RU2363929C2 - Способ регулирования физической переменной динамической системы, в особенности микромеханического датчика - Google Patents

Способ регулирования физической переменной динамической системы, в особенности микромеханического датчика Download PDF

Info

Publication number
RU2363929C2
RU2363929C2 RU2007111703/28A RU2007111703A RU2363929C2 RU 2363929 C2 RU2363929 C2 RU 2363929C2 RU 2007111703/28 A RU2007111703/28 A RU 2007111703/28A RU 2007111703 A RU2007111703 A RU 2007111703A RU 2363929 C2 RU2363929 C2 RU 2363929C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
modulated signal
values
resonator
deviation
instantaneous
Prior art date
Application number
RU2007111703/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2007111703A (ru
Inventor
Гюнтер ШПАХЛИНГЕР (DE)
Гюнтер ШПАХЛИНГЕР
Original Assignee
Литеф ГмбХ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Литеф ГмбХ filed Critical Литеф ГмбХ
Publication of RU2007111703A publication Critical patent/RU2007111703A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2363929C2 publication Critical patent/RU2363929C2/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B7/00Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
    • B81B7/02Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems containing distinct electrical or optical devices of particular relevance for their function, e.g. microelectro-mechanical systems [MEMS]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

Изобретение относится к регулированию физической переменной в динамической системе с приведением этой переменной к одному заданному значению или к значениям, изменяющимся по заданному закону. Способ регулирования заключается в том, что используют импульсный модулятор, который генерирует последовательность дискретно модулированных сигналов, которые и осуществляют указанное регулирование физической переменной. Способ характеризуется циклическим повторением этапов, на которых определяют точное значение или аппроксимацию девиации между мгновенным заданным и мгновенным реальным значением физической переменной, определяют соответствующее изменение девиации, вызванное сохранением мгновенного модулированного сигнала или переключением на другие модулированные сигналы, и генерируют модулированный сигнал, который обеспечивает наилучшую аппроксимацию мгновенного заданного значения. Техническим результатом является возможность дальнейшей миниатюризации. 4 н. и 11 з.п. ф-лы, 25 ил.

Description

Текст описания приведен в факсимильном виде.
Figure 00000001
Figure 00000002
Figure 00000003
Figure 00000004
Figure 00000005
Figure 00000006
Figure 00000007
Figure 00000008
Figure 00000009
Figure 00000010
Figure 00000011
Figure 00000012
Figure 00000013
Figure 00000014
Figure 00000015
Figure 00000016
Figure 00000017
Figure 00000018
Figure 00000019
Figure 00000020
Figure 00000021
Figure 00000022
Figure 00000023
Figure 00000024
Figure 00000025
Figure 00000026
Figure 00000027
Figure 00000028
Figure 00000029
Figure 00000030
Figure 00000031
Figure 00000032
Figure 00000033
Figure 00000034
Figure 00000035
Figure 00000036
Figure 00000037
Figure 00000038
Figure 00000039
Figure 00000040
Figure 00000041
Figure 00000042
Figure 00000043
Figure 00000044
Figure 00000045
Figure 00000046
Figure 00000047
Figure 00000048
Figure 00000049
Figure 00000050

Claims (15)

1. Способ регулирования физической переменной физической системы, в особенности динамической системы, с приведением этой переменной к одному заданному значению или к значениям, изменяющимся по заданному закону, путем использования импульсного модулятора (8), посредством которого генерируется последовательность дискретно модулированных сигналов, которые и осуществляют указанное регулирование физической переменной, отличающийся тем, что циклически повторяют этапы, на которых:
a) определяют точное значение или аппроксимацию девиации между мгновенным заданным и мгновенным реальным значением физической переменной,
b) определяют соответствующее изменение девиации, вызванное сохранением мгновенного модулированного сигнала или переключением на другие модулированные сигналы,
c) генерируют модулированный сигнал, который обеспечивает наилучшую аппроксимацию мгновенного заданного значения.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве системы используют микромеханический датчик 1, имеющий резонатор R.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что в качестве физической переменной, подлежащей регулированию, используют резонансную частоту резонатора R.
4. Способ по п.2, отличающийся тем, что в качестве физической переменной, подлежащей регулированию, используют амплитуду или фазу колебаний резонатора R.
5. Способ по п.3, отличающийся тем, что
для регулирования резонансной частоты резонатора R моделируют ответные колебания этого резонатора, вызванные воздействием на него последовательности модулированных сигналов, которую выбирают таким образом, чтобы в ходе моделирования обеспечить наиболее точную аппроксимацию заданного закона изменения значений указанного резонатора, а частота изменения значений указанных колебаний по заданному закону представляет собой резонансную частоту, подлежащую регулированию, и
подвергают резонатор R воздействию полученной таким образом последовательности модулированных сигналов.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что в процессе моделирования последовательность моделированных сигналов для регулирования резонансной частоты генерируют посредством одновременного регулирования амплитуды и фазы ответных колебаний с приведением их к одному заданному значению или к значениям, изменяющимся по заданному закону, причем
a) для каждого генерируемого модулированного сигнала эффективную суммарную девиацию (ea, eb) вычисляют путем суммирования девиаций между мгновенными заданными значениями и соответствующими отрегулированными значениями модели, которые возникли бы при сохранении модулированного сигнала или переключении на этот модулированный сигнал,
b) выбирают модулированный сигнал, который обеспечивает наименьшую вычисленную эффективную суммарную девиацию (ea, eb),
c) итеративно повторяют этапы a) и b).
7. Способ по пп.5 и 6, отличающийся тем, что одновременно моделируют два ответных колебательных процесса резонатора R, вызванные воздействием на него последовательности модулированных сигналов, причем одновременно регулируют амплитуды и фазы обоих ответных колебаний с приведением их к одному заданному значению или к значениям, изменяющимся по заданному закону, а заданные фазы указанных ответных колебательных процессов сдвинуты относительно друг друга на π/2, причем
a) для каждого генерируемого модулированного сигнала для двух моделей устанавливают эффективную суммарную девиацию (ea1, eb1, ea2, eb2), которую получают посредством суммирования девиаций между мгновенными заданными и соответствующими отрегулированными значениями модели, которые возникли бы при сохранении модулированного сигнала или переключении на этот модулированный сигнал,
b) складывают эффективные суммарные девиации обеих моделей, относящиеся к одному модулированному сигналу,
c) выбирают модулированный сигнал, для которого вычисленная на предыдущем этапе сумма (ea, eb) минимальна, и
d) итеративно повторяют этапы a)-c).
8. Устройство для регулирования физической переменной, в особенности динамической системы, с приведением этой переменной к одному заданному значению или к значениям, изменяющимся по заданному закону, путем использования импульсного модулятора (8), посредством которого генерируется последовательность дискретно модулированных сигналов, которые и осуществляют указанное регулирование физической переменной, отличающееся тем, что оно содержит:
a) блок (E) сравнения, посредством которого можно определить точное значение или аппроксимацию девиации между мгновенным заданным и мгновенным реальным значением физической переменной,
b) вычислительный блок (20, 22 и 24), соединенный с блоком (E) сравнения, посредством которого можно вычислить значимые изменения девиации, определенной в блоке сравнения, которые возникают при сохранении мгновенного модулированного сигнала или переключении на другие модулированные сигналы,
c) блок (27) принятия решений, соединенный с вычислительным блоком (20, 22 и 24), который в зависимости от вычисленных блоком сравнения изменений девиации принимает решение, какой модулированный сигнал обеспечивает наилучшую аппроксимацию мгновенного заданного значения, причем блок (27) может регулировать последовательность модулированных сигналов, генерируемых импульсным модулятором (8).
9. Способ одновременного регулирования по меньшей мере двух физических переменных физической системы, в особенности динамической системы, с приведением каждой из них к одному заданному значению или к значениям, изменяющимся по заданному закону, путем использования импульсного модулятора, посредством которого генерируется последовательность дискретно модулированных сигналов, которые и осуществляют указанное регулирование физических переменных, причем
a) для каждого генерируемого модулированного сигнала a, b, c и d вычисляют эффективную суммарную девиацию путем сложения точных значений или аппроксимаций девиаций между мгновенными заданными и соответствующими реальными значениями физических переменных, которые возникли бы при сохранении этого модулированного сигнала или переключении на этот модулированный сигнал,
b) для регулирования используют модулированный сигнал, который обеспечивает наименьшую вычисленную эффективную суммарную девиацию,
c) итеративно повторяют этапы a) и b).
10. Способ по п.9, отличающийся тем, что в качестве системы используют микромеханический датчик, имеющий резонатор R.
11. Способ по п.10, отличающийся тем, что в качестве физических переменных, подлежащих регулированию, используют резонансные частоты, амплитуды или фазы возбуждающего или считываемого колебания резонатора R.
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что при регулировании резонансной частоты резонатора аппроксимации девиации резонансной частоты этого резонатора, определенные на этапе a), устанавливают следующим образом:
моделируют процесс собственных колебаний резонатора, которое бы испытывал этот резонатор при определенных начальных условиях колебаний и при воздействии на него модулированных сигналов, сгенерированных импульсным модулятором, вычисляют эффект от воздействия каждого генерируемого модулированного сигнала на модель процесса собственных колебаний резонатора и гипотетически полученные законы изменения собственных колебаний сравнивают с заданным законом изменения значений собственных колебаний, которые возникают при тех же начальных условиях и частота которых является резонансной частотой, подлежащей регулированию,
причем девиации между гипотетически полученными законами изменения собственных колебаний и заданным законом изменения значений собственных колебаний представляют собой аппроксимации девиации резонансной частоты, которые необходимо определить.
13. Способ по п.12, отличающийся тем, что сравнение гипотетически полученного закона изменения собственных колебаний с заданным законом изменения значений собственных колебаний включает сравнение соответствующих амплитуд и фаз этих законов, причем
для каждого генерируемого модулированного сигнала вычисляют суммарную девиацию путем сложения девиаций между мгновенными заданными значениями амплитуды и фазы и соответствующими значениями амплитуды и фазы согласно модели, которые возникают соответственно при сохранении этого модулированного сигнала или переключении на этот модулированный сигнал,
и эти суммарные девиации представляют собой аппроксимации девиации резонансной частоты, которые необходимо определить.
14. Способ по п.13, отличающийся тем, что одновременно моделируют два процесса собственных колебаний резонатора, каждый из которых сравнивают со значимыми заданными значениями или законами изменения значений в отношении амплитуды и фазы, а фазы этих процессов сдвинуты относительно друг друга на π/2, причем
для каждого генерируемого модулированного сигнала в обеих моделях устанавливают суммарную девиацию посредством сложения девиаций между мгновенными заданными значениями амплитуды и фазы и соответствующими значениями амплитуды и фазы модели, которые возникают при сохранении этого модулированного сигнала или переключении на этот модулированный сигнал соответственно,
складывают суммарные девиации, относящиеся к одному модулированному сигналу и полученные из обеих моделей, причем суммы, вычисленные на предыдущем этапе, представляют собой аппроксимации девиации резонансной частоты, которые необходимо определить.
15. Инструмент (400, 500) для одновременного регулирования по меньшей мере двух физических переменных физической системы, в особенности динамической системы, с приведением каждой из них к одному заданному значению или к значениям, изменяющимся по заданному закону, благодаря использованию импульсного модулятора, посредством которого генерируется последовательность дискретно модулированных сигналов, которые и осуществляют указанное регулирование физических переменных, отличающийся тем, что он содержит:
вычислительный блок (200, 200′, 300 и 300′), который для каждого модулированного сигнала вычисляет эффективную суммарную девиацию, получаемую сложением точных значений или аппроксимаций девиаций между мгновенными заданными или соответствующими реальными значениями физических переменных, которые возникают при сохранении этого модулированного сигнала или переключении на этот модулированный сигнал, и
блок (420) принятия решений, соединенный с вычислительным блоком, который в зависимости от эффективных суммарных девиаций, вычисленных в этом блоке, принимает решение, для какого модулированного сигнала вычисленная эффективная суммарная девиация будет наименьшей, причем блок принятия решений регулирует последовательность модулированных сигналов, генерируемых импульсным модулятором.
RU2007111703/28A 2004-11-24 2005-11-21 Способ регулирования физической переменной динамической системы, в особенности микромеханического датчика RU2363929C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004056699.2 2004-11-24
DE102004056699A DE102004056699A1 (de) 2004-11-24 2004-11-24 Verfahren zur Steuerung/Regelung einer physikalischen Größe eines dynamischen Systems, insbesondere eines mikromechanischen Sensors

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007111703A RU2007111703A (ru) 2008-12-27
RU2363929C2 true RU2363929C2 (ru) 2009-08-10

Family

ID=35735039

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007111703/28A RU2363929C2 (ru) 2004-11-24 2005-11-21 Способ регулирования физической переменной динамической системы, в особенности микромеханического датчика

Country Status (12)

Country Link
US (1) US7490015B2 (ru)
EP (1) EP1825218B1 (ru)
JP (1) JP4802195B2 (ru)
KR (2) KR20100020042A (ru)
CN (1) CN101065641B (ru)
AU (1) AU2005309009B2 (ru)
CA (1) CA2599603C (ru)
DE (1) DE102004056699A1 (ru)
NO (1) NO339405B1 (ru)
RU (1) RU2363929C2 (ru)
WO (1) WO2006056389A1 (ru)
ZA (1) ZA200705284B (ru)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100712558B1 (ko) * 2006-07-05 2007-04-27 삼성전자주식회사 외란 보상 판단 장치 및 방법과 이를 이용한 디스크드라이브
DE102006043412A1 (de) * 2006-09-15 2008-03-27 Litef Gmbh Mikroelektromechanischer Sensor sowie Betriebsverfahren für einen mikroelektromechanischen Sensor
JP4576441B2 (ja) * 2008-03-21 2010-11-10 日立オートモティブシステムズ株式会社 角速度センサ
DE102008057281A1 (de) * 2008-11-14 2010-05-20 Northrop Grumman Litef Gmbh Simulationsverfahren für das Betriebsverhalten eines Corioliskreisels
DE102014010671A1 (de) * 2014-05-23 2015-12-17 Gerd Reime Verfahren zur Ermittlung wenigstens eines physikalischen Parameters mittels einer Sensoreinheit
JP6880600B2 (ja) * 2016-08-18 2021-06-02 セイコーエプソン株式会社 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体
DE102018202093A1 (de) * 2018-02-12 2019-08-14 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung von Datenmodellen in sicherheitskritischen Systemen
DE102020206003A1 (de) * 2020-05-13 2021-11-18 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zum Betreiben eines mikroelektromechanischen Gyroskops, Gyroskop

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2833401B2 (ja) * 1993-03-23 1998-12-09 三菱電機株式会社 駆動制御装置
DE19532142A1 (de) * 1995-08-31 1997-03-06 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur Regelung eines vierdimensionalen Vektors einer Strecke mittels eines wertediskreten Stellgliedes mit begrenzter Schaltfrequenz
US5992233A (en) * 1996-05-31 1999-11-30 The Regents Of The University Of California Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope
DE19635923C1 (de) * 1996-09-04 1998-02-26 Litef Gmbh Verfahren zur Antriebsanregung von Schwingern zur kapazitiven Messung von Kraft, Beschleunigung und/oder Drehraten
FI112298B (fi) * 1996-12-19 2003-11-14 Kone Corp Menetelmä ja laitteisto moottorin värähtelyjen vaimentamiseksi
JPH10262395A (ja) * 1997-03-18 1998-09-29 Toa Medical Electronics Co Ltd ステッピングモータの駆動装置
DE19739903A1 (de) * 1997-09-11 1999-04-01 Bosch Gmbh Robert Sensorvorrichtung
US6360602B1 (en) * 1999-07-29 2002-03-26 Litton Systems, Inc. Method and apparatus reducing output noise in a digitally rebalanced accelerometer
GB0008365D0 (en) * 2000-04-06 2000-05-24 British Aerospace Control syste for a vibrating structure gyroscope
US6718823B2 (en) * 2002-04-30 2004-04-13 Honeywell International Inc. Pulse width modulation drive signal for a MEMS gyroscope
DE10362031B4 (de) * 2003-05-08 2008-05-29 Litef Gmbh Betriebsverfahren für einen Corioliskreisel und dafür geeignete Auswerte-/Regelelektronik
US6995622B2 (en) * 2004-01-09 2006-02-07 Robert Bosh Gmbh Frequency and/or phase compensated microelectromechanical oscillator

Also Published As

Publication number Publication date
US7490015B2 (en) 2009-02-10
CA2599603C (en) 2013-01-08
KR101031858B1 (ko) 2011-05-02
DE102004056699A1 (de) 2006-06-01
JP4802195B2 (ja) 2011-10-26
KR20100020042A (ko) 2010-02-19
NO20071679L (no) 2007-06-11
NO339405B1 (no) 2016-12-12
AU2005309009B2 (en) 2009-03-19
JP2008520983A (ja) 2008-06-19
EP1825218A1 (de) 2007-08-29
EP1825218B1 (de) 2016-03-09
ZA200705284B (en) 2008-09-25
AU2005309009A1 (en) 2006-06-01
US20070286294A1 (en) 2007-12-13
WO2006056389A9 (de) 2006-07-13
KR20070065449A (ko) 2007-06-22
WO2006056389A1 (de) 2006-06-01
RU2007111703A (ru) 2008-12-27
CN101065641A (zh) 2007-10-31
CA2599603A1 (en) 2006-06-01
CN101065641B (zh) 2010-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2363929C2 (ru) Способ регулирования физической переменной динамической системы, в особенности микромеханического датчика
EP1659461B1 (en) Pid parameter adjustment device
JP2021508423A (ja) 触覚システムにおける不要な応答の最小化
Litrico et al. Analytical approximation of open-channel flow for controller design
KR100442034B1 (ko) 모터제어장치
AU1616702A (en) Method for regulating a membrane filtering installation
EA200800384A1 (ru) Генерирование предписания с переменной частотой с использованием различных источников предписания с обученными весовыми коэффициентами
JP2018151899A (ja) 制御装置、制御プログラムおよび制御システム
KR102165991B1 (ko) 모터 제어 장치
KR20060111400A (ko) 제어 대상 모델 생성 장치 및 생성방법
MY133688A (en) Process of controlling the growth of a crystal
JP6779035B2 (ja) 制御装置、水中航走体、制御方法およびプログラム
JP2017017782A (ja) 評価関数によって制御ゲインをオンラインで最適化する機能を有するサーボ制御装置
JP4524123B2 (ja) モータ制御装置の制御パラメータ算出方法
Toochinda Digital PID controllers
KR102216713B1 (ko) 최소제곱법 전달함수 선형화를 통한 선응답 기반 제어기 튜닝 방법 및 시스템
KR100292354B1 (ko) 디지털콘벌루션을이용한입력쉐이핑필터링방법및그장치
JP7306926B2 (ja) 振動試験装置
JP4569514B2 (ja) 適応ノッチフィルタ
GB2583589A (en) Interactive guidance system for selecting thermodynamics methods in process simulations
JP2021117855A (ja) 振動試験装置
JP2009169772A (ja) プラント運転支援装置
JP2010142117A (ja) モータ制御装置の制御パラメータ算出方法
Falcón-Prado et al. Active vibration control of axisymmetric membrane through partial pole placement
JP2012173889A (ja) 制御装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20171122