RU96121234A - Расходомер повышенной чувствительности на эффекте кориолиса с использованием датчиков, расположенных вблизи от узлов - Google Patents
Расходомер повышенной чувствительности на эффекте кориолиса с использованием датчиков, расположенных вблизи от узловInfo
- Publication number
- RU96121234A RU96121234A RU96121234/28A RU96121234A RU96121234A RU 96121234 A RU96121234 A RU 96121234A RU 96121234/28 A RU96121234/28 A RU 96121234/28A RU 96121234 A RU96121234 A RU 96121234A RU 96121234 A RU96121234 A RU 96121234A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- specified
- flow
- tubes
- flow tubes
- node
- Prior art date
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 title claims 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 title 1
- 230000001717 pathogenic Effects 0.000 claims 11
- 244000052769 pathogens Species 0.000 claims 11
- 230000003068 static Effects 0.000 claims 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
Claims (22)
1. Расходомер на эффекте Кориолиса для измерения характеристик протекающего через него обрабатываемого материала, включающий расходную трубку (130) для протекания в ней указанного обрабатываемого материала, возбудитель (D) для возбуждения вибрации указанной расходной трубки (130) с созданием на ней по меньшей мере одного узла, датчик (S), измеряющие указанную вибрацию указанной расходной трубки (130) и указанного обрабатываемого материала, протекающего через указанный расходомер (310), для выработки выходных сигналов, отражающих перемещение указанной вибрирующей расходной трубки (130) в результате воздействия сил Кориолиса, вырабатываемых указанным обрабатываемым материалом, протекающим внутри указанной расходной трубки (130), и средства обработки сигнала (320), которые при поступлении указанных выходных сигналов датчика вырабатывают информацию об указанном обрабатываемом материале, протекающем через указанный расходомер (310), отличающийся тем, что указанные датчики включают в себя по меньшей мере один датчик (S), закрепленный на указанной расходной трубке (130) на заданном расстоянии от указанного по меньшей мере одного узла (N), что максимально увеличивает фазовый сдвиг между указанными выходными сигналами датчика, при одновременном получении адекватной амплитуды сигнала, позволяющей иметь заданное отношение сигнал/шум в выходных сигналах датчика.
2. Расходомер по п.1, отличающийся тем, что указанная расходная трубка (130) выполнена в виде двух главным образом параллельных расходных трубок (130, 130').
3. Расходомер по п.2, отличающийся тем, что указанные расходные трубки (130, 130') имеют верхний участок (130, 130') и две боковых ветви, имеющие нижний участок (134, 134', 131, 131'), подключенный к скрепляющим штангам (B), причем указанный возбудитель (D) создает вибрацию расходных трубок (130, 130') в не синфазном режиме изгиба, при котором указанные расходные трубки (130, 130') совершают поворот вокруг указанных скрепляющих штанг (B), работающих как статические узлы (SN).
4. Расходомер по п.3, отличающийся тем, что указанные расходные трубки (130, 130') имеют два статических узла (SN), совпадающих с указанными скрепляющими штангами (B), причем указанные датчики (S) расположены на заданном расстоянии от статических узлов (SN).
5. Расходомер по п.3, отличающийся тем, что указанные расходные трубки (130, 130') имеют по меньшей мере один активный узел (AN), удаленный от скрепляющих штанг (B), причем датчик (S) расположены на заданном расстоянии от этого по меньшей мере одного активного узла (AN).
6. Расходомер по п.3, отличающийся тем, что указанные расходные трубки (130, 130') имеют по меньшей мере один активный узел (AN), удаленный от скрепляющих штанг (B), причем два датчика (S) расположены с одной и другой, противоположной, стороны на заданном расстоянии от по меньшей мере одного активного узла (AN).
7. Расходомер по п.3, отличающийся тем, что указанный возбудитель (D) закреплен на верхнем участке указанных расходных трубок (130, 130').
8. Расходомер по п.3, отличающийся тем, что указанный возбудитель (D) представляет собой два смещенных друг от друга возбудителя, которые закреплены на верхнем участке указанных расходных трубок (130, 130').
9. Расходомер по п.2, отличающийся тем, что указанные расходные трубки (130, 130') имеют верхний участок и две боковые ветви (134, 134', 131, 131'), а указанный возбудитель (D) создает вибрацию указанных расходных трубок (130, 130') в первом не синфазном режиме кручения, таким образом, что указанный по меньшей мере один узел (N) содержит единственный активный узел (AN), расположенный на указанных расходных трубках (130, 130').
10. Расходомер по п.9, отличающийся тем, что единственный активный узел (AN) расположен на указанном верхнем центральном участке расходных трубок (130, 130').
11. Расходомер по п.9, отличающийся тем, что указанные датчики включают в себя первый датчик (S), расположенный с первой стороны единственного активного узла (AN), и второй датчик (S), расположенный с другой стороны единственного активного узла (AN).
12. Расходомер по п.9, отличающийся тем, что указанные расходные трубки (130, 130') имеют верхний участок и две боковых ветви (134, 134', 131, 131'), а указанный возбудитель (D) создает вибрацию указанных расходных трубок (130, 130') во втором не синфазном режиме кручения, таким образом, что указанный по меньшей мере один узел (N) содержит два активных узла (AN), расположенных на указанных расходных трубках (130, 130').
13. Расходомер по п.9, отличающийся тем, что указанные расходные трубки (130, 130') имеют модифицированную U-форму с верхним участком и двумя боковыми ветвями (134, 134', 131, 131'), а указанный возбудитель (D) создает вибрацию указанных расходных трубок (130, 130') во втором не синфазном режиме кручения, таким образом, что указанный по меньшей мере один узел (N) содержит два активных узла (AN), расположенных на верхнем участке указанных расходных трубок (130, 130').
14. Расходомер по п.12, отличающийся тем, что указанные датчики включают в себя первый датчик (S), расположенный с первой стороны первого из двух активных узлов (AN), и второй датчик (S), расположенный с другой стороны второго из двух активных узлов (AN).
15. Расходомер по п.12, отличающийся тем, что указанные датчики включают в себя первый датчик (S), расположенный с первой стороны первого из двух активных узлов (AN), и второй датчик (S), расположенный с другой стороны первого из двух активных узлов (AN).
16. Расходомер по п.1, отличающийся тем, что указанная расходная трубка (130) представляет собой главным образом прямую трубку (910).
17. Расходомер по п.1, отличающийся тем, что указанная расходная трубка (130) включает в себя две расходные трубки неправильной конфигурации.
18. Способ работы расходомера на эффекте Кориолиса (310), который включает в себя расходную трубку (130), отличающийся тем, что он предусматривает возбуждение вибрации расходной трубки (130) для выработки по меньшей мере одного узла (N) на расходной трубке (130), закрепление двух датчиков (S) на расходной трубке (130) на заданном расстоянии от указанного по меньшей мере одного узла (N) для максимального увеличения фазового сдвига между указанными выходными сигналами двух датчиков (S), при одновременном получении адекватной амплитуды сигнала, позволяющей иметь заданное отношение сигнал/шум в выходных сигналах датчика; прием выходных сигналов (326, 328) от указанных двух датчиков (S) в ответ на указанную вибрацию указанной расходной трубки (130), для выработки сигнала, несущего информацию о перемещении указанной расходной трубки (130) в результате воздействия сил Кориолиса, генерируемых в результате протекания материала в указанной расходной трубке (130); и обработку сигнала (320) при поступлении указанных выходных сигналов датчика, для получения информации о характеристиках указанного материала, протекающего в указанной расходной трубке (130).
19. Способ по п. 18, отличающийся тем, что указанная расходная трубка представляет собой две расходные трубки (130, 130'), которые имеют модифицированную U-форму с верхним участком и двумя боковыми ветвями, а указанный возбудитель (D) закреплен на верхнем участке и создает вибрацию указанных двух расходных трубок (130, 130') в не синфазном режиме изгиба по отношению друг к другу, относительно указанных скрепляющих штанг (B), работающих как статический узел (SN).
20. Способ по п.18, отличающийся тем, что предусматривается конфигурирование указанных двух расходных трубок (130, 130') в виде модифицированной U-формы с верхним участком и двумя боковыми ветвями, и закрепление указанного возбудителя (D) на верхнем участке для создания вибраций указанных двух расходных трубок (130, 130') в режиме кручения не синфазно по отношению друг к другу, причем указанный по меньшей мере один узел (N) представляет собой активный узел (AN) на указанном верхнем участке указанных двух расходных трубок (130, 130').
21. Способ по п.18, отличающийся тем, что предусматривается конфигурирование указанных двух расходных трубок (130, 130') в виде модифицированной U-формы с верхним участком и двумя боковыми ветвями, и закрепление указанного возбудителя (D) на указанных боковых ветвях для создания вибраций указанных двух расходных трубок (130, 130') в режиме кручения не синфазно по отношению друг к другу, для генерирования двух активных узлов (AN) на указанной верхнем участке указанных двух расходных трубок (130, 130').
22. Способ работы расходомера на эффекте Кориолиса (310), который включает в себя первую и вторую расходные трубки (130, 130'), расположенные главным образом параллельно друг другу, отличающийся тем, что он предусматривает возбуждение вибрации первой и второй расходных трубок (130, 130') в первом не синфазном режиме кручения, для выработки по меньшей мере одного вибрационного активного узла (AN) на каждой из расходных трубок (130, 130'), закрепление каждого из двух датчиков (S) на каждой из расходных трубок (130, 130') в непосредственной близости от указанного по меньшей мере одного вибрационного активного узла (AN), для генерирования выходных сигналов датчика с максимальным фазовым сдвигом между ними, при одновременном получении адекватной амплитуды сигнала, позволяющей иметь заданное отношение сигнал/шум для выходных сигналов, причем указанные выходные сигналы отображают относительное перемещение указанных вибрирующих расходных трубок (130, 130'), когда они колеблются за счет сил Кориолиса, генерируемых материалом, протекающим внутри указанных расходных трубок (130, 130'), и обработку сигнала (320) при поступлении указанных выходных сигналов датчика, для получения информации о характеристиках указанного материала, протекающего внутри указанных расходных трубок (130, 130').
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/277,661 US5497666A (en) | 1994-07-20 | 1994-07-20 | Increased sensitivity coriolis effect flowmeter using nodal-proximate sensors |
US08/277,661 | 1994-07-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU96121234A true RU96121234A (ru) | 1998-12-20 |
RU2161780C2 RU2161780C2 (ru) | 2001-01-10 |
Family
ID=23061851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU96121234/28A RU2161780C2 (ru) | 1994-07-20 | 1995-07-06 | Расходомер на эффекте кориолиса (варианты) и способ работы расходомера на эффекте кориолиса |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5497666A (ru) |
EP (1) | EP0771408A1 (ru) |
JP (1) | JP2778836B2 (ru) |
CN (1) | CN1108515C (ru) |
AU (1) | AU3003595A (ru) |
BR (1) | BR9508208A (ru) |
CA (1) | CA2184751C (ru) |
CZ (1) | CZ17897A3 (ru) |
HK (1) | HK1001139A1 (ru) |
HU (1) | HUT76703A (ru) |
MX (1) | MX9700355A (ru) |
RU (1) | RU2161780C2 (ru) |
WO (1) | WO1996002812A1 (ru) |
Families Citing this family (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5926096A (en) * | 1996-03-11 | 1999-07-20 | The Foxboro Company | Method and apparatus for correcting for performance degrading factors in a coriolis-type mass flowmeter |
US5687100A (en) * | 1996-07-16 | 1997-11-11 | Micro Motion, Inc. | Vibrating tube densimeter |
US6332367B1 (en) | 1997-03-11 | 2001-12-25 | Micro Motion, Inc. | Dual loop Coriolis effect mass flowmeter |
US6311136B1 (en) * | 1997-11-26 | 2001-10-30 | Invensys Systems, Inc. | Digital flowmeter |
US7784360B2 (en) | 1999-11-22 | 2010-08-31 | Invensys Systems, Inc. | Correcting for two-phase flow in a digital flowmeter |
US7124646B2 (en) * | 1997-11-26 | 2006-10-24 | Invensys Systems, Inc. | Correcting for two-phase flow in a digital flowmeter |
US7404336B2 (en) | 2000-03-23 | 2008-07-29 | Invensys Systems, Inc. | Correcting for two-phase flow in a digital flowmeter |
US8447534B2 (en) | 1997-11-26 | 2013-05-21 | Invensys Systems, Inc. | Digital flowmeter |
US8467986B2 (en) | 1997-11-26 | 2013-06-18 | Invensys Systems, Inc. | Drive techniques for a digital flowmeter |
US20030216874A1 (en) * | 2002-03-29 | 2003-11-20 | Henry Manus P. | Drive techniques for a digital flowmeter |
US6092429A (en) * | 1997-12-04 | 2000-07-25 | Micro Motion, Inc. | Driver for oscillating a vibrating conduit |
US6293157B1 (en) * | 1998-01-02 | 2001-09-25 | Graco Minnesota Inc. | Compensation of coriolis meter motion induced signal |
US6360175B1 (en) * | 1998-02-25 | 2002-03-19 | Micro Motion, Inc. | Generalized modal space drive control system for a vibrating tube process parameter sensor |
EP0986739A1 (de) | 1998-04-03 | 2000-03-22 | Endress + Hauser Flowtec AG | Verfahren zum massedurchfluss-messen und entsprechende aufnehmer |
US6233526B1 (en) * | 1998-07-16 | 2001-05-15 | Micro Motion, Inc. | Vibrating conduit parameter sensors and methods of operation therefor utilizing spatial integration |
US5987998A (en) * | 1998-08-26 | 1999-11-23 | Micro Motion, Inc. | High temperature drive system for a coriolis mass flowmeter |
US6513392B1 (en) | 1998-12-08 | 2003-02-04 | Emerson Electric Co. | Coriolis mass flow controller |
US6748813B1 (en) | 1998-12-08 | 2004-06-15 | Emerson Electric Company | Coriolis mass flow controller |
DE01918944T1 (de) * | 2000-03-23 | 2004-10-21 | Invensys Systems, Inc., Foxboro | Korrektur für eine zweiphasenströmung in einem digitalen durchflussmesser |
US6694279B2 (en) | 2001-02-16 | 2004-02-17 | Micro Motion, Inc. | Methods, apparatus, and computer program products for determining structural motion using mode selective filtering |
US6466880B2 (en) | 2001-02-16 | 2002-10-15 | Micro Motion, Inc. | Mass flow measurement methods, apparatus, and computer program products using mode selective filtering |
US6535826B2 (en) | 2001-02-16 | 2003-03-18 | Micro Motion, Inc. | Mass flowmeter methods, apparatus, and computer program products using correlation-measure-based status determination |
US6415668B1 (en) * | 2001-07-23 | 2002-07-09 | Fmc Technologies, Inc. | De-coupling extraneous modes of vibration in a coriolis mass flowmeter |
US7059199B2 (en) * | 2003-02-10 | 2006-06-13 | Invensys Systems, Inc. | Multiphase Coriolis flowmeter |
US7188534B2 (en) * | 2003-02-10 | 2007-03-13 | Invensys Systems, Inc. | Multi-phase coriolis flowmeter |
US7013740B2 (en) * | 2003-05-05 | 2006-03-21 | Invensys Systems, Inc. | Two-phase steam measurement system |
US7072775B2 (en) * | 2003-06-26 | 2006-07-04 | Invensys Systems, Inc. | Viscosity-corrected flowmeter |
US7065455B2 (en) * | 2003-08-13 | 2006-06-20 | Invensys Systems, Inc. | Correcting frequency in flowtube measurements |
JP4546927B2 (ja) * | 2003-09-29 | 2010-09-22 | マイクロ・モーション・インコーポレーテッド | コリオリ流量計用の診断方法及び装置 |
JP3783959B2 (ja) * | 2003-12-02 | 2006-06-07 | 株式会社オーバル | コリオリ流量計 |
JP3783962B2 (ja) * | 2004-03-24 | 2006-06-07 | 株式会社オーバル | 三次モード振動式コリオリ流量計 |
US20060211981A1 (en) * | 2004-12-27 | 2006-09-21 | Integrated Sensing Systems, Inc. | Medical treatment procedure and system in which bidirectional fluid flow is sensed |
US20080004255A1 (en) * | 2005-10-14 | 2008-01-03 | Alltech, Inc. | Methods and compositions for altering cell function |
US8865763B2 (en) * | 2005-10-14 | 2014-10-21 | Alltech, Inc. | Methods and compositions for altering cell function |
DE102005060495B3 (de) * | 2005-12-15 | 2007-04-26 | Krohne Ag | Massendurchflußmeßgerät |
US7480576B2 (en) * | 2006-02-13 | 2009-01-20 | Invensys Systems, Inc. | Compensating for frequency change in flowmeters |
US7617055B2 (en) | 2006-08-28 | 2009-11-10 | Invensys Systems, Inc. | Wet gas measurement |
CA2695363C (en) * | 2007-07-30 | 2015-02-24 | Micro Motion, Inc. | Flow meter system and method for measuring flow characteristics of a three phase flow |
DE102008055126A1 (de) * | 2008-12-23 | 2010-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Ultraschallwandler zum Einsatz in einem fluiden Medium |
MX2011012489A (es) * | 2009-05-26 | 2011-12-16 | Micro Motion Inc | Medidor de flujo que incluye un miembro de equilibrio. |
DE102009028007A1 (de) * | 2009-07-24 | 2011-01-27 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßumwandler vom Vibrationstyp sowie Meßgerät mit einem solchen Meßwandler |
DE102009028006A1 (de) * | 2009-07-24 | 2011-01-27 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßwandler vom Vibrationstyp sowie Meßgerät mit einem solchen Meßwandler |
KR101907426B1 (ko) | 2012-08-21 | 2018-10-12 | 마이크로 모우션, 인코포레이티드 | 코리올리 유량계 및 개선된 미터 제로를 갖는 방법 |
KR101948260B1 (ko) * | 2013-06-14 | 2019-05-10 | 마이크로 모우션, 인코포레이티드 | 진동 유량계 및 미터 검증 방법 |
CN103630178B (zh) * | 2013-11-28 | 2016-08-24 | 中国测试技术研究院流量研究所 | 质量流量计隔振系统 |
KR101932939B1 (ko) * | 2015-03-04 | 2018-12-27 | 마이크로 모우션, 인코포레이티드 | 코리올리 임계치 결정 디바이스들 및 방법들 |
US10429224B2 (en) * | 2017-12-05 | 2019-10-01 | General Electric Company | Interface for a Coriolis flow sensing assembly |
US10422678B2 (en) | 2017-12-05 | 2019-09-24 | General Electric Company | Coriolis flow sensor assembly |
US10718644B1 (en) * | 2019-01-03 | 2020-07-21 | Dwyer Instruments, Inc. | Sensor head for insertion electromagnetic flow meter |
DE102019003075A1 (de) * | 2019-04-30 | 2020-11-05 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Messgerät zum Charakterisieren eines inhomogenen, fließfähigen Mediums |
US11262226B2 (en) | 2020-02-17 | 2022-03-01 | GWU Design | Hybrid mass flow sensor including a thermal and coriolis principle measurement arrangements |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4491025A (en) * | 1982-11-03 | 1985-01-01 | Micro Motion, Inc. | Parallel path Coriolis mass flow rate meter |
DE3329544A1 (de) * | 1983-08-16 | 1985-03-07 | Karl Dipl.-Ing. 8060 Dachau Küppers | Massedurchflussmesser |
AU580623B2 (en) * | 1984-07-11 | 1989-01-19 | Exac Corporation | Coriolis mass flow rate meter |
EP0316908B1 (de) * | 1987-11-20 | 1993-01-27 | Endress + Hauser Flowtec AG | Verfahren zur Massendurchflussmessung nach dem Coriolisprinzip und nach dem Coriolisprinzip arbeitendes Massendurchfluss-Messgerät |
US5115683A (en) * | 1988-09-27 | 1992-05-26 | K-Flow Division Of Kane Steel Co., Inc. | Coriolis mass flow meter adapted for low flow rates |
CA2033992C (en) * | 1989-06-09 | 1996-07-16 | Donald Reed Cage | Improved stability coriolis mass flow meter |
US5184518A (en) * | 1991-01-22 | 1993-02-09 | Lew Hyok S | Method for measuring mass flow rate |
EP0597021B1 (en) * | 1991-08-01 | 1996-04-24 | Micro Motion Incorporated | Coriolis effect mass flow meter |
US5349872A (en) * | 1993-08-20 | 1994-09-27 | Micro Motion, Inc. | Stationary coils for a coriolis effect mass flowmeter |
-
1994
- 1994-07-20 US US08/277,661 patent/US5497666A/en not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-07-06 CZ CZ97178A patent/CZ17897A3/cs unknown
- 1995-07-06 EP EP95926188A patent/EP0771408A1/en not_active Ceased
- 1995-07-06 AU AU30035/95A patent/AU3003595A/en not_active Abandoned
- 1995-07-06 WO PCT/US1995/008491 patent/WO1996002812A1/en not_active Application Discontinuation
- 1995-07-06 BR BR9508208A patent/BR9508208A/pt not_active IP Right Cessation
- 1995-07-06 JP JP8505074A patent/JP2778836B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-07-06 MX MX9700355A patent/MX9700355A/es unknown
- 1995-07-06 RU RU96121234/28A patent/RU2161780C2/ru active
- 1995-07-06 CN CN95194255A patent/CN1108515C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1995-07-06 CA CA002184751A patent/CA2184751C/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-07-06 HU HU9700157A patent/HUT76703A/hu unknown
-
1998
- 1998-01-02 HK HK98100010A patent/HK1001139A1/xx not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU96121234A (ru) | Расходомер повышенной чувствительности на эффекте кориолиса с использованием датчиков, расположенных вблизи от узлов | |
JP3541010B2 (ja) | バランスバーにより感度を高める方法及びそれによるコリオリ流量計 | |
US5497666A (en) | Increased sensitivity coriolis effect flowmeter using nodal-proximate sensors | |
CA2019439C (en) | Mass flow meter working on the coriolis principle | |
US6516674B1 (en) | Mass flow measuring instrument | |
RU2000123403A (ru) | Способ балансировки упругости трубки вентури и балансира в кориолисовом расходомере с прямой трубкой | |
JP2654341B2 (ja) | コリオリ原理による質量流量計 | |
JP2731381B2 (ja) | 唯一の測定管を備えたコリオリ式質量流量センサー | |
JPH07239261A (ja) | 質量流量測定装置 | |
JPH0663808B2 (ja) | 物質の流れにおける質量流量を測定する流量計 | |
RU2001102786A (ru) | Способ и устройство для балансира, повышающего чувствительность | |
JP2541795B2 (ja) | 螺旋状の測定管を有するコリオリ・質量流量センサ | |
US4856346A (en) | Dual flexures for coriolis type mass flow meters | |
US7628083B2 (en) | Method and apparatus for force balancing | |
RU2001108589A (ru) | Способ и устройство для расходомера кориолиса, имеющего собственный коэффициент калибровки течения, не зависящий от плотности материала | |
JPH03134521A (ja) | 質量流量計 | |
JP2708250B2 (ja) | マスフロー感知器 | |
US5275061A (en) | Coriolis mass flowmeter | |
US6807866B2 (en) | Transducer of the vibration type, such as an electromechanical transducer of the coriollis type | |
JP4015852B2 (ja) | 精度を高めるバランスバーを有するコリオリ流量計に関する方法及び装置 | |
US20010045133A1 (en) | Coriolis flowmeter | |
JP2826011B2 (ja) | コリオリ流量計 | |
JP2023515054A (ja) | コリオリ流量計のバランスバーのためのモード分割共振器 | |
JPH08313321A (ja) | コリオリ質量流量計 | |
JPH06147950A (ja) | コリオリ式質量流量計 |