Anordning i enlighet med något av patentkraven 12 - 16, kretsen omfattar N fördröjningselement, k ä n n e t e c k n a d av att fördröjnings- vilka vardera tillhandahåller en ytterligare fördröjning på 1/N av klockperioden, varvid N är digitalt justerbar mellan åt- l0 15 20 25 511 189 15 minstone två förutbestämda värden, företrädesvis valda bland värdena 25, 30, 32, 36, 40, 50, 60, 64, 72, 80, 100, 120 och 128.

18. Anordning i enlighet med något av patentkraven 12 - 17, k ä n n e t e c k n a d av att fördröjnings- kretsen är tillverkad med ELC (”Emitter Coupled Logic”) teknik.

19. Anordning i enlighet med något av patentkraven 12 - 17, kretsen är tillverkad med CMOS teknik. k ä n n e t e c k n a d av att fördröjnings- ("Complementary Metal- Oxide Semiconductor”)

20. Anordning i enlighet med något av patentkraven 12 - 19, tillhandahåller en adressupplösning i mönsterelementen k ä n n e t e c k n a d av att anordningen som är väsentligt mycket högre än vad som ges av den elektroniska klockan genom en tidsfördröjning från nämnda fördröjningskrets i respektive klockperioder.

21. Anordning i enlighet med något av patentkraven 12 - 19, en flerstråleskrivare, k ä n n e t e c k n a d av att anordningen är där fördröjningskretsen är avpas- sad att fördröja de ingående klocksignalerna från elekt- ronikklockan för att justera strålen relativt de andra strålarna.

22. Anordning i enlighet med något av patentkraven 12 - 19, kretsen används för att fördröja de ingående klocksigna- k ä n n e t e c k n a d av att fördröjnings- lerna ifrån elektronikklockan för finjustering av placer- ingen av hela mönstret i skrivriktningen.