RU98119708A - Пьезоэлектрический привод или двигатель, способ приведения его в действие и способ его изготовления - Google Patents

Пьезоэлектрический привод или двигатель, способ приведения его в действие и способ его изготовления

Info

Publication number
RU98119708A
RU98119708A RU98119708/28A RU98119708A RU98119708A RU 98119708 A RU98119708 A RU 98119708A RU 98119708/28 A RU98119708/28 A RU 98119708/28A RU 98119708 A RU98119708 A RU 98119708A RU 98119708 A RU98119708 A RU 98119708A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
drive
monolithic
modules
module
specified
Prior art date
Application number
RU98119708/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2179363C2 (ru
Inventor
Матс Бекселль
Стефан ЮХАНССОН
Original Assignee
Пьезомоторс Уппсала Аб
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from PCT/SE1996/000391 external-priority patent/WO1997036365A1/en
Application filed by Пьезомоторс Уппсала Аб filed Critical Пьезомоторс Уппсала Аб
Publication of RU98119708A publication Critical patent/RU98119708A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2179363C2 publication Critical patent/RU2179363C2/ru

Links

Claims (34)

1. Привод или двигатель, содержащий электромеханический материал, который изменяет свою форму под действием электрического поля, в результате чего создается движение относительно тела за счет нерезонансного повторения малых шагов, отличающийся тем, что указанный привод или двигатель содержит по меньшей мере один монолитный модуль с электродами, интегрированными в указанный электромеханический материал, монолитный модуль имеет по меньшей мере одну пассивную часть (1) и по меньшей мере два активных элемента (2), каждый из которых имеет одну независимую контактную точку для контакта с указанным телом, причем эти контактные точки могут устанавливаться независимо друг от друга путем перемещения по меньшей мере в двух независимых направлениях относительно пассивной части (1) монолитного модуля, а монолитный модуль, один или в сочетании с другими, используется для создания указанного движения.
2. Привод или двигатель по п.1, отличающийся тем, что контактные точки могут устанавливаться независимо друг от друга путем перемещения в трех независимых направлениях относительно пассивной части (1) монолитного модуля.
3. Привод или двигатель по п.1, отличающийся тем, что контактные точки монолитных модулей расположены в плоскости, наклоненной относительно плоскости основания монолитного модуля или присоединенного блока.
4. Привод или двигатель по п.1, отличающийся тем, что монолитные модули имеют сферическую геометрию контактов.
5. Привод или двигатель по п.3 или 4, отличающийся тем, что он содержит сильфонную трубку для создания направленной по нормали силы между монолитными модулями.
6. Привод или двигатель по п.1, отличающийся тем, что монолитные модули прижаты к указанному телу.
7. Привод или двигатель по п.6, отличающийся тем, что монолитные модули прижаты к телу гравитационными, электростатическими, молекулярными, атомными силами или силой внутреннего трения.
8. Привод или двигатель по п.6, отличающийся тем, что монолитные модули прижаты к телу магнитными силами.
9. Привод или двигатель по п.6, отличающийся тем, что монолитные модули прижаты к телу упругими пружинящими силами.
10. Привод или двигатель по п. 1, отличающийся тем, что в монолитных модулях выполнены трехмерные полости.
11. Привод или двигатель по п.10, отличающийся тем, что по меньшей мере часть активных элементов образована базисными элементами, состоящими из структур (12), искривленных в двух или в трех измерениях.
12. Привод или двигатель по п.10, отличающийся тем, что по меньшей мере часть активных элементов образована дугообразными структурами (12), которые соединены друг с другом по меньшей мере двумя концами.
13. Привод или двигатель по п.11, отличающийся тем, что базисные элементы представляют собой искривленные мембраны или пластинчатые структуры.
14. Привод или двигатель по п.10, отличающийся тем, что указанные полости заполнены резиноподобным материалом.
15. Привод или двигатель по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что монолитный модуль содержит управляющую электронику для генерации напряжения с фазовым сдвигом и различную электронику датчика для обеспечения прямой и обратной связи, причем указанный датчик является, например, датчиком силы и положения.
16. Приводное или двигательное устройство, содержащее привод или двигатель, содержащий электромеханический материал, который изменяет свою форму под действием электрического поля, и тело, в результате чего создается движение относительно этого тела за счет нерезонансного повторения малых шагов, отличающееся тем, что привод или двигатель включает по меньшей мере один монолитный модуль с электродами, интегрированными в указанный электромеханический материал, причем монолитный модуль имеет по меньшей мере одну пассивную часть (1) и по меньшей мере два активных элемента (2), каждый из которых имеет одну независимую контактную точку для контакта с указанным телом, эти контактные точки могут устанавливаться независимо друг от друга путем перемещения по меньшей мере в двух независимых направлениях относительно пассивной части (1) монолитного модуля, монолитный модуль, один или в сочетании с другими, используется для создания указанного движения, а указанное тело имеет форму клина.
17. Привод или двигатель по п.16, отличающийся тем, что тело содержит упругий материал.
18. Привод или двигатель по п.16, отличающийся тем, что тело представляет собой упругую структуру.
19. Приводная система, содержащая несколько модулей, содержащих электромеханический материал, который изменяет свою форму под действием электрического поля, в результате чего создается движение относительно тела за счет нерезонансного повторения малых шагов, отличающаяся тем, что модули являются монолитными модулями с электродами, интегрированными в указанный электромеханический материал, а каждый из монолитных модулей имеет по меньшей мере одну пассивную часть (1) и по меньшей мере два активных элемента (2), каждый из которых имеет одну независимую контактную точку для контакта с указанным телом, причем контактные точки могут устанавливаться независимо друг от друга путем перемещения по меньшей мере в двух независимых направлениях относительно пассивной части (1) монолитного модуля.
20. Приводная система по п.19, отличающаяся тем, что модули установлены столбиком один на другом.
21. Приводная система по п.20, отличающаяся тем, что она содержит сильфонную трубку (4) для создания направленной по нормали силы между монолитными модулями.
22. Приводная система по п.20, отличающаяся тем, что в центре установленных столбиком монолитных модулей расположена центральная трубка (6).
23. Приводная система по п.19, отличающаяся тем, что активные элементы на монолитных модулях используются для перемещения указанного тела (10) по меньшей мере по двум осям.
24. Способ приведения в действие привода или двигателя, содержащего электромеханический материал, изменяющий форму под действием электрического поля, включающий операцию перемещения указанного привода или двигателя путем повторения малых шагов, отличающийся тем, что указанная операция перемещения дополнительно включает операцию приведения в действие по меньшей мере одного монолитного модуля, одного или в сочетании с другими монолитными модулями, причем монолитный модуль имеет электроды, интегрированные в указанный электромеханический материал, и установки по меньшей мере двух контактных точек на каждом монолитном модуле независимо друг от друга путем перемещения по меньшей мере в двух независимых направлениях относительно пассивной части монолитного модуля.
25. Способ приведения в действие привода или двигателя по п.24, отличающийся тем, что поворачивают по меньшей мере один из монолитных модулей относительно другого, имеющего форму клина, или относительно отдельного блока, имеющего форму клина, тем самым преобразуя поворотное движение в движение в виде наклонов.
26. Способ приведения в действие привода или двигателя по п.24, отличающийся тем, что указанная операция относительного поворота включает операции создания и перемещения зон (7) сжатия центральной трубки, обусловливающие перистальтическое движение любых жидкостей а центральной трубке.
27. Способ изготовления привода или двигателя, содержащего электромеханический материал, изменяющий форму под действием электрического поля, в результате чего создается движение относительно тела путем нерезонансного повторения малых шагов, причем привод или двигатель включает по меньшей мере один монолитный модуль с электродами, интегрированными в указанный электромеханический материал, монолитный модуль имеет по меньшей мере одну пассивную часть (1) и по меньшей мере два активных элемента (2), а указанный способ включает операцию создания сложного электродного устройства в указанном электромеханическом материале, отличающийся тем, что включает операцию копирования геометрических профилей на сырой массе указанного электромеханического материала.
28. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что он включает операцию покрытия электромеханического материала электродным слоем до указанной операции копирования.
29. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что выравнивают одну сырую массу относительно другой, используя геометрические профили, полученные в операции копирования геометрических профилей в указанной сырой массе.
30. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что операция копирования включает операцию выполнения отверстий в указанной сырой массе для электродных соединений между слоями.
31. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что он включает операцию выполнения соединения электродных слоев путем пластического деформирования.
32. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что операция копирования включает операцию формирования слоев из электрически неактивных материалов.
33. Способ изготовления по п.27, отличающийся тем, что он включает операцию формирования внешних фрикционных слоев.
34. Способ изготовления по п.27. отличающийся тем, что операция копирования включает операцию формирования полостей.
RU98119708/28A 1996-03-26 1997-03-26 Пьезоэлектрический привод или двигатель, способ приведения его в действие и способ его изготовления RU2179363C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
WOPCT/SE96/00391 1996-03-26
PCT/SE1996/000391 WO1997036365A1 (en) 1996-03-26 1996-03-26 An actuator motor and a method for fabrication of such an actuator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU98119708A true RU98119708A (ru) 2000-08-27
RU2179363C2 RU2179363C2 (ru) 2002-02-10

Family

ID=20401251

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98119708/28A RU2179363C2 (ru) 1996-03-26 1997-03-26 Пьезоэлектрический привод или двигатель, способ приведения его в действие и способ его изготовления

Country Status (10)

Country Link
US (1) US6184609B1 (ru)
EP (1) EP0890216B1 (ru)
JP (1) JP3980646B2 (ru)
KR (1) KR100388422B1 (ru)
CN (1) CN1244977C (ru)
AT (1) ATE252288T1 (ru)
AU (2) AU5707796A (ru)
DE (1) DE69725564T2 (ru)
RU (1) RU2179363C2 (ru)
WO (2) WO1997036365A1 (ru)

Families Citing this family (58)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6586859B2 (en) * 2000-04-05 2003-07-01 Sri International Electroactive polymer animated devices
US6543110B1 (en) 1997-02-07 2003-04-08 Sri International Electroactive polymer fabrication
US7320457B2 (en) * 1997-02-07 2008-01-22 Sri International Electroactive polymer devices for controlling fluid flow
US7034432B1 (en) * 1997-02-07 2006-04-25 Sri International Electroactive polymer generators
US6781284B1 (en) 1997-02-07 2004-08-24 Sri International Electroactive polymer transducers and actuators
US6545384B1 (en) 1997-02-07 2003-04-08 Sri International Electroactive polymer devices
US6812624B1 (en) 1999-07-20 2004-11-02 Sri International Electroactive polymers
US6404104B1 (en) * 1997-11-27 2002-06-11 Canon Kabushiki Kaisha Vibration type actuator and vibration type driving apparatus
DE19834461C2 (de) * 1998-07-30 2000-09-28 Siemens Ag Vielschicht-Piezoaktor
US6238401B1 (en) * 1998-07-31 2001-05-29 Zuli Holdings Ltd. Apparatus and method for selectively positioning a device and manipulating it
US6664718B2 (en) 2000-02-09 2003-12-16 Sri International Monolithic electroactive polymers
US6806621B2 (en) * 2001-03-02 2004-10-19 Sri International Electroactive polymer rotary motors
US7537197B2 (en) * 1999-07-20 2009-05-26 Sri International Electroactive polymer devices for controlling fluid flow
DE19941044A1 (de) * 1999-08-28 2001-03-22 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Keramikkörper
DE19946837A1 (de) * 1999-09-30 2001-05-03 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
FI108204B (fi) * 1999-11-25 2001-11-30 Kari Johannes Kirjavainen Kalvo energioiden muuntamiseksi
US6911764B2 (en) 2000-02-09 2005-06-28 Sri International Energy efficient electroactive polymers and electroactive polymer devices
AU2001238675A1 (en) 2000-02-23 2001-09-03 Sri International Electroactive polymer thermal electric generators
EP2290721B1 (en) 2000-02-23 2017-09-20 SRI International Environmentally powered electroactive polymer generators
US6646364B1 (en) * 2000-07-11 2003-11-11 Honeywell International Inc. MEMS actuator with lower power consumption and lower cost simplified fabrication
US6337532B1 (en) * 2000-08-11 2002-01-08 Piezomotor Uppsala Ab Fine walking actuator
SE0002885D0 (sv) 2000-08-11 2000-08-11 Piezomotor Uppsala Ab Fine walking actuator
US7166953B2 (en) * 2001-03-02 2007-01-23 Jon Heim Electroactive polymer rotary clutch motors
EP1311007A1 (en) * 2001-11-07 2003-05-14 ASML Netherlands B.V. Piezoelectric actuator, lithographic apparatus and device manufacturing method
AUPR907101A0 (en) 2001-11-23 2001-12-20 University Of Wollongong, The An electromechanical actuator and methods of providing same
US6703761B2 (en) 2001-12-21 2004-03-09 Caterpillar Inc Method and apparatus for restraining temperature induced deformation of a piezoelectric device
ATE521128T1 (de) * 2002-03-18 2011-09-15 Stanford Res Inst Int Elektroaktive polymereinrichtungen für bewegliche fluide
US6747394B2 (en) * 2002-06-19 2004-06-08 Piezomotor Uppsala Ab Near-resonance electromechanical motor
WO2004001941A1 (en) * 2002-06-25 2003-12-31 Korea Electronics Technology Institute Spherical motor device
US6798117B2 (en) * 2002-07-10 2004-09-28 Piezomotor Uppsala Ab Fine control of electromechanical motors
WO2004030196A2 (en) * 2002-09-27 2004-04-08 University Of Waterloo Micro-positioning device
US7067958B2 (en) * 2004-02-17 2006-06-27 Piezomotor Uppsala Ab Wide frequency range electromechanical actuator
JP4756916B2 (ja) * 2005-05-31 2011-08-24 キヤノン株式会社 振動波モータ
US7420321B2 (en) * 2006-03-03 2008-09-02 Piezomotor Uppsala Ab Heat efficient micromotor
EP2174360A4 (en) 2007-06-29 2013-12-11 Artificial Muscle Inc CONVERTER WITH ELECTROACTIVE POLYMER FOR SENSOR REVIEW APPLICATIONS
KR101607149B1 (ko) * 2007-12-07 2016-03-29 가부시키가이샤 니콘 진동 액추에이터 및 촬상 장치
JP5407155B2 (ja) * 2008-03-12 2014-02-05 株式会社ニコン 振動アクチュエータ、レンズユニット、及び撮像装置
WO2010015093A1 (en) * 2008-08-08 2010-02-11 Optotune Ag Electroactive optical device
US8022596B2 (en) 2008-12-12 2011-09-20 Piezomotor Uppsala Ab Guided electromechanical motor
EP2239793A1 (de) 2009-04-11 2010-10-13 Bayer MaterialScience AG Elektrisch schaltbarer Polymerfilmaufbau und dessen Verwendung
US8712559B2 (en) * 2010-02-10 2014-04-29 The Board Of Trustees Of The University Of Illionois Adaptive control for uncertain nonlinear multi-input multi-output systems
US9293685B2 (en) 2010-05-28 2016-03-22 Piezomotor Uppsala Ab Rotating load bearer
SG193003A1 (en) 2011-03-01 2013-10-30 Bayer Ip Gmbh Automated manufacturing processes for producing deformable polymer devices and films
ITMI20110375A1 (it) * 2011-03-10 2012-09-11 Wilic Sarl Turbina eolica
WO2012129357A2 (en) 2011-03-22 2012-09-27 Bayer Materialscience Ag Electroactive polymer actuator lenticular system
EP2828901B1 (en) 2012-03-21 2017-01-04 Parker Hannifin Corporation Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices
KR20150031285A (ko) 2012-06-18 2015-03-23 바이엘 인텔렉쳐 프로퍼티 게엠베하 연신 공정을 위한 연신 프레임
US9876444B2 (en) * 2012-07-05 2018-01-23 Noliac A/S Wobble motor with a solid state actuator
US9590193B2 (en) 2012-10-24 2017-03-07 Parker-Hannifin Corporation Polymer diode
RU2537971C1 (ru) * 2013-11-05 2015-01-10 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Физико-Технических И Радиотехнических Измерений" (Фгуп "Вниифтри") Встроенный пьезоэлектрический источник переменного тока для свободновращающихся инерционных осесимметричных тел
JP6302263B2 (ja) * 2014-01-23 2018-03-28 太陽誘電株式会社 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ
RU2577923C2 (ru) * 2014-05-12 2016-03-20 Игорь Трофимович Пронькинов Способ получения механической энергии с помощью электроактивных полимеров
JP6310360B2 (ja) 2014-08-13 2018-04-11 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス
CN104811158B (zh) * 2015-04-27 2017-05-24 电子科技大学 一种压电体声波谐振式传感器驱动电路的设计方法
US10310481B2 (en) 2015-10-07 2019-06-04 International Business Machines Corporation Dynamic position control for electronic components
FR3055758B1 (fr) * 2016-09-08 2020-11-27 Safran Helicopter Engines Dispositif de pilotage des volets d'entree d'air via un actionneur piezoelectrique multicouche
DE102017223255A1 (de) * 2017-07-18 2019-01-24 BSH Hausgeräte GmbH Haushaltsgeschirrspülmaschine sowie Verfahren zur Behandlung von Spülgutteilen
RU2690732C1 (ru) * 2018-08-07 2019-06-05 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" Пьезоактюатор (варианты)

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3412014C1 (de) * 1984-03-31 1985-10-17 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Piezokeramischer Stellantrieb zur Erzeugung von Translationsbewegungen
JPS6162370A (ja) * 1984-08-31 1986-03-31 Tokyo Juki Ind Co Ltd ピエゾモ−タ
DE3530383A1 (de) * 1985-08-24 1987-03-05 Reifenhaeuser Masch Formgebendes werkzeugaggregat fuer eine strangpressvorrichtung fuer thermoplastifizierten kunststoff
US4727278A (en) * 1985-10-04 1988-02-23 Micro Pulse Systems, Inc. Piezoelectric multiaxis micropositioner
DE3844821C2 (en) * 1988-07-03 1993-07-22 Kfa Juelich Gmbh, 5170 Juelich, De Micromanipulator for raster tunnel microscope
US4928030A (en) * 1988-09-30 1990-05-22 Rockwell International Corporation Piezoelectric actuator
US5323082A (en) * 1989-05-03 1994-06-21 Spectra Physics Lasers, Inc. Piezoelectric actuator for planar alignment
US5027028A (en) * 1989-08-29 1991-06-25 Skipper John D Piezoelectric motor
JPH03243358A (ja) * 1990-02-20 1991-10-30 Sharp Corp インクジェット記録ヘッド用圧電アクチュエータ
ES2074185T3 (es) 1990-03-23 1995-09-01 Rockwell International Corp Motor piezoelectrico.
ES2071146T3 (es) * 1990-04-27 1995-06-16 Rockwell International Corp Articulacion robotica.
US5068566A (en) * 1990-06-04 1991-11-26 Rockwell International Corporation Electric traction motor
US5345137A (en) * 1991-04-08 1994-09-06 Olympus Optical Co., Ltd. Two-dimensionally driving ultrasonic motor
JPH05175567A (ja) * 1991-12-20 1993-07-13 Olympus Optical Co Ltd 積層型アクチュエータ
US5262696A (en) * 1991-07-05 1993-11-16 Rockwell International Corporation Biaxial transducer
US5283497A (en) * 1992-02-10 1994-02-01 Rockwell International Corporation Electrotiltable material (tilter)
EP0584775B1 (en) * 1992-08-25 1997-12-17 Canon Kabushiki Kaisha Production method of laminated piezoelectric device and polarization method thereof and vibration wave driven motor
US5485437A (en) * 1993-02-05 1996-01-16 Discovision Associates Shock-resistant, electrostatically actuated pick-up for optical recording and playback
US5471721A (en) 1993-02-23 1995-12-05 Research Corporation Technologies, Inc. Method for making monolithic prestressed ceramic devices
JPH07335951A (ja) * 1994-06-14 1995-12-22 Philips Japan Ltd 圧電アクチュエータ
US5798600A (en) * 1994-08-29 1998-08-25 Oceaneering International, Inc. Piezoelectric pumps
US5598050A (en) * 1995-02-17 1997-01-28 Materials Systems Inc. Acoustic actuator and flextensional cover plate there for
DE19605214A1 (de) * 1995-02-23 1996-08-29 Bosch Gmbh Robert Ultraschallantriebselement
US5668432A (en) * 1995-03-24 1997-09-16 Nippondenso Co., Ltd. Articulation device
US5747915A (en) * 1996-08-19 1998-05-05 Sandia Corporation Bent shaft motor
US5745278A (en) * 1997-02-05 1998-04-28 Raytheon Optical Systems, Inc. Innovative deformable mirror actuator configuration

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU98119708A (ru) Пьезоэлектрический привод или двигатель, способ приведения его в действие и способ его изготовления
US6184609B1 (en) Piezoelectric actuator or motor, method therefor and method for fabrication thereof
KR100286486B1 (ko) 엘라스토머성 마이크로 전기기계 시스템
US5616980A (en) Ceramic motor
EP0633616B1 (en) Ceramic motor
US7090781B2 (en) Micro-actuator and method making the same
JP3747335B2 (ja) ジャイロ装置
JP2531582B2 (ja) 圧電形アクチユエ−タ
CN109478856B (zh) 致动器
JPH05137352A (ja) 駆動機構
JPS63294268A (ja) 圧電アクチュエ−タ
JP2008306848A (ja) 多軸慣性駆動型アクチュエータ
JP3213568B2 (ja) 超音波リニアモータ
JPS63220781A (ja) 圧電アクチユエ−タおよびその駆動方法
JPS61295881A (ja) 振動波モ−タ−
JPH03155374A (ja) 超音波モータ
JPS62107688A (ja) 小型アクチユエ−タ
JPS63167685A (ja) 圧電アクチユエ−タ
JPH04161079A (ja) 静電変位駆動機構
JPH01117667A (ja) 圧電アクチュエータ
MXPA97008359A (en) Elastomeri microelectromecanic system
JPH01152975A (ja) 圧電アクチュエータ及びその駆動方法
JPH03155373A (ja) 超音波モータ
JPH01129784A (ja) 圧電アクチュエータ