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Gebiet der
Erfindung
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Die
Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur
Erzeugung von Lithographien, insbesondere auf das Schreiben von
Photomasken für
und die Führung
des Schreibens von Computeranzeigen, mikroelektronischen Einrichtungen
und Präzisions-Photoätzeinrichtungen,
unter Verwendung eines Verzögerungsschaltkreises,
wie er beispielsweise aus dem Europäischen Patent 0 467 076 bekannt
ist. Sie ist ebenfalls für
optische Einrichtungen und für
eine Vielzahl von elektronischen Schaltungsstrukturen, wie Multichip-Module,
einsetzbar. Ferner sind weitere Anwendungen möglich, wie Druckerei oder Graphik
sowie Laserprojektionsanzeigen.
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Hintergrund
der Erfindung
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Es
besteht eine Entwicklung hin zu einer ständig wachsenden Anzahl an Ausgestaltungen
von Photomasken und immer komplizierter werdenden Designs. Für Computeranzeigen
bzw. -displays und TV-Bildschirme wie auch für mikroelektronische Produkte
existiert eine schnelle Entwicklung hin zu größeren Abmessungen und zugleich
zu kleineren elementaren Einheiten. Am dramatischsten ist die Entwicklung
bei Halbleiterspeichern, wobei eine Photomaske eine Milliarde oder
mehr elementare Geometrien umfassen könnte.
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Einen
weiteren Gesichtspunkt stellt das Bedürfnis an feineren Adressenrastern
dar. Das Schreibsystem für
Halbleitermasken muss dazu in der Lage sein, in Einheiten von 10
nm (Nanometern) oder weniger festgelegte Merkmale zu schreiben.
In dem Europäischen
Patent 0 467 076 derselben Anmelderin ist offenbart, dass eine Kombination
von Zeitverzögerungen
und analoger Leistungsmodulation zum Erreichen eines beliebig kleinen
Adressenrasters genutzt werden kann. Dasselbe Patent offenbart ferner
die Verwendung einiger Strahlen sowie paralleler Datenpfade zur
Erhöhung
des Durchsatzes des Schreibsystems.
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Naturgemäß besteht
hierbei ein Bedarf an einem sehr exakten und zuverlässigen Zeitverzögerungsschaltkreis,
was im Stand der Technik bislang ein Problem dargestellt hat, wobei
integrierte Verzögerungsschaltkreise
eingesetzt wurden, welche die Verzögerung als die zur Änderung
eines integrierten Kondensators auf ein vorherbestimmtes Niveau
erforderliche Zeit erzeugen. Ferner besteht ein Problem in der Synchronisierung
des Verzögerungsschaltkreises
mit dem Taktgeber sowie in komplizierten und zeitaufwändigen Tuning-Einstellungen,
die bei jeder neuen Installation und auch nach Änderungen des Taktes etc. erforderlich
sind.
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Überdies
sind die bekannten Verzögerungsschaltkreise
nicht schnell genug in einer Änderung von
Zeitwerten, was zu einer Verschlechterung der Leistung der Vorrichtung
führt.
Schließlich
sind die bekannten Verzögerungsschaltkreise
störempfindlich.
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Daher
besteht ein Ziel der vorliegenden Erfindung darin, eine Vorrichtung
der eingangs genannten Art mit einem verbesserten Verzögerungsschaltkreis
vorzuschlagen.
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Dieses
Ziel wird mit einem Verfahren gemäß Anspruch 1 und mit einer
Vorrichtung gemäß Anspruch
12 erreicht. Weitere Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung
ergeben sich aus den abhängigen
Ansprüchen
und aus der nachfolgenden, detaillierten Beschreibung einer bevorzugten
Ausführungsform
der Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen.
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Kurze Zusammenfassung
der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum Schreiben von lithographischen Mustern mittels Rasterabtasttechnik
unter Verwendung eines elektronischen Taktgebers zum Steuern der
Modulation des Strahls, wobei die Platzierung von Musterelementen
in den Abtastrichtungen durch Zeitverzögerungen wenigstens eines Taktsignals
um Bruchteile einer Taktperiode gesteuert wird. Die Erfindung ist
dadurch gekennzeichnet, dass die Taktperiode in eine Anzahl von
gleichmäßig beabstandeten
Zeitwerten mittels einer verzögert-verriegelten
Schleife unterteilt ist, und dass ein bestimmter Zeitwert entsprechend
einem digitalen Steuerbefehl ausgewählt wird. Hierdurch ergeben
sich eine Vielzahl an Vorteilen, wie die Entbehrlichkeit von Tuning-Einstellungen,
eine automatische Einstellung des Taktgebers und eine Stabilität gegenüber Störungen.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführung
der Erfindung ist vorgesehen, dass der Verzögerungsschaltkreis N Verzögerungselemente
aufweist, die jeweils eine zusätzliche
Verzögerung
um 1/N-tel der Taktperiode bewirken, wobei N zwischen wenigstens zwei
vorbestimmten Werten, vorzugsweise 50, 60 und 64, digital einstellbar
ist. Hierdurch lässt
sich die Taktperiode exakt in mehrere verschiedene Anzahlen unterteilen,
so dass das Problem von Rundungsfehlern verringert wird.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ist vorgesehen, dass der Verzögerungsschaltkreis N Verzögerungselemente aufweist,
wobei N eine Zahl ist, so dass N = 2n, wenn es
sich bei n um eine positive ganze Zahl handelt, wobei jegliche Zeitperiode
durch ein binäres
Wort für die
Anzahl vollständiger
Taktperioden und ein binäres
Wort für
die zusätzliche
Verzögerung
als eine Anzahl von 1/N-Bruchteilen einer Taktperiode digital dargestellt
werden kann. Hierdurch werden jegliche Zeitperioden sehr einfach
festlegbar und übermittelbar.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ist vorgesehen, dass der Verzögerungsschaltkreis durch Zeitverzögerung in den
entsprechenden Taktperioden zum Bereitstellen einer Adressauflösung benutzt
wird, die signifikant höher
ist als diejenige des elektronischen Taktgebers.
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Gemäß noch einer
weiteren bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ist vorgesehen, dass der Verzögerungsschaltkreis zum Verzögern des
Eingangs-Taktsignals des elektronischen Taktgebers für bestimmte
logische Komponenten, wie Komponenten zur Einstellung des Strahls
relativ zu anderen Strahlen im Falle eines Schreibens mit Mehrfachstrahlen
oder Komponenten zum fein eingestellten Platzieren des gesamten
Musters in der Abtastrichtung, verwendet wird.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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In
der Zeichnung zeigen:
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1 eine
Vorrichtung zur Erzeugung eines Flächenmusters oder einer Flächenstruktur
gemäß den Stand
der Technik;
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2 eine
Ausführungsform
der Treiberlogik eines Modulators, wie sie bei der Vorrichtung gemäß 1 eingesetzt
werden kann;
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3 eine
bevorzugte Ausführungsform
eines erfindungsgemäß eingesetzten
Verzögerungsschaltkreises;
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4 ein
Zeitdiagramm zur Veranschaulichung der Funktion des Verzögerungsschaltkreises gemäß 3;
und
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5 eine
weitere Ausführungsform
eines erfindungsgemäßen Verzögerungsschaltkreises.
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Bevorzugte
Ausführungsformen
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In 1 ist
eine Vorrichtung zur Erzeugung von Flächenmustern oder Flächenstrukturen
auf lichtempfindlich beschichteten Trägern oder Substraten gemäß dem Stand
der Technik wiedergegeben. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel
ist das Substrat 3 auf einer Objektplatte 19 angeordnet,
die in x- und y-Richtung verlagerbar ist. Ein Schreibkopf mit einer
Fokussierlinse 15 und einer Deflektoreinrichtung 14 ist
in x- und y-Richtung stationär
angeordnet.
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Eine
Laserstrahlquelle 13 erzeugt einen Laserstrahl, der im
Hinblick auf seine Leistung und insbesondere auf seine Intensität durch
eine Modulatoreinrichtung 5 modulierbar ist. Die Fokussierlinse 15 fokussiert
den Laserstrahl und erzeugt einen auf die Oberfläche des Substrates 3 gerichteten,
fokussierten Laserstrahl, wie er mit dem Bezugszeichen 1 angedeutet
ist.
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Zur
Erfassung der Position der Objektplatte 19 ist die Vorrichtung
mit Positionserfassungseinrichtungen 18x, 18y ausgestattet,
welche die Positionierung der Objektplatte 19 in x- und
y-Richtung relativ zu dem Schreibkopf (Deflektoreinrichtung 14 und
Fokussierlinse 15) erfassen. Die Positionserfassungseinrichtungen 18x, 18y bilden
gemeinsam mit Elektromotoren 17x, 17y einen Servomechanismus,
der für
eine exakt gesteuerte Verlagerung der Objektplatte 19 sorgt.
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Der
Servomechanismus erzeugt Streifen 30 mit einer vorgegebenen
Breite, wenn der Laserstrahl 1 in x-Richtung entlang von
Abtastlinien 2 mit einer konstanten Geschwindigkeit abtastet.
Sobald ein jeweiliger Streifen 30 vervollständigt ist,
führt der
Servomechanismus in x-Richtung eine Rücksprungbewegung in die Startposition
durch und wird die Objektplatte 19 anschließend in
y-Richtung um die Breite eines Streifens mittels des Elektromotors 17y verlagert.
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Der
aus der Quelle 13 austretende Laserstrahl tritt durch den
akustooptischen Modulator 5 hindurch, welcher durch ein
Hochfrequenzmodulations-Treibsignal 4 getrieben ist. Das
Modulations-Treibsignal 4 wird von dem Treiberlogik-Mittel 6 des
Modulators 4 bereitgestellt. Die Intensität oder Leistung
des Modulations-Treibsignals 4 wird von einem analogen
Modulations-Treibsignal eines Digital/Analog-Umsetzers gesteuert.
Der Digital/Analog-Umsetzer, der – wie in 2 gezeigt – in der
Modulatortreiberstufe bzw. in dem Logikmittel 6 vorgesehen
ist, wird durch ein Leistungssteuerungssignal 7 über eine
Speichereinrichtung gesteuert, die vorzugsweise in Form eines Registers
ausgebildet ist, um die zur Erzeugung der Steuerwirkung erforderlichen,
digitalen Leistungssteuerbefehle zu speichern.
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Im
allgemeinen umfasst das Datenliefermittel einen Taktgeber mit einer
vorbestimmten Taktperiode zwischen den Taktpulsen, um für eine rechteckförmige Abfolge
von Taktpulsen zu sorgen. Eine Datenverarbeitungseinheit ist zum
Empfangen von Eingangsdaten und zum Berechnen oder Festlegen von Strahlintensitätsdaten
und Strahlpositionsdaten für einen
Rand in dem zu schreibenden Muster vorgesehen. Sowohl die Strahlintensitätsdaten
als auch die Strahlpositionsdaten werden in einem digitalen Format
bereitgestellt. Die Vorrichtung umfasst ebenfalls als Teil des Datenliefermittels
eine Signalverarbeitungseinheit zum Umwandeln der Strahlpositionsdaten
in eine äquivalente
Zeit zum Positionieren des Laserstrahls entlang der Abtastlinie
während
des Abtastens. Diese äquivalente
Zeit wird insbesondere in eine ganzzahlige Anzahl an Taktpulsen
und einen gebrochenen Rest konvertiert. Zur Erzeugung eines einer äquivalenten
Zeit entsprechenden Zeitpulses kann ein digitales Zählmittel
vorgesehen sein, um einen Taktpuls zu einer der ganzzahligen Anzahl
an Taktpulsen entsprechenden Zeit zu erzeugen, und kann ein Zeitverzögerungsschaltkreis
vorgesehen sein, um den Taktpulsen eine dem gebrochenen Rest entsprechende
Verzögerungszeit
zuzuschlagen. Ist ein entsprechender Zeitpuls erzeugt worden, so
kann ein Schaltkreis dazu verwendet werden, das Modulator-Eingangssignal
gemäß der digitalen
Strahlintensitätsdaten
beim Eintreffen des Taktpulses einzustellen.
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In 2 ist
eine bevorzugte Ausführungsform
eines oben unter Bezugnahme auf 1 erläuterten
Treiberlogik-Mittels 6 des
Modulators 4 wiedergegeben. Dieses weist zwei Speichereinrichtungen für Bit-Wörter in
Form von Registern 605, 608 auf. Das Register 605 wird
mit Intensitäts-
oder Leistungsdaten 7 aus der in 1 gezeigten
Datenliefer einrichtung 24 beaufschlagt. Das Register 608 wird mit
Positions- oder Verzögerungsdaten 25 beaufschlagt,
die ebenfalls aus der in 1 gezeigten Datenliefereinrichtung 24 stammen.
Dies geschieht auf der Basis einer durch das Taktsignal 31 bewirkten Transition.
Bei dieser Anordnung wird ferner ein Digital/Analog-Umsetzer 606 durch
die zuvor in der Speichereinrichtung 607 gespeicherten
Leistungsdaten betätigt.
Sie kann ebenfalls in Form eines Registers ausgebildet sein. Ein
digital gesteuerter Verzögerungsschaltkreis 609 übermittelt
die Taktsignale 31 mit einer Verzögerung an seine Ausgabestelle,
wobei die Verzögerung
von den in dem Register 608 gespeicherten Daten abhängig ist.
Nach dieser Verzögerung
wird die aktive Flanke des Taktsignals an den Ausgang 610 des
Verzögerungsschaltkreises 609 überliefert.
Nach einer internen Verzögerung
in dem Digital/Analog-Umsetzer 606 tritt ein neues analoges Leistungssteuerungssignal 4 an
dem Ausgang der Modulatortreiberstufe der Modulatoreinrichtung 5 (1)
auf.
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Gemäß dem Stand
der Technik waren die Verzögerungsschaltkreise
von digital gesteuerten analogen Verzögerungsschaltkreisen gebildet.
Solche analogen Verzögerungsschaltkreise
besitzen mehrere Nachteile. So ist beispielsweise der minimale Zeitschritt
verhältnismäßig groß, es besteht
ein großer
Bedarf an individuellen Einstellungen des Taktgebers, die Latenzzeit
ist signifikant groß,
wobei das Erfordernis einer Mehrzahl an abwechselnd arbeitenden
Verzögerungsschaltkreisen
besteht, es besteht eine hohe Empfindlichkeit gegenüber äußeren Störungen und
die Geschwindigkeit ist sehr begrenzt.
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In 3 ist
ein Verzögerungsschaltkreis
gemäß der vorliegenden
Erfindung dargestellt. Der Verzögerungsschaltkreis
besitzt eine verzögert-verriegelte
Schleife, die wie derum N seriell verbundene Verzögerungselemente 301 aufweist,
wobei N eine ganze Zahl größer als
2 ist. Jedes Verzögerungselement 301 verzögert ein
Referenzsignal des Taktgebers um ein Zeitquantum. Das Zeitquantum
ist vorzugsweise für
alle Elemente gleich, d. h. es beträgt 1/N-tel einer Taktperiode.
Selbstverständlich
kann der Verzögerungsschaltkreis
auch mehrere verzögert-verriegelte
Schleifen umfassen.
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Der
Schaltkreis umfasst ferner einen mit dem Ausgang des letzten Verzögerungselementes
verbundenen Phasenvergleicher 302 zum Empfangen des weitergeleiteten,
verzögerten
Signals und des Referenzsignals von dem Taktgeber. Dabei erzeugt der
Phasenvergleicher 302 ein Steuerungssignal, das Indikativ
für den
Unterschied zwischen einer Phase des weitergeleiteten Verzögerungssignals
und einer Phase des Referenzsignals ist. Der Ausgang des Phasenvergleichers 302 ist
zum Übertragen
des Steuerungssignals mit den Verzögerungselementen 301 verbunden,
wodurch jedes der Verzögerungselemente 301 so
angepasst wird, dass die Phase des Referenzsignals mit der Phase
des weitergeleiteten Verzögerungssignals
synchronisiert ist. Auf diese Weise ist der Verzögerungsschaltkreis mit einem Rückkopplungssystem
ausgestattet, das den Anteil der Verzögerung im jedem Verzögerungsschritt
automatisch einstellt.
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Schaltkreise,
die sich der Technik verzögert-verriegelter
Schleifen bedienen, sind z. B. aus der
US 4 338 569 A bekannt. Indes
wurden die bekannten Schaltkreise auf gänzlich anderen Gebieten eingesetzt,
wie der Einstellung eines Versatzes an Zählwerken und in Zeiterfassungen
(vornehmlich auf dem Gebiet der Kernphysik und dergleichen).
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Der
erfindungsgemäße Verzögerungsschaltkreis
umfasst ferner ein Auswahlglied, vorzugsweise mit einem Multiplexer 303,
der mit den Verzögerungselementen 301 zum
Empfangen der durch die Verzögerungselemente 301 erzeugten
verzögerten
Signale und zum Steuern des Ausgangs des Verzögerungsschaltkreises gemäß dem gewünschten
gebrochenen Rest verbunden ist.
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An
den Eingang des Multiplexers 303 sind die Ausgangssignale
der jeweiligen Verzögerungselemente 301 angeschlossen.
Dies ist vorzugsweise mittels NAND-Baugruppen 304 gewährleistet,
so dass das Signal vor und hinter einem jeden Verzögerungselement 301 mit
einer NAND-Baugruppe 304 verbunden ist, deren Ausgang an
den Multiplexer 303 weitergeleitet wird. Auf diese Weise
stellen die Eingangssignale des Multiplexers 303 sehr kurze
Pulse dar.
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Die
Signale zwischen den verschiedenen Verzögerungselementen 301 sind
in dem Zeitdiagramm gemäß 4 dargestellt.
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Der
Multiplexer besitzt ferner einen Eingang für Steuerbefehle, wobei der
korrekte Ausgang gemäß dem Steuerbefehl
gewählt
wird. Der erfindungsgemäße Multiplexer
weist vorzugsweise eine Abschaltfunktion auf, wobei ein Abschaltsignal
eines Abschalteingangs zur Verhinderung jeglicher Erzeugung eines
Signals am Ausgang in der Lage ist. Dies ist insoweit von Bedeutung,
als ein Verzögerungssignal
von dem Verzögerungsschaltkreis
unterdrückt werden
kann, um z. B. verzögerte
Signale davor zu bewahren, die nächste
Taktperiode zu erreichen usw.
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Der
Ausgang des Multiplexers wird vorzugsweise an einen Taktverlängerer 305 weitergeleitet. Der
Taktverlänge rer
verleiht den Ausgangspulsen des Verzögerungsschaltkreises eine längerer Zeitdauer.
Dies verringert die Rauschempfindlichkeit.
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Der
Verzögerungswert
kann mittels einer Verzögerungssteuerungseingabe
(Steuerbefehl) auf einen beliebigen Wert zwischen 0 und N – 1 dynamisch
eingestellt werden. Dabei ist N vorzugsweise eine Zahl, so dass
N = 2n, wobei es sich bei n um eine positive
ganze Zahl handelt. Auf diese Weise lässt sich jegliche Zeitperiode
digital durch ein binäres Wort
für die
Anzahl vollständiger
Taktperioden und durch ein binäres
Wort für
die zusätzliche
Verzögerung
als eine Anzahl von 1/N-Bruchteilen einer Taktperiode darstellen.
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Des
weiteren ist N vorzugsweise durch einen Eingabe-Baustein gesteuert und lässt sich
wahlweise auf einen beliebigen Wert 50, 60 oder 64 einstellen. Die
Eingabe für
diese Einstellung ist in der Zeichnung nicht wiedergegeben. Auf
diese Weise ist die Taktperiode exakt durch 2, 3, 4, 5, 6, 8, 10,
12, 15, 16, 20, 25, 30, 32, 50, 60 und 64 teilbar. Dies ist im Hinblick auf
Rundungsfehler von großer
Bedeutung. Weitere Zahlenwerte, die für N verwendet werden können, sind
die folgenden: 25, 30, 32, 36, 40, 72, 80, 100, 120 und 128. Selbstverständlich sind
auch noch andere Werte möglich,
sofern diese für
eine genaue Teilbarkeit durch Zahlen sorgen, welche für die vorgesehene
Anwendung zweckmäßig sind,
wobei bevorzugt mehrere verschiedene solcher Zahlen möglich sind.
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Der
Schaltkreis ist in bevorzugter Ausführung in ECL-Technologie (Emitter
Coupled Logic) ausgestaltet.
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In 5 ist
eine alternative Ausführungsform eines
erfindungsgemäßen Verzögerungsschaltkreises
dargestellt. Der Verzögerungsschaltkreis
gemäß dieser
Ausführungsform
weist ebenfalls eine verzögert-verriegelte
Schleife mit seriell verbundenen Verzögerungselementen 301 und
einem Phasenvergleicher 302 auf. Indes besitzt der Verzögerungsschaltkreis
gemäß dieser
Ausführungsform
einen zweiten Satz von seriell verbundenen Verzögerungselementen 501,
wobei das Steuerungssignal aus dem Phasenvergleicher 302 nicht
nur an die Verzögerungselemente 301 des
ersten Satzes, sondern auch an die Verzögerungselemente 501 des
zweiten Satzes zurückgeleitet
wird. Bei einer solchen Anordnung weisen die Verzögerungselemente 501 des
zweiten Satzes dieselben Verzögerungszeitwerte
wie die Verzögerungselemente 301 des
ersten Satzes 301 auf (z. B. 2 ns pro Element). Bei einer
solchen Ausgestaltung kann der erste Satz einen ersten Eingang EIN
1 und der zweite Satz einen zweiten Eingang EIN 2 besitzen. Dabei
besteht die Möglichkeit,
das zweite Eingangssignal, welches mit dem ersten Eingangssignal (z.
B. dem Taktsignal) asynchron sein kann, um Verzögerungszeitwerte zu verzögern, die
automatisch an das erste Eingangssignal angepasst werden.
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Der
erfindungsgemäße Verzögerungsschaltkreis
weist gegenüber
dem Stand der Technik eine Reihe von Vorteilen auf, als da wären:
- – höhere Stabilität und Robustheit
gegenüber
Störungen;
- – Entbehrlichkeit
von Tuning-Einstellungen;
- – automatische
Anpassung an den Taktgeber;
- – Möglichkeit
einer sehr kompakten Ausgestaltung;
- – digital
gesteuerte Unterteilung;
- – höhere Taktgeberfrequenz;
- – keine
Latenzzeit oder Warteperioden, z. B. in Kondensatoren.
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Ein
Taktgeber mit 50 MHz sorgt beispielsweise für eine Taktperiode T von 20
ns. Soll diese Periode durch 60 geteilt werden, so ergeben sich
333 ps pro Schritt. Die geschätzte
Abweichung des erfindungsgemäßen Schaltkreises
beträgt
etwa ±170
ps gegenüber ±1000 ps
bei analogen Schaltkreisen. Dies zeigt eindeutig das geringere Erfordernis
an Tuning-Einstellungen bei dem erfindungsgemäßen Schaltkreis.
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Der
erfindungsgemäße Verzögerungsschaltkreis
stellt folglich eine sehr exakte Unterteilung der Taktpulse sicher
und sorgt dabei für
eine sehr exakte Zeitverzögerung.
Der Schaltkreis passt sich ferner an das Taktgebersignal an und
ist aus diesem Grund stets mit dem Taktgeber synchronisiert.
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Der
vorstehend beschriebene Verzögerungsschaltkreis
kann auch für
andere Zwecke als zum Schreiben von lithographischen Mustern mit Rasterabtasttechnik
eingesetzt werden. So kann der Verzögerungsschaltkreis zum Verzögern der
Taktgeber-Eingangssignale von elektronischen Taktgebern für bestimmte
logische Bauteile, wie Bauteile zur Einstellung des Strahls relativ
zu anderen Strahlen im Falle eines Schreibens mit Mehrfachstrahl
oder Bauteile zur Feineinstellung der Platzierung des gesamten Musters
in Abtastrichtung, eingesetzt werden.
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Die
in der vorstehenden Beschreibung verwendeten Begriffe und Ausdrücke haben
in diesem Zusammenhang ausschließlich beschreibenden und keinerlei
einschränkenden
Charakter, wobei durch die Verwendung solcher Begriffe und Ausdrücke keinerlei
Absicht besteht, Äquivalente
der gezeigten und erläuterten
Merkmale oder Teile derselben auszuschließen, und wobei darauf hinzuweisen
ist, dass der Schutzbereich der Erfindung ausschließlich durch
die nachfolgenden Patentansprüche
bestimmt und abgegrenzt ist.