RU2016140388A - Способ получения триалкилгаллиевых соединений и их применение - Google Patents
Способ получения триалкилгаллиевых соединений и их применение Download PDFInfo
- Publication number
- RU2016140388A RU2016140388A RU2016140388A RU2016140388A RU2016140388A RU 2016140388 A RU2016140388 A RU 2016140388A RU 2016140388 A RU2016140388 A RU 2016140388A RU 2016140388 A RU2016140388 A RU 2016140388A RU 2016140388 A RU2016140388 A RU 2016140388A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- compound
- preceding paragraphs
- rgacl
- gacl
- denotes
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
- C07F5/00—Compounds containing elements of Groups 3 or 13 of the Periodic System
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/06—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
- C23C16/18—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material from metallo-organic compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
Claims (30)
1. Способ получения соединения (А), которое соответствует общей формуле
RGaCl2
или представлено в виде смеси RGaCl2 и R2GaCl, заключающийся в том, что
a1) галлий подвергают реакции с донором алкила в присутствии активатора с образованием соединения (А) и
а2) соединение (А) при необходимости выделяют из реакционной смеси, при этом R представляет собой разветвленный или неразветвленный алкильный остаток с 1-4 атомами углерода.
2. Способ по п. 1, где донор алкила соответствует общей формуле
RCl,
в которой R имеет указанные выше значения, и на стадии a1) предпочтительно представлен в газообразном виде.
3. Способ по п. 1 или 2, где активатор представляет собой соединение или смесь соединений следующей общей формулы:
RaGabClc,
в которой а обозначает число 0, 1, 2 или 3, b обозначает число 1 или 2, с обозначает число 0, 1, 2 или 3, при этом а и с не обозначают одновременно 0 и сумма a+b+с равна 4 или величине, кратной 4, и R имеет указанные выше значения, причем сумма а и с равна 3, когда b равен 1, или сумма а и с равна 6, когда b равен 2.
4. Способ по одному из предыдущих пунктов, где активатор выбран из GaCl3, R2GaCl, R3Ga2Cl3, RGaCl2 и их смесей или представляет собой смесь из R2GaCl и RGaCl2 или в качестве активатора используют сам продукт реакции, т.е. соединение (А).
5. Способ по одному из предыдущих пунктов, где R представляет собой метил или этил, предпочтительно метил.
6. Способ по одному из предыдущих пунктов, где молярное соотношение между донором алкила и галлием составляет по меньшей мере 1,4:1.
7. Способ по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, при осуществлении которого при реакции на стадии a1) в реакционный сосуд сначала помещают предварительную смесь из галлия и активатора, а затем добавляют донор алкила.
8. Способ по одному из предыдущих пунктов, при осуществлении которого реакцию на стадии a1) проводят в отсутствие органических растворителей.
9. Способ получения соединения (Б) общей формулы
R3Ga,
заключающийся в том, что получают соединение (А) способом по одному или нескольким из предыдущих пунктов и
б) соединение (А) подвергают реакции с металл-алкильным компонентом с получением соединения (Б) общей формулы
R3Ga,
в которой R имеет указанные в одном из предыдущих пунктов значения.
10. Способ по п. 9, где металл-алкильный компонент соответствует общей формуле
RdMeXf,
в которой d обозначает число 1, 2 или 3, е обозначает число 1 или 2, f обозначает число 0, 1, 2 или 3, при этом d и f не обозначают одновременно 0, R имеет указанные выше значения, М выбран из алюминия, лития и магния и X выбран из Cl, Вr и I.
11. Способ по п. 10, где М представляет собой алюминий, е равен 1 или 2, сумма из d, е и f равна 4 или 8, при этом d не равен 0, и X представляет собой Сl.
12. Способ по п. 9 или 10, где металл-алкильный компонент выбран из RMgCl, R2AlCl, R3Al, R3Al2Cl3 и RLi, прежде всего из Ме3Аl, Et3Al, Ме3Аl2Сl3 и Et3Al2Cl3.
13. Способ по одному из пп. 9-12, при осуществлении которого при реакции на стадии б) добавляют далее вспомогательное основание, выбранное из хлорида натрия, хлорида калия, хлорида алюминия и их смесей.
14. Применение соединения (Б), полученного способом по одному из пп. 9-13, в качестве прекурсора в процессах химического осаждения из паровой фазы с применением металлоорганических соединений или газофазной эпитаксии с применением металлоорганических соединений.
15. Способ по одному или нескольким из пп. 1-13, где соединение (А) представляет собой смесь соединений R2GaCl и RGaCl2, в которой R имеет указанные выше значения, а соотношение между молярными количествами R2GaCl и RGaCl2 составляет от 10:90 до 90:10, преимущественно от 10:90 до 50:50, прежде всего от 20:80 до 40:60.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP14159973.8 | 2014-03-14 | ||
| EP14159973 | 2014-03-14 | ||
| PCT/EP2015/055211 WO2015136049A1 (de) | 2014-03-14 | 2015-03-12 | Verfahren zur herstellung von trialkylgallium-verbindungen und deren verwendung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2016140388A true RU2016140388A (ru) | 2018-04-17 |
| RU2016140388A3 RU2016140388A3 (ru) | 2018-09-19 |
Family
ID=50277091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2016140388A RU2016140388A (ru) | 2014-03-14 | 2015-03-12 | Способ получения триалкилгаллиевых соединений и их применение |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10428089B2 (ru) |
| EP (2) | EP3116883B1 (ru) |
| JP (2) | JP6742921B2 (ru) |
| KR (1) | KR102383917B1 (ru) |
| CN (1) | CN106103454B (ru) |
| RU (1) | RU2016140388A (ru) |
| TW (2) | TWI662044B (ru) |
| WO (1) | WO2015136049A1 (ru) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11401282B2 (en) * | 2017-10-31 | 2022-08-02 | Nouryon Chemicals International B.V. | Method for storing and/or transporting gallium chloride |
| CN111116618B (zh) * | 2019-12-20 | 2022-06-21 | 南京奥格美化学研究所有限公司 | 制备烷基金属化合物的方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3913165C2 (de) | 1989-04-21 | 2000-05-18 | Merck Patent Gmbh | Metallorganische Verbindungen sowie deren Verwendung zur Herstellung dünner Schichten |
| US5043462A (en) * | 1989-04-28 | 1991-08-27 | Messer Greisheim | Process for the production of gallium-alkyl compounds |
| DE4005726A1 (de) * | 1989-04-28 | 1990-10-31 | Messer Griesheim Gmbh | Verfahren zur herstellung von galliumalkylverbindungen |
| US5663390A (en) * | 1996-08-29 | 1997-09-02 | Libbey-Owens-Ford Co. | Method of producing organo indium chlorides |
| CN1206418A (zh) * | 1996-08-29 | 1999-01-27 | 利比-欧文斯-福特公司 | 生产有机氯化铟的方法 |
| JP4054997B2 (ja) * | 2003-06-19 | 2008-03-05 | 信越化学工業株式会社 | 高純度アルキルガリウムの製造方法 |
| WO2012150229A1 (en) * | 2011-05-03 | 2012-11-08 | Akzo Nobel Chemicals International B.V. | Process for the preparation of trialkyl gallium |
| TWI632149B (zh) | 2011-11-28 | 2018-08-11 | 烏明克股份有限兩合公司 | 第iii a族金屬的三烷基化合物之製法 |
| WO2014093419A1 (en) * | 2012-12-12 | 2014-06-19 | Dow Global Technologies Llc | Production of tri-alkyl compounds of group 3a metals |
-
2015
- 2015-03-12 JP JP2016574486A patent/JP6742921B2/ja active Active
- 2015-03-12 KR KR1020167027983A patent/KR102383917B1/ko active IP Right Grant
- 2015-03-12 EP EP15709677.7A patent/EP3116883B1/de active Active
- 2015-03-12 CN CN201580013576.4A patent/CN106103454B/zh active Active
- 2015-03-12 EP EP19190564.5A patent/EP3613748B1/de active Active
- 2015-03-12 RU RU2016140388A patent/RU2016140388A/ru not_active Application Discontinuation
- 2015-03-12 WO PCT/EP2015/055211 patent/WO2015136049A1/de active Application Filing
- 2015-03-12 US US15/126,043 patent/US10428089B2/en active Active
- 2015-03-13 TW TW104108161A patent/TWI662044B/zh active
- 2015-03-13 TW TW108102056A patent/TWI672309B/zh active
-
2019
- 2019-12-05 JP JP2019220438A patent/JP6890649B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20170081344A1 (en) | 2017-03-23 |
| US10428089B2 (en) | 2019-10-01 |
| EP3116883A1 (de) | 2017-01-18 |
| TW201920206A (zh) | 2019-06-01 |
| TWI662044B (zh) | 2019-06-11 |
| CN106103454B (zh) | 2019-06-14 |
| JP6742921B2 (ja) | 2020-08-19 |
| TWI672309B (zh) | 2019-09-21 |
| WO2015136049A1 (de) | 2015-09-17 |
| KR20160135244A (ko) | 2016-11-25 |
| JP2020037592A (ja) | 2020-03-12 |
| RU2016140388A3 (ru) | 2018-09-19 |
| KR102383917B1 (ko) | 2022-04-08 |
| EP3613748B1 (de) | 2021-11-10 |
| JP2017512827A (ja) | 2017-05-25 |
| EP3116883B1 (de) | 2019-08-14 |
| JP6890649B2 (ja) | 2021-06-18 |
| EP3613748A1 (de) | 2020-02-26 |
| CN106103454A (zh) | 2016-11-09 |
| TW201542572A (zh) | 2015-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6644726B2 (ja) | 第ｉｉｉａ族金属のトリアルキル化合物の調製方法 | |
| EA201500781A1 (ru) | Способ получения компонента катализатора полимеризации олефинов | |
| RU2016110114A (ru) | Способ получения алкилиндиевых соединений и их применение | |
| EA201400935A1 (ru) | Компонент катализатора для полимеризации олефинов | |
| WO2014045260A3 (en) | Multi component mixture of magnesiumcoholates, magnesiumhalides and alcohol, processes to make them and their use in processes to make olefin polymerization catalyst | |
| WO2014045259A3 (en) | Multi component mixture of magnesiumalcoholates, magnesiumhalides and alcohol, processes to make them and their use in processes to make olefin polymerization catalyst | |
| MY187602A (en) | Preparation method of a catalyst component for olefin polymerization | |
| RU2018122239A (ru) | Способ осаждения из газовой фазы путем разложения металлоорганических соединений с применением в качестве них алкилиндиевых соединений в виде их растворов в углеводородах | |
| RU2016140388A (ru) | Способ получения триалкилгаллиевых соединений и их применение | |
| KR20160059327A (ko) | 트리스(트리알킬실릴)포스핀의 제조방법 | |
| Verrier et al. | Highly diastereoselective addition of alkoxyethynyl aluminium reagents to N-tert-butylsulfinyl aldimines | |
| JP2010195690A (ja) | 高純度トリアルキルガリウム及びその製造方法 | |
| WO2012150229A1 (en) | Process for the preparation of trialkyl gallium | |
| JP2012062331A5 (ru) | ||
| JP5348186B2 (ja) | 高純度トリアルキルガリウム及びその製法 | |
| RU2019142623A (ru) | Получение триалкилиндиевых соединений в присутствии карбоксилатов | |
| KR101645891B1 (ko) | 트리(아릴)메틸 테트라키스(불소화아릴)보레이트 화합물의 제조 방법 | |
| RU2013106115A (ru) | Способ получения пиридинатов 1-фтор(хлор)-3-алкил(арил)бороланов | |
| JP2011084504A (ja) | トリアルキルガリウムの製造方法、及び製造装置 | |
| RU2013148744A (ru) | Способ получения полициклических 3-фенилфосфолан-3-сульфидов | |
| TH172533A (th) | วิธีการเตรียมส่วนประกอบตัวเร่งปฏิกิริยาสำหรับการทำให้โอเลฟีนเกิดโพลิเมอร์ | |
| RU2010104362A (ru) | Способ получения катализатора (со)полимеризации бутадиена |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA92 | Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted) |
Effective date: 20190521 |