RU2001130989A

RU2001130989A - Устройство облучения электронным пучком и способ

Info

Publication number: RU2001130989A
Application number: RU2001130989/12A
Authority: RU
Inventors: Йосихико НАИТОХ
Original assignee: Ибара Корпорейшн
Priority date: 1999-07-02
Filing date: 2000-06-30
Publication date: 2003-07-27

Claims

1. Устройство облучения электронным пучком, содержащее источник электронного пучка для излучения электронов, ускорительную трубку для ускорения электронов, излучаемых источником электронного пучка, фокусирующий электромагнит для регулирования диаметра электронного пучка посредством приложения магнитного поля к электронному пучку, сформированному в ускорительной трубке и имеющему высокую энергию, электромагнит для отклонения и сканирования электронного пучка посредством приложения магнитного поля к электронному пучку, и окно облучения, для выхода электронного пучка, отличающееся тем, что электронный пучок фокусируется в точке фокуса фокусирующим электромагнитом, так что электронный пучок сходится один раз, затем расходится, и затем излучается наружу через упомянутое окно облучения.

2. Устройство облучения по п.1, отличающееся тем, что точка фокуса упомянутого электронного пучка размещена в месте расположения, после участка, где электронный пучок проходит через магнитное поле для отклонения и сканирования электронного пучка по направлению его распространения.

3. Устройство облучения по п.2, в котором место расположения точки фокуса корректируется посредством регулирования величины тока, подаваемого на фокусирующий электромагнит.

4. Способ облучения электронным пучком, заключающийся в том, что регулируют диаметр электронного пучка, имеющего высокую энергию, посредством приложения магнитного поля к электронному пучку, отклоняют и сканирую электронный пучок, диаметр которого был отрегулирован посредством приложения магнитного поля к электронному пучку фокусирующим электромагнитом, и излучают наружу электронный пучок через окно облучения, отличающийся тем, что упомянутый электронный пучок фокусируется в точке фокуса фокусирующим электромагнитом, так что упомянутый электронный пучок сходится один раз, затем расходится, и затем излучается наружу через окно облучения.

5. Способ облучения по п.4, отличающийся тем, что точку фокуса упомянутого электронного пучка размещают в месте расположения, после участка, где электронный пучок проходит через магнитное поле для сканирования электронного пучка.

6. Способ облучения по п.5, отличающийся тем, что место расположения точки фокуса корректируют посредством регулирования величины тока, подаваемого на фокусирующий электромагнит.