RU2692310C1 - Способ получения изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния - Google Patents

Способ получения изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния Download PDF

Info

Publication number
RU2692310C1
RU2692310C1 RU2018144422A RU2018144422A RU2692310C1 RU 2692310 C1 RU2692310 C1 RU 2692310C1 RU 2018144422 A RU2018144422 A RU 2018144422A RU 2018144422 A RU2018144422 A RU 2018144422A RU 2692310 C1 RU2692310 C1 RU 2692310C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
enriched
silicon
sicl
isotope
silicon dioxide
Prior art date
Application number
RU2018144422A
Other languages
English (en)
Inventor
Михаил Федорович Чурбанов
Андрей Дмитриевич Буланов
Олег Юрьевич Трошин
Иван Алексеевич Кужелев
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых Российской академии наук
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых Российской академии наук filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых Российской академии наук
Priority to RU2018144422A priority Critical patent/RU2692310C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2692310C1 publication Critical patent/RU2692310C1/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/113Silicon oxides; Hydrates thereof
    • C01B33/12Silica; Hydrates thereof, e.g. lepidoic silicic acid

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

Изобретение относится к способу получения изотопно-обогащенного стеклообразного диоксида кремния SiО, обогащенного изотопами кремнияSi илиSi илиSi, который может быть использован для получения изотопов кремния, оптических материалов, волоконных световодов и пленок из изотопно-обогащенного диоксида кремния. Способ включает синтез алкоксида изотопно-обогащенного кремния Si(OR)(R - СН, СН, i-CH) при взаимодействии неорганических соединений, в качестве которых используют изотопно-обогащенные тетрахлориды кремнияSiCl,SiCl,SiClс безводным спиртом общей формулы R-OH (R - СН, СН, i-CH) при температуре 20-50°С и 2-4-кратном избытке спирта относительно стехиометрического соотношения, гидролиз алкоксида изотопно-обогащенного кремния, осушку и термообработку полученного геля гидратированного изотопно-обогащенного диоксида кремния. Изобретение обеспечивает увеличение выхода изотопно-обогащенного стеклообразного диоксида кремния до 96%, упрощение и повышение экономичности способа, исключение необходимости использования сложного оборудования и больших количеств дефицитных изотопно-обогащенных веществ и безопасность процесса. 4 з.п. ф-лы, 2 пр.

Description

Изобретение относится к неорганической химии, а именно к получению изотопно-обогащенного стеклообразного диоксида кремния SiО2, обогащенного изотопами кремния 28Si или 29Si или 30Si, используемого для получения изотопов кремния, оптических материалов, волоконных световодов и пленок из изотопно-обогащенного диоксида кремния.
Световоды на основе изотопно-обогащенного стеклообразного диоксида кремния согласно расчетным данным, приведенным в патентной литературе (патенты США № 6490399, № 6870999), обладают меньшими оптическими потерями и более широким окном прозрачности по сравнению с кварцевым стеклом (световодами) природного изотопного состава.
Известен способ получения изотопно-обогащенного диоксида кремния 28SiО2, 29SiО2 или 30SiО2 путем окисления изотопно-обогащенного моносилана в пламени кислородно-водородной горелки и послойного нанесения защитных покрытий из стеклообразного изотопно-обогащенного диоксида кремния толщиной 75-150 мкм на поверхность тиглей (А. В. Гусев, В. А. Гавва, Е. А. Козырев, Х. Риман, Н. В. Абросимов / Тигли для выращивания методом Чохральского монокристаллов изотопно-обогащенного кремния // Неорг. матер. 2013. Т.49. № 12. С.1262–1265). Существенными недостатками этого способа являются взрывоопасность моносилана, длительность процесса, неполное осаждение на поверхность тиглей и существенные потери дорогостоящих соединений изотопно-обогащенного кремния, а также сложность получения компактных образцов прозрачного кварцевого стекла и высокое содержание в стекле воды, образующейся при окислении моносилана.
Основным способом разделения изотопов кремния является центробежное фракционирование с использованием тетрафторида кремния, в результате которого получают 28SiF4, 29SiF4 и 30SiF4 с высоким выходом и низким содержанием примесей. Методы конверсии SiF4 в SiО2, такие как гидролиз, плазмохимическое окисление, не позволяют получать стекло с низким содержанием ОН-групп, требуют дополнительных операций по получению компактных стеклообразных образцов или применения сложного оборудования для проведения плазмохимических процессов.
Для получения кварцевого стекла и материалов для волоконной оптики на его основе широко применяется метод модифицированного химического парофазного осаждения (МCVD-метод), в котором получение массивных заготовок для волоконных кварцевых световодов, проводится по реакции паров тетрахлорида кремния и кислорода при высокой температуре. В литературе приводится описание методики получения изотопно-обогащенного тетрахлорида кремния 28SiCl4, 29SiCl4 и 30SiCl4 из соответствующего тетрафторида (Патент Российской Федерации № 2618265, МПК C01B 33/08, опубл. 03.05.2017), однако для проведения МCVD-процесса необходимо сложное оборудование и большое количество тетрахлорида кремния, что является ограничением при использовании дефицитных и дорогостоящих моноизотопных веществ.
Наиболее близким к заявляемому способу по технической сущности и достигаемому результату, выбранным в качестве прототипа, является детально описанный в литературе золь – гель метод получения кварцевого стекла с естественным изотопным составом, которой состоит из стадий получения и гидролиза алкоксидов кремния общей формулы Si(OR)4 (R – углеводородный радикал) с образованием геля, осушки геля и прокаливания полученного ксерогеля для получения стеклообразного материала (Золь-гель технологии. Нанодисперсный кремнезем / Н. А. Шабанова, П. Д. Саркисов. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012).
Недостатками способа являются длительность процесса осушки или применение методов осушки с использованием сложного оборудования (субкритическая сушка), существенная усадка и возможность разрушения образцов при сушке, что снижает практический выход способа до уровня около 90 %, а также относительно высокая стоимость алкоксидов кремния. Кроме того, данный способ не применялся для получения изотопно-чистого кварцевого стекла.
Отмеченные недостатки приводят к потере дорогостоящих и дефицитных изотопно-обогащенных материалов и снижению практического выхода изотопно-обогащенных кварцевых стекол, снижению качества (например, светопропускания) получаемого стекла, а также влекут необходимость проведения операций получения прекурсоров – алкоксидов кремния.
Техническая проблема, решаемая предлагаемым изобретением, - создание способа получения изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния 28SiO2, 29SiO2, 30SiO2 из изотопно-обогащенного тетрахлорида кремния с высоким выходом, направленного на упрощение и повышение экономичности способа, и проведение его в условиях безопасной работы.
Техническим результатом является увеличение выхода изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния 28SiO2, 29SiO2, 30SiO2 (кварцевого стекла), исключение необходимости использования для его получения сложного оборудования и больших количеств дефицитных изотопно-обогащенных веществ.
Указанный результат достигается тем, что в способе получения изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния 28SiO2, 29SiO2, 30SiO2 из неорганических соединений, включающем стадии синтеза и гидролиза алкоксида изотопно-обогащенного кремния Si(OR)4 (R – CH3, C2H5, i-C3H7), осушки и термообработки полученного геля, в качестве неорганических соединений, в качестве неорганических соединений используют изотопно-обогащенные тетрахлориды кремния 28SiCl4, 29SiCl4, 30SiCl4, взаимодействие которых с безводным спиртом общей формулы R-OH (R – CH3, C2H5, i-C3H7) проводят при температуре 20 – 50°С при 2 – 4-кратном избытке спирта относительно стехиометрического соотношения.
Взаимодействие изотопно-обогащенных тетрахлоридов кремния 28SiCl4, 29SiCl4, 30SiCl4 с безводным спиртом общей формулы R-OH (R – CH3, C2H5, i-C3H7) проводят в посуде из инертного материала в закрытом боксе с инертной атмосферой.
В отличие от известного способа получения изотопно-обогащенного диоксида кремния в виде пленок, покрытий, в заявляемом способе в качестве исходного вещества для получения стеклообразного диоксида кремния (кварцевого стекла) используют не изотопно-обогащенный гидрид кремния (моносилан), а тетрахлорид кремния, обогащенный соответствующим изотопом кремния. Сущность изобретения заключается в том, что изотопно-обогащенный тетрахлорид кремния 28SiCl4, 29SiCl4, 30SiCl4, полученный из простых веществ (28Si, 29Si, 30Si и Cl2) или по реакции изотопно-обогащенного тетрафторида кремния с хлоридом алюминия(III) и очищенный от примесей методом дистилляции, используют для получения алкоксида кремния 28Si(OR)4, 29Si(OR)4, 30Si(OR)4 (R - CH3; C2H5; i-C3H7) по реакции соответствующего изотопно-обогащенного тетрахлорида кремния с безводным метиловым, этиловым или изопропиловым спиртом.
Предпочтительно для синтеза алкоксидов изотопно-обогащенного кремния 28Si(OR)4, 29Si(OR)4, 30Si(OR)4 использовать безводный высокочистый метиловый (CH3OH), этиловый (C2H5OH) или изопропиловый спирт (i-C3H7OH) ввиду доступности и низкой стоимости, а также возможности эффективной очистки этих спиртов от примесей, которые негативно влияют на свойства и практический выход получаемых изотопно-обогащенных стекол. Предпочтительно спирт брать в 2 – 4-кратном избытке относительно стехиометрического, так как при меньшем соотношении получаемый алкоксид кремния содержит примеси хлоралкоксидов кремния, которые являются потенциальным источником примеси хлора в стекле; увеличение этого соотношения более 4 приводит к чрезмерному расходу спирта.
Предпочтительно реакцию изотопно-обогащенного тетрахлорида кремния и спирта проводить в температурном интервале 20 – 50 ºС, так как проведение реакции указанных веществ при температуре ниже 20 ºС увеличивает продолжительность процесса и снижает производительность способа, а проведение синтеза при температуре более 50 ºС приводит к частичной потере тетрахлорида кремния и снижению выхода алкоксида кремния и диоксида кремния вследствие испарения SiCl4 (tкип = 57 °C).
Предпочтительно для проведения синтеза изотопно-обогащенного диоксида кремния использовать посуду из инертного материала, например – фторопласта, ввиду того, что при проведении синтеза в стеклянной посуде возможно изотопное разбавление кремния в составе изотопно-обогащенного диоксида кремния.
Предпочтительно синтез изотопно-обогащенного диоксида кремния проводить в закрытом боксе с инертной атмосферой для исключения воздействия паров вредных веществ на персонал и предотвращения поступления примесей в изотопно-обогащенный диоксид кремния из окружающей среды.
Предпочтительно гидролиз полученного алкоксида изотопно-обогащенного кремния проводить водно-спиртовой смесью в соотношении Si(OR)4 : R-OH : H2O = 1 : 4 : 4 (R – CH3, C2H5, i-C3H7).
Полученный гель гидратированного изотопно-обогащенного диоксида кремния подвергают осушке в сушильном шкафу путем плавного повышения температуры от комнатной до 80°С в течение 120-240 часов и последующего нагрева в муфельной печи до 600-800°С со скоростью нагрева 5-10 °С/час для получения заготовки кварцевого стекла.
Полученную заготовку кварцевого стекла выдерживают при температуре 1000-1200°C в течение 60-300 мин.
Способ осуществляют следующим образом.
Во фторопластовый стакан помещают необходимое количество безводного метилового, этилового или изопропилового спирта, обеспечивающего 2 – 4-кратный избыток спирта относительно стехиометрического соотношения и по каплям приливают необходимое количество изотопно-обогащенного тетрахлорида кремния 28SiCl4, 29SiCl4 или 30SiCl4. Синтез алкоксидов кремния проводят в посуде из инертного материала, например – фторопласта, в закрытом боксе с инертной атмосферой, например – с газообразным азотом. Для обеспечения полноты протекания реакции применяют интенсивное перемешивание реакционной смеси при помощи магнитной мешалки. Реакционную смесь охлаждают до комнатной температуры, перемешивают в течение 15 – 20 минут для удаления хлороводорода и затем для получения геля гидратированного изотопно-обогащенного диоксида кремния приливают к смеси заданное количество водно-спиртовой смеси в соотношении Si(OR)4 : R-OH : H2O = 1 : 4 : 4 Указанное соотношение реагентов обеспечивает получение качественных заготовок прозрачного стекла (Золь-гель технологии. Нанодисперсный кремнезем / Н. А. Шабанова, П. Д. Саркисов. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012). Гель подвергают осушке в сушильном шкафу путем плавного повышения температуры от комнатной до 80°С в течение 120-240 часов, затем извлекают образцы полученного ксерогеля из формы и нагревают в муфельной печи до 600-800°С со скоростью нагрева 5-10°С/час для получения стеклообразного 28SiO2. При продолжительности осушки менее 120 час, а также при скорости нагрева более 10°С/час, при прокаливании заготовок стекла возможно появление трещин и разрушение заготовок стекла. При продолжительности осушки более 240 час, а также при скорости нагрева при прокаливании заготовок стекла менее 5 °С/час увеличивается длительность процесса и снижается производительность. Затем образец изотопно-обогащенного диоксида кремния прокаливают в муфельной печи при температуре 1000-1200°С в течение 60-300 мин до получения прозрачного стекла. Прокаливание при температуре ниже 1000 °С, а также продолжительность прокаливания менее 60 мин не позволяет получать стекло с низким содержанием ОН-групп. Увеличение продолжительности прокаливания более 300 мин приводит к увеличению длительности процесса получения стекла и снижению производительности; повышение температуры выше 1200 °С приводит к повышенному расходу энергии.
Заявляемый способ обеспечивает получение прозрачного изотопно-обогащенного стеклообразного диоксида кремния 28SiO2, 29SiO2, 30SiO2 с практическим выходом 95±1 % и исключение изотопного разбавления кремния в составе 28SiO2, 29SiO2, 30SiO2 в пределах погрешности методики анализа (масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой.
Способ осуществляют в боксе с инертной атмосферой в условиях безопасной работы при получении заданного количества изотопно-обогащенного стеклообразного диоксида кремния.
Пример 1.
Во фторопластовый стакан объемом 100 мл с 50 мл безводного этилового спирта при перемешивании приливают по каплям 12 мл тетрахлорида кремния-28 для получения алкоксида кремния 28Si(ОС2Н5)4 (2-кратный избыток этанола относительно стехиометрического соотношения). Синтез алкоксида кремния-28 проводят в посуде из фторопласта в закрытом боксе с инертной атмосферой (газообразный азот) при температуре 20°С.
Содержание изотопа 28Si в кремнии, входящим в состав 28SiСl4, по данным масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой составляет 99,8543±0,0185 ат. %. Реакционную смесь при перемешивании охлаждают и приливают к ней 30 мл водно-спиртовой смеси (0.4 моль этанола и 0.4 моль воды) в соотношении 28Si(OC2H5)4 : C2H5OH : H2O = 1 : 4 : 4, а также 0.25 мл 40 % раствора HF для ускорения гелеобразования. Смесь помещают в фторопластовый сосуд цилиндрической формы и подвергают осушке в сушильном шкафу путем плавного повышения температуры от комнатной до 80 °С в течение 120 часов, затем извлекают образцы ксерогеля из формы и нагревают в муфельной печи до 600°С со скоростью нагрева 5°С/час. Для получения стеклообразного 28SiO2 образец прокаливают в муфельной печи при температуре 1000 °С в течение 300 мин.
Практический выход стеклообразного диоксида кремния-28 28SiО2 составляет 96 %. Содержание изотопа 28Si в кремнии, входящим в состав 28SiО2, по данным масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой составляет 99.8445±0.0060 ат. %, что указывает на отсутствие статистически значимого изотопного разбавления при синтезе стеклообразного 28SiО2.
Пример 2.
Во фторопластовый стакан объемом 20 мл с 8 мл безводного этилового спирта при перемешивании по каплям приливают 1 мл тетрахлорида кремния-29, полученного из простых веществ (29Si, Cl2) и подвергнутого дистилляции, для получения 29Si(ОС2Н5)4 (4-кратный избыток этанола относительно стехиометрического соотношения). Синтез алкоксида кремния-29 проводят в посуде из фторопласта в закрытом боксе с инертной атмосферой (газообразный азот) при температуре 20 °С.
Содержание изотопа 29Si в кремнии, входящим в состав 29SiСl4, по данным масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой составляет 99,923±0,016 ат. %.
Реакционную смесь при перемешивании охлаждают и приливают к ней 3 мл водно-спиртовой смеси (0.04 моль этанола и 0.04 моль воды) в соотношении 29Si(OR)4 : R-OH : H2O = 1 : 4 : 4, а также 0.25 мл 4 % раствора HF для ускорения гелеобразования. Смесь помещают в фторопластовый сосуд цилиндрической формы и подвергают осушке в сушильном шкафу путем плавного повышения температуры от комнатной до 80°С в течение 240 часов, затем извлекают образцы ксерогеля из формы и нагревают в муфельной печи до 800°С со скоростью нагрева 10°С/час. Для получения стеклообразного 29SiO2 образец прокаливают в муфельной печи при температуре 1200°С в течение 60 мин.
Практический выход стеклообразного диоксида кремния-29 29SiО2 составляет 95 %. Содержание изотопа 29Si в кремнии, входящим в состав 29SiО2, по данным масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой составляет 99,910±0,008 ат. %, что указывает на отсутствие статистически значимого изотопного разбавления на стадии синтеза 29SiО2.
Таким образом, предлагаемый способ позволяет получать изотопно-обогащенный стеклообразный диоксид кремния (кварцевое стекло) заданной формы с высоким выходом (до 96 %) и без статистически значимого изменения изотопного состава кремния с использованием небольших количеств дефицитных изотопно-обогащенных веществ (порядка граммов). Синтез проводят в закрытом боксе с инертной атмосферой в безопасных условиях с использованием доступной аппаратуры и получением образцов стекла заданной формы.

Claims (5)

1. Способ получения изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния 28SiO2, 29SiO2, 30SiO2 из неорганических соединений, включающий стадии синтеза и гидролиза алкоксида изотопно-обогащенного кремния Si(OR)4 (R - СН3, С2Н5, i-C3H7), осушки и термообработки полученного геля, отличающийся тем, что в качестве неорганических соединений используют изотопно-обогащенные тетрахлориды кремния 28SiCl4, 29SiCl4, 30SiCl4, взаимодействие которых с безводным спиртом общей формулы R-OH (R - СН3, С2Н5, i-C3H7) проводят при температуре 20-50°С при 2-4-кратном избытке спирта относительно стехиометрического соотношения.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что взаимодействие изотопно-обогащенных тетрахлоридов кремния 28SiCl4, 29SiCl4, 30SiCl4 с безводным спиртом общей формулы R-OH (R - СН3, С2Н5, i-C3H7) проводят в посуде из инертного материала в закрытом боксе с инертной атмосферой.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что гидролиз полученного алкоксида изотопно-обогащенного кремния проводят водно-спиртовой смесью в соотношении Si(OR)4:R-ОН:Н2O=1:4:4 (R - СН3, С2Н5, i-C3H7).
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что полученный гель гидратированного изотопно-обогащенного диоксида кремния подвергают осушке в сушильном шкафу путем плавного повышения температуры от комнатной до 80°С в течение 120-240 ч и последующего нагрева в муфельной печи до 600-800°С со скоростью нагрева 5-10°С/ч для получения заготовки кварцевого стекла.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что полученную заготовку кварцевого стекла выдерживают при температуре 1000-1200°С в течение 60-300 мин.
RU2018144422A 2018-12-14 2018-12-14 Способ получения изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния RU2692310C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018144422A RU2692310C1 (ru) 2018-12-14 2018-12-14 Способ получения изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018144422A RU2692310C1 (ru) 2018-12-14 2018-12-14 Способ получения изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2692310C1 true RU2692310C1 (ru) 2019-06-24

Family

ID=67038128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018144422A RU2692310C1 (ru) 2018-12-14 2018-12-14 Способ получения изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2692310C1 (ru)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6870999B2 (en) * 2001-12-20 2005-03-22 Corning Incorporated Isotopically altered optical fiber
RU2618265C1 (ru) * 2016-01-27 2017-05-03 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых Российской академии наук (ФГБУН ИХВВ РАН) Способ получения изотопнообогащенного тетрахлорида кремния

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6870999B2 (en) * 2001-12-20 2005-03-22 Corning Incorporated Isotopically altered optical fiber
RU2618265C1 (ru) * 2016-01-27 2017-05-03 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых Российской академии наук (ФГБУН ИХВВ РАН) Способ получения изотопнообогащенного тетрахлорида кремния

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ШАБАНОВА Н.А., САРКИСОВ П.Д., ЗОЛЬ-ГЕЛЬ ТЕХНОЛОГИИ. НАНОДИСПЕРСНЫЙ КРЕМНЕЗЕМ. М.: БИНОМ. ЛАБОРАТОРИЯ ЗНАНИЙ, 2012. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4680046A (en) Method of preparing preforms for optical fibers
US4680048A (en) Method of preparing doped silica glass
DK162838B (da) Fremgangsmaade til fremstilling af glasraaemne til optiske fibre
US5068208A (en) Sol-gel method for making gradient index optical elements
JP7195441B2 (ja) 低ヒドロキシ基高純度石英ガラスの調製方法
Hayashi et al. Preparation of titania-silica glasses by the gel method
JPH0826742A (ja) 合成石英ガラス粉
RU2692310C1 (ru) Способ получения изотопно-обогащенных стеклообразных диоксидов кремния
JPS6186436A (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
KR100789124B1 (ko) 발열 제조된 고순도 이산화규소, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 수득한 실리카 유리 및 성형품
US4943425A (en) Method of making high purity dense silica of large particle size
Plotnichenko et al. Influence of molecular hydrogen diffusion on concentration and distribution of hydroxyl groups in silica fibers
Katsuyama et al. Fabrication of high‐purity chalcogenide glasses by chemical vapor deposition
EP0034053B1 (en) Method of producing phosphate glass and optical bodies formed therefrom
US5342809A (en) Process for the synthesis of fluoride glass by the sol - gel method and optical fibre produced from the fluoride glass obtained according to this process
AU623735B2 (en) Process for preparing glass-like monoliths constituted by silicon oxide and titanium oxide
RU2419589C1 (ru) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ХАЛЬКОГЕНИДНЫХ СТЕКОЛ СИСТЕМЫ As-S С НИЗКИМ СОДЕРЖАНИЕМ КИСЛОРОДА
JP2722573B2 (ja) 高純度石英ガラスの製造方法
RU2648389C1 (ru) Способ получения особо чистых халькогенидных стекол системы германий-селен
JPS61174115A (ja) 四塩化ケイ素又は四塩化ゲルマニウムに溶解した含水素化合物から水素を除去する方法
JPS6036343A (ja) 光伝送用ガラス素材の製法
JPH0324415B2 (ru)
JPH01145346A (ja) 光フアイバ用母材の製造方法
JP7103292B2 (ja) 合成シリカガラス粉
DK158719B (da) Fremgangsmaade til fremstilling af formemneroer til optiske fibre