JPS60232650A - 特性ｘ線発生装置 - Google Patents

特性ｘ線発生装置

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Publication number
JPS60232650A
JPS60232650A JP59087356A JP8735684A JPS60232650A JP S60232650 A JPS60232650 A JP S60232650A JP 59087356 A JP59087356 A JP 59087356A JP 8735684 A JP8735684 A JP 8735684A JP S60232650 A JPS60232650 A JP S60232650A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
target
characteristic
ray
rays
emitted
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59087356A
Other languages
English (en)
Inventor
Michio Yamaguchi
山口　道生
Sumio Kumashiro
熊代　州三夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
Original Assignee
Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp, Shimazu Seisakusho KK filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP59087356A priority Critical patent/JPS60232650A/ja
Publication of JPS60232650A publication Critical patent/JPS60232650A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/112—Non-rotating anodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
    • H01J35/153—Spot position control

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ・　産業上の利用分野 本発明はＸ線表面分析等のＸ線試験２検査に使用する特
性Ｘ線発生装置で特性Ｘ線を試料上に集中させるだめの
特性Ｘ線集中ターゲット形状に関するものである。
口・従来技術 高速電子をターゲットに衝突させるとターゲットからＸ
線を放射する。その放射Ｘ線の中でターゲット固有のス
ペクトルを持つ特性Ｘ線の放射指向性はターゲットの表
面に垂直の方向に比較的集中したパターンを有する。従
来はターゲット表面を平面にしていたから、試料上にス
ポット状の高密度の特性Ｘ線を必要とするときには、タ
ーゲット上の一点に照射電子を集中させ高密度の電子流
によってターゲットを照射する必要があった。その結果
、ターゲットが局所的に溶けたシ、損傷を受ける等の欠
点があった。
その外、スポット状の特性Ｘ線を照射すべきときに、ス
ポット点以外を照射する特性Ｘ線はすべて無駄であり、
分析上Ｓ　／　Ｎ比を低下させるだけでなく、分析等の
位置的分解能が悪くなシ、好ましくないものである。
ハ、目　的 特性Ｘ線発生装置において、ターゲットが溶けたシ、損
傷を受けることなく、スポット状に集束された高密度の
特性Ｘ線を発生させることができる特性Ｘ線集中ターゲ
ットを提供する。
二・　構　成 熱電子を発生させるフィラメントと試料面位置に曲率中
心を有する凹面形状の特性Ｘ線集中ターゲットおよび、
熱電子をターゲットに導く電場をターゲットとともに形
成するりベラ、ウエネルトによって構成される。
ターゲットに入射する高速電子によって放射される特性
Ｘ線の放射指向性はターゲットの表面に垂直の方向が最
大になる比較的ビーム巾の狭いパターンである。この放
射指向特性を利用すると凹面ターゲット１の全面から放
射される特性Ｘ線を相当程度にターゲットの凹面の曲率
中心に集中させることができる。
本発明は上述したように、特性Ｘ線発生器のターゲット
に凹面ターゲットを使用しているため、この凹面部分に
あたった電子によって発生した特性Ｘ線をも効率よく集
中させる装置である。
ホ、実施例 図は本発明の１実施例を示す。１が棒状のターゲットで
あシ、電子ｅの入射面１ａが球形に近い凹面に成形した
ターゲットである。４はフィラメントであり、電子ｅを
放出する。フィラメント４から放出された電子ｅはリベ
ラ電極３により偏向されてウェネルト電極２によジター
ゲットｌの入射面１ａの適当範囲に入射し、ターゲット
固有の特性Ｘ線Ｘを放射させる。凹面１ａから放射され
る特性Ｘ線は主としてターゲット表面に垂直に放射され
るから、凹面１ａの曲率中心位置Ｐに向って特性Ｘ線が
強く集中されることになる。この実施例ではターゲット
表面の中心部ψの範囲は平面であり、試料面上でこの平
面部に対向する領域６に均一に特性Ｘ線を照射する。タ
ーゲット表面でψから外の領域が試料面上６の領域の中
心Ｐを曲率中心とする球面にしである。特性Ｘ線は１０
０チターゲツト面から垂直に放射されるのではないから
、ψより外の領域から放射された特性Ｘ線は完全にＰ点
に集中はしないが、６の領域全体を強く照射させること
ができる。
上述実施例ではターゲット表面は中心部が平面でその周
囲部分が球面にしであるが、もちろん全面を球面にして
もよい。また上側で球面部分をそれに接する円錐面で近
似させてもよくこのような近似を用いるとターゲットの
工作が楽になる。
へ・効果 本発明の採用によシ、スポット状の高密度の電子流によ
ってターゲットを照射することなしに、スポット状の高
密度特性Ｘ線を作ることができるため、ターゲットを局
所的に溶かしたシ、ターゲットに損傷を与えることがな
くなる。まだ、必要とする照射点以外に分布する特性Ｘ
線が非常に少なくなり、特性Ｘ線を有効に使用すること
ができ、Ｓ／Ｎ比の良い分析が容易となり、分析等を行
う試料の照射位置の分解能を改善させることができる、
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例の縦断側面図である。 １・・・ターゲット、ｌａ・・・ターゲットの凹面、２
・・・ウェネルト、３・・・リペラ、４・・・フィラメ
ント、６・・・試料面の特性Ｘａ照射域、Ｐ・・・ター
ゲット凹面ｌａの曲率中心。 代理人　弁理士　係　浩　介

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 特性Ｘ線を発生させるターゲットを特性Ｘ線を集中させ
    るべき点を曲率中心とする球面状にしたことを特徴とす
    る特性Ｘ線発生装置。
JP59087356A 1984-04-30 1984-04-30 特性ｘ線発生装置 Pending JPS60232650A (ja)

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JPS60232650A true JPS60232650A (ja) 1985-11-19

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JP59087356A Pending JPS60232650A (ja) 1984-04-30 1984-04-30 特性ｘ線発生装置

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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