SE454705B - Forfarande for paforande av en beleggning medelst ljusbagsforangning i vakuum - Google Patents
Forfarande for paforande av en beleggning medelst ljusbagsforangning i vakuumInfo
- Publication number
- SE454705B SE454705B SE8501521A SE8501521A SE454705B SE 454705 B SE454705 B SE 454705B SE 8501521 A SE8501521 A SE 8501521A SE 8501521 A SE8501521 A SE 8501521A SE 454705 B SE454705 B SE 454705B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- carbide
- evaporated
- coating
- cutting tool
- titanium
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
- C23C14/022—Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C10/00—Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces
- C23C10/06—Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces using gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
- C23C14/325—Electric arc evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/541—Heating or cooling of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Drilling Tools (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Food-Manufacturing Devices (AREA)
- Materials For Medical Uses (AREA)
Description
lO
15
¿O
25
30
35
454 705
_ 2 - _
beståndsdelen vid detta Kända förfarande, varför den
påforda beläggníngens Kvalitet försämras.
-Ett annat nämt förfarande'för påförande av en be-
_läggning företrädesvis på ett skärverktyg, vars huvud-
bestàndsdal är framställa av att kainaifiigt material
(jämför exempelvis tidskriften “Fizika i khimija obra-
batki mafiarialav/Fyaix aan kemi vid bearbetning aan
behandling av material/ A.A.Andreev m.fl. "Molybnen-
xarbidbeläggningar pâförda genom vakuumutfallning av
plasmaflöden", år l979, förlag fNauka", Moskva, nr 2,
s. 169) grundar sig på att man vakuumförångar minst_
ett karbidbildande material medelst en ljusbågurladd-
ning, pålägger en spänning(potential) vid skärverkty-
get, renar och uppvärmer en arbetsyta hos skärverkty-
gets huvudbeståndsdel genom bombardemang medelst joner
av det karbiabilaaaaa material, aan small föràngaa,
varefter dessa joner bringas att nondensera vid arbet-
sytan hos skärverktygets huvudbeståndsdel tills belägg-
ningen bildats. Vid detta kända förfarande inför man i
vakuumutrymmet(vakuumxammaren)- innan jonerna av det
karbidbildande material, som skall förångas, bringas
att Kondensera- en gasblandning, som omsättes (brin-
gas att reagera) med det karbidbildande material, som
skall föràngaa, :illa balaggniagaa bildas vid arbatay_
tan hos sxärverxtygets huvudbestandsdel.
Genom att gasblandningen införes vid detta Kända
förfarande kompliceras emellertid det processtexniska
förloppet för pàförande av beläggningen, samtidigt sam
pàförings- eller bildningstiden för beläggningen ökar.
Icke heller förångas gasblandningen stabilt me-
delst bågurladdningen vid detta Kända förfarande, vilket
leder till en kontinuerlig ändring av beläggningens sam-
mensättning och försvårar uppnåendet av repeterbara
resultat vid erhållande av beläggningens förutbestämda
sammansättning, varför det processtexniska förloppet
för Paförfinde av beläggningen blir mer komplicerat.
Genom att man vid genomförande av detta kande för-
454 705
farande såsom gasblandning använder explosionsfarliga gaser
uppstár explosionsriskfyllda processförhàllanden.
Uppfinningstanke
Det huvudsakliga syftet med föreliggande uppfinning är att
åstadkomma ett förfarande för påförande av en beläggning, vid
vilket arbetsytan hos skärverktygets huvudbestàndsdel renas
och uppvärms pà ett sådant sätt, att det processtekniska för-
loppet för bildande eller pàförande av beläggningen blir enk-
lare att genomföra, samtidigt som de explosionsriskfyllda pro-
cessförhållandena elimineras.
Detta syfte uppnås enligt föreliggande uppfinning
medelst ett förfarande för påförande av en beläggning före-
trädesvis på ett skärverktyg, vars grundmaterial utgöres av
ett kolhaltigt material, vilket förfarande grundar sig på
att minst ett karbidbildande material bringas att förångas
i vakuum medelst en ljusbågsurladdning, en spänning pålägges
vid skärverktyget och en arbetsyta hos skärverktygets grund-
material renas och uppvärmes genom katodförstoftning i vakuum
medelst joner av det karbídbildande material, som skall för-
ångas, varefter dessa joner bringas att kondensera på arbets-
ytan hos skärverktygets grundmaterial, tills beläggningen bil-
das, varvid det enligt föreliggande uppfinning föreslagna för-
farandet utmärker sig av att arbetsytan hos skärverktygets
grundmaterial renas och samtidigt uppvärmes genom katodför-
stoftningen till en temperatur, vid vilken det karbidbildande
material, som skall förångas, karbidiseras medelst det i skär-
verktygets grundmaterial förekommande kolet.
Det är lämpligt, att karbidiseringstemperaturen
(dvs. den temperatur, vid vilken karbidiseringsreaktionen ut-
föres) är mellan 500 och 540°C och att materialet i skärverk-
tygets grundmaterial utgöres av stål.
454 705
Det är vidare lämpligt, att karbidiseringstem-
peraturen ligger mellan 620 och 680°C och att skärverktygets
grundmaterial utgöres av en hård legering.
Det karbidbildande material, som skall förångas,
utgöres lämpligen av titan.
Det är
material, som skall
Det är
material, som skall
Det är
material användes -
använder molybden.
ibland lämpligt, att
förângas, utgöres av
vidare lämpligt, att
förångas, utgöres av
att föredra, att man
det karbidbildande
titannitrid.
det karbidbildande
en titanlegering.
- ifall tvà karbidbildande
såsom det andra karbidbildande materialet
Föreliggande uppfinning bidrager till stabilite-
ten av sammansättningen hos den beläggning, som skall páföras,
i dess tjockleksriktning, varför processtekniken för pàförande
av beläggningen göres enklare.
Dessutom medverkar föreliggande uppfinning till
att eliminera uppkomst av eventuella explosionsriskfyllda
processförhållanden vid påförande av beläggningen.
Föredragna utföringsformer av uppfinningen
Det enligt föreliggande uppfinning föreslagna
förfarandet för påförande av en beläggning företrädesvis på
ett skärverktyg, vars grundmaterial eller huvudbeståndsdel
utgöres av ett kolhaltigt material, består i att ett karbid-
bildande material förângas i vakuum medelst en bágurladdning
och en spänning (potential) pâlägges vid skärverktyget. För-
farandet utmärker sig av att en arbetsyta hos skärverktygets
huvudbeståndsdel renas genom katodbombardemang medelst joner
av det karbidbildande material, som skall förångas, samtidigt
som den uppvärmes genom detta katodbombardemang till en tem-
peratur,
vid vilken det karbidbildande material,
som skall
förångas, karbidíseras medelst det i skärverktygets huvud-
beståndsdel
ÄN
-10
15
25
BO
35
454 705
_ 5 _
förekommande kolet, varefter joner av det karbidbil-
dande material, som skall föràngas, bringas att kon- '
densera vid.arbetsytan hos.saärverktygets huvudbestånds-
del tills beläggningen bildas._
För att den beläggning, som skall påföras, skall
kunna mättas maximalt med kol är det lämpligt, att kar-
bidiseringstemperaturen vid förfarandet enligt före-
liggande uppfinning är mellan 500 och 540°C, varvid
skärverktygets huvudbeståndsdel utgöres av stål.
Ifall karbidiseringstemperaturen är lägre än 500°C,
mättas den beläggning , som skall påföras, praktiskt
taget icre med det i stålet förekommande kolet.Um kar-_
bidiseringstemperaturen är högre än 540°C, minsgas
stålets nållfasthet .-I de båda fallen minskas skärverk-
fiygets bestanaigneu brant. i '
För att den beläggning, som skall påföras, skall
kunna mättas i högsta-möjliga grad_med kolet i skär-
verztygets huvuabestånasdel är det äveniampligt, att
karbidiseringstemperaturen vid förfarandet enligt fö-
religgande uppfinning är mellan 620 och 680°C, varvid
sxärverktygets hutudbeståndsdel utgöres av en hård le-
gering. .l
Ifall karbidiseringstemperaturen är lägre än 62000
eller är h0åre än 58O°C, mättas den beläggning, som
skall páföras, praktiskt taget icke med kolet i den
hàrda legeringen respektive minskas den hårda lege-
ringens hàllfastnet, vilket innebär att skärverktygets
beständighet minskas.
Det är vidare vid förfarandet enligt föreliggande
uppfinning lampligt, att det karoidbildande material,
som skall föràngas, utgöres av titan.
För att öka slitbeständigbeten hos den beläggning,
som skall anbringas, är det vid förfarandet enligt fö-
religgande uppfinning lämpligt, att det karbidbildande
material, som skall förångas, utgöres av nitannitrid
eller en titanlegeríng. "
Om man vid förfarandet enligt föreliggande uppfin-
lO
15
20
25
30
35
_. .-.--...._.¿
454 705
_ 6 _
ning anvander två karbidbildande material, som sxall
förångas, utgöres det andra karbidbildande material,
som sxall förångas, av molybden.
Uppfinningen belyses närmare nedan medelst följan-
de' utföringsexempel.
Exempel l
. En beläggning påfördes på spiralborrar med en
diameter av 5 mm.
Det karbidbildande material, som skall föràngas,
utgöres av titan, under det att borrarnas buvudbestånds-
del (grundmaterial) utgöres av ett stål, som innehål-
ler 0,80 _ 0,85 ffs c, 3,6 - 4,4 v, cr, 5,5 _ 6¿5 f/f, w,
' 1,? - 2,1 % V, 5,0 - 5,5 % Mo, medan Fe utgör resten.
De från eventuella föroreningar och nedsmutsnin-
gar renade borrarna placerades i speciella hållare
(s.k.Kassetter eller bloca) och infördes i en vakuum-
kammare, vari en katod av titan var anordnad. Sedan
det låga, i vakuumkammaren uppträdande trjcret brin-
gats till ett varde av 667°10"5 pa, initieraaes en
ljusbågurladdning i vakuumkanmaren, samtidigt som en
spänning(potential) av l5OO V pålades vid borrarna. Bor-
rarnas arbetsyta renades i detta fall genom xatodbom-
bardemang medelst titanjoner, samtidigt som borrarna
uppvärmdes till en temperatur av 520°C, som k0ntr01_
lerades medelst en IR-pyrometer (infrarödpyrometer) med
en Uoëärfiflfihet aV f l0°C. Spänningen minskades därefter
till ¿5O V och titanjonerna bringades att xondensera
vid borrarnas arbetsyta under en tid av 3 min. Konden-
seringen åtföljdes av att titanet karbidiserades me-
delst det i stålet förexommande kolet. Sedan skífittjocx-
lexen hos beläggningen, som utjordes av titanxarbid,
blivit lika med 2,um, eliminerades spänningen från bor-
rarna och urkopplades bågurladdningen. Därefter kyldes
borrarna i vakuumkammaren till rumstemperatur.
Borrarna provades med avseende på deras slitbestän-
dighet (motståndskraft mot nötning) genom bearbetning av
(borrning i) ett arbetsstycke av ett stål, som innenöll
10
l5
20
25
30
454 705
_ 7 _
_ Q,Å2 - 0,49 % C, medan Fe utgjorde resten. Man provade
fem referensborrar från varje produxtionssats under
följande förhållanden:
sxarnastignet v 32 m/min
matning S 0,12 mm/varv
borrdjup(borrKapacitet) l=3 d 15 mm.
Provningsresultaten redovisas i tabell l.
Tabell l
Sršníšgsšuš. " " " " " " " " ' _ " " ' ' “ " " _ _
mer av borrar,
som prövades 1 2 3 4 5
Zntal medelst _ _
ett enda borr
borrade nämen) 205 206 206 206 207
Exempel 2
in beläggning pàförues på skarplåtar(skär).
àxärplátarnas nuvudbeståndsdel(grundmaterial) ut-
gjordes av en hård legering, som innebäll 6 % Co, 15 %
TiC, medan WC utgjorde resten. Det material, som skall
föràngas, utgöres av titan.
Beläggninåen påfördes på ett sätt lixnande det
som besxrives i föregående exempel 1 utgående från
att smärplàtarnas arbetsyta renades genom xatodbom-
bardemang medelst titanjoner samtidigt som den uppvärm-
des till en temperatur av 62000,
Provningen utfördes på fem referenssxärplàter från
varje produxtionssats under följande skärningsförbål-
landen:
sxarhastighet V
matning S
Skärdjup l
160 m/min
0,3 mm/varv
l mm.
454 705
lO
15
20
Provningsresultaten redovisas i tabell 2
- Tabell 2
_._._._.___-__.___.____1-_-_._-1111111-_.
Ordnings-
nummer_av
skärplater,
som prova- .
des l 2 3 4 5
Antal medelst
en enda sxärplåt
bearbetade de-
taljer(st) 26 26 25 26 27
_-__.___._._.._._.__.____.__-_-.___.1_-_._._._
Exempel 3
En beläggning påfördes på spiralborrar med en
diameter av S mm. _
Det Karbidbildande material, som förångades, ut--
gjordes av titannitrid, under det att borrarnas grundmate-
rial(huvudbeståndsdel) utgjordes av ett stål, vars sam-
mansättning anges i exempel l.
Borrarnas arbetsyta renades genom katodbombar-
demang medelst joner av titannitrid, samtidigt som bor-
rarna uppvärmdes till en temperatur av 5lO°C, S9änn1n_
gen minskades därefter till 300 V och titannitridjoner-
nar bringades att kondensera vid borrarnas aroetsyta
under en tid av 3 min, vilken kondensering åtföljdes
av att titannitriden karbidiserades av stålets Kol.
Tjockleken av beläggningen, som i detta fall utgjordes
av titankarbonitrid Ti(NC), var 2/um. Spänningen eli-
minerades därefter från borrarna och ljusbågurladdning-
en urkopplades. Borrarna xyldes i Kammaren till rumstem-
peratur. Borrarna prövades på ett sätt liknande det
som beskrivas i exempel l.
i:
lO
15
454 703
_. 9 _
Provningsresultaten visas i tabell 3
Tabell 3
Ordningså
nummer av
borrar, som pro-
vades l 2 3 4 5
Antal medelst ett
enda borr borrade
hàl(st)
Exempel 4
En beläggning pàfördes på skärplåtar.
Det material, som förånöades, utgjordes av titan-
nitrid, under det att skärplåtarnas grundmaterial(nu-
vudbeståndsdel) utgjordes av en_bård legering, vars
sammansättning anges i exempel ¿.
Beläggningen påfördes på ett sätt liknande det
som beskrivas i exempel 3 utgående från att sxärplåtar-
nas arbetsyta renades genom Katodbombardemang medelst
titannitridjoner, samtidigt som snärplåtarna uppvarmdes
till en temperatur av 63503,
Sšàrplåtarna provades på ett sätt liänande det
som beskrivas i exempel 2.
Provningsresultaten redovisas i tabell 4
Tabell 4
Ördninšsnum-__ _ _ _ _ _ _ _ _ _ - _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _
mer av smärpla-
tar, som prova-
des l 2 3 4 5
Antal medelst en
enda sæärplåt
bearbetade de-
taljer(st) 37 37 35 37 37
___..._..__.,__
_ _____ _______?_í.-l
10
15
20
¿5
454 705
" - -lO -
fExempel 5 _
En beläggning påfördes på spiralborrar med en
diameter av 5 mm.
àet Karbidbildande material, som föràngades, ute
gjordes av en titanlegering, som innehöll 5,5 - 7,0 %
Al, 2,0 f 3,0 %.Mo, medan Ti utgjorde resten. Borrarnas
nuvudbeståndsdel utgjordes av ett stål, vars sammansätt-
ning anges i exempel l.
Beläggningen påfördes på ett sätt liknande det
som beskrivas i exempel l utgående från att borrarnas
arbetsyta renades genom xatodbombardemang medelst ti-
tan-, aluminium- ocn molybdenjoner, samtidigt som den
uppvärmdes till en temperatur av 525°C_ Den så påfäraa-
beläggningen bestod av en s.fi.komplexlegerad, på ti-
tankarbid baserad lösning i fast fas (Ti, Mo, Al)C.
Borrarna provades på ett sätt liknande det som
besgrives i exempel l.
Provningsresultaten visas i tabell 5.
Tabell 5
Ordningsnum-
mer av borrar,
som provades 1 2 3 4 5
Antal medelst
ett enda borr
borraae hånar) 255 255 235 235 235
Fxempel 6
En beläggning påfördes på sxärplåtar.
Det karbidbildande material, som förångades, ut-
gjordes av en titanlegering, vars sammansättning anges
1 exempel 5, under det att skärplatarnas huvudbestånds-
del eller grundmaterial utgjordes av en hård legering,
vars sammansättning anges i exempel 3.
Belässninsen påføraes på ett satt Liknande det
som besxrives i exempel ¿ utgående från att borrarnas
arbetsyta renades genom Katodbombardemang medelst
IQ
10
15
20
25
454 705
_ 11 _
titan,- aluminium- ocn molybdenjoner, samtidigt som
den uppvärmdes till en temperatur av 65000,
Skärplåtarna provades på ett sätt liknande det
som besxrives i exempel ¿.
Provningsresultaten redovisas i tabell 6.
Tabell 6
Urdningsnummer
av skärplåtar, _
som provades l 2 3 4 5
Antal medelst en
enda sxärplåt be- _
arbetade detal-
39? (St) 33 33 33 32 33
____._____.__.._.__.._.__..._....__._._._.__..__._
Exempel 7
En beläggning páfördes på spiralborrar med en dia-
meter av 5 mm.
De karbidbildande material, som förångades, ut-
gjordes av titan och molybden, under det att borrarnas
grundmaterial(huvudbeståndsdel) utgjordes av ett stål,
vars sammansättning anges i exempel l.
De från föroreningar och nedsmntsningar renade
spiralborrarna placerades i speciella hållare och in-
fördes i en vakuumkammare, vari två katoder av titan res-
pektive av molybden voro anordnade. '
Sedan det i vakuumkammaren uppträdande trycnet bli-
vit så lågt som 667*lO_5 Pa, pàlades en spänning av
1500 V vid spiralborrarna, varefter en ljusbågurladd-
ning initierades i vakuumxammaren. Borrarnas arbetsyta
renades genom katodbombardemang medelst titanjoner,
samtidigt som borrarna uppvärmdes till en temperatur av
66000, som kontrollerades med en noggrannhet av ¿10oC
medelst en infrarödpyrometer. Spänningen minskades
sedan till 250 V, varefter titan- eller molybdenjoner
bringades att mondensera under en tid av 3 min genom
10
15
¿O
25
,.J
454 705
_ 12 _
_ växelvis anslutning av titankatoden respektive molyb-
denkatoden. Härigenom framställdes en flersxiktsbelägg-
ning, som bestod av växelvis anordnade skikt av titan-
karbid TiC och molybdenkarbid Mo2C, Spänningen elimi-
nerades därefter från borrarna, bågurladdningen ut-
koppladess och borrarna kyldes i kammaren till rumstem-
peratur. °
Borrarna provades på ett sätt liknande det som
beskrivas i exempel l.
Provningsresultaten redovisas i tabell 7.
Tabell 7
Ordningsnnmmer
av borrar, som .
provades 1 2 3 4 5 '
Antal medelst ett -
enda borr borrade Ö " '
nåiçst) 260 261 260 .260 260
Exempel 8
En beläggning påfördes på sxärplàtar.
De Karbidbildanue material, som föràngades, ut-
ggordes av titan och molybden, under det att snárplå-
tarnas grundmaterial(nuvudbeståndsdel) utgjordes av
en hård legering, vars sammansättning anges i exempel 2.
Flerskiktsbeläggningen påfördes på ett satt lin-
nande det som beskrivas i exempel 7 utgående från att
snárplåtarnas arbetsyta renades genom aatodbombardemang
medelst titan- och molybdenjoner, samtidigt som skar-
plåtarna uppvärmdes till en temperatur av 680°C_
Sxärplåtarna provades på ett sätt liknande det
som besnrives i exempel 2.
Provningsresultaten redovisas i tabell 8.
10
15
454 705
_ 13 _
Tabell 8
öränïnšsšušmšr “ " * " _ " _ ' _ " _ _ _ _ _ _ _ _ _ _
av sxärplåtar,
Sem provades l 2 3 4 5
Antal medelst en
enda sxärplàt bearbe-
tade detaljer (st) 40 40 41 40 40
_._.._._..___-._._...~_.--_._.._-_-__-__..._.._.___._...._.
Provningsresultaten enligt exempel ifö-visar, att
man genom förenkling av det processtexnisma förloppet
för påförande av beläggningen har kunnat förbättra
borrarnas respextive sxärplåtarnas ueståndigbetsegensxa-
per. '
fapandet för páiöranae av en beläggning gör det möj-
ligt att genom fionuensatíon påföra beläggningar med en
nasfiigzlefi av från 0,1 nu cfl/um/min, vilket minskar
processcyaeltiden (processtiden). I
Industfiell användbarnet
för påförande av svársmälta slitbeständiga beläggnin-
gar på skär- och stansverxtyg framställda av valfria
molhaltiga material exempelvis stàl, hårda legeringar,
äeramisxa legeringar etc.
Claims (7)
1. Förfarande för påförande av en beläggning företrädesvis på ett skärverktyg, vars grundmaterial utgöres av ett kolhaltigt material, vilket förfarande grundar sig på att minst ett karbidbildande material bringas att för- ångas i vakuum medelst en ljusbågsurladdning, en spänning pálägges vid skärverktyget och en arbetsyta hos skärverktygets grund- material renas och uppvärmes genom katodförstoftning i vakuum medelst joner av det karbidbildande material, som skall för- ångas, varefter dessa joner bringas att kondensera på arbets- ytan hos skärverktygets grundmaterial, tills beläggningen bildas, k ä n n e t e c k n a t a v att arbetsytan hos skärverktygets grundmaterial renas och samtidigt uppvärmes genom katodförstoft- ningen till en temperatur, vid vilken det karbidbildande material, som skall förångas, karbídiseras medelst det i skärverktygets grundmaterial förekommande kolet.
2. Förfarande enligt patentkravet 1, k ä n n e t e c k - n a t a v att karbidiseringstemperaturen (dvs den temperatur, vid vilken karbidiseringsreaktionen utföres) uppgår till mellan 500 och 54OOC, varvid skärverktygets grundmaterial utgöres av stål.
3. Förfarande enligt patentkravet 1, k ä n n e t e c k - n a t a v att karbidiseringstemperaturen uppgår till mellan 620 och 680°C, varvid skärverktygets grundmaterial utgöres av en hård legering.
4. Förfarande enligt patentkravet 2 eller 3, k ä n n e - t e c k n a t a v att det karbidbildande material, som skall förångas, utgöres av titan.
5. Förfarande enligt patentkravet 2 eller 3, k ä n n e - t e c k n a t a v att det karbidbildande material, som skall förångas, utgöres av titannitrid.
6. Förfarande enligt patentkravet 2 eller 3, k ä n n e - t e c k n a t a v att det karbidbildande material, som skall föràngas, utgöres av en titanlegering.
7. Förfarande enligt patentkravet 2 eller 3, k ä n n e t e c k - n a t a v att i fall man använder tvâ karbidbildande material, 454 705 15 som skall förángas, det andra karbidbildande materialet, som skall förångas, utgöres av molybden.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/SU1983/000030 WO1985001071A1 (en) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | Method for the deposition of a coating |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE8501521D0 SE8501521D0 (sv) | 1985-03-27 |
SE8501521L SE8501521L (sv) | 1985-03-27 |
SE454705B true SE454705B (sv) | 1988-05-24 |
Family
ID=21616808
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE8501521A SE454705B (sv) | 1983-08-25 | 1985-03-27 | Forfarande for paforande av en beleggning medelst ljusbagsforangning i vakuum |
Country Status (15)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60502110A (sv) |
AT (1) | AT382892B (sv) |
AU (1) | AU559857B2 (sv) |
BR (1) | BR8307748A (sv) |
CA (1) | CA1216252A (sv) |
CH (1) | CH666054A5 (sv) |
DE (1) | DE3390523C2 (sv) |
DK (1) | DK159385D0 (sv) |
FI (1) | FI80296C (sv) |
FR (1) | FR2557595B1 (sv) |
GB (1) | GB2155044B (sv) |
NL (1) | NL8320315A (sv) |
NO (1) | NO851558L (sv) |
SE (1) | SE454705B (sv) |
WO (1) | WO1985001071A1 (sv) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE453369C (sv) * | 1986-05-28 | 1989-10-16 | Vni Instrument Inst | Slitbestaendig belaeggning foer skaerverktyg och foerfarande foer paafoerande av belaeggningen |
CH671238A5 (sv) * | 1986-11-06 | 1989-08-15 | Vni Instrument Inst | |
AT388394B (de) * | 1987-01-09 | 1989-06-12 | Vni Instrument Inst | Verfahren zur herstellung von schneidwerkzeug |
FR2609726B1 (fr) * | 1987-01-20 | 1989-05-26 | Instr I | Procede de fabrication d'outils de coupe |
EP0404973A1 (de) * | 1989-06-27 | 1991-01-02 | Hauzer Holding B.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten |
US5306407A (en) * | 1989-06-27 | 1994-04-26 | Hauzer Holding Bv | Method and apparatus for coating substrates |
RU2247794C2 (ru) * | 2000-06-30 | 2005-03-10 | Сент-Гобэн Абразивс, Инк. | Способ покрытия суперабразива металлом |
PL2236641T3 (pl) | 2009-03-30 | 2012-05-31 | Oerlikon Trading Ag | Sposób wstępnej obróbki podłoży w procesie PVD |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3428546A (en) * | 1966-09-27 | 1969-02-18 | Atomic Energy Commission | Apparatus for vacuum deposition on a negatively biased substrate |
US3882579A (en) * | 1972-03-13 | 1975-05-13 | Granville Phillips Co | Anti-wear thin film coatings and method for making same |
US3912826A (en) * | 1972-08-21 | 1975-10-14 | Airco Inc | Method of physical vapor deposition |
US3916052A (en) * | 1973-05-16 | 1975-10-28 | Airco Inc | Coating of carbon-containing substrates with titanium carbide |
CA1041881A (en) * | 1974-09-11 | 1978-11-07 | Niels N. Engel | Coated steel product and process of producing the same |
JPS5462183A (en) * | 1977-10-26 | 1979-05-18 | Seiko Epson Corp | Outside parts for pocket watch |
DE3030149C3 (de) * | 1979-08-09 | 1996-12-19 | Mitsubishi Materials Corp | Schneidplättchen und Verfahren zu seiner Herstellung |
-
1983
- 1983-08-25 NL NL8320315A patent/NL8320315A/nl not_active Application Discontinuation
- 1983-08-25 DE DE19833390523 patent/DE3390523C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1983-08-25 GB GB08508273A patent/GB2155044B/en not_active Expired
- 1983-08-25 JP JP83503277A patent/JPS60502110A/ja active Pending
- 1983-08-25 AT AT0908483A patent/AT382892B/de not_active IP Right Cessation
- 1983-08-25 BR BR8307748A patent/BR8307748A/pt not_active IP Right Cessation
- 1983-08-25 WO PCT/SU1983/000030 patent/WO1985001071A1/ru active IP Right Grant
- 1983-08-25 CH CH1660/85A patent/CH666054A5/de not_active IP Right Cessation
- 1983-08-25 AU AU20735/83A patent/AU559857B2/en not_active Ceased
- 1983-12-29 FR FR8321028A patent/FR2557595B1/fr not_active Expired
-
1984
- 1984-01-04 CA CA000444620A patent/CA1216252A/en not_active Expired
-
1985
- 1985-03-27 SE SE8501521A patent/SE454705B/sv not_active IP Right Cessation
- 1985-04-09 DK DK159385A patent/DK159385D0/da not_active IP Right Cessation
- 1985-04-12 FI FI851485A patent/FI80296C/sv not_active IP Right Cessation
- 1985-04-18 NO NO851558A patent/NO851558L/no unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2557595B1 (fr) | 1986-07-11 |
FI80296B (fi) | 1990-01-31 |
FI851485L (fi) | 1985-04-12 |
FI80296C (sv) | 1990-05-10 |
GB2155044B (en) | 1987-11-18 |
NL8320315A (nl) | 1985-07-01 |
AT382892B (de) | 1987-04-27 |
GB2155044A (en) | 1985-09-18 |
DK159385A (da) | 1985-04-09 |
SE8501521D0 (sv) | 1985-03-27 |
AU559857B2 (en) | 1987-03-19 |
BR8307748A (pt) | 1985-07-02 |
SE8501521L (sv) | 1985-03-27 |
DK159385D0 (da) | 1985-04-09 |
FI851485A0 (fi) | 1985-04-12 |
DE3390523C2 (de) | 1990-01-18 |
CA1216252A (en) | 1987-01-06 |
AU2073583A (en) | 1985-03-29 |
ATA908483A (de) | 1986-09-15 |
CH666054A5 (de) | 1988-06-30 |
FR2557595A1 (fr) | 1985-07-05 |
WO1985001071A1 (en) | 1985-03-14 |
NO851558L (no) | 1985-04-18 |
JPS60502110A (ja) | 1985-12-05 |
DE3390523T1 (de) | 1985-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5385259B2 (ja) | 被覆切削工具およびその製造方法 | |
US5318840A (en) | Wear resistant coating films and their coated articles | |
US8507110B2 (en) | Coated cutting tool and a method of making thereof | |
US20110171444A1 (en) | Coated Cutting Tool | |
König et al. | Wear mechanisms of ultrahard, non-metallic cutting materials | |
WO1982002847A1 (en) | Multilayer coating for metal-cutting tool | |
US5882778A (en) | Hard coating of excellent wear resistance and hard coating coated member thereof | |
US20080273933A1 (en) | Pvd-Coated Cutting Tool Insert | |
US11035035B2 (en) | AlCrN-based coating providing enhanced crater wear resistance | |
SE453369B (sv) | Slitbestendig beleggning for skerverktyg och forfarande for paforande av beleggningen | |
KR101616600B1 (ko) | 경질 피막 피복 공구 | |
CN106984838A (zh) | 涂层切削工具 | |
SE454705B (sv) | Forfarande for paforande av en beleggning medelst ljusbagsforangning i vakuum | |
RU2096518C1 (ru) | Многослойное композиционное покрытие на режущий и штамповый инструмент | |
JPS60502093A (ja) | 切削工具およびその製造方法 | |
JP4174841B2 (ja) | 耐摩耗性被膜 | |
RU2720012C1 (ru) | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента | |
JPS5944385B2 (ja) | 被覆超硬合金部材 | |
WO2022129094A1 (en) | Wear resistant coating produced from at least two different alcr-based targets | |
IE54993B1 (en) | Coating application method | |
RU39334U1 (ru) | Режущий инструмент с многослойным покрытием | |
Smolik | The creation of zone of pure iron as the effect of denitriding of iron nitrides [epsilon]+[gamma]'layer in the ion etching process | |
RU46259U1 (ru) | Режущий инструмент с многослойным покрытием (варианты) | |
JPS62218566A (ja) | 耐摩耗性のすぐれた表面被覆工具部材 | |
DK153926B (da) | Skaerevaerktoej og fremgangsmaade til fremstilling af et saadant |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 8501521-2 Effective date: 19930307 Format of ref document f/p: F |