RU99106679A - Устройство для облучения пучком электронов - Google Patents

Устройство для облучения пучком электронов

Info

Publication number
RU99106679A
RU99106679A RU99106679/06A RU99106679A RU99106679A RU 99106679 A RU99106679 A RU 99106679A RU 99106679/06 A RU99106679/06 A RU 99106679/06A RU 99106679 A RU99106679 A RU 99106679A RU 99106679 A RU99106679 A RU 99106679A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electric current
electromagnet
electron beam
diameter
sweep
Prior art date
Application number
RU99106679/06A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2219606C2 (ru
Inventor
Йошихико НАЙТО
Original Assignee
Эбара Корпорейшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP10100406A external-priority patent/JPH11281799A/ja
Application filed by Эбара Корпорейшн filed Critical Эбара Корпорейшн
Publication of RU99106679A publication Critical patent/RU99106679A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2219606C2 publication Critical patent/RU2219606C2/ru

Links

Claims (4)

1. Устройство для излучения пучка электронов, содержащее источник электронного пучка, ускорительную трубку для ускорения электронов, испускаемых из источника электронного пучка, фокусирующий электромагнит для наложения магнитного поля на высокоэнергетический электронный пучок, формируемый упомянутой ускорительной трубкой, для регулирования диаметра электронного пучка и электромагнит развертки пучка для наложения магнитного поля на упомянутый электронный пучок для отклонения и развертывания упомянутого электронного пучка, диаметр которого регулируется, отличающееся тем, что составляющая электрического тока, синхронизированная с электрическим током упомянутого электромагнита развертки пучка, наложена на электрический ток упомянутого фокусирующего электромагнита для регулирования электрического тока упомянутого фокусирующего электромагнита таким образом, чтобы упомянутый диаметр пучка достигал максимального значения в точках максимума упомянутой развертки пучка.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что электрический ток упомянутого электромагнита развертки пучка является синусоидальным переменным электрическим током, электрический ток упомянутого фокусирующего электромагнита образован путем наложения на постоянный электрический ток синусоидального переменного электрического тока, частота которого вдвое превышает частоту электрического тока упомянутого электромагнита развертки пучка, и электрический ток упомянутого фокусирующего электромагнита регулируется синхронно таким образом, чтобы увеличить до максимума упомянутый диаметр пучка при максимальных положительном и отрицательном значениях электрического тока упомянутого электромагнита развертки пучка.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что электрический ток упомянутого электромагнита развертки пучка является переменным электрическим током с триангулярной формой волны, электрический ток упомянутого фокусирующего электромагнита образован путем наложения на постоянный электрический ток переменного электрического тока с триангулярной формой волны, частота которого вдвое превышает частоту электрического тока упомянутого электромагнита развертки пучка, и электрический ток упомянутого фокусирующего электромагнита регулируется синхронно таким образом, чтобы увеличить до максимума упомянутый диаметр пучка при максимальных положительном и отрицательном значениях электрического тока упомянутого электромагнита развертки пучка.
4. Способ излучения пучка электронов, включающий следующие операции: регулирование диаметра (сечения) высокоэнергетического электронного пучка путем наложения первого магнитного поля на упомянутый электронный пучок, наложение второго магнитного поля на упомянутый электронный пучок с регулируемым диаметром (сечения) пучка для отклонения и развертывания упомянутого электронного пучка и регулирование упомянутого первого магнитного поля таким образом, чтобы упомянутый диаметр (сечения) пучка достигал максимального значения в упомянутых максимальных точках упомянутой развертки пучка.
RU99106679/06A 1998-03-27 1999-03-26 Устройство для излучения пучка электронов и способ излучения пучка электронов RU2219606C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10100406A JPH11281799A (ja) 1998-03-27 1998-03-27 電子線照射装置
JP100406/1998 1998-03-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU99106679A true RU99106679A (ru) 2001-01-10
RU2219606C2 RU2219606C2 (ru) 2003-12-20

Family

ID=14273106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU99106679/06A RU2219606C2 (ru) 1998-03-27 1999-03-26 Устройство для излучения пучка электронов и способ излучения пучка электронов

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6329769B1 (ru)
JP (1) JPH11281799A (ru)
CN (1) CN1130243C (ru)
PL (1) PL332232A1 (ru)
RU (1) RU2219606C2 (ru)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6696693B1 (en) * 1999-07-02 2004-02-24 Ebara Corporation Electron beam irradiation apparatus and method
JP2001221899A (ja) * 2000-02-07 2001-08-17 Ebara Corp 電子線照射装置
US20060196853A1 (en) * 2005-03-04 2006-09-07 The Regents Of The University Of California Micro-joining using electron beams
CA2857801C (en) 2006-10-26 2014-12-30 Xyleco, Inc. Methods of processing biomass comprising electron-beam radiation
CN102097150B (zh) * 2010-11-04 2012-07-04 华中科技大学 一种用于辐射加工的电子束扩散装置
CN102494917A (zh) * 2011-12-13 2012-06-13 江苏达胜加速器制造有限公司 空间环境辐射模拟装置
WO2014025751A2 (en) 2012-08-06 2014-02-13 Implant Sciences Corporation Non-radioactive ion source using high energy electrons
CN103068145A (zh) * 2013-01-04 2013-04-24 中国原子能科学研究院 一种电磁铁磁场波形合成方法及其装置
CN103762007B (zh) * 2014-01-20 2016-08-17 汇佳生物仪器(上海)有限公司 电子直线加速器二维扫描高能x线辐照系统
CN104582231A (zh) * 2014-12-11 2015-04-29 中国原子能科学研究院 一种电子辐照加速器的束流偏转方法
IT201600082446A1 (it) * 2016-08-04 2018-02-04 Consorzio Di Ricerca Hypatia Macchina per la stampa 3d a fascio di elettroni
CN110237674A (zh) * 2019-06-28 2019-09-17 浙江哲丰能源发展有限公司 一种燃煤电厂烟气脱硫脱硝处理系统

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8601511A (nl) * 1986-06-11 1988-01-04 Philips Nv Kathodestraalbuis met magnetische focusseerlens.
JPH07192673A (ja) 1993-12-24 1995-07-28 Nissin High Voltage Co Ltd 走査型電子線照射装置
JP3057486B2 (ja) 1997-01-22 2000-06-26 セイコー精機株式会社 ターボ分子ポンプ
JPH10223159A (ja) * 1997-02-06 1998-08-21 Hitachi Ltd カラー陰極線管
JP3716068B2 (ja) 1997-04-22 2005-11-16 三菱重工業株式会社 ターボ分子ポンプ及び同ターボ分子ポンプを有する真空容器
KR100288807B1 (ko) * 1997-07-29 2001-06-01 가나이 쓰도무 편향요크 및 이것을 사용한 음극선관장치와 디스플레이장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU99106679A (ru) Устройство для облучения пучком электронов
JPS63279542A (ja) イオンプラズマ電子銃組立体
US4767930A (en) Method and apparatus for enlarging a charged particle beam
EP1429587A8 (en) X-ray generator
US5004926A (en) Device for the irradiation of a product on both faces
US20080285200A1 (en) System and method for forming and controlling electric arcs
JP2003533850A (ja) 高能率走査イオン注入器
KR890012360A (ko) 이온 주입 표면의 충전조절방법 및 장치
JPH0896735A (ja) 長く延びた陽極に沿って電子ビーム束を放射するための電子源を有するx線放射器
US20240029997A1 (en) Apparatus, system and method for energy spread ion beam
RU2219606C2 (ru) Устройство для излучения пучка электронов и способ излучения пучка электронов
KR101689361B1 (ko) 의료용 전자가속기의 삼극관 전자총 전원공급장치
US4100450A (en) Method of and apparatus for generating longitudinal strips of energetic electron beams
US3193722A (en) Method and means for control of a pulsed beam of charge carriers
JPS63200434A (ja) イオンビ−ム発生装置
JPH0378739B2 (ru)
RU2001130989A (ru) Устройство облучения электронным пучком и способ
RU2250532C2 (ru) Способ и устройство электронно-лучевого облучения (варианты)
KR101564683B1 (ko) 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치
JP2005026241A (ja) 電子ビーム生成装置、及び電子ビーム露光装置
JPH10334844A (ja) 走査電子顕微鏡
JPH0514400B2 (ru)
JP4221755B2 (ja) レーザによる除電・帯電方法及び装置
RU2210137C2 (ru) Лазерный электронно-лучевой прибор с динамической подфокусировкой
JPH0535540B2 (ru)