SE445362B - Forangningsskepp for metall - Google Patents
Forangningsskepp for metallInfo
- Publication number
- SE445362B SE445362B SE7900185A SE7900185A SE445362B SE 445362 B SE445362 B SE 445362B SE 7900185 A SE7900185 A SE 7900185A SE 7900185 A SE7900185 A SE 7900185A SE 445362 B SE445362 B SE 445362B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- boron nitride
- graphite
- coating
- rod
- ship
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
- C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
- C04B41/5064—Boron nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/87—Ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/30—Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
7900185-5 Id Uppfinningen hänför sig således till ett förångningsskepp för me- tall, som omfattar en grafitstav med en utsträckt fördjupning i åtminstone en sida av staven med en beläggning av bornitrid, vil- ket kännetecknas av att beläggningen består av pyrolytisk bornit- rid med en tjocklek inom omrâdet 0,254 - 0,762 mm, varvid fördjup- ningen-har halvsfäriska ändar vid sina motstående ändar och varvid grafitskeppet är belagt med bornitriden utan avbrott med undantag för ett fritt område vid dess ändar. _Vid de fria ändarna kan elektrisk kontakt åstadkommas för fullbor- dande av kretsen.
Uppfinningen beskrives nu närmare med hänvisning till bifogade rit- ning.
Fig. 1 är en isometrisk vy av ett förångningsskepp enligt uppfin- ningen omedelbart efter beläggning med den pyrolytiska bornitriden.
Fig. 2 är ett förångningsskepp_enligt uppfinningen som har belagts med pyrolytisk bornitrid och sedan maskinbearbetats för att av- lägsna ändbeläggningarna och för att åstadkomma elektrisk kontakt.
Fig. 3 är en sidovy av förångningsskeppet visat på fig. 2.
På fig. 1 täcker den pyrolytiska bornitridbeläggningen 10 fullstän- digt alla ytor hos förångningsskeppet. Fördjupningen 12 bildas med halvsfäriska ändar 14. Hålet 16 visat på fig. 1 är det, med hjälp av vilket skeppet uppbars under beläggningen med bornitrid.
Pâ fig. 2 visas ett skepp efter maskinbearbetning för att avlägsna bornitrid från ändarna. Likaså framgår det att den yttersta änden innehållande hålet 16 har skurits av och avlägsnats. På de tvâ än- darna hos skeppet 10, som visas på fig, 2, har bornitriden avlägs- nats från grafitens yttre ändkanter 18 och från grafitens ändsidor 20. Som framgår av fig. 3 har bornitriden även avlägsnats från gra- fitens nedre yta eller bottenyta 22 vid ändarna. I fig. 3 visas skeppets uppbyggnad ytterligare och hur bornitridbeläggningen har avlägsnats framgår även. _Förångningsskepp av motstândstypen, såsom skeppet enligt förelig- gande uppfinning, erfordrar en noggrann form för att matcha mot- stândskretsen. De göres långa och smala, eftersom längden och tvär- 7900185-5 sektionen bestämmer det elektriska motståndet hos skeppet och följaktligen mängden av värme som alstras. Minskning av tjockle- ken hos skeppet minskar tvärsektionsarean och ökar följaktligen värmet som alstras på grund av det ökade motståndet. Skeppet en- ligt föreliggande uppfinning framställes från ett maskinbearbetat block av finkornig höghållfast grafit med hög densitet. Staven lik- nar med avseende på bredd och längd vanliga skepp av intermetal- liskt sammansatt material. Den har emellertid mindre tjocklek än vanliga skepp på grund av den större ledningsförmågan hos grafit.
Minskningen i tvärsektionsarea hos skeppet kan vara 30-40%. Även kaviteten eller fördjupningen, som bildar skeppet, har avvi- kande form i jämförelse med kaviteterna i vanliga skepp. I skepp enligt uppfinningen är det viktigt att kaviteten har släta kontu- rer utan skarpa hörn. Formen hos ändarna hos den långsträckta ka- viteten är speciellt kritisk, eftersom kavitetsändarna måste bi- draga till att stärka beläggningen i kavitetsomrâdet. Olikheten i värmeutvidgningskoefficienter för pyrolytisk bornitrid och för gra- fit kan vara så stor som 2:1 i kornets breddriktning, varvid den för den pyrolytiska bornitriden är lägre. I kontrast till detta är värmeutvidgningskoefficienten för den pyrolytiska bornitriden myc- ket högre i kornets tvärriktning, varvid förhållanden av 7,5:1 är typiska. Denna olikhet innebär att geometrin hos den belagda delen är viktig för att bibehålla erforderlig beläggningskontakt för att tillförsäkra god värmeöverföring. Beläggningskontakt och följakt- ligen värmeöverföring kan ytterligare förbättras, om grafitytan ruggas lätt före beläggning med PBN.
Speciellt hjälper de halvsfäriska ändarna att hålla beläggningen i kavitetsområdet och att dessutom ej nedsätta förångningsfunktio- nen hos skeppet. Om kaviteten var kvadratisk i tvärsektion och ändarna lätt sluttande upp mot ytan, skulle beläggningen tendera att förflytta sig upp för lutningen under nedkylning från belägg- ningstemperatur, vilket skulle ge kontaktförlust med grafitunder- laget och därigenom försämra värmeöverföringen under arbete med skeppet. Endast geometrin hos kaviteten och den i det närmaste totala inkapslingen av skeppet håller beläggningen kvar.
Skepp enligt föreliggande uppfinning kan framställas genom att man först maskinbearbetar en stav av grafit till den önskade skepps- :nova Quinn* 7900185-5 bredden och tjockleken och en längd som är något längre än den Hos det färdiga skeppet. Den extra längden användes för att upp- bära staven i en lämplig ugn. En fördjupningskavitet maskinbear- betas sedan fram på åtminstone en yta av staven. Eventuellt kan kaviteter skäras i båda motstående sidor. Det föredragna sättet att bilda kaviteten är att fräsa den med en enskärsfräs. Arean och djupet hos kaviteten kommer att variera med den avsedda användnin- gen men kommer att vara de vanliga dimensionerna för sådana skepp. Även om staven kan hållas i beläggningsugnen medelst varje bekvämt medel under utnyttjande av den extra längden, föredrages procedu- ren att borra ett hål vid änden av staven. En uppbärande stång kan sedan instickas i detta hål för att hålla staven under belägg- ning med pyrolytisk bornitrid.
Den använda ugnen kan vara av motståndsvärmd typ. Man har konstru- erat en lämplig reaktionsugn med användning av grafitplattor, så- som beskrives i exemplet nedan. Ett antal skeppstavar hängas upp i reaktionsugnen. Ångor av ammoniak och en gasformig borhalogenid, företrädesvis bortriklorid, införes i den värmda reaktionsugnen.
'Förhållandet ammoniak till bortriklorid kan variera från ca 2:1 till ca 4:1. Eventuellt kan en inert gas såsom kväve användes för att öka strömningsmängderna av de gasformiga reaktionskomponenter- na. Reaktionsrummet hâlles vid en temperatur av 1750-2300°C, före~ trädesvis 1800-2200°C med 187500 som mest föredragen temperatur.
Ett tryck av mindre än 50 mm Hg hålles. Gasströmningen in i reak- tionsrummet fortsättes under reaktionsperioden, dvs till dess den önskade beläggningen uppnåtts. Den kontinuerliga metod som användes är den som beskrives 1 Us-Ps 3 152 ooe. ' Den genom uppfinningen erhållna beläggningen av pyrolytisk bornit- rid skall vara 0,254-0,782 mm_i tjocklek och allra helst minst o,sos mm tjoek. Ett föredraget emråae är a.3§1-0,152 mm. beg är vik- tigt att bornitriden totalt täcker eller inkapslar staven, med un- 1_dantag för uppnängningsomrâdet, som skäres av efter beläggning.
'Det belagda skeppet får svalna ooh sedan den bärande änden skurits 'av maskinbearbetas bornitriden bort från ändar, sidor och botten hos staven vid varje ände. Detta åstadkommer en frilagd yta av gra- fit för elektrisk kontakt. Ändarna kan maskinbearbetas på varje önskat sätt för att inrymma klämorgan. Det är viktigt att den py- 7900185-5 rolytiska bornitriden täcker hela ytan hos skeppet med undantag för de delar som står i ingrepp med och följaktligen täckes av de elektriska klämmorna.
Ehuru uppfinningen har beskrivits med avseende på ett förångnings- skepp framställt från en rektangulär stav, så kan grafiten maskin- bearbetas till varje önskad form före beläggning.
Den pyrolytiska bornitridbeläggningen leder värme från grafitsta- ven till metallen i kaviteten effektivt, men eftersom pyrolytisk bornitrid har låg emissionsförmâga jämfört med de intermetalliska sammansatta material, som nu användes för skepp, strålar den ut mindre energi. Metallen förângad i skeppen är elektriskt isolerad från kretsen och kemiskt isolerad från grafitresistorn. Sålunda är motståndet hos skepp/metallsystemet det för grafiten enbart och ef- tersom grafiten är kemiskt isolerad från metallen, förändras dess motstånd ej, varför minimal energireglering erfordras under drift. _Värmeledningsförmågan hos pyrolytisk bornitrid är mycket hög utef- ter längden av grafitstaven, vilket tillförsäkrar en likformig tem- peratur och en mer likformig förångning. Den höga renheten hos py- rolytisk bornitrid (mindre än 10 ppm föroreningar) bidrager till hög renhet i de belagda materialen. Den höga motståndskraften hos pyrolytisk bornitrid mot angrepp av aluminium eller andra metaller är även viktig för förlängning av skeppens livslängd.
Efterföljande exempel avses vara belysande men ej begränsande i an- nan mån än som kommer till uttryck i efterföljande patentkrav.
Ekempel En kvantitet av finkornig höghållfasthet grafit med hög densitet maskinbearbetades till stycken, som var 279,4 mm långa, 25,4 mm breda och 9,1 mm tjocka. I varje stycke formades en kavitet med användning av en ändskärsfräs med en diameter av 22,1 mm. Denna kavitet var 6,5 mm djup och 203 mm lång. Vid en ände hos det så formade skeppet borrades ett hål med en diameter av 6,4 mm.
Fem grafitplattor som var och en var 190,5 mm bred, 559 mm hög och 12,7 mm tjock, formades till en femhörningsform på toppen av en grafitplatta med ett hål i centrum för insläppning av gas. En andra grafitplatta placerades ovanpå den femhörningsformade grup- pen av grafitplattor och denna topplatta höjdes över femhörningen POOR QUALITY 7900185-5 tillräckligt högt för att åstadkomma 423 cmz avgasarea för ga- ser, som kommer upp genom hålet i bottenplattan. Hål borrades på innerytan i grafitplattorna och stavar med en diameter av 6,4 mm instacks i hålen och användes för att hänga upp 15 stycken skepp.
Hela sammanbyggnaden av grafitplattor med skeppen upphängda pâ in- sidan infördes i en högtemperatuns-motståndsvärmd vakuumugn i stånd att hålla temperaturer över 2000°C och ett vakuum av ca 0,2 torr.
Ugnen evakuerades till ett vakuum av 0,350 torr och värmdes sedan till en temperatur av 1875°C. En gasblandning infördes i mängder av 1,48 liter per minut bortriklorid, 3,6 liter per minut ammoniak och 1,24 liter per minut kväve. Gasinförandet och därmed belägg- ning fortsattes under 15 timmar. Ugnen avstängdes sedan och fick svalna och efter kylning uttogs skeppen.
Dâ skeppen undersöktes efter kylning visade de sig ha en beläggning av pyrolytisk bornitrid varierande från 3,81 till 0,762 mm i tjock- lek. Änden hos varje skepp innehållande hålet skars sedan av och skeppen maskinbearbetades på ändarna för att avlägsna bornitridbe- läggningen från åtminstone 19 mm av alla ytor hos varje ände på varje stav, med undantag för toppytan innehållande den frästa för- djupningen, där beläggningen ej avlägsnades.
FÉÉQR Qzïirny
Claims (1)
1. 7900185-5 Patentkrav Förångningsskepp för metall. som omfattar en grafitstav med en utsträckt fördjupning i åtminstone en sida av staven med en beläggning av bornítríd. k ä n n e t B c k n a t av att be- läggningen består av pyrolytisk bornitrid med en tjocklek inom området 0.254 - 0.762 mm. varvid fördjupningen har halv- sfäriska ändar vid sina motstående ändar och varvid grafit- skeppet är belagt med bornítríden utan avbrott med undantag för ett fritt område vid dess ändar. POOR QUALITY
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US05/868,446 US4264803A (en) | 1978-01-10 | 1978-01-10 | Resistance-heated pyrolytic boron nitride coated graphite boat for metal vaporization |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE7900185L SE7900185L (sv) | 1979-07-11 |
SE445362B true SE445362B (sv) | 1986-06-16 |
Family
ID=25351701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE7900185A SE445362B (sv) | 1978-01-10 | 1979-01-09 | Forangningsskepp for metall |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4264803A (sv) |
JP (1) | JPS5919192B2 (sv) |
CA (1) | CA1115604A (sv) |
DE (1) | DE2900490C2 (sv) |
DK (1) | DK147529C (sv) |
FR (1) | FR2414078A1 (sv) |
GB (1) | GB2012251B (sv) |
IT (1) | IT1113740B (sv) |
NL (1) | NL7900171A (sv) |
SE (1) | SE445362B (sv) |
Families Citing this family (50)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4405300A (en) * | 1981-02-27 | 1983-09-20 | Tri-Dynamics Dental Co., Inc. | Furnace tray with carbon plate |
US4446357A (en) * | 1981-10-30 | 1984-05-01 | Kennecott Corporation | Resistance-heated boat for metal vaporization |
JPS61236655A (ja) * | 1985-04-13 | 1986-10-21 | 電気化学工業株式会社 | 熱分解窒化ホウ素物品およびその製法 |
JPS62101026A (ja) * | 1985-10-26 | 1987-05-11 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 不純物拡散源 |
JPS62176904A (ja) * | 1986-01-30 | 1987-08-03 | Kawasaki Steel Corp | 水可溶性硼素化合物の少ない六方晶窒化硼素とその製造方法 |
GB2192643A (en) * | 1986-07-14 | 1988-01-20 | Universal High Technologies | Method of coating refractory vessels with boron nitride |
DE3640966A1 (de) * | 1986-11-29 | 1988-06-09 | Klaus Kalwar | Verfahren zur herstellung einer koronaelektrode |
US5054418A (en) * | 1989-05-23 | 1991-10-08 | Union Oil Company Of California | Cage boat having removable slats |
US5182149A (en) * | 1990-04-30 | 1993-01-26 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Boron nitride boat and process for producing it |
US5032366A (en) * | 1990-04-30 | 1991-07-16 | Union Carbide Coatings Service Technology Corporation | Boron nitride boat and process for producing it |
DE4016225C2 (de) * | 1990-05-19 | 1997-08-14 | Leybold Ag | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
US5158750A (en) * | 1990-06-06 | 1992-10-27 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Boron nitride crucible |
US5075055A (en) * | 1990-06-06 | 1991-12-24 | Union Carbide Coatings Service Technology Corporation | Process for producing a boron nitride crucible |
US5182567A (en) * | 1990-10-12 | 1993-01-26 | Custom Metallizing Services, Inc. | Retrofittable vapor source for vacuum metallizing utilizing spatter reduction means |
US5035201A (en) * | 1990-12-28 | 1991-07-30 | Gte Products Corporation | Evaporating boat having parallel inclined cavities |
US5350720A (en) * | 1991-03-18 | 1994-09-27 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Triple-layered ceramic heater |
US5239612A (en) * | 1991-12-20 | 1993-08-24 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Method for resistance heating of metal using a pyrolytic boron nitride coated graphite boat |
US5343022A (en) * | 1992-09-29 | 1994-08-30 | Advanced Ceramics Corporation | Pyrolytic boron nitride heating unit |
US5410631A (en) * | 1993-09-10 | 1995-04-25 | Advanced Ceramics Corporation | Clamp assembly for a vaporization boat |
CN1047209C (zh) * | 1994-09-28 | 1999-12-08 | 先进陶瓷公司 | 高密度闪蒸器 |
US5493630A (en) * | 1994-09-28 | 1996-02-20 | Advanced Ceramics Corporation | Pyrolytic boron nitride coated flash evaporator |
US5495550A (en) * | 1994-09-28 | 1996-02-27 | Advanced Ceramics Corporation | Graphite flash evaporator having at least one intermediate layer and a pyrolytic boron nitride coating |
US5537507A (en) * | 1994-09-28 | 1996-07-16 | Advanced Ceramics Corporation | Coated flash evaporator heater |
US5671322A (en) * | 1996-01-17 | 1997-09-23 | Advanced Ceramics Corporation | Lateral flash evaporator |
JP3212522B2 (ja) * | 1996-12-27 | 2001-09-25 | 信越化学工業株式会社 | 分子線エピタキシー用熱分解窒化硼素るつぼ |
DE10085115T1 (de) * | 1999-10-22 | 2002-11-07 | Kurt J Lesker Company Clairton | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats im Vakuum |
US6830626B1 (en) | 1999-10-22 | 2004-12-14 | Kurt J. Lesker Company | Method and apparatus for coating a substrate in a vacuum |
US20050147753A1 (en) * | 1999-10-22 | 2005-07-07 | Kurt J. Lesker Company | Material deposition system and a method for coating a substrate or thermally processing a material in a vacuum |
US6229956B1 (en) * | 2000-03-22 | 2001-05-08 | Advanced Ceramics Corporation | Flash evaporator vessel |
CN1332061C (zh) * | 2000-12-14 | 2007-08-15 | 通用电气公司 | 闪蒸器皿 |
JP4509433B2 (ja) * | 2001-07-12 | 2010-07-21 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
US20040074898A1 (en) * | 2002-10-21 | 2004-04-22 | Mariner John T. | Encapsulated graphite heater and process |
KR100489304B1 (ko) * | 2002-12-23 | 2005-05-17 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 저항가열 보트 및 그 제조방법 |
US20050000447A1 (en) * | 2003-07-04 | 2005-01-06 | Jan Koninckx | Crucible for evaporation of raw materials |
US20060013966A1 (en) * | 2003-09-08 | 2006-01-19 | Jan Koninckx | Crucible for evaporation of raw materials |
JP4425860B2 (ja) * | 2003-11-20 | 2010-03-03 | 電気化学工業株式会社 | 金属蒸発発熱体及び金属の蒸発方法 |
US20050153082A1 (en) * | 2004-01-14 | 2005-07-14 | Holcombe Cressie E. | Boron nitride reaction capsule/vessel |
US20050164143A1 (en) * | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Holcombe Cressie E. | Continuous pusher-type furnacing system for the production of high-quality uniform boron nitride |
US20060165994A1 (en) * | 2004-07-07 | 2006-07-27 | General Electric Company | Protective coating on a substrate and method of making thereof |
DE102005030862B4 (de) * | 2005-07-01 | 2009-12-24 | Sintec Keramik Gmbh | Erstbenetzungshilfsmaterial für einen Verdampferkörper, seine Verwendung zum Herrichten der Verdampferfläche eines Verdampferkörpers und ein elektrisch beheizbarer keramischer Verdampferkörper |
GB2432830A (en) * | 2005-12-02 | 2007-06-06 | Morganite Elect Carbon | Formation of thermally anisotropic carbon material |
DE102006001855A1 (de) * | 2006-01-13 | 2007-07-19 | Sintec Keramik Gmbh | Verdampferkörper und Verfahren zum Bereitstellen eines Verdampferkörpers |
US7741584B2 (en) * | 2007-01-21 | 2010-06-22 | Momentive Performance Materials Inc. | Encapsulated graphite heater and process |
KR101457653B1 (ko) * | 2007-03-22 | 2014-11-03 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 성막장치, 제조장치, 성막방법, 및 발광장치의 제조방법 |
EP2019156A1 (en) * | 2007-07-27 | 2009-01-28 | Applied Materials, Inc. | Shaped crucible and evaporation apparatus having same |
DE102007035856B8 (de) | 2007-07-31 | 2009-04-16 | Sintec Keramik Gmbh | Widerstandsheizer und Verfahren zum Herstellen desselben |
US10184168B2 (en) | 2015-01-20 | 2019-01-22 | Kennametal Inc. | IMC evaporator boat-thermal insulation cartridge assembly |
US20160208373A1 (en) | 2015-01-20 | 2016-07-21 | Kennametal Inc. | Imc evaporator boat assembly |
JP6478364B2 (ja) * | 2015-04-09 | 2019-03-06 | 信越化学工業株式会社 | 被覆グラファイト部材及びこれと保持手段とのアセンブリ |
DE102019110950A1 (de) | 2019-04-29 | 2020-10-29 | Kennametal Inc. | Hartmetallzusammensetzungen und deren Anwendungen |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2665229A (en) * | 1951-11-05 | 1954-01-05 | Nat Res Corp | Method of coating by vapor deposition |
DE1019885B (de) * | 1956-07-13 | 1957-11-21 | Siemens Ag | Verdampfer zum Bedampfen mit Metallen |
US2962538A (en) * | 1958-01-30 | 1960-11-29 | Continental Can Co | Vaporizing heater for vacuum deposition and method of employing the same |
US2996412A (en) * | 1958-10-10 | 1961-08-15 | Continental Can Co | Art of depositing metals |
US3063858A (en) * | 1959-07-22 | 1962-11-13 | Nat Res Corp | Vapor source and processes for vaporizing iron, nickel and copper |
DE1193765B (de) * | 1960-03-31 | 1965-05-26 | Nat Res Corp | Verdampfergefaess zum Vakuumbedampfen von beweglichen Unterlagen mit Aluminium und Verfahren zu dessen Herstellung |
FR1253106A (fr) * | 1960-04-01 | 1961-02-03 | Nat Res Corp | Perfectionnements apportés aux procédés et appareils pour la production de revêtements d'aluminium sous vide |
US3152006A (en) * | 1961-06-29 | 1964-10-06 | High Temperature Materials Inc | Boron nitride coating and a process of producing the same |
US3367811A (en) * | 1962-11-08 | 1968-02-06 | Nat Res Corp | Process of joining bodies with boron nitride |
US3345448A (en) * | 1964-07-28 | 1967-10-03 | Union Carbide Corp | High temperature electrical connection |
US3372671A (en) * | 1965-05-26 | 1968-03-12 | Westinghouse Electric Corp | Apparatus for producing vapor growth of silicon crystals |
US3430937A (en) * | 1966-02-17 | 1969-03-04 | Nasa | Evaporant holder |
US3452970A (en) * | 1967-05-12 | 1969-07-01 | Siemens Ag | Vaporization vessel for use in vapor deposition upon a carrier support |
FR94385E (fr) * | 1967-11-06 | 1969-08-08 | Comp Generale Electricite | Source pour évaporation sous vide. |
US3544486A (en) * | 1968-05-23 | 1970-12-01 | Sylvania Electric Prod | Refractory bodies containing aluminum nitride,boron nitride and titanium boride |
US3609829A (en) * | 1968-07-12 | 1971-10-05 | Texas Instruments Inc | Apparatus for the formation of silica articles |
US3576932A (en) * | 1969-02-17 | 1971-04-27 | Texas Instruments Inc | Sintering vapor deposited silica on a mandrel designed to reduce shrinkage |
US3658032A (en) * | 1970-11-05 | 1972-04-25 | Fairchild Camera Instr Co | Reactor for the formation of material on a substrate |
US3724996A (en) * | 1971-03-12 | 1973-04-03 | Union Carbide Corp | Boron nitride containing vessel having a surface coating of zirconium silicon |
SU420559A1 (ru) * | 1971-10-08 | 1974-03-25 | В. П. Соседов, В. С. Дергунова, Е. Г. Власов, Н. А. Новикова | Способ защиты графита |
JPS4897741A (sv) * | 1972-03-27 | 1973-12-12 | ||
US3986822A (en) * | 1975-02-27 | 1976-10-19 | Union Carbide Corporation | Boron nitride crucible |
US4058579A (en) * | 1975-02-27 | 1977-11-15 | Union Carbide Corporation | Process for producing an improved boron nitride crucible |
-
1978
- 1978-01-10 US US05/868,446 patent/US4264803A/en not_active Expired - Lifetime
-
1979
- 1979-01-02 CA CA318,961A patent/CA1115604A/en not_active Expired
- 1979-01-08 DE DE2900490A patent/DE2900490C2/de not_active Expired
- 1979-01-09 FR FR7900445A patent/FR2414078A1/fr active Granted
- 1979-01-09 GB GB79728A patent/GB2012251B/en not_active Expired
- 1979-01-09 DK DK9179A patent/DK147529C/da not_active IP Right Cessation
- 1979-01-09 SE SE7900185A patent/SE445362B/sv not_active IP Right Cessation
- 1979-01-09 NL NL7900171A patent/NL7900171A/xx active Search and Examination
- 1979-01-09 JP JP54000460A patent/JPS5919192B2/ja not_active Expired
- 1979-01-10 IT IT47576/79A patent/IT1113740B/it active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4264803A (en) | 1981-04-28 |
NL7900171A (nl) | 1979-07-12 |
JPS54101781A (en) | 1979-08-10 |
DK9179A (da) | 1979-07-11 |
GB2012251B (en) | 1982-08-04 |
FR2414078A1 (fr) | 1979-08-03 |
DE2900490C2 (de) | 1982-12-30 |
GB2012251A (en) | 1979-07-25 |
CA1115604A (en) | 1982-01-05 |
JPS5919192B2 (ja) | 1984-05-02 |
FR2414078B1 (sv) | 1984-04-06 |
IT7947576A0 (it) | 1979-01-10 |
DK147529B (da) | 1984-09-17 |
IT1113740B (it) | 1986-01-20 |
DK147529C (da) | 1985-02-25 |
SE7900185L (sv) | 1979-07-11 |
DE2900490A1 (de) | 1979-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SE445362B (sv) | Forangningsskepp for metall | |
US4446357A (en) | Resistance-heated boat for metal vaporization | |
RU99108464A (ru) | Деталь, в частности, лопатка газовой турбины с теплоизоляционным слоем, а также способ и устройство для изготовления теплоизоляционного слоя | |
EP0119250B1 (en) | Self protecting carbon bodies and method for making same | |
EP1588404A2 (en) | Wafer handling apparatus | |
WO2007087196A2 (en) | Advanced ceramic heater for substrate processing | |
SE458205B (sv) | Foerfarande och anordning foer belaeggning av ett substrat med material, som paa elektrisk vaeg har oeverfoerts till aangfas | |
KR20080071973A (ko) | 스퍼터링에 의한 코팅 증착법 | |
US4358046A (en) | Oriented graphite layer and formation | |
CA2328266A1 (en) | Corrosion and erosion resistant thin film diamond coating and applications therefor | |
RU2142021C1 (ru) | Испарительная лодочка установки взрывного испарения | |
EP0806488A1 (en) | Aluminum-chromium alloy, method for its production and its applications | |
EP0031197B1 (en) | A method of coating a substrate and an alkali metal/polysulfide battery containing such substrate so coated | |
US4775565A (en) | Vessel for refractory use having multi-layered wall | |
Becker et al. | TiB2-coated cathodes for aluminum smelting cells | |
EP0785290B1 (en) | Lateral flash evaporator | |
JP3355148B2 (ja) | 改良された初期濡れ性能を有するセラミック蒸発ボート及びその製造方法 | |
KR20000028899A (ko) | 염소계 가스에 대한 내식성 부재 | |
US5383981A (en) | Reusable crucible for containing corrosive liquids | |
EP0967189A1 (en) | A highly resistive recrystallized silicon carbide, an anti-corrosive member, a method for producing the highly resistive recrystallized silicon carbide, and a method for producing the anti-corrosive member | |
JP2000063177A (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体、金属埋設品および半導体保持装置 | |
RU2008298C1 (ru) | Способ пропитки кремнием полых изделий из пористого материала, содержащего карбид кремния и/или углерод, и устройство для его осуществления | |
KR950004780B1 (ko) | 알루미늄 증발용 보우트의 제조방법 | |
JPH04301071A (ja) | 真空蒸着法 | |
Klews et al. | Graphoepitaxial recrystallization of Bi films on SiO and C substrates with a surface relief structure |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NAL | Patent in force |
Ref document number: 7900185-5 Format of ref document f/p: F |
|
NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 7900185-5 Format of ref document f/p: F |