SE445362B - Forangningsskepp for metall - Google Patents

Forangningsskepp for metall

Info

Publication number
SE445362B
SE445362B SE7900185A SE7900185A SE445362B SE 445362 B SE445362 B SE 445362B SE 7900185 A SE7900185 A SE 7900185A SE 7900185 A SE7900185 A SE 7900185A SE 445362 B SE445362 B SE 445362B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
boron nitride
graphite
coating
rod
ship
Prior art date
Application number
SE7900185A
Other languages
English (en)
Other versions
SE7900185L (sv
Inventor
J S Shinko
Original Assignee
Union Carbide Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Union Carbide Corp filed Critical Union Carbide Corp
Publication of SE7900185L publication Critical patent/SE7900185L/sv
Publication of SE445362B publication Critical patent/SE445362B/sv

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5053Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
    • C04B41/5062Borides, Nitrides or Silicides
    • C04B41/5064Boron nitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81Coating or impregnation
    • C04B41/85Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87Ceramics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/243Crucibles for source material
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/30Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Description

7900185-5 Id Uppfinningen hänför sig således till ett förångningsskepp för me- tall, som omfattar en grafitstav med en utsträckt fördjupning i åtminstone en sida av staven med en beläggning av bornitrid, vil- ket kännetecknas av att beläggningen består av pyrolytisk bornit- rid med en tjocklek inom omrâdet 0,254 - 0,762 mm, varvid fördjup- ningen-har halvsfäriska ändar vid sina motstående ändar och varvid grafitskeppet är belagt med bornitriden utan avbrott med undantag för ett fritt område vid dess ändar. _Vid de fria ändarna kan elektrisk kontakt åstadkommas för fullbor- dande av kretsen.
Uppfinningen beskrives nu närmare med hänvisning till bifogade rit- ning.
Fig. 1 är en isometrisk vy av ett förångningsskepp enligt uppfin- ningen omedelbart efter beläggning med den pyrolytiska bornitriden.
Fig. 2 är ett förångningsskepp_enligt uppfinningen som har belagts med pyrolytisk bornitrid och sedan maskinbearbetats för att av- lägsna ändbeläggningarna och för att åstadkomma elektrisk kontakt.
Fig. 3 är en sidovy av förångningsskeppet visat på fig. 2.
På fig. 1 täcker den pyrolytiska bornitridbeläggningen 10 fullstän- digt alla ytor hos förångningsskeppet. Fördjupningen 12 bildas med halvsfäriska ändar 14. Hålet 16 visat på fig. 1 är det, med hjälp av vilket skeppet uppbars under beläggningen med bornitrid.
Pâ fig. 2 visas ett skepp efter maskinbearbetning för att avlägsna bornitrid från ändarna. Likaså framgår det att den yttersta änden innehållande hålet 16 har skurits av och avlägsnats. På de tvâ än- darna hos skeppet 10, som visas på fig, 2, har bornitriden avlägs- nats från grafitens yttre ändkanter 18 och från grafitens ändsidor 20. Som framgår av fig. 3 har bornitriden även avlägsnats från gra- fitens nedre yta eller bottenyta 22 vid ändarna. I fig. 3 visas skeppets uppbyggnad ytterligare och hur bornitridbeläggningen har avlägsnats framgår även. _Förångningsskepp av motstândstypen, såsom skeppet enligt förelig- gande uppfinning, erfordrar en noggrann form för att matcha mot- stândskretsen. De göres långa och smala, eftersom längden och tvär- 7900185-5 sektionen bestämmer det elektriska motståndet hos skeppet och följaktligen mängden av värme som alstras. Minskning av tjockle- ken hos skeppet minskar tvärsektionsarean och ökar följaktligen värmet som alstras på grund av det ökade motståndet. Skeppet en- ligt föreliggande uppfinning framställes från ett maskinbearbetat block av finkornig höghållfast grafit med hög densitet. Staven lik- nar med avseende på bredd och längd vanliga skepp av intermetal- liskt sammansatt material. Den har emellertid mindre tjocklek än vanliga skepp på grund av den större ledningsförmågan hos grafit.
Minskningen i tvärsektionsarea hos skeppet kan vara 30-40%. Även kaviteten eller fördjupningen, som bildar skeppet, har avvi- kande form i jämförelse med kaviteterna i vanliga skepp. I skepp enligt uppfinningen är det viktigt att kaviteten har släta kontu- rer utan skarpa hörn. Formen hos ändarna hos den långsträckta ka- viteten är speciellt kritisk, eftersom kavitetsändarna måste bi- draga till att stärka beläggningen i kavitetsomrâdet. Olikheten i värmeutvidgningskoefficienter för pyrolytisk bornitrid och för gra- fit kan vara så stor som 2:1 i kornets breddriktning, varvid den för den pyrolytiska bornitriden är lägre. I kontrast till detta är värmeutvidgningskoefficienten för den pyrolytiska bornitriden myc- ket högre i kornets tvärriktning, varvid förhållanden av 7,5:1 är typiska. Denna olikhet innebär att geometrin hos den belagda delen är viktig för att bibehålla erforderlig beläggningskontakt för att tillförsäkra god värmeöverföring. Beläggningskontakt och följakt- ligen värmeöverföring kan ytterligare förbättras, om grafitytan ruggas lätt före beläggning med PBN.
Speciellt hjälper de halvsfäriska ändarna att hålla beläggningen i kavitetsområdet och att dessutom ej nedsätta förångningsfunktio- nen hos skeppet. Om kaviteten var kvadratisk i tvärsektion och ändarna lätt sluttande upp mot ytan, skulle beläggningen tendera att förflytta sig upp för lutningen under nedkylning från belägg- ningstemperatur, vilket skulle ge kontaktförlust med grafitunder- laget och därigenom försämra värmeöverföringen under arbete med skeppet. Endast geometrin hos kaviteten och den i det närmaste totala inkapslingen av skeppet håller beläggningen kvar.
Skepp enligt föreliggande uppfinning kan framställas genom att man först maskinbearbetar en stav av grafit till den önskade skepps- :nova Quinn* 7900185-5 bredden och tjockleken och en längd som är något längre än den Hos det färdiga skeppet. Den extra längden användes för att upp- bära staven i en lämplig ugn. En fördjupningskavitet maskinbear- betas sedan fram på åtminstone en yta av staven. Eventuellt kan kaviteter skäras i båda motstående sidor. Det föredragna sättet att bilda kaviteten är att fräsa den med en enskärsfräs. Arean och djupet hos kaviteten kommer att variera med den avsedda användnin- gen men kommer att vara de vanliga dimensionerna för sådana skepp. Även om staven kan hållas i beläggningsugnen medelst varje bekvämt medel under utnyttjande av den extra längden, föredrages procedu- ren att borra ett hål vid änden av staven. En uppbärande stång kan sedan instickas i detta hål för att hålla staven under belägg- ning med pyrolytisk bornitrid.
Den använda ugnen kan vara av motståndsvärmd typ. Man har konstru- erat en lämplig reaktionsugn med användning av grafitplattor, så- som beskrives i exemplet nedan. Ett antal skeppstavar hängas upp i reaktionsugnen. Ångor av ammoniak och en gasformig borhalogenid, företrädesvis bortriklorid, införes i den värmda reaktionsugnen.
'Förhållandet ammoniak till bortriklorid kan variera från ca 2:1 till ca 4:1. Eventuellt kan en inert gas såsom kväve användes för att öka strömningsmängderna av de gasformiga reaktionskomponenter- na. Reaktionsrummet hâlles vid en temperatur av 1750-2300°C, före~ trädesvis 1800-2200°C med 187500 som mest föredragen temperatur.
Ett tryck av mindre än 50 mm Hg hålles. Gasströmningen in i reak- tionsrummet fortsättes under reaktionsperioden, dvs till dess den önskade beläggningen uppnåtts. Den kontinuerliga metod som användes är den som beskrives 1 Us-Ps 3 152 ooe. ' Den genom uppfinningen erhållna beläggningen av pyrolytisk bornit- rid skall vara 0,254-0,782 mm_i tjocklek och allra helst minst o,sos mm tjoek. Ett föredraget emråae är a.3§1-0,152 mm. beg är vik- tigt att bornitriden totalt täcker eller inkapslar staven, med un- 1_dantag för uppnängningsomrâdet, som skäres av efter beläggning.
'Det belagda skeppet får svalna ooh sedan den bärande änden skurits 'av maskinbearbetas bornitriden bort från ändar, sidor och botten hos staven vid varje ände. Detta åstadkommer en frilagd yta av gra- fit för elektrisk kontakt. Ändarna kan maskinbearbetas på varje önskat sätt för att inrymma klämorgan. Det är viktigt att den py- 7900185-5 rolytiska bornitriden täcker hela ytan hos skeppet med undantag för de delar som står i ingrepp med och följaktligen täckes av de elektriska klämmorna.
Ehuru uppfinningen har beskrivits med avseende på ett förångnings- skepp framställt från en rektangulär stav, så kan grafiten maskin- bearbetas till varje önskad form före beläggning.
Den pyrolytiska bornitridbeläggningen leder värme från grafitsta- ven till metallen i kaviteten effektivt, men eftersom pyrolytisk bornitrid har låg emissionsförmâga jämfört med de intermetalliska sammansatta material, som nu användes för skepp, strålar den ut mindre energi. Metallen förângad i skeppen är elektriskt isolerad från kretsen och kemiskt isolerad från grafitresistorn. Sålunda är motståndet hos skepp/metallsystemet det för grafiten enbart och ef- tersom grafiten är kemiskt isolerad från metallen, förändras dess motstånd ej, varför minimal energireglering erfordras under drift. _Värmeledningsförmågan hos pyrolytisk bornitrid är mycket hög utef- ter längden av grafitstaven, vilket tillförsäkrar en likformig tem- peratur och en mer likformig förångning. Den höga renheten hos py- rolytisk bornitrid (mindre än 10 ppm föroreningar) bidrager till hög renhet i de belagda materialen. Den höga motståndskraften hos pyrolytisk bornitrid mot angrepp av aluminium eller andra metaller är även viktig för förlängning av skeppens livslängd.
Efterföljande exempel avses vara belysande men ej begränsande i an- nan mån än som kommer till uttryck i efterföljande patentkrav.
Ekempel En kvantitet av finkornig höghållfasthet grafit med hög densitet maskinbearbetades till stycken, som var 279,4 mm långa, 25,4 mm breda och 9,1 mm tjocka. I varje stycke formades en kavitet med användning av en ändskärsfräs med en diameter av 22,1 mm. Denna kavitet var 6,5 mm djup och 203 mm lång. Vid en ände hos det så formade skeppet borrades ett hål med en diameter av 6,4 mm.
Fem grafitplattor som var och en var 190,5 mm bred, 559 mm hög och 12,7 mm tjock, formades till en femhörningsform på toppen av en grafitplatta med ett hål i centrum för insläppning av gas. En andra grafitplatta placerades ovanpå den femhörningsformade grup- pen av grafitplattor och denna topplatta höjdes över femhörningen POOR QUALITY 7900185-5 tillräckligt högt för att åstadkomma 423 cmz avgasarea för ga- ser, som kommer upp genom hålet i bottenplattan. Hål borrades på innerytan i grafitplattorna och stavar med en diameter av 6,4 mm instacks i hålen och användes för att hänga upp 15 stycken skepp.
Hela sammanbyggnaden av grafitplattor med skeppen upphängda pâ in- sidan infördes i en högtemperatuns-motståndsvärmd vakuumugn i stånd att hålla temperaturer över 2000°C och ett vakuum av ca 0,2 torr.
Ugnen evakuerades till ett vakuum av 0,350 torr och värmdes sedan till en temperatur av 1875°C. En gasblandning infördes i mängder av 1,48 liter per minut bortriklorid, 3,6 liter per minut ammoniak och 1,24 liter per minut kväve. Gasinförandet och därmed belägg- ning fortsattes under 15 timmar. Ugnen avstängdes sedan och fick svalna och efter kylning uttogs skeppen.
Dâ skeppen undersöktes efter kylning visade de sig ha en beläggning av pyrolytisk bornitrid varierande från 3,81 till 0,762 mm i tjock- lek. Änden hos varje skepp innehållande hålet skars sedan av och skeppen maskinbearbetades på ändarna för att avlägsna bornitridbe- läggningen från åtminstone 19 mm av alla ytor hos varje ände på varje stav, med undantag för toppytan innehållande den frästa för- djupningen, där beläggningen ej avlägsnades.
FÉÉQR Qzïirny

Claims (1)

1. 7900185-5 Patentkrav Förångningsskepp för metall. som omfattar en grafitstav med en utsträckt fördjupning i åtminstone en sida av staven med en beläggning av bornítríd. k ä n n e t B c k n a t av att be- läggningen består av pyrolytisk bornitrid med en tjocklek inom området 0.254 - 0.762 mm. varvid fördjupningen har halv- sfäriska ändar vid sina motstående ändar och varvid grafit- skeppet är belagt med bornítríden utan avbrott med undantag för ett fritt område vid dess ändar. POOR QUALITY
SE7900185A 1978-01-10 1979-01-09 Forangningsskepp for metall SE445362B (sv)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/868,446 US4264803A (en) 1978-01-10 1978-01-10 Resistance-heated pyrolytic boron nitride coated graphite boat for metal vaporization

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE7900185L SE7900185L (sv) 1979-07-11
SE445362B true SE445362B (sv) 1986-06-16

Family

ID=25351701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE7900185A SE445362B (sv) 1978-01-10 1979-01-09 Forangningsskepp for metall

Country Status (10)

Country Link
US (1) US4264803A (sv)
JP (1) JPS5919192B2 (sv)
CA (1) CA1115604A (sv)
DE (1) DE2900490C2 (sv)
DK (1) DK147529C (sv)
FR (1) FR2414078A1 (sv)
GB (1) GB2012251B (sv)
IT (1) IT1113740B (sv)
NL (1) NL7900171A (sv)
SE (1) SE445362B (sv)

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4405300A (en) * 1981-02-27 1983-09-20 Tri-Dynamics Dental Co., Inc. Furnace tray with carbon plate
US4446357A (en) * 1981-10-30 1984-05-01 Kennecott Corporation Resistance-heated boat for metal vaporization
JPS61236655A (ja) * 1985-04-13 1986-10-21 電気化学工業株式会社 熱分解窒化ホウ素物品およびその製法
JPS62101026A (ja) * 1985-10-26 1987-05-11 Shin Etsu Chem Co Ltd 不純物拡散源
JPS62176904A (ja) * 1986-01-30 1987-08-03 Kawasaki Steel Corp 水可溶性硼素化合物の少ない六方晶窒化硼素とその製造方法
GB2192643A (en) * 1986-07-14 1988-01-20 Universal High Technologies Method of coating refractory vessels with boron nitride
DE3640966A1 (de) * 1986-11-29 1988-06-09 Klaus Kalwar Verfahren zur herstellung einer koronaelektrode
US5054418A (en) * 1989-05-23 1991-10-08 Union Oil Company Of California Cage boat having removable slats
US5182149A (en) * 1990-04-30 1993-01-26 Praxair S.T. Technology, Inc. Boron nitride boat and process for producing it
US5032366A (en) * 1990-04-30 1991-07-16 Union Carbide Coatings Service Technology Corporation Boron nitride boat and process for producing it
DE4016225C2 (de) * 1990-05-19 1997-08-14 Leybold Ag Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen
US5158750A (en) * 1990-06-06 1992-10-27 Praxair S.T. Technology, Inc. Boron nitride crucible
US5075055A (en) * 1990-06-06 1991-12-24 Union Carbide Coatings Service Technology Corporation Process for producing a boron nitride crucible
US5182567A (en) * 1990-10-12 1993-01-26 Custom Metallizing Services, Inc. Retrofittable vapor source for vacuum metallizing utilizing spatter reduction means
US5035201A (en) * 1990-12-28 1991-07-30 Gte Products Corporation Evaporating boat having parallel inclined cavities
US5350720A (en) * 1991-03-18 1994-09-27 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Triple-layered ceramic heater
US5239612A (en) * 1991-12-20 1993-08-24 Praxair S.T. Technology, Inc. Method for resistance heating of metal using a pyrolytic boron nitride coated graphite boat
US5343022A (en) * 1992-09-29 1994-08-30 Advanced Ceramics Corporation Pyrolytic boron nitride heating unit
US5410631A (en) * 1993-09-10 1995-04-25 Advanced Ceramics Corporation Clamp assembly for a vaporization boat
CN1047209C (zh) * 1994-09-28 1999-12-08 先进陶瓷公司 高密度闪蒸器
US5493630A (en) * 1994-09-28 1996-02-20 Advanced Ceramics Corporation Pyrolytic boron nitride coated flash evaporator
US5495550A (en) * 1994-09-28 1996-02-27 Advanced Ceramics Corporation Graphite flash evaporator having at least one intermediate layer and a pyrolytic boron nitride coating
US5537507A (en) * 1994-09-28 1996-07-16 Advanced Ceramics Corporation Coated flash evaporator heater
US5671322A (en) * 1996-01-17 1997-09-23 Advanced Ceramics Corporation Lateral flash evaporator
JP3212522B2 (ja) * 1996-12-27 2001-09-25 信越化学工業株式会社 分子線エピタキシー用熱分解窒化硼素るつぼ
DE10085115T1 (de) * 1999-10-22 2002-11-07 Kurt J Lesker Company Clairton Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats im Vakuum
US6830626B1 (en) 1999-10-22 2004-12-14 Kurt J. Lesker Company Method and apparatus for coating a substrate in a vacuum
US20050147753A1 (en) * 1999-10-22 2005-07-07 Kurt J. Lesker Company Material deposition system and a method for coating a substrate or thermally processing a material in a vacuum
US6229956B1 (en) * 2000-03-22 2001-05-08 Advanced Ceramics Corporation Flash evaporator vessel
CN1332061C (zh) * 2000-12-14 2007-08-15 通用电气公司 闪蒸器皿
JP4509433B2 (ja) * 2001-07-12 2010-07-21 株式会社日立国際電気 基板処理装置および半導体装置の製造方法
US20040074898A1 (en) * 2002-10-21 2004-04-22 Mariner John T. Encapsulated graphite heater and process
KR100489304B1 (ko) * 2002-12-23 2005-05-17 재단법인 포항산업과학연구원 저항가열 보트 및 그 제조방법
US20050000447A1 (en) * 2003-07-04 2005-01-06 Jan Koninckx Crucible for evaporation of raw materials
US20060013966A1 (en) * 2003-09-08 2006-01-19 Jan Koninckx Crucible for evaporation of raw materials
JP4425860B2 (ja) * 2003-11-20 2010-03-03 電気化学工業株式会社 金属蒸発発熱体及び金属の蒸発方法
US20050153082A1 (en) * 2004-01-14 2005-07-14 Holcombe Cressie E. Boron nitride reaction capsule/vessel
US20050164143A1 (en) * 2004-01-14 2005-07-28 Holcombe Cressie E. Continuous pusher-type furnacing system for the production of high-quality uniform boron nitride
US20060165994A1 (en) * 2004-07-07 2006-07-27 General Electric Company Protective coating on a substrate and method of making thereof
DE102005030862B4 (de) * 2005-07-01 2009-12-24 Sintec Keramik Gmbh Erstbenetzungshilfsmaterial für einen Verdampferkörper, seine Verwendung zum Herrichten der Verdampferfläche eines Verdampferkörpers und ein elektrisch beheizbarer keramischer Verdampferkörper
GB2432830A (en) * 2005-12-02 2007-06-06 Morganite Elect Carbon Formation of thermally anisotropic carbon material
DE102006001855A1 (de) * 2006-01-13 2007-07-19 Sintec Keramik Gmbh Verdampferkörper und Verfahren zum Bereitstellen eines Verdampferkörpers
US7741584B2 (en) * 2007-01-21 2010-06-22 Momentive Performance Materials Inc. Encapsulated graphite heater and process
KR101457653B1 (ko) * 2007-03-22 2014-11-03 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 성막장치, 제조장치, 성막방법, 및 발광장치의 제조방법
EP2019156A1 (en) * 2007-07-27 2009-01-28 Applied Materials, Inc. Shaped crucible and evaporation apparatus having same
DE102007035856B8 (de) 2007-07-31 2009-04-16 Sintec Keramik Gmbh Widerstandsheizer und Verfahren zum Herstellen desselben
US10184168B2 (en) 2015-01-20 2019-01-22 Kennametal Inc. IMC evaporator boat-thermal insulation cartridge assembly
US20160208373A1 (en) 2015-01-20 2016-07-21 Kennametal Inc. Imc evaporator boat assembly
JP6478364B2 (ja) * 2015-04-09 2019-03-06 信越化学工業株式会社 被覆グラファイト部材及びこれと保持手段とのアセンブリ
DE102019110950A1 (de) 2019-04-29 2020-10-29 Kennametal Inc. Hartmetallzusammensetzungen und deren Anwendungen

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2665229A (en) * 1951-11-05 1954-01-05 Nat Res Corp Method of coating by vapor deposition
DE1019885B (de) * 1956-07-13 1957-11-21 Siemens Ag Verdampfer zum Bedampfen mit Metallen
US2962538A (en) * 1958-01-30 1960-11-29 Continental Can Co Vaporizing heater for vacuum deposition and method of employing the same
US2996412A (en) * 1958-10-10 1961-08-15 Continental Can Co Art of depositing metals
US3063858A (en) * 1959-07-22 1962-11-13 Nat Res Corp Vapor source and processes for vaporizing iron, nickel and copper
DE1193765B (de) * 1960-03-31 1965-05-26 Nat Res Corp Verdampfergefaess zum Vakuumbedampfen von beweglichen Unterlagen mit Aluminium und Verfahren zu dessen Herstellung
FR1253106A (fr) * 1960-04-01 1961-02-03 Nat Res Corp Perfectionnements apportés aux procédés et appareils pour la production de revêtements d'aluminium sous vide
US3152006A (en) * 1961-06-29 1964-10-06 High Temperature Materials Inc Boron nitride coating and a process of producing the same
US3367811A (en) * 1962-11-08 1968-02-06 Nat Res Corp Process of joining bodies with boron nitride
US3345448A (en) * 1964-07-28 1967-10-03 Union Carbide Corp High temperature electrical connection
US3372671A (en) * 1965-05-26 1968-03-12 Westinghouse Electric Corp Apparatus for producing vapor growth of silicon crystals
US3430937A (en) * 1966-02-17 1969-03-04 Nasa Evaporant holder
US3452970A (en) * 1967-05-12 1969-07-01 Siemens Ag Vaporization vessel for use in vapor deposition upon a carrier support
FR94385E (fr) * 1967-11-06 1969-08-08 Comp Generale Electricite Source pour évaporation sous vide.
US3544486A (en) * 1968-05-23 1970-12-01 Sylvania Electric Prod Refractory bodies containing aluminum nitride,boron nitride and titanium boride
US3609829A (en) * 1968-07-12 1971-10-05 Texas Instruments Inc Apparatus for the formation of silica articles
US3576932A (en) * 1969-02-17 1971-04-27 Texas Instruments Inc Sintering vapor deposited silica on a mandrel designed to reduce shrinkage
US3658032A (en) * 1970-11-05 1972-04-25 Fairchild Camera Instr Co Reactor for the formation of material on a substrate
US3724996A (en) * 1971-03-12 1973-04-03 Union Carbide Corp Boron nitride containing vessel having a surface coating of zirconium silicon
SU420559A1 (ru) * 1971-10-08 1974-03-25 В. П. Соседов, В. С. Дергунова, Е. Г. Власов, Н. А. Новикова Способ защиты графита
JPS4897741A (sv) * 1972-03-27 1973-12-12
US3986822A (en) * 1975-02-27 1976-10-19 Union Carbide Corporation Boron nitride crucible
US4058579A (en) * 1975-02-27 1977-11-15 Union Carbide Corporation Process for producing an improved boron nitride crucible

Also Published As

Publication number Publication date
US4264803A (en) 1981-04-28
NL7900171A (nl) 1979-07-12
JPS54101781A (en) 1979-08-10
DK9179A (da) 1979-07-11
GB2012251B (en) 1982-08-04
FR2414078A1 (fr) 1979-08-03
DE2900490C2 (de) 1982-12-30
GB2012251A (en) 1979-07-25
CA1115604A (en) 1982-01-05
JPS5919192B2 (ja) 1984-05-02
FR2414078B1 (sv) 1984-04-06
IT7947576A0 (it) 1979-01-10
DK147529B (da) 1984-09-17
IT1113740B (it) 1986-01-20
DK147529C (da) 1985-02-25
SE7900185L (sv) 1979-07-11
DE2900490A1 (de) 1979-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE445362B (sv) Forangningsskepp for metall
US4446357A (en) Resistance-heated boat for metal vaporization
RU99108464A (ru) Деталь, в частности, лопатка газовой турбины с теплоизоляционным слоем, а также способ и устройство для изготовления теплоизоляционного слоя
EP0119250B1 (en) Self protecting carbon bodies and method for making same
EP1588404A2 (en) Wafer handling apparatus
WO2007087196A2 (en) Advanced ceramic heater for substrate processing
SE458205B (sv) Foerfarande och anordning foer belaeggning av ett substrat med material, som paa elektrisk vaeg har oeverfoerts till aangfas
KR20080071973A (ko) 스퍼터링에 의한 코팅 증착법
US4358046A (en) Oriented graphite layer and formation
CA2328266A1 (en) Corrosion and erosion resistant thin film diamond coating and applications therefor
RU2142021C1 (ru) Испарительная лодочка установки взрывного испарения
EP0806488A1 (en) Aluminum-chromium alloy, method for its production and its applications
EP0031197B1 (en) A method of coating a substrate and an alkali metal/polysulfide battery containing such substrate so coated
US4775565A (en) Vessel for refractory use having multi-layered wall
Becker et al. TiB2-coated cathodes for aluminum smelting cells
EP0785290B1 (en) Lateral flash evaporator
JP3355148B2 (ja) 改良された初期濡れ性能を有するセラミック蒸発ボート及びその製造方法
KR20000028899A (ko) 염소계 가스에 대한 내식성 부재
US5383981A (en) Reusable crucible for containing corrosive liquids
EP0967189A1 (en) A highly resistive recrystallized silicon carbide, an anti-corrosive member, a method for producing the highly resistive recrystallized silicon carbide, and a method for producing the anti-corrosive member
JP2000063177A (ja) 窒化アルミニウム質焼結体、金属埋設品および半導体保持装置
RU2008298C1 (ru) Способ пропитки кремнием полых изделий из пористого материала, содержащего карбид кремния и/или углерод, и устройство для его осуществления
KR950004780B1 (ko) 알루미늄 증발용 보우트의 제조방법
JPH04301071A (ja) 真空蒸着法
Klews et al. Graphoepitaxial recrystallization of Bi films on SiO and C substrates with a surface relief structure

Legal Events

Date Code Title Description
NAL Patent in force

Ref document number: 7900185-5

Format of ref document f/p: F

NUG Patent has lapsed

Ref document number: 7900185-5

Format of ref document f/p: F