RU2677583C1 - Способ регенерации медно-хлоридного травильного раствора - Google Patents
Способ регенерации медно-хлоридного травильного раствора Download PDFInfo
- Publication number
- RU2677583C1 RU2677583C1 RU2018105967A RU2018105967A RU2677583C1 RU 2677583 C1 RU2677583 C1 RU 2677583C1 RU 2018105967 A RU2018105967 A RU 2018105967A RU 2018105967 A RU2018105967 A RU 2018105967A RU 2677583 C1 RU2677583 C1 RU 2677583C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- copper
- anode
- solution
- chamber
- cathode
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 title claims abstract description 19
- 229940079721 copper chloride Drugs 0.000 title claims abstract description 17
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 title abstract description 21
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 title abstract description 21
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 25
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 238000005554 pickling Methods 0.000 claims abstract description 11
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 8
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 5
- UUWCBFKLGFQDME-UHFFFAOYSA-N platinum titanium Chemical compound [Ti].[Pt] UUWCBFKLGFQDME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 24
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 22
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 22
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 abstract description 8
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 abstract description 7
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 61
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002848 electrochemical method Methods 0.000 description 4
- GHPYJLCQYMAXGG-WCCKRBBISA-N (2R)-2-amino-3-(2-boronoethylsulfanyl)propanoic acid hydrochloride Chemical compound Cl.N[C@@H](CSCCB(O)O)C(O)=O GHPYJLCQYMAXGG-WCCKRBBISA-N 0.000 description 3
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 239000003014 ion exchange membrane Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000005752 Copper oxychloride Substances 0.000 description 1
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021592 Copper(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- LYVWMIHLNQLWAC-UHFFFAOYSA-N [Cl].[Cu] Chemical compound [Cl].[Cu] LYVWMIHLNQLWAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VUCAVCCCXQVHAN-UHFFFAOYSA-L azane dichlorocopper Chemical compound N.Cl[Cu]Cl VUCAVCCCXQVHAN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- HKMOPYJWSFRURD-UHFFFAOYSA-N chloro hypochlorite;copper Chemical compound [Cu].ClOCl HKMOPYJWSFRURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- QKSIFUGZHOUETI-UHFFFAOYSA-N copper;azane Chemical compound N.N.N.N.[Cu+2] QKSIFUGZHOUETI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/46—Regeneration of etching compositions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/42—Electrodialysis; Electro-osmosis ; Electro-ultrafiltration; Membrane capacitive deionization
- B01D61/44—Ion-selective electrodialysis
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G1/00—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts
- C23G1/36—Regeneration of waste pickling liquors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Urology & Nephrology (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
Изобретение относится к регенерации травильного раствора хлорида меди и может быть использовано в производстве печатных плат. Способ регенерации медно-хлоридного травильного раствора, содержащего 70-200 г/л ионов меди и 75-90 г/л хлористого водорода, включает электрохимическую обработку медно-хлоридного травильного раствора при температуре 25-50°С на титановом катоде в катодной камере, отделенной катионообменной мембраной от анодной камеры с раствором серной кислоты и платинированным титановым анодом, подключенным к источнику тока. Причем после обработки в катодной камере травильный раствор переливают в дополнительную отделенную от упомянутой катодной камеры катионообменной мембраной анодную камеру с платинированным титановым анодом, подключенным к дополнительному источнику тока. При этом травильный раствор обрабатывают в катодной камере при катодной плотности тока 2-10 А/дм, причем в основной анодной камере анодная плотность тока составляет 1-5 А/дм, а в дополнительной анодной камере - 0,1-0,5 А/дм. Изобретение позволяет устранить выделения хлора на аноде и обеспечивает получение регенерированного травильного раствора с содержанием ионов одновалентной меди не более 10% от суммарного содержания меди, а также снижение удельного расхода электроэнергии. 3 пр.
Description
Изобретение относится к производству печатных плат, конкретно - к операции травления в кислом растворе хлорида меди. Изобретение может быть использовано в производстве печатных плат.
Кислые травильные растворы на основе хлорида меди могут содержать суммарное количество ионов меди 70-200 г/л и хлористый водород 75-90 г/л. В процессе травления растворение металлической меди происходит в результате ее взаимодействия с раствором хлорида меди(II):
Cu+CuCl2→Cu2Cl2.
В результате этой реакции хлорид двухвалентной меди превращается в хлорид одновалентной меди, не обладающий травящим действием, возрастает содержание ионов меди в травильном растворе и раствор утрачивает способность осуществлять дальнейшее травление металла. Добавление окислителей, например, пероксида водорода, в раствор и взаимодействие раствора с кислородом воздуха переводит ионы одновалентной меди обратно в двухвалентное состояние и дает возможность продолжать эксплуатацию раствора. Однако после того как суммарное содержание ионов одно- и двухвалентной меди превысит допустимое предельное значение (150-200 г/л), дальнейшую эксплуатацию раствора приходится прекращать из-за выпадения кристаллического осадка хлорной меди.
Отработанный раствор можно утилизировать путем извлечения из него всей меди в виде каких-либо химических соединений, например, хлорокиси меди или в виде металла. Более целесообразной технически и экономически является регенерация такого раствора, проводимая химическим или электрохимическим методом. При химической регенерации к раствору добавляют водный раствор пероксида водорода, в результате чего увеличивается объем раствора, а, следовательно, снижается суммарная концентрация ионов меди. Одновременно, благодаря химическому взаимодействию пероксида водорода с ионами одновалентной меди последние окисляются в ионы двухвалентной меди, и раствор приобретает травящие свойства. Кроме того, в результате разбавления раствора в нем снижается содержание хлористого водорода, поэтому перед дальнейшей эксплуатацией к нему приходится добавлять необходимое количество соляной кислоты.
Серьезным недостатком химического метода регенерации является образование излишних объемов травильного раствора, которые подлежат обязательной утилизации. Так, например, при снижении общего содержания ионов меди в процессе регенерации в два раза образуется излишек травильного раствора, содержащий столько же ионов меди, сколько их находится в регенерированном растворе.
Известен и использовался в промышленности электрохимический способ регенерации щелочных травильных растворов на основе хлорида меди без разделения катодного и анодного пространств электролизера [Кругликов С.С., Регенерация травильных растворов и рекуперация меди в производстве печатных плат Гальванотехника и обработка поверхности. 1993. Т. 2, №2, с. 69-72]. Однако данный способ применим только для щелочных медно-аммиачных растворов. Для регенерации таких растворов известен также электрохимический способ регенерации с разделением катодного и анодного пространств с помощью ионообменной мембраны [Патент РФ №2620228, Кругликов С.С., Колесников В.А., Губин А.Ф., Кондратьева Е.С.]
Для регенерации щелочных аммиачных медно-хлоридных растворов предложен способ с использованием дополнительной стадии экстракции ионов меди органическим экстрагентом с последующей реэкстракцией раствором серной кислоты, из которого металлическая медь осаждается на катоде при электролизе [Совершенствование процесса регенерации растворов травления печатных плат / Губин А.Ф., Гусев В.Ю., Ильин В.И. // Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России, 2008, №2, с. 84-86]. Аналогичный способ разработан для регенерации кислых медно-хлоридных растворов [Электронный ресурс - http://www.sigma-gmppen.com/en/products/mecer-equipment/process-description-acidic-mecer-17364780, дата обращения 17.01.2018 г.] Однако в связи со сложностью многостадийного технологического процесса, высокой стоимостью необходимого оборудования и органических экстрагентов, промышленное применение этих способов экономически оправдано только при очень больших объемах производства печатных плат.
Был разработан способ электрохимической регенерации кислого медно-хлоридного раствора в электролизере без разделения катодного и анодного пространств. Испытания этого, способа в промышленных условиях закончились неудачей - через несколько минут после включения тока на аноде начиналось обильное выделение газообразного хлора.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является способ электрохимической регенерации кислого медно-хлоридного травильного раствора, содержащего ионы меди 60 г/л и хлористый водород 50 г/л, путем его обработки в катодной камере на катоде из титана при температуре 25-50°С и плотности тока 4-8 А/дм2. [Кругликов С.С., Тураев Д.Ю., Бузикова A.M. Регенерация раствора травления меди в производстве печатных плат методом мембранного электролиза, Гальванотехника и обработка поверхности, 2009, т. 17, №1, с .59-65] На этой стадии из раствора извлекается избыток ионов меди, которые разряжаются на катоде, образуя осадок металлической меди. Однако параллельно с осаждением меди на катоде часть оставшихся в растворе ионов меди переходит из двухвалентного в одновалентное состояние. Поэтому после обработки раствора в катодной камере он обрабатывается в анодной камере, отделенной от катодной камеры катионообменной мембраной, чтобы приобрести свойства травильного раствора, путем анодного окисления ионов одновалентной меди в двухвалентные. В процессе электрохимической обработки температура раствора не должна превышать 50°С, так как при более высокой температуре ионообменные мембраны недостаточно устойчивы.
Однако эксперименты показали, что такой процесс регенерации сопровождается обильным выделением хлора на аноде из-за дисбаланса между количеством электричества, расходуемым на удаление избыточной меди из раствора в катодной камере и значительно меньшим количеством электричества, расходуемым на анодное окисление ионов одновалентной меди в ионы двухвалентной меди в анодной камере.
В этом способе удельный расход электроэнергии на проведение регенерации составляет 5-10 кВтч/кг извлеченной из раствора меди и раствор после обработки в катодной и анодной камерах непригоден для повторного использования в качестве травильного, так как значительная доля ионов меди содержится в нем в виде одновалентных ионов. Для повторного использования в качестве травильного необходима дополнительная стадия окисления ионов одновалентной меди химическим или электрохимическим методом, который в данном способе вообще не предусматривается.
Задачей предлагаемого изобретения является устранение выделения хлора на аноде и получение регенерированного травильного раствора с содержанием ионов одновалентной меди не более 10% от суммарного содержания меди, а также снижение удельного расхода электроэнергии.
Поставленная задача решается путем электрохимической обработки медно-хлоридного травильного раствора при температуре 25-50°С на титановом катоде в катодной камере, отделенной катионообменной мембраной от анодной камеры с платинированным титановым анодом, подключенным к источнику тока и раствором серной кислоты, при этом, после обработки в катодной камере медно-хлоридный травильный раствор поступает в дополнительную анодную камеру с платинированным титановым анодом, отделенную от катодной камеры катионообменной мембраной и подключенную к дополнительному источнику тока, причем травильный раствор с начальной концентрацией ионов меди 70-200 г/л и хлористого водорода 75-90 г/л, обрабатывают в катодной камере при катодной плотности тока 2-10 А/дм2, в основной анодной камере анодная плотность тока 1-5 А/дм2, а в дополнительной анодной камере при анодной плотности тока 0,1-0,5 А/дм2.
Предлагаемый способ обладает следующими преимуществами по сравнению с известным.
1. После регенерации раствор содержит большую часть ионов меди в двухвалентном состоянии и поэтому пригоден для использования в качестве травильного.
2. Предлагаемый способ устраняет возможность образования газообразного хлора на аноде.
3. Удельный расход электроэнергии снижается с 5-10 кВтч/кг до 2,0-3,7 кВтч/кг меди.
4. Система управления технологическими параметрами с использованием двух независимых источников питания легко может быть автоматизирована.
Приведенные ниже примеры иллюстрируют реализацию данного изобретения.
Пример 1.
200 мл отработанного травильного раствора, содержащего 200 г/л ионов меди, в том числе 100 г/л одновалентных и 100 г/л двухвалентных, а также 90 г/л хлористого водорода, обрабатывали в катодной камере трехкамерного электролизера, состоящего из двух анодных и одной катодной камеры емкостью 200 мл каждая. Процесс проводили в течение 8 час при катодной плотности тока 10 А/дм2 и температуре 50°С. После этого раствор из катодной камеры перелили в дополнительную анодную камеру объемом 200 мл, где его обрабатывали в течение 8 час при анодной плотности тока 0,5 А/дм2. В это же время в катодной камере обрабатывали следующую порцию отработанного травильного раствора. Основная анодная камера объемом 200 мл содержала раствор серной кислоты 100 г/л, и анодная плотность тока составляла 5 А/дм2. После обработки сначала в катодной, а затем в дополнительной анодной камерах, раствор содержал 10 г/л одновалентных ионов меди и 140 г/л двухвалентных. На катоде выделилось 10 г металлической меди. Раствор после регенерации был пригоден для использования в качестве травильного. Удельный расход электроэнергии составил 3,7 кВтч/кг меди.
Пример 2.
200 мл отработанного раствора, содержащего 70 г/л меди, в том числе 30 г/л одновалентных, 40 г/л двухвалентных и 75 г/л хлористого водорода, обрабатывали в катодной камере трехкамерного электролизера, описанного в Примере 1. Процесс проводили в течение 4 часов при катодной плотности тока 2 А/дм2 и температуре 25°С. После этого раствор из катодной камеры перелили в дополнительную анодную камеру объемом 200 мл, где он обрабатывался в течение 4 часов при анодной плотности тока 0,1 А/дм2. В это же время в катодной камере обрабатывали следующую порцию отработанного травильного раствора Основная анодная камера объемом 200 мл содержала раствор серной кислоты 20 г/л и анодная плотность тока составляла 1 А/дм2. После обработки сначала в катодной, а затем в анодной камерах, раствор содержал 5 г/л одновалентных ионов меди и 50 г/л двухвалентных. На катоде выделилось 2 г металлической меди. Раствор после регенерации был пригоден для использования в качестве травильного. Удельный расход электроэнергии составил 2 кВтч/кг меди.
Пример 3.
200 мл отработанного раствора, содержащего 150 г/л меди, в том числе 50 г/л одновалентных, 100 г/л двухвалентных и 85 г/л хлористого водорода, обрабатывали в катодной камере трехкамерного электролизера, описанного в Примере 1. Процесс проводили в течение 6 часов при катодной плотности тока 5 А/дм2 и температуре 40°С. После этого раствор из катодной камеры перелили в дополнительную анодную камеру объемом 200 мл, где он обрабатывался в течение 6 часов при анодной плотности тока 0,3 А/дм2. В это же время в катодной камере обрабатывали следующую порцию отработанного травильного раствора Основная анодная камера объемом 200 мл содержала раствор серной кислоты 50 г/л и анодная плотность тока составляла 3 А/дм3. После обработки сначала в катодной, а затем в анодной камерах, раствор содержал 5 г/л одновалентных ионов меди и 95 г/л двухвалентных. На катоде выделилось 6 г металлической меди. Раствор после регенерации был пригоден для использования в качестве травильного. Удельный расход электроэнергии составил 2,8 кВтч/кг меди.
Как видно из примеров при использовании данного способа для регенерации медно-хлоридного раствора травления хлор не выделяется на аноде, удельный расход энергии ниже по сравнению с тем, который указан в прототипе и содержание ионов одновалентной меди не более 10% от суммарного содержания меди.
Claims (1)
- Способ регенерации медно-хлоридного травильного раствора, содержащего 70-200 г/л ионов меди и 75-90 г/л хлористого водорода, включающий электрохимическую обработку медно-хлоридного травильного раствора при температуре 25-50°С на титановом катоде в катодной камере, отделенной катионообменной мембраной от анодной камеры с платинированным титановым анодом, подключенным к источнику тока, и раствором серной кислоты, отличающийся тем, что после обработки в катодной камере медно-хлоридный травильный раствор переливают в дополнительную анодную камеру с платинированным титановым анодом, отделенную от катодной камеры катионообменной мембраной и подключенную к дополнительному источнику тока, при этом травильный раствор обрабатывают в катодной камере при катодной плотности тока 2-10 А/дм2, причем в основной анодной камере анодная плотность тока составляет 1-5 А/дм2, а в дополнительной анодной камере - 0,1-0,5 А/дм2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018105967A RU2677583C1 (ru) | 2018-02-16 | 2018-02-16 | Способ регенерации медно-хлоридного травильного раствора |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018105967A RU2677583C1 (ru) | 2018-02-16 | 2018-02-16 | Способ регенерации медно-хлоридного травильного раствора |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2677583C1 true RU2677583C1 (ru) | 2019-01-17 |
Family
ID=65025074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018105967A RU2677583C1 (ru) | 2018-02-16 | 2018-02-16 | Способ регенерации медно-хлоридного травильного раствора |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2677583C1 (ru) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2709305C1 (ru) * | 2019-02-13 | 2019-12-17 | Дмитрий Юрьевич Тураев | Регенерация солянокислого медно-хлоридного раствора травления меди методом мембранного электролиза |
| RU2763856C1 (ru) * | 2021-05-13 | 2022-01-11 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева (РХТУ им. Д.И. Менделеева) | Способ обработки отработанного раствора блестящего травления меди |
| RU2765894C1 (ru) * | 2021-04-15 | 2022-02-04 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева (РХТУ им. Д.И. Менделеева) | Способ обработки раствора подтравливания печатных плат |
| RU2824908C1 (ru) * | 2024-04-12 | 2024-08-15 | Общество с ограниченной ответственностью "НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЦЕНТР ВАТТ" (ООО "НТЦ ВАТТ") | Способ регенерации солянокислого медно-хлоридного раствора травления методом электролиза |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3764503A (en) * | 1972-01-19 | 1973-10-09 | Dart Ind Inc | Electrodialysis regeneration of metal containing acid solutions |
| US4083758A (en) * | 1976-09-27 | 1978-04-11 | Criterion | Process for regenerating and for recovering metallic copper from chloride-containing etching solutions |
| DE4310365C1 (de) * | 1993-03-30 | 1994-04-21 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Vorrichtung zur Aufarbeitung von Ätzbädern |
| RU2620228C1 (ru) * | 2016-04-18 | 2017-05-23 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский химико-технологический университет имени Д.И.Менделеева" (РХТУ им. Д. И. Менделеева) | Способ электрохимической регенерации медно-аммиачного травильного раствора |
-
2018
- 2018-02-16 RU RU2018105967A patent/RU2677583C1/ru active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3764503A (en) * | 1972-01-19 | 1973-10-09 | Dart Ind Inc | Electrodialysis regeneration of metal containing acid solutions |
| US4083758A (en) * | 1976-09-27 | 1978-04-11 | Criterion | Process for regenerating and for recovering metallic copper from chloride-containing etching solutions |
| DE4310365C1 (de) * | 1993-03-30 | 1994-04-21 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Vorrichtung zur Aufarbeitung von Ätzbädern |
| RU2620228C1 (ru) * | 2016-04-18 | 2017-05-23 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский химико-технологический университет имени Д.И.Менделеева" (РХТУ им. Д. И. Менделеева) | Способ электрохимической регенерации медно-аммиачного травильного раствора |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| КРУГЛИКОВ С. С. и др. Регенерация раствора травления меди в производстве печатных плат методом мембранного электролиза. Гальванотехника и обработка поверхности. 2009. Т. 17, N 1, с. 59-65. * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2709305C1 (ru) * | 2019-02-13 | 2019-12-17 | Дмитрий Юрьевич Тураев | Регенерация солянокислого медно-хлоридного раствора травления меди методом мембранного электролиза |
| RU2765894C1 (ru) * | 2021-04-15 | 2022-02-04 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева (РХТУ им. Д.И. Менделеева) | Способ обработки раствора подтравливания печатных плат |
| RU2763856C1 (ru) * | 2021-05-13 | 2022-01-11 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева (РХТУ им. Д.И. Менделеева) | Способ обработки отработанного раствора блестящего травления меди |
| RU2824908C1 (ru) * | 2024-04-12 | 2024-08-15 | Общество с ограниченной ответственностью "НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЦЕНТР ВАТТ" (ООО "НТЦ ВАТТ") | Способ регенерации солянокислого медно-хлоридного раствора травления методом электролиза |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2677583C1 (ru) | Способ регенерации медно-хлоридного травильного раствора | |
| CN111560615B (zh) | 一种酸性蚀刻废液在线回收铜、氯气及蚀刻液再生的方法 | |
| US4144145A (en) | Process for recovery of reusable chromic acid from the waste chromic acid solution containing impurities | |
| RU2620228C1 (ru) | Способ электрохимической регенерации медно-аммиачного травильного раствора | |
| KR100742088B1 (ko) | 에칭액 및 전해동으로의 에칭 공정에서 발생하는 질산동폐액의 재활용 방법 | |
| WO2020162796A2 (ru) | Способ получения моногидрата гидроксида лития высокой степени чистоты | |
| NO139096B (no) | Fremgangsmaate til fremstilling av hoeyrent elektrolyttkobber ved reduksjonselektrolyse | |
| CN111020633A (zh) | 一种酸性蚀刻废液的处理方法 | |
| JPS6135256B2 (ru) | ||
| KR101570795B1 (ko) | 불소 함유 니켈 슬라임으로부터 고순도 니켈의 제조방법 | |
| JPH0489316A (ja) | 塩酸含有塩化銅水溶液から硫酸銅を回収する方法 | |
| JP2006176353A (ja) | 銅エッチング廃液から塩酸及び銅を回収する方法 | |
| RU2765894C1 (ru) | Способ обработки раствора подтравливания печатных плат | |
| RU2824908C1 (ru) | Способ регенерации солянокислого медно-хлоридного раствора травления методом электролиза | |
| JP4787951B2 (ja) | 銀の電解精製方法 | |
| PL170642B1 (pl) | Sposób oczyszczania kwasu fosforowego PL PL PL | |
| JPS61133192A (ja) | 塩酸含有銅廃液の処理方法 | |
| RU2041973C1 (ru) | Способ регенерации медно-аммиачных травильных растворов | |
| RU2709305C1 (ru) | Регенерация солянокислого медно-хлоридного раствора травления меди методом мембранного электролиза | |
| RU2763856C1 (ru) | Способ обработки отработанного раствора блестящего травления меди | |
| JP3832534B2 (ja) | 過硫酸ナトリウムの製造方法 | |
| RU2149221C1 (ru) | Способ регенерации отработанных растворов, содержащих серную кислоту | |
| JPH01104790A (ja) | ユーロピウムの電解還元−分離方法 | |
| JP2960876B2 (ja) | 銅電解液の浄液方法 | |
| SU145893A1 (ru) | Способ регенерации этилендиаминотетрауксусной кислоты |