RU97104924A - Устройство для проведения взрывного испарения - Google Patents
Устройство для проведения взрывного испаренияInfo
- Publication number
- RU97104924A RU97104924A RU97104924/02A RU97104924A RU97104924A RU 97104924 A RU97104924 A RU 97104924A RU 97104924/02 A RU97104924/02 A RU 97104924/02A RU 97104924 A RU97104924 A RU 97104924A RU 97104924 A RU97104924 A RU 97104924A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- coating
- pnb
- external
- layer
- explosive evaporation
- Prior art date
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims 3
- 239000002360 explosive Substances 0.000 title claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims 3
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N N#B Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Claims (3)
1. Устройство для проведения взрывного испарения, в частности испарительная лодочка, содержащее графитовый корпус, имеющий углубление, внешнее покрытие, состоящее из пиролитического нитрида бора (ПНБ) высокой плотности, отличающееся тем, что внешнее покрытие выполнено c гексагональной кристаллической структурой и плотностью выше по крайней мере 2,19 г/см3, а промежуточный слой пиролитического графита между ПНБ-покрытием и графитовым корпусом, толщина которого находится в пределах 0,00508 - 0,0254 мм.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что ПНБ-покрытие имеет плотность 2,19 - 2,2 г/см3.
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что внешнее ПНБ-покрытие содержит более одного ПНБ-слоя, причем слой, находящийся в контакте с испаряемым металлом, имеет указанную высокую плотность.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US31441294A | 1994-09-28 | 1994-09-28 | |
US314,412 | 1994-09-28 | ||
US314412 | 1994-09-28 | ||
PCT/US1995/011787 WO1996021749A1 (en) | 1994-09-28 | 1995-09-18 | High density flash evaporator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU97104924A true RU97104924A (ru) | 1999-04-20 |
RU2142021C1 RU2142021C1 (ru) | 1999-11-27 |
Family
ID=23219856
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU97104924/02A RU2142021C1 (ru) | 1994-09-28 | 1995-09-18 | Испарительная лодочка установки взрывного испарения |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6404982B1 (ru) |
JP (1) | JP3415626B2 (ru) |
CN (1) | CN1047209C (ru) |
DE (1) | DE19581904B4 (ru) |
GB (1) | GB2313846B (ru) |
RU (1) | RU2142021C1 (ru) |
WO (1) | WO1996021749A1 (ru) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19539986A1 (de) * | 1995-10-27 | 1997-04-30 | Leybold Ag | Vakuumbeschichtungsanlage mit einem in der Vakuumkammer angeordneten Tiegel zur Aufnahme von zu verdampfendem Material |
JP3212522B2 (ja) * | 1996-12-27 | 2001-09-25 | 信越化学工業株式会社 | 分子線エピタキシー用熱分解窒化硼素るつぼ |
CN1332061C (zh) * | 2000-12-14 | 2007-08-15 | 通用电气公司 | 闪蒸器皿 |
KR100489304B1 (ko) * | 2002-12-23 | 2005-05-17 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 저항가열 보트 및 그 제조방법 |
US6830812B2 (en) * | 2003-01-21 | 2004-12-14 | Equity Enterprises | Carbon material and process of manufacturing |
DE102005030862B4 (de) * | 2005-07-01 | 2009-12-24 | Sintec Keramik Gmbh | Erstbenetzungshilfsmaterial für einen Verdampferkörper, seine Verwendung zum Herrichten der Verdampferfläche eines Verdampferkörpers und ein elektrisch beheizbarer keramischer Verdampferkörper |
US7741584B2 (en) * | 2007-01-21 | 2010-06-22 | Momentive Performance Materials Inc. | Encapsulated graphite heater and process |
US8512806B2 (en) * | 2008-08-12 | 2013-08-20 | Momentive Performance Materials Inc. | Large volume evaporation source |
CA2848661C (en) | 2011-09-14 | 2015-07-07 | Aquasource Technologies Corporation | System and method for water treatment |
JP2013234369A (ja) * | 2012-05-10 | 2013-11-21 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | グラファイト材に熱分解窒化ほう素をコーティングする方法及びその方法によって得られた被覆物 |
CN103114268B (zh) * | 2013-03-15 | 2015-08-12 | 福州赛瑞特新材料技术开发有限公司 | 一种粘接式氮化硼-石墨组合蒸发舟及其制作方法 |
CN110835272A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-02-25 | 山东国晶新材料有限公司 | 一种分体式导电陶瓷舟的制备方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3152006A (en) * | 1961-06-29 | 1964-10-06 | High Temperature Materials Inc | Boron nitride coating and a process of producing the same |
US4264803A (en) | 1978-01-10 | 1981-04-28 | Union Carbide Corporation | Resistance-heated pyrolytic boron nitride coated graphite boat for metal vaporization |
JPS61201607A (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-06 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 熱分解窒化ホウ素物品およびその製造方法 |
JPS61223183A (ja) * | 1985-03-04 | 1986-10-03 | Res Dev Corp Of Japan | 菱面体晶系窒化ホウ素の製造方法 |
JPH0688866B2 (ja) * | 1985-12-24 | 1994-11-09 | 京セラ株式会社 | 窒化ホウ素被覆ルツボおよびその製造方法 |
CN1038129A (zh) * | 1988-05-31 | 1989-12-20 | 基也辅综合技术研究所 | 薄膜真空喷镀装置 |
KR900701691A (ko) * | 1988-10-21 | 1990-12-04 | 야기 야스히로 | 질화붕소 복합재 및 그 제조방법 |
US5004708A (en) * | 1989-03-02 | 1991-04-02 | Union Carbide Corporation | Pyrolytic boron nitride with columnar crystalline morphology |
JPH083144B2 (ja) * | 1989-07-21 | 1996-01-17 | 信越化学工業株式会社 | 熱分解窒化ほう素容器 |
US5032366A (en) * | 1990-04-30 | 1991-07-16 | Union Carbide Coatings Service Technology Corporation | Boron nitride boat and process for producing it |
US5158750A (en) * | 1990-06-06 | 1992-10-27 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Boron nitride crucible |
JPH05105523A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-04-27 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 熱分解窒化ほう素成形体の製造方法 |
US5239612A (en) * | 1991-12-20 | 1993-08-24 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Method for resistance heating of metal using a pyrolytic boron nitride coated graphite boat |
-
1995
- 1995-09-18 WO PCT/US1995/011787 patent/WO1996021749A1/en active Application Filing
- 1995-09-18 GB GB9718478A patent/GB2313846B/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-18 RU RU97104924/02A patent/RU2142021C1/ru not_active IP Right Cessation
- 1995-09-18 DE DE19581904T patent/DE19581904B4/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-18 CN CN95196450A patent/CN1047209C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-18 JP JP51787496A patent/JP3415626B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-12-16 US US08/771,373 patent/US6404982B1/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU97104924A (ru) | Устройство для проведения взрывного испарения | |
CA2046226A1 (en) | Solid oxide fuel cell and porous electrode for use in the same | |
MY123115A (en) | Aluminum electrode foil for electrolytic capacitor and electrolyitc capacitor using the foil | |
CA2056127A1 (en) | Non-aqueous electrolyte cell | |
CA2150100A1 (en) | Electrical connection for track lighting | |
DK421286A (da) | Sammenkoblings- og indkapslingshylster | |
AU6874887A (en) | Heat exchanger & method to produce same | |
EP0267892A3 (en) | A solid state reference electrode | |
JPS53128350A (en) | Liquid crystal display device | |
RU94006806A (ru) | Пьезоэлектрический элемент | |
JPS5661897A (en) | Display unit | |
JPS5618336A (en) | Electron emission cathode | |
AU535229B2 (en) | Crystalline silicon having (111)orientation on (111) surface of lithium alumium | |
ES8609825A1 (es) | Un dispositivo de almacenamiento segundario de energia electrica. | |
KR910008805A (ko) | 플래즈머 에칭 용 전극판 | |
JPS5664509A (en) | Surface elastic wave element | |
JPS6436083A (en) | Amorphous silicon solar cell | |
JPS52146559A (en) | Electrode forming method | |
MIRTICH et al. | Deposition of diamondlike carbon films[Patent] | |
SU1637765A1 (ru) | Хирургическое сверло | |
SU1209506A1 (ru) | Кранцевое устройство | |
SU1042106A1 (ru) | Электронно-оптический преобразователь | |
RU95107308A (ru) | Ускорительная трубка | |
SU666317A1 (ru) | Змейковый самоустанавливающийс сепаратор шарикового подшипника | |
SU714135A1 (ru) | Теплопередающа поверхность |